光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书

'目录1概述.........................................................................................................................................11.1建设项目特点...............................................................................................................11.2环境影响评价工作过程...............................................................................................21.3分析判定相关情况.......................................................................................................31.4关注的主要环境问题及环境影响...............................................................................51.5环境影响评价的主要结论...........................................................................................62总则.........................................................................................................................................72.1编制依据.......................................................................................................................72.1.1法律....................................................................................................................72.1.2国家法规、规章及规范性文件........................................................................72.1.3地方法规、规章及规范性文件........................................................................82.1.4评价技术导则及相关技术规范........................................................................92.1.5其他相关文件及资料......................................................................................102.2评价目的、原则与重点.............................................................................................102.2.1评价目的...........................................................................................................102.2.2评价原则...........................................................................................................102.2.3评价重点...........................................................................................................112.3评价因子与评价标准.................................................................................................112.3.1环境影响因素识别...........................................................................................122.3.2评价因子筛选...................................................................................................152.3.3环境质量标准...................................................................................................152.3.4污染物排放标准...............................................................................................172.4评价工作等级及范围.................................................................................................182.4.1地表水环境评价工作等级及范围...................................................................182.4.2地下水环境评价工作等级及范围...................................................................18I 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书2.4.3大气环境评价工作等级及范围.......................................................................192.4.4声环境环境评价工作等级及范围...................................................................192.4.5环境风险评价工作等级及范围.......................................................................192.5相关规划与环境功能区划.........................................................................................192.5.1相关规划的符合性分析...................................................................................192.5.2规划环评相符性分析.......................................................................................202.5.3环境功能区划...................................................................................................222.6主要环境保护目标.....................................................................................................233工程分析...............................................................................................................................263.1建设项目概况.............................................................................................................263.1.1项目概况...........................................................................................................263.1.2项目组成...........................................................................................................263.1.3产品方案...........................................................................................................283.1.4原辅材料...........................................................................................................283.1.5主要生产设备...................................................................................................363.1.6公用工程...........................................................................................................373.1.7平面布置及厂区周边现状...............................................................................383.1.8劳动定员及工作制度.......................................................................................393.2影响因素分析.............................................................................................................403.2.1生产过程影响因素分析...................................................................................403.2.2公辅设施影响因素分析...................................................................................503.2.3非正常工况影响因素分析...............................................................................503.2.4环境风险因素识别...........................................................................................513.2.6物料平衡...........................................................................................................513.3污染源强核算.............................................................................................................523.3.1水污染物...........................................................................................................523.3.2大气污染物.......................................................................................................533.3.3噪声...................................................................................................................553.3.4固体废弃物.......................................................................................................554环境现状调查与评价...........................................................................................................58II苏州科太环境技术有限公司 4.1自然环境现状调查与评价.........................................................................................584.1.1地形、地貌与地质...........................................................................................584.1.2气候气象...........................................................................................................584.1.3水文...................................................................................................................594.1.4土壤环境..........................................................................................................604.1.5植被...................................................................................................................604.1.6其他..................................................................................................................614.2环境保护目标调查.....................................................................................................614.2.1环境空气质量现状监测与评价......................................................................614.2.2地下水环境质量现状监测与评价...................................................................634.2.3声环境质量现状监测与评价...........................................................................654.3区域污染源调查.........................................................................................................665环境影响预测与评价...........................................................................................................675.1建设期环境影响预测与评价.....................................................................................675.1.1建设期废水影响预测与评价...........................................................................675.1.2建设期废气影响预测与评价...........................................................................685.1.3建设期噪声影响预测与评价...........................................................................715.1.4建设期固废影响预测与评价...........................................................................735.1.5建设期生态影响预测与评价...........................................................................745.1.6施工期环境影响小结.......................................................................................755.2运营期环境影响预测与评价.....................................................................................765.2.1运营期废水影响预测与评价...........................................................................765.2.2运营期废气影响预测与评价...........................................................................765.2.3运营期噪声影响预测与评价...........................................................................765.2.4运营期固废影响预测与评价...........................................................................776环境保护措施及其可行性论证...........................................................................................796.1建设期环境保护措施及可行性论证.........................................................................796.1.1建设期废气治理措施及可行性论证...............................................................796.1.2建设期废水治理措施及可行性论证...............................................................816.1.3建设期噪声治理措施及可行性论证...............................................................81III 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书6.1.4建设期固体废弃物治理措施及可行性论证...................................................836.1.5建设期生态保护治理措施及可行性论证.......................................................836.2运营期环境保护措施及可行性论证.........................................................................836.2.1运营期废水治理措施及可行性论证...............................................................836.2.2运营期废气治理措施及可行性论证...............................................................866.2.3运营期噪声治理措施及可行性论证...............................................................936.2.4运营期固体废弃物治理措施及可行性论证...................................................946.2环保投资估算.............................................................................................................957环境影响经济损益分析.......................................................................................................977.1经济效益分析.............................................................................................................977.2社会效益分析.............................................................................................................977.3环境经济损益分析.....................................................................................................987.3.1环保投资...........................................................................................................987.3.2环境代价...........................................................................................................987.3.3环境成本分析...................................................................................................997.3.4环境收益分析...................................................................................................997.3.5环境经济效益分析...........................................................................................997.4环境经济损失分析结论............................................................................................998环境管理与监测计划.........................................................................................................1018.1环境管理...................................................................................................................1018.1.1各阶段环境管理要求.....................................................................................1018.1.2污染物排放清单及污染物排放管理要求.....................................................1038.1.3排污口规范化管理.........................................................................................1118.1.4环境管理措施、机构.....................................................................................1128.2监测计划...................................................................................................................1138.2.1污染源监测计划.............................................................................................1138.2.2环境质量监测计划.........................................................................................1148.3环境监理...................................................................................................................1148.3.1环境监理工作的形式和任务........................................................................1148.3.2监理工作方案和内容....................................................................................115IV苏州科太环境技术有限公司 8.4总量控制...................................................................................................................1159环境影响评价结论.............................................................................................................1179.1建设项目概况...........................................................................................................1179.2环境质量现状结论...................................................................................................1179.2.1环境空气质量现状结论.................................................................................1179.2.2地下环境质量现状结论.................................................................................1179.2.3声环境质量现状结论.....................................................................................1179.3污染物排放情况.......................................................................................................1189.3.1废水排放情况.................................................................................................1189.3.2废气排放情况.................................................................................................1189.3.3噪声排放情况.................................................................................................1189.3.4固体废弃物排放情况.....................................................................................1189.4主要环境影响结论...................................................................................................1199.4.1运营期废水影响预测与评价.........................................................................1199.4.2运营期废气影响预测与评价.........................................................................1199.4.3运营期噪声影响预测与评价.........................................................................1199.4.4运营期固废影响预测与评价.........................................................................1209.5公众意见采纳情况...................................................................................................1209.6环境保护措施结论...................................................................................................1219.6.1废气污染防治措施结论.................................................................................1219.6.2废水污染防治措施结论.................................................................................1229.6.3噪声污染防治措施结论.................................................................................1229.6.4固体废弃物污染防治措施结论.....................................................................1229.7环境经济损益分析结论...........................................................................................1239.8环境管理与监测计划结论.......................................................................................1239.9总结论.......................................................................................................................1249.9.1结论.................................................................................................................1249.9.2主要要求与建议.............................................................................................124附件：V 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书附件1：建设项目环评审批基础信息表；附件2：委托书；附件3：西安高新区创新发展局关于《西安中科光机投资控股有限公司光电子集成电路标准化厂房建设项目备案的通知》，西高新创新发【2017】27号，2017年1月23日；附件4：西安市不动产登记局颁发的土地产权证，陕（2017）西安市不动产权第0000305号，2017年7月26日；附件5：西安市环境保护局高新分局关于《陕西光电子集成电路先导技术研究院有限责任公司光电子集成孵化平台空间改造建设项目环境影响报告表的批复》，高新环评批复【2017】009号，2017年2月23日；附图:附图1：项目地理位置图附图2：项目平面布置图附图3：环保设施图附图4：仓库平面布置图附图5：项目四邻关系图附图6：项目环境目标保护图附图7：大气、噪声监测环境点位图附图8：地下水环境监测点位图VI苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书1概述1.1建设项目特点我国已成为世界最大的家用电器、电脑与通信等产品的生产与消费大国之一。当前我国集成电路产业技术和规模极不适应经济发展的要求，国内集成电路生产企业的生产能力只能满足国内市场需求的30%。因此，光电子器件及集成电路芯片生产线的建设还有很大的上升空间。基于集成电路行业发展趋势以及西安中科光机投资控股有限公司经营战略和扩大生产的需要，西安中科光机投资控股有限公司拟投资20000万元在西安市高新区上林苑一路15号建设光电子集成电路标准化厂房建设项目。本项目的建设不但可以提高企业在特殊工艺产品领域的综合竞争优势，同时为我国芯片制造和光电子集成产业做出新的贡献。本项目将以光电子技术为主导，建设国内首家光电子集成电路产业化先导性专业技术平台，打造先进的化合物半导体光电芯片和新型半导体材料芯片支持平台，为国内光电子芯片的研发、中试、产业化提供全方位支持服务，解决国内光电子核心芯片在产业化发展当中的技术瓶颈和工艺平台稀缺现状，重点开展国家紧缺的光电子集成电路系列产品、核心技术的开发及其相关高科技企业的投资孵化工作。为打造完整的光电子集成产业链条，陕西光电子集成电路先导技术研究院有限责任公司（简称“先导院”）与控股单位西安中科光机投资控股有限公司（简称“光机所”）在西安市高新区上林苑一路15号携手打造光电子集成孵化平台，该平台分三期建设，一期为《光电子集成孵化平台空间改造建设项目》，由先导院投资建设；二期为《光电子集成电路标准化厂房建设项目》，由光机所投资建设；三期处于规划状态。光电子集成孵化平台一期、二期、三期的立项、土地及环保手续等分别独立办理。一期的《光电子集成孵化平台空间改造建设项目》于2017年2月23日已取得西安市环境保护局高新分局关于《陕西光电子集成电路先导技术研究院有限责任公司光电子集成孵化平台空间改造建设项目环境影响报告表的批复》（高新环评批复【2017】009号，见附件5）；二期的《光电子集成电路标准化厂房建设项目》目前处于前期手续办理阶段，建设地目前为苏州科太环境技术有限公司1 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书空地；三期处于规划状态，具体建设内容还未确定，建设地目前为空地。本次环评只针对二期（即光电子集成电路标准化厂房建设项目，以下简称“本项目”或“拟建项目”）进行评价分析。本项目主要建设一条半导体材料生产线、3栋厂房（即半导体材料厂房、化合物芯片厂房、封装及模组厂房）、1栋宿舍楼和1座仓储区（包含仓库和气体储罐区），项目建成后半导体材料生产线（项目设计规模为年产4.5万片/a砷化镓外延片和4.5万片/a磷化铟外延片）位于化合物芯片厂房一层，建成的厂房除化合物芯片厂房一层外均外租（引进的行业类别为半导体材料和芯片制造，引进的企业在厂房内开展项目时，需另行办理环评手续，不在本次环评范围内）。本项目已取得西安高新区创新发展局关于《西安中科光机投资控股有限公司光电子集成电路标准化厂房建设项目备案的通知》（西高新创新发【2017】27号，见附件3）和西安市不动产登记局颁发的土地产权证（陕2017西安市不动产权第0000305号，见附件4）。1.2环境影响评价工作过程根据《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国环境影响评价法》、《建设项目环境保护管理条例》和《建设项目环境影响评价分类管理名录》（本项目属于十五、化学原料和化学制品制造业38半导体材料）中的有关规定，以及地方环保部门对建设项目环境管理的要求，本项目应编制环境影响报告书，2017年09月01日西安中科光机投资控股有限公司正式委托我公司承担本项目的环境影响评价工作，编制该项目环境影响报告书。接受委托后，我单位立即组织专业技术人员对本项目的现场进行了踏勘和调查，收集了相关的基础资料，同时委托环境监测单位进行了相关环境质量现状监测，在工程污染因素分析、环境现状调查和环境影响预测评价及污染防治措施可行性分析的基础上，编制了《西安中科光机投资控股有限公司光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书》。环境影响评价工作过程共分为三个阶段：第一阶段：确定环境影响评价文件类型，研究相关技术文件和其他文件，进行初步工程分析，开展初步的环境现状调查，进行环境影响识别和评价因子筛选、明确评价重2苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书点和环境保护目标、确定工作等级、评价范围和评价标准，制定工作方案；第二阶段：进行环境现状调查监测与评价、建设项目工程分析，各环境要素影响预测与评价；第三阶段：提出环境保护措施、进行技术经济论证；给出环境影响评价结论。本环境影响报告书编制过程中，得到西安市环境保护局高新分局等有关部门的大力支持和帮助，在此我们对他们表示真诚地感谢。1.3分析判定相关情况⑴产业政策的相符性本项目属于《产业结构调整指导目录（2011年本）》（2013年修正）中鼓励类第22条“半导体、光电子器件、新型电子元器件等电子产品用材料”项目；同时，本项目也不属于《陕西省限制投资类产业指导目录》（陕发改产业【2007】97号）中规定的淘汰和限制类项目；且本项目已取得西安高新区创新发展局关于《西安中科光机投资控股有限公司光电子集成电路标准化厂房建设项目备案的通知》（西高新创新发【2017】27号，见附件3）。因此，本项目符合国家和地方产业政策。⑵规划相符性①与西安高新区“十三五”发展规划的符合性在“十三五”开局的新起点，高新区提出自身谋变的五年规划：贯彻“创新、协调、绿色、开放、共享”五大发展理念，这五大理念分别是指：坚持创新驱动，形成能够充分激发区域创新驱动，发展活力的市场环境和生态系统；坚持协调发展，形成区域经济、社会发展一体化新格局；坚持绿色生态，提升区域自然环境，建设生态高新；坚持开放合作，构件广泛的国际创新利益共同体；坚持共享互利，吸引人才、留住人才、培养人才，营造“安全、公平、活力、和谐”的居住环境和创新创业环境。“十三五”期间，西安高新区将高举自主创新的旗帜，紧紧围绕“1235”的战略发展目标，持续完善“两带两城五区八园”的空间布局，全力构建“133”高端产业体系，逐步提升国际化发展水平，切实提高社会事业和管理能力，把高新区初步建成“产业高端、创新苏州科太环境技术有限公司3 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书活跃、宜居宜业”的科技新城。本项目属于高端产品的研发和生产，为价值链高端、技术含量高、具有高附加值的新型产业，在全国具有较强竞争力和影响力，符合西安高新区“十三五”发展规划的产业定位；项目致力于科技产业创新，致力于发展为国际化现代化科技产业，符合西安高新区“十三五”发展规划的功能布局和发展目标。另外，本项目以科技创新引领发展，以和谐环境保障发展为理念，符合西安高新区“十三五”发展规划。②与规划环评的相符性西安高新区新拓展区的规划目标是：在全球范围内，要形成在通讯、光伏、软件与服务外包等领域具有较强竞争力的产业集群，成为具有中国内陆自主创新特色的世界一流科技平台；在全国范围内，要成为一流的研发基地和新兴产业的引领区，形成在通讯、光伏电子元器件、软件与服务外包等领域全国领先的产业集群；在中西部地区，要成为最大的总部地、科技创新中心和高新技术产业基地；要成为在全省全市范围内产业优化升级、辐射扩散、梯度转移和传播新兴服务业发展的平台西安高新区新拓展区的性质为以高新产业为主导，生产、生活和生态协调发展的现代化科技新城区。规划的总体目标是要把西安高新区建设成为：国际知名的科技园、国内一流的高新区、中西部最大的科技产业城。西安高新区新拓展区空间布局包括：创业研发园、国际软件园、先进制造产业园、生物医药产业园、出口加工区。创业研发园由孵化器集群、研发办公区、企业聚集区、综合配套服务区四大功能区块组成，具有科技资源聚集、研发成果转化、初创企业孵化、成长企业加速的功能和作用，是高新区创新体系建设的重要载体和各类创新型企业理想栖息地。国际软件园是陕西省、西安市发展软件与服务外包产业的核心区，将是高新区功能完善、环境优美、国际一流的软件新平台。由总部商务、软件研发、服务外包、教育培训、接待展示及生活配套等功能区组成，成为国际知名的软件加工、出口基地，软件企业聚集地和软件人才培训基地，软件和商业流程等服务外包基地。先进制造产业园按照“专业化集聚、集群化推进、平台化承载”的理念，为电力设备、汽车、半导体等产业发展提供专业化的配套服务，着力打造具有加大规模和较强竞争力的产业集群，成为关中—天水经济区先进制造业的先导区和产业集群升级示范区。生物医药产业园依托陕西丰富的生物医药资源，立足新药研发，建设产业与生态和4苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书谐互动，集生物医药科技研发、生产制造、成果展示、综合服务等多功能于一体的生物医药产业的产业平台，重点打造“国家级西安生物医药孵化器”、“高新区生物医药研发园”，“国家火炬计划西安高新区生物医药特色产业基地”，成为中国西部地区生物医药技术创新的排头兵，中西部地区最大的生物医药高新技术成果转化和产业化基地。出口加工区由工业生产、仓储物流、研发办公等区块组成，打造西部出口外向型经济核心聚集区、国际一流的出口加工基地和保税物流中心。本项目属于半导体材料的研发和生产项目，地处西安高新区新拓展区规划的先进制造业产业园内，符合规划环评要求。综上所述，本项目符合相关规划要求。⑶选址的可行性①本项目位于西安市高新区上林苑一路15号，已取得西安市不动产登记局颁发的土地产权证（陕2017西安市不动产权第0000305号，见附件4），项目建设用地性质为工业用地。②项目选址不在当地自然保护区、风景名胜区、世界文化和自然遗产地、饮用水水源保护区范围内。③项目在严格执行本环评提出的各项防治措施的前提下，对周围环境产生的影响较小。④项目所在地市政给水管网、污水管网等均已铺设至该区域附近，交通、基础设施完善，能够满足本项目的需求。综上所述，本项目选址可行。1.4关注的主要环境问题及环境影响根据项目情况，分析项目应关注的主要环境问题及影响如下：①项目产生的废气处理设备、设施的可行性和可靠性分析；②项目产生的废水处理方案及废水排放的可行性分析；③项目产生的危险废物贮存及处置措施；④项目运营过程中使用的有毒有害化学品的储存和使用过程中存在的环境风险。苏州科太环境技术有限公司5 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书1.5环境影响评价的主要结论本项目建设符合国家产业政策，符合《西安市城市总体规划（2008-2020年）》及《西安高新区“十三五”发展规划》的要求，本项目具有良好的经济和社会效益。从环境影响分析结果来看，在认真落实工程设计和本报告书提出的各项污染防治措施，确保污染物达标排放，强化环境管理，项目对环境的影响可降低到当地环境能够容许的程度，可以达到经济效益、社会效益和环境效益的协调统一，从环境保护角度看，该项目建设是可行的。6苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书2总则2.1编制依据2.1.1法律⑴《中华人民共和国环境保护法》（修订），国家主席令第9号，2014.4.24通过，2015.1.1施行；⑵《中华人民共和国环境影响评价法》（修订），国家主席令第48号，2016.7.2修订通过，2016.9.1施行；⑶《中华人民共和国水污染防治法》，国家主席令第87号，2008.2.28通过，2008.6.1施行；⑷《中华人民共和国大气污染防治法》，国家主席令第31号，2015.8.29修订通过，2016.6.1施行；⑸《中华人民共和国环境噪声污染防治法》，国家主席令第77号，1996.10.29通过，1997.3.1施行；⑹《中华人民共和国固体废物污染防治法》（修订），国家主席令第31号，2004.12.29修订通过,2005.4.1施行；⑺《中华人民共和国循环经济促进法》，国家主席令第4号，2008.8.29通过，2009.1.1施行；⑻《中华人民共和国清洁生产促进法》，国家主席令第54号，2012.2.29通过，2012.7.1施行；⑼《中华人民共和国节约能源法》，国家主席令第77号，2007.10.28修订通过，2008.4.1施行；⑽《中华人民共和国土地管理法》（2004年8月28日起施行）；⑾《中华人民共和国水土保持法》（2011年3月1日起施行）。2.1.2国家法规、规章及规范性文件⑴《建设项目环境保护管理条例》，国务院第682号令，2017.10.1实施；苏州科太环境技术有限公司7 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书⑵《建设项目环境影响评价分类管理名录》，环境保护部令第33号，2017.9.1；⑶《国家危险废物名录》环境保护部令第39号，2016.8.1施行；⑷《危险化学品安全管理条例》（修订版），国务院第591号令，2013.12.7；⑸《产业结构调整指导目录（2011年本）》（2013修正），国家发展和改革委员会第21号令，2013.5.1；⑹《危险废物污染防治技术政策》（环发【2001】199号），2001.12.17；⑺《建设项目竣工环境保护验收管理办法》（2010修订），环境保护部第16号令，2010.12.23；⑻《关于进一步加强环境影响评价管理防范环境风险的通知》，环发【2012】77号，2012.7.3；⑼《大气污染防治行动计划》，国发【2013】37号，2013.9.10；⑽《关于落实大气污染防治行动计划严格环境影响评价准入的通知》（环办【2014】30号），2014.3.25；⑾《水污染防治行动计划》，国发【2015】17号，2015.4.2；⑿《水污染防治行动计划实施情况考核规定（试行）》，环水体【2016】179号，2016.12.12；⒀《关于进一步加强环境保护信息公开工作的通知》，环办【2012】134号文，2012.10.30；⒁《关于印发<建设项目环境影响评价政府信息公开指南（试行）>的通知》，环办【2013】103号，2013.11.14；⒂《建设项目主要污染物排放总量指标审核及管理暂行办法》（环发）【2014】197号，2014.12.30；⒃《土壤污染防治行动计划》，国发【2016】31号，2016年5月28日。2.1.3地方法规、规章及规范性文件⑴《陕西省发展和改革委员会关于印发《陕西省限制投资类产业指导目录》的通知》（陕发改产业【2007】97号），陕西省发展和改革委员会陕发改产业，2007.2.15；⑵《陕西省循环经济促进条例》，陕西省人民代表大会常委会，2011.12.1施行；⑶《陕西省节约能源条例》，陕西省人民代表大会常务委员会公告第57号，2006.12.1施行；8苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书⑷《陕西省排污许可证管理暂行办法的通知》（陕环发【2015】20号），陕西省环境保护厅，2015.3.31；⑸《陕西省大气污染防治条例》，陕西省人民代表大会常委会，2014.1.1施行；⑹《陕西省重点行业挥发性有机物第一轮综合整治方案（2015-2017年）》（陕环发【2015】90号），陕西省环境保护厅，2015.12.31；⑺《陕西省水污染防治工作方案》（陕政发【2015】60号），陕西省环境保护厅2015.12.30；⑻《陕西省渭河流域管理条例》，2013.1.1施行；⑼《关于贯彻执行省政府〈渭河流域水污染防治实施方案〉的通知》，陕西省人民政府陕政渭办字【2005】2号；⑽《陕西省固体废物污染环境防治条例》，陕西省人民代表大会常委会，2016.4.1施行；⑾《西安城市总体规划（2008年-2020年）》（含《西安市城市供热规划（2004年-2020年）》）；⑿西安市人民政府文件市政发[2007]41号《西安市人民政府关于印发西安市城市区域环境噪声标准适用区域划分的通知》；⒀《西安市2017年“铁腕治霾·保卫蓝天”“1+1+9”组合方案（办法）》。2.1.4评价技术导则及相关技术规范⑴《建设项目环境影响评价技术导则—总纲》（HJ2.1-2016）；⑵《环境影响评价技术导则—大气环境》（HJ2.2-2008）；⑶《环境影响评价技术导则—地面水环境》（HJ/T2.3-93）；⑷《环境影响评价技术导则—地下水环境》（HJ610-2016）；⑸《环境影响评价技术导则—声环境》（HJ2.4-2009）；⑹《环境影响评价技术导则—生态影响》（HJ19-2011）；⑺《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ/T169-2004）；⑻《建设项目危险废物环境影响评价指南》（2017年10月1日）。苏州科太环境技术有限公司9 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书2.1.5其他相关文件及资料⑴西安高新区创业发展局关于《西安中科光机投资控股有限公司光电子集成电路标准化厂房建设项目备案的通知》（西高新创新发【2017】27号】）2017.1.23；⑵西安中科光机投资控股有限公司《光电子集成电路标准化厂房建设项目》环评委托书，2017.09.01（见附件3）；⑶建设单位提供的其它有关技术资料。2.2评价目的、原则与重点根据区域环境功能的要求与特征，并结合项目的生产规律和污染物排放特点，对建设项目环境影响因素进行识别，在此基础上进一步筛选出评价因子，确定项目环境影响评价的目的、原则及重点。2.2.1评价目的项目环境影响评价是对项目实施后可能对环境造成的影响进行分析、预测与评价，提出预防或者减轻不良环境影响的对策和措施，进行跟踪监测的方法与制度。本次环境影响评价的主要目的包括以下几个方面：⑴根据项目方案，结合项目的社会经济发展状况和环境现状，分析该项目对周围环境可能产生的影响，协调经济增长、社会进步与环境保护之间的关系；⑵针对项目实施可能产生的不良影响，提出减缓和避免不良影响的对策与措施；⑶根据项目可能带来的环境影响，对具体项目提出环境影响评价的要求，制定监测和跟踪评价计划；⑷根据国家有关法规和政策，从环境保护的角度对该项目的可行性作出明确结论，为上级主管部门决策、规划内具体项目的设计以及企业的环境管理提供科学依据。2.2.2评价原则⑴科学、客观、公正原则本次环境影响评价必须科学、客观、公正，综合考虑项目实施后对各种环境要素及其所构成的生态系统可能造成的影响，协调经济、社会与环境保护之间的关系，为有关10苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书部门进行决策提供科学依据。⑵早期介入原则为达到项目环境影响评价“三同时”的目的，环境影响评价工作需贯穿与整个项目阶段，在项目初期介入，将环境影响因素融入到项目的全过程。⑶整体性原则从环境相容角度，分析其具体建设项目与有关政策、当地规划、发展计划的相容性，从全局角度做整体评价和分析。⑷公众参与原则根据《中华人民共和国环境影响评价法》的规定，在进行环境影响评价过程中，积极开展和鼓励公众参与，并充分考虑社会各方面的利益和主张。⑸可操作性原则在本次环境影响评价过程中，应当尽可能选择简单、实用、经过实践检验可行的评价方法，评价结论应具有可操作性，以便有关部门决策与实施。2.2.3评价重点本评价设有环境空气影响评价、地表水、地下水影响评价、声环境影响评价、固体废弃物环境影响评价、环境风险评价、环境污染防治措施可行性等专题。根据工程分析和环境影响识别结果，确定本次评价重点为：⑴工程分析；⑵环境空气影响评价；⑶环境风险评价；⑷环境污染防治措施可行性分析与建议。2.3评价因子与评价标准根据区域环境功能的要求与特征，并结合项目的生产规律和污染物排放特点，对建设项目环境影响因素进行识别，在此基础上进一步筛选出评价因子，确定项目环境影响评价的内容及重点。苏州科太环境技术有限公司11 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书2.3.1环境影响因素识别（1）施工期环境影响识别项目厂区施工期间对环境的影响很大程度上取决于工程规模、特点、施工季节以及工程所处的地形、地貌等环境因素。经分析，施工期主要影响因子见表2.3-1。表2.3-1施工期主要环境影响因素环境要素产生影响的主要内容主要影响因素土地平整、挖掘；土石方；建材运输、存放、使用扬尘环境空气施工车辆尾气CO、NOx水环境施工人员生活废水等COD、BOD5、SS声环境施工机械、车辆作业噪声噪声土地平整、挖掘及工程占地水土流失、植被破坏生态环境土石方、建材堆存占压土地等（2）运营期环境影响识别根据项目性质及污染物排放特点，对项目环境影响因素进行识别，项目运营期间产生废气、废水、噪声以及固体废物等污染因素，将相应的对项目所在地附近的环境空气、地表水、地下水及声环境等产生不同程度的影响，运营期主要环境影响因素见表2.3-2；表2.3-2运营期主要环境影响因素环境要素产生影响的主要内容主要影响因素外延生长磷烷、砷烷、氨气清洗硫酸雾、氯化氢、非甲烷总烃环境空气沉积氮氧化物气体刻蚀氯气地表水生产废水pH、COD、BOD5、SS、氟化物、氨氮地下水原料储存及废水处理废水、废液及原料化学品渗漏声环境生产设备、辅助设备运行期间等效连续A声级固体废弃物生产过程中一般工业固废、危险废物、生活垃圾等根据建设项目的工程分析及污染物排放特点，结合当地的环境要素，采用工程影响环境要素与影响程度识别表，对建设项目影响环境的程度进行识别。识别结果见表2.3-3。12苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书表2.3-3建设项目工程因素与影响程度识别自然资源生态环境社会环境生活质量环境资源水地地地环农森野水濒渔土工农交燃节美健社文生声供娱项目阶段土下表表境田林生生危业地业业料约学康会物活环流水水水空植植动动动养利发发结能旅安经古水境水乐失质文质气物被物物物殖用展展通构源游全济迹平场地清理-1-1地面挖掘-1-1-1施运输-1工期安装建设-1材料堆存-1小结-2-1-4-1废水排放-1+1+1废气排放-1噪声-1运行固废排放期医疗服务就业+1+1+1+1小结-1-1-1-1+1+1+2+2注：3—重大影响；2—中等影响；1—轻微影响；“＋”—有利影响；“－”—不利影响。从表2.3-3可知，建设项目运行期对环境的不利影响主要表现在废水、废气和固废环境，产生的影响是轻微程度的。苏州科太环境技术有限公司13 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书根据建设项目的工程分析及污染物排放特点，采用工程影响环境要素性质识别表，对建设工程影响环境因素性质进行识别。结果见表2.3-4。表2.3-4营运期主要污染因素对环境的影响识别表不利影响有利影响影响性质环境资源不短期长期可逆局部广泛短期长期广泛局部可逆水土流失地下水质自然地表水文√√资地表水质√√源环境空气√√声环境√√农田生态森林植被生物野生动物资水生动物源濒危动物渔业养殖土地利用√工业发展√社农业发展会供水环境交通燃料结构节约能源美学旅游健康安全生活社会经济√√质娱乐量文物古迹生活水平√√由表2.3-4可知，建设项目对环境要素的不利影响主要表现在大气环境、声环境等方面，这些不利影响在施工期是短期的，在运行期是长期的。对环境长期的有利影响表14苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书现在社会环境、社会经济和生活水平等方面，这些影响大多是长期和广泛的。2.3.2评价因子筛选依据建设项目的特点、环境影响的主要特征，结合区域环境功能要求、环境保护目标、评价标准和环境制约因素，对环境影响评价因子进行初步的筛选，评价因子筛选结果见表2.3-5。表2.3-5环境评价因子筛选表项目现状评价因子影响分析评价因子总量控制因子PM10、SO2、NO2、氟硫酸雾、氯化氢、氟化物、氯气、氨、VOCs(非甲烷总环境空气化物、氨磷烷、砷烷、氮氧化物、非甲烷总烃烃)pH、COD、BOD5、氨氮、SS、地表水环境/COD、氨氮氟化物++2+2-K、Na、Ca、CO3、--2-HCO3、Cl、SO4、pH、高锰酸盐指数、硫酸盐、氨氮、硝酸盐、总pH、COD、BOD5、SS、氨氮、地下水环境COD、氨氮硬度、溶解性总固体、氟化物挥发性酚、六价格、铅、砷、汞、镉、总大肠菌群等声环境等效连续A声级Leq(A)/固体废弃物/固体废物产生量、处置量和处置方式/2.3.3环境质量标准⑴空气环境中SO2、NO2、PM10执行《环境空气质量标准》（GB3095-2012）中的二级标准，氨、氟化物参考执行《工业企业设计卫生标准》（TJ36-79）表1“居住区大气中有害物质的最高容许浓度”中相关标准限值。环境空气质量标准的主要指标详见表2.3-5；⑵地下水环境执行《地下水质量标准》（GB/T14848-93）中的Ⅲ类标准；⑶地表水执行《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）中的Ⅲ类标准；⑷声环境执行《声环境质量标准》（GB3096-2008）3类标准；具体标准值见表2.3-6。苏州科太环境技术有限公司15 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书表2.3-6环境质量评价标准环境标准限值标准名称与级（类）别项目类别单位数值1小时平均5003SO2μg/m24小时平150均《环境空气质量标准》（GB3095－2012）二级1小时平均200标准NOμg/m3环境224小时平80空气均324小时平PM10μg/m150均TJ36-79《工业企业设计卫生标准》表1“居住氟化物24小时平0.007区大气中有害物质的最高容许浓度”中相关mg/m3均标准限值NH3一次最高值0.02pH无量纲6.5～8.5氨氮mg/L≤0.2氯化物mg/L≤250硫酸盐mg/L≤250砷mg/L≤0.05汞mg/L≤0.001铬（六mg/L≤0.05价）总硬度mg/L≤450铅mg/L≤0.05地下镉mg/L≤0.01《地下水质量标准》（GB/T14848-1993）Ⅲ类水环水域标准溶解性境mg/L≤1000总固体高锰酸mg/L≤3.0盐指数总大肠个/L≤3.0菌群挥发性mg/L0.002酚硝酸盐mg/L20氯化物mg/L250钾mg/L--钠mg/L--钙mg/L--16苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书镁mg/L--2-CO3mg/L--3-HCOmg/L--声环《声环境质量标准》（GB3096-2008）3类标昼间65dB(A）境准夜间552.3.4污染物排放标准（1）废气本项目硫酸雾、氯化氢、氟化物、氮氧化物和氯气排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）二级标准限值；氨执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)；非甲烷总烃执行《陕西省挥发性有机物排放控制标准》（DB61/T1061-2017）中规定的电子产品制造业排放标准限值；由于本项目排放的砷烷、磷烷，我国暂无排放标准，参考执行《荷兰排放导则》（NER）。具体标准值见表2.3-7、2.3-8；表2.3-7大气污染物排放标准无组织排放最高允许排放排放高度最高允许排放污染物3监控浓度限标准来源浓度（mg/m）（m）速率（kg/h）3值（mg/m）硫酸雾45151.51.2氯化氢100150.260.2《大气污染物综合排氟化物9.0150.10.02放标准》（GB16297-1996）氮氧化物240150.770.12氯气65250.520.4《恶臭污染物排放标氨--154.91.5准》（GB14554-93）砷烷--150.011.0《荷兰排放导则》磷烷--150.011.0（NER）表2.3-8非甲烷总烃排放标准厂区内监控企业边界监最高允许排NMHC最低评价因子3点浓度限值控点浓度限标准来源放浓（mg/m）去除效率33（mg/m）值（mg/m）《陕西省挥发性有机非甲烷总5080%（85%）103物排放控制标准》烃（DB61/T1061-2017）（2）废水排放执行《黄河流域（陕西段）污水综合排放标准》（DB61/224-2011）苏州科太环境技术有限公司17 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书二级标准（其中SS执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中的三级标准）。相关标准值见表2.3-9表2.3-9废水污染物排放标准标准限值标准名称标准号级别评价因子单位排放限值浓度COD300《黄河流域（陕BOD5150西段）污水综合DB61/224-2011二级mg/l氨氮25排放标准》氟化物20《污水综合排放SSmg/l400GB8978-1996三级标准》pH无量纲6-9（3）噪声：厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准；相关标准值见表2.3-10表2.3-10厂界噪声标准标准值dB（A）标准名称标准号级别评价因子昼间夜间《工业企业等效声级Leq厂界环境噪GB12348-200836555dB(A）声排放标准》（4）固体废物：一般工业固体废物排放执行《一般工业固体废弃物贮存处置场所污染控制标准》（GB18599-2001）中的有关规定；危险废物执行《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）。2.4评价工作等级及范围2.4.1地表水环境评价工作等级及范围本项目废水不直接排入地表水。因此，根据《环境影响评价技术导则•地面水环境》（HJ/T2.3-1993）有关规定确定水环境影响评价等级低于三级，因此本次环评仅对地表水环境影响进行简要分析。2.4.2地下水环境评价工作等级及范围本项目为Ⅳ类项目，不进行地下水环境影响评价。18苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书2.4.3大气环境评价工作等级及范围根据预测结果，本项目各个污染物的Pmax<10%，因此确定本次环境空气评价工作等级为三级。本次环境空气评价取以排气筒为中心、半径2.5km的圆形区域为评价范围。2.4.4声环境环境评价工作等级及范围根据《环境影响评价技术导则•声环境》（HJ2.4-2009）中的有关规定，将环境噪声评价工作级别确定为三级。本次环境噪声评价范围为项目厂界200米范围内。2.4.5环境风险评价工作等级及范围根据国家环保总局颁发的《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ/T169-2004）和《危险化学品重大危险源辨识》（GB18218-2009），本次环评对项目环境风险进行二级评价，不对该项目环境风险进行预测分析，只提出相关风险管理、防范要求和建议。2环境风险评价范围为以事故源为中心，周围3km范围，总面积约28.3km。2.5相关规划与环境功能区划2.5.1相关规划的符合性分析本项目建设地点位于西安市高新区上林苑一路15号，项目拟建设用地属于工业用地，与本项目有关的规划见表2.5-1。2.5-1项目与相关规划符合性分析序符合性相关规划要求说明号分析优化主城区布局，凸显“九宫格局，棋盘本项目主要路网，轴线突出，一城多心”的布局特色，进行芯片的以二环内区域为核心发展成商贸旅游服生产加工，《西安市城市总体规划1务区；东部依托现状发展成国防军工产属于高新技符合（2008-2020）》（摘要）工业区；东南部结合曲江新城和杜陵保术，项目位护区发展成旅游生态度假区；南部为文于西安市的教科研区；西南部拓展成高新技术产业西南部苏州科太环境技术有限公司19 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书区；西部发展成居住和无污染产业的综合新区；西北部为汉长安城遗址保护区；北部形成装备制造业区；东北部结合浐灞河道整治建设成居住、旅游生态区。在“十三五”开局的新起点，高新区提出自身谋变的五年规划：贯彻“创新、协调、绿色、开放、共享”五大发展理念，这五大理念分别是指：坚持创新驱动，形成能够充分激发区域创新驱动，发展活力的市场环境和生态系统；坚持协调发展，形成区域经济、社会发本项目属于展一体化新格局；高端产品的坚持绿色生态，提升区域自然环境，建研发和生设生态高新；产，为价值与西安高新区“十三五”坚持开放合作，构件广泛的国际创新利2链高端、技符合发展规划的符合性益共同体；术含量高、坚持共享互利，吸引人才、留住人才、具有高附加培养人才，营造“安全、公平、活力、和值的新型产谐”的居住环境和创新创业环境。业“十三五”期间，西安高新区将高举自主创新的旗帜，紧紧围绕“1235”的战略发展目标，持续完善“两带两城五区八园”的空间布局，全力构建“133”高端产业体系，逐步提升国际化发展水平，切实提高社会事业和管理能力，把高新区初步建成“产业高端、创新活跃、宜居宜业”的科技新城。2.5.2规划环评相符性分析（1）与规划环评的相符性西安高新区新拓展区的规划目标是：在全球范围内，要形成在通讯、光伏、软件与服务外包等领域具有较强竞争力的产业集群，成为具有中国内陆自主创新特色的世界一流科技平台；在全国范围内，要成为一流的研发基地和新兴产业的引领区，形成在通讯、光伏电子元器件、软件与服务外包等领域全国领先的产业集群；在中西部地区，要成为最大的总部地、科技创新中心和高新技术产业基地；要成为在全省全市范围内产业优化升级、辐射扩散、梯度转移和传播新兴服务业发展的平台西安高新区新拓展区的性质为以高新产业为主导，生产、生活和生态协调发展的现代化科技新城区。规划的总体目标是要把西安高新区建设成为：国际知名的科技园、国内一流的高新区、中西部最大的科技产业城。20苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书西安高新区新拓展区空间布局包括：创业研发园、国际软件园、先进制造产业园、生物医药产业园、出口加工区。创业研发园由孵化器集群、研发办公区、企业聚集区、综合配套服务区四大功能区块组成，具有科技资源聚集、研发成果转化、初创企业孵化、成长企业加速的功能和作用，是高新区创新体系建设的重要载体和各类创新型企业理想栖息地。国际软件园是陕西省、西安市发展软件与服务外包产业的核心区，将是高新区功能完善、环境优美、国际一流的软件新平台。由总部商务、软件研发、服务外包、教育培训、接待展示及生活配套等功能区组成，成为国际知名的软件加工、出口基地，软件企业聚集地和软件人才培训基地，软件和商业流程等服务外包基地。先进制造产业园按照“专业化集聚、集群化推进、平台化承载”的理念，为电力设备、汽车、半导体等产业发展提供专业化的配套服务，着力打造具有加大规模和较强竞争力的产业集群，成为关中—天水经济区先进制造业的先导区和产业集群升级示范区。生物医药产业园依托陕西丰富的生物医药资源，立足新药研发，建设产业与生态和谐互动，集生物医药科技研发、生产制造、成果展示、综合服务等多功能于一体的生物医药产业的产业平台，重点打造“国家级西安生物医药孵化器”、“高新区生物医药研发园”，“国家火炬计划西安高新区生物医药特色产业基地”，成为中国西部地区生物医药技术创新的排头兵，中西部地区最大的生物医药高新技术成果转化和产业化基地。出口加工区由工业生产、仓储物流、研发办公等区块组成，打造西部出口外向型经济核心聚集区、国际一流的出口加工基地和保税物流中心。本项目属于半导体材料的生产及研发，地处西安高新区新拓展区规划的先进制造业产业园内，符合规划环评要求。综上所述，本项目符合相关规划要求。（2）与《陕西省渭河流域水污染防治条例》相符性分析1998年8月22日经陕西省第九届人民代表大会常务委员会第四次会议通过《陕西省渭河流域水污染防治条例》，为加强渭河流域水污染防治，保护和改善水质，保障人体健康和人民生活、生产用水，促进经济与环境的协调发展，根据《中华人民共和国水污染防治法》和有关法律、法规，结合本省渭河流域实际，制定本条例。该条例规定，渭河流域城市饮用水源地一级保护区内，严禁建立污水排污口。根据《陕西省渭河流域水污染防治条例》的相关内容如下：苏州科太环境技术有限公司21 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书⑴渭河流域水污染防治工作，贯彻预防为主、防治结合、综合治理的方针，实行全面规划、分级负责、分段管理和总量控制与浓度控制相结合、集中治理与分散治理相结合、谁污染谁治理的原则。⑵渭河流域县级以上人民政府应当结合辖区水体功能区类别，调整产业结构，推行清洁生产，合理规划工业和城乡建设布局。⑶禁止建设造纸、酿造、印染、制革、化工、冶炼等污染严重的小型项目。⑷禁止向渭河流域水体、河床排放油类、酸液、碱液及其它化学类有毒有害废液和贮存、堆放、倾倒垃圾、废渣等固体废弃物和其他污染物。本项目所在区域不在渭河流域城市饮用水源地一级保护区内，且本项目产生的污水经市政污水管网排入西安市第七污水处理厂，不直接排入渭河，不会改变渭河的生态功能，符合《陕西省渭河流域水污染防治条例》的要求。2.5.3环境功能区划⑴环境空气质量功能区划根据《环境空气质量功能区划分原则与技术方法》(HJ14-1996)和《环境空气质量标准》（GB3095-2012），本项目属于城镇规划中确定的一般工业区，属于《环境空气质量标准》（GB3095-2012）中二类区。⑵地表水环境质量功能区划根据《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）和《陕西省水环境功能区划》（陕政办发[2004]100号），本项目所在区域地表水沣河目标水质为III类，本项目地表水功能区划确定为III类。⑶地下水环境质量功能区划根据《环境影响评价技术导则地·下水环境》（HJ610-2016）和《地下水质量标准》（GB3096-2008），本项目地下水环境功能区划确定为Ⅳ类。⑷声环境功能区划项目厂址地处西安市高新区上林苑一路以东，丈八八路以西，毕原一路以南，毕原二路以北区域，根据《声环境质量标准》（GB3096-2008）的规定以及《西安市城市区域环境噪声标准适用区域划分》（市政发[2007]41号），本项目厂址周围噪声功能区划适用22苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书《声环境质量标准》（GB3096-2008）中的3类功能区标准。⑸小结本项目评价区域内环境功能区划见表2.5-2。表2.5-2本项目评价区域内环境功能区划一览表序号环境要素环境功能确定依据类别《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）和《陕1地表水/西省水环境功能区划》（陕政办发【2004】100Ⅲ类区号）2地下水生活、工业用水《地下水质量标准》（GB/T14848-93）Ⅳ类区《环境空气质量功能区划分原则与技术方法》居住、商业3环境空气（HJl4-1996）和《环境空气质量标准》二类区与工业混合区（GB3095-2012）4声环境工业区《声环境质量标准》（GB3096-2008）3类区2.6主要环境保护目标本项目位于西安市高新区上林苑15号，通过现场调查，本项目评价区内无自然保护区、风景名胜区、饮用水水源保护区、基本农田保护区等需特殊保护的区域。项目主要环境保护对象拟建地周围人群相对集中的居民区内的环境空气质量。经过现场调查，项目保护范围内涉及的主要环境保护目标具体见表2.6-1和图2.5-1。表2.6-1主要环境保护目标表相对厂界距离保护环境要素保护对象人口保护目标方位距离（m）内容比亚迪职工宿舍1000北165乳驾庄新村1480西北536乳驾庄村662东北606蓝精灵幼儿园450西北761GB3095-2012《环大气人群乳驾庄幼儿园400西北779境空气质量标环境健康准》二级标准博远幼儿园380西北789南新村512西北1047羊村735东南1085中祝村800西南1100苏州科太环境技术有限公司23 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书创汇社区3863西北1140围墙子1672西北1142祝村中学1200西南1185东祝村760南1194蓝博公寓A区470东1200蓝博公寓B区662东1210长里村1200东北1335西祝村810西南1383西新村568西北1453创汇社区C区小学800西北1500秦沣花园小区640东南1500五四村1312西1518恭张新村687东北1850鼎盛都市花园小区588东南1910法士特住宅小区482东北1940龙文庭院小区1349东北1950丰园小区660东南1980长里村小学600西北1985金堆城小区640东南2300等驾坡北村1020西南2300早安林庄小区1442东南2600林隐天下小区1750东2800前锋小学400西南2800等驾坡南村970西南3000地表水《地表水环境标地表水沣河西8000质准》中Ⅲ类标准地下水《地下水质量标地下水评价范围内地下水质准》中Ⅲ类标准GB3096-2008人群声环境项目厂界200范围内《声环境质量标健康准》3类标准比亚迪职工宿舍1000北165环境乳驾庄新村1480西北536人群风险值达到风险乳驾庄村662东北606健康可接受水平蓝精灵幼儿园450西北76124苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书乳驾庄幼儿园400西北779博远幼儿园380西北789南新村512西北1047羊村735东南1085中祝村800西南1100创汇社区3863西北1140围墙子1672西北1142祝村中学1200西南1185东祝村760南1194蓝博公寓A区470东1200蓝博公寓B区662东1210长里村1200东北1335西祝村810西南1383西新村568西北1453创汇社区C区小学800西北1500秦沣花园小区640东南1500五四村1312西1518恭张新村687东北1850鼎盛都市花园小区588东南1910法士特住宅小区482东北1940龙文庭院小区1349东北1950丰园小区660东南1980长里村小学600西北1985金堆城小区640东南2300等驾坡北村1020西南2300早安林庄小区1442东南2600林隐天下小区1750东2800前锋小学400西南2800等驾坡南村970西南3000苏州科太环境技术有限公司25 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书3工程分析3.1建设项目概况3.1.1项目概况⑴项目名称：光电子集成电路标准化厂房建设项目。⑵建设单位：西安中科光机投资控股有限公司。⑶行业类别：C266413电子半导体材料⑷建设性质：新建。⑸建设地点：西安市高新区上林苑一路15号，具体地理位置详见图3.1-1项目地理位置图。⑹建设周期：2017年11月至2018年12月。⑺总投资及环保投资：项目总投资20000万元，其中环保投资243万元，占总投资的1.22%。2⑻占地面积：55048.70m（约83亩）。3.1.2项目组成本项目主要建设1条半导体材料生产线、3栋厂房（即半导体材料厂房、化合物芯片厂房、封装及模组厂房）、1栋宿舍楼和1座仓储区（包含仓库和气体储罐区）。项目设计规模为年产4.5万片/a砷化镓外延片和4.5万片/a磷化铟外延片，建成的厂房除化合物芯片厂房一层外其他均外租，引进的行业类别为半导体材料和芯片制造（引进的企业在厂房内开展项目时，需另行办理环评手续，不在本次环评范围内）；化合物芯片厂房一层用于建设1条半导体材料生产线和办公场所。将建设项目按主体工程、辅助工程、公用工程、环保工程、储运工程、依托工程划分，其项目组成具体内容见3.1-1。表3.1-1项目主要组成内容26苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书类别建设名称工程内容和规模备注设计规模为年产4.5万片/a砷化镓外延片和4.5万片/a磷化铟外延片。2半导体材料半导体材料生产线位于化合物芯片厂房一层；建筑面积约3502m，生产线钢筋混凝土结构；主要生产设备设有MOVEP有机金属气相沉积新建1条反应炉8台、PL.激光测量仪5台、EL.激光测量仪3台、ITO透明导电层镀膜机3台、蚀刻机3台、研磨机6台、清洗机3台、激主体光切割机7台等。2工程半导体建筑面积4881.05m，钢筋混凝土结构，共引进的行业类别为半材料厂房2层；建成后外租。2导体材料和芯片制造。建筑面积16208.00m，钢筋混凝土结构，化合物引进的企业在厂房内共4层；建成后1层用于建设半导体材料新建芯片厂房开展项目时，需另行办生产线1条和办公场所，2层至4层外租。2理环评手续，不在本次封装及建筑面积7099.00m，钢筋混凝土结构，共环评范围内。模组厂房2层；建成后外租。2宿舍建筑面积9600m，砖混结构，共6层。新建2办公室位于化合物芯片厂房一层；建筑面积约550m，钢筋混凝土结构。新建本项目不建设食堂，职工用餐依托一期食堂，一期食堂位于员工辅助食堂依托一期活动中心1层，共设有6个灶头，可以满足本项目职工就餐需求。工程本项目不建设污水处理设施，污水处理依托一期污水处理设施。污水一期污水处理设施设计时考虑了本期废水的收纳情况，可以满足依托一期处理设施本项目废水处理要求。一期设有污水处理站、化粪池各1座，污33水处理站设计规模为883.4m/d，化粪池容积为200m。给水来自市政自来水管网。--雨污分流。雨水经雨水管网排放；厂内污（废）水依托一期污水排水依托一期处理设施处理后排入城市污水管网进入西安市第七污水处理厂。由西安市高新区市政电网供给，市政供电电缆现已引至项目区，公用无需架线引入。厂内设800kV规格的变压器；线路敷设方式车间工程供电--内采用YJV型电缆以电缆桥架为主，部分埋地。车间外线以电缆直埋为主，可满足本项目用电要求。供热冬季取暖采用市政集中供暖。依托市政制冷夏天制冷采用分体空调。--酸性废气经过30m高排气筒达标排放、碱性废气、含氟废气经自废气工程洗涤塔吸收处理后经15m高排气筒达标排放，有机废气经活性炭新建吸附装置吸收处理后达标排放。生产废水依托一期污水处理站处理达标后排入西安市第七污水处理厂进行深度处理，最终排入太平河；生活污水经一期化粪池处废水工程依托一期理后和汇入生产废水，一起经市政污水管网进入西安市第七污水环保处理厂进行处理，最终排入太平河。工程噪声选用低噪声设备，设车间减振、隔声等措施。新建工业固废：一般固体废物在厂内统一暂存，由厂家回收或出售给固体废品回收站；危险废物：设置专门储存点，收集暂存，统一交有新建废弃物资质单位处置。生活垃圾：厂内密闭垃圾桶收集、由环卫部门统一收集处置。新建2绿化工程绿化面积13888.79m，绿化率为25.23%。新建储运仓仓库仓库内划分为三部分，分别为原料库、化学品库和成品库。新建苏州科太环境技术有限公司27 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书工程储原料库位于仓库内部北侧，面积约60m2，用于存放原辅材料。区2化学品库位于仓库内南侧，面积约30m，化学品库按不同化学品性质分类存放，要求设置警示标志及渗漏防治措施。2成品库位于仓库内西侧，面积约20m，用于存放成品。气体位于地块西北角，与仓库紧邻，放置有4个储罐，3个储罐体积均333储罐为26m，1个储罐体积为10m，体积为26m的储罐分别用于存新建3区放氩气、氢气、氨气。体积为10m的储罐用于存放氮气。运输社会物流、汽车运输。--给水依托市政自来水管网，可以实现接管。依托市政污水处理依托一期污水处理设施。一期污水处理设施设计时考虑了本期废水的收纳情况，可以满足本项目废水处理要求。一期设3依托一期有污水处理站、化粪池各1座，污水处理站设计规模为883.4m/d，排水3依托化粪池容积为200m。工程项目废水依托一期污水处理设施处理达标后经市政污水管网排入依托市政西安市第七水处理厂进行深度处理，可以接入市政污水管网。供电依托市政电网，可以满足本项目要求。依托市政职工用餐依托一期食堂，一期食堂位于员工活动中心1层，共设其他依托一期有6个灶头，可以满足本项目职工就餐需求。3.1.3产品方案本项目建成运营后，可形成年产4.5万片/a砷化镓外延片和4.5万片/a磷化铟外延片的生产规模，其产品方案见表3.1-2。表3.1-2主要产品方案序号产品名称产品规格单位产量1砷化镓外延片4英寸片/a4.5万2磷化铟外延片6英寸片/a4.5万3.1.4原辅材料⑴主要原辅材料项目主要原辅材料见表3.1-3。表3.1-3项目主要原辅材料一览表种类序号名称规格年用量最大库存量存储位置14inchGaAs衬底1个/包，0.4g/个6万片/a0.5万片原材料库原料26inchGaAs衬底1个/包，0.6g/个6万片/a0.5万片原材料库辅料3三甲基镓（TMGa)500g/瓶158.4kg/a19.8kg原材料库28苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书4三甲基铟（TMIn）500g/瓶28.8kg/a3.6kg原材料库5砷烷（AsH3）11.8g/瓶57.0kg/a72kg化学品库6磷烷（PH3）13.6g/瓶1296kg/a16kg化学品库37氩气(液)26m/罐36.5kg/a36kg气体存储罐区38氢气（气）26m/罐40kg/a2.4kg气体存储罐区39氨气26m/罐900kg/a21kg气体存储罐区310氮气（液）10m/罐3.60t/a8kg气体存储罐区11笑气40L/瓶576kg/a70kg化学品库12氯气（99.999%）47L/瓶3kg/a0.007kg化学品库13显影液20L/桶4t/a0.5t化学品库14异丙醇20L/桶19.133t/a3.187t化学品库15丙酮20L/桶19.133t/a3.187t化学品库16盐酸（浓度37%）20L/桶1.453t/a0.240t化学品库17硫酸（浓度98%）20L/桶0.760t/a0.127t化学品库18氢氟酸20L/桶0.343t/a0.013t化学品库19硅烷（浓度0.2%）5L/瓶7.0g/a3.4g化学品库20硅烷（浓度10%）5L/瓶2.6g/a3.4g化学品库21钻石抛光液500ml/瓶120kg/a50kg化学品库22光刻胶20L/桶0.622t/a0.08t化学品库23甲基吡咯烷酮（NMP）4L/桶1.527t/a0.253t化学品库24金20g/瓶0.035t/a0.006t原材料库25双氧水20L/桶0.613t/a0.1t化学品库3依托一期纯水26纯水--900m/a--站⑵部分原辅材料理化性质①钻石抛光液钻石抛光液是抛光液的一种，是由优质多晶钻石微粉、复合分散剂和分散介质组成。利用多晶钻石的特性，在研磨抛光过程中保持高切削效率的同时不易对工件产生划伤。可以应用在蓝宝石衬底的研磨和减薄、光学晶体、硬质玻璃和晶体、超硬陶瓷和合金、磁头、硬盘、芯片等领域的研磨和抛光。钻石抛光液成分及含量见表3.1-4。表3.1-4钻石抛光液组分及含量表原料名称组分含量（g/L）120#溶剂油400~500钻石抛光液200#溶剂油300~400苏州科太环境技术有限公司29 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书石墨微粉30~50油酸40~70芥酸20~50②显影液显影液的主要成分是甲醇、对苯二酚等，其各成分及含量见表3.1-5。表3.1-5显影液组分及含量表原料名称组分质量百分比（%）甲醇20对苯二酚5显影液其他5去离子水70.0③光刻胶光刻胶主要由对光与能量非常敏感的高分子聚合物和有机溶剂组成，前者是光刻胶的主体，主要成分为酚醛树脂、丙二醇醚酯等，后者是光刻胶的介质，主要成分为丙酮、丁酮等，其各成分及含量见表3.1-6。表3.1-6光刻胶组分及含量表原料名称组分质量百分比（%）酚醛树脂45丙二醇醚酯30光刻胶丙酮15丁酮5其他5④项目使用的其他原辅材料的理化性质项目使用的其他原辅材料的理化性质见表3.1-6。表3.1-6项目使用的其他原辅材料的理化性质一览表名称分子式结构式理化性质危险特性急救措施3·氢氟酸是氟化氢气体的LC50：510mg/m，2·皮肤接触：立即脱去污水溶液，清澈，无色、发小时(大鼠吸入)染的衣着，用大量流动清烟的腐蚀性液体，有剧烈IDLH：30ppm(按F计)水冲洗，继用2％～5％氢氟刺激性气味。吸入高浓度的氢氟酸碳酸氢钠冲洗，后用10％HFH—F酸·熔点：83.3℃酸雾，引起眼和上呼氯化钙液湿敷，就医。·沸点：19.54℃吸道刺激症状，也可·眼睛接触：立即提起眼·闪点：112.2℃引起支气管炎和出血睑，用大量流动清水或生·密度：1.15g/cm³性肺水肿理盐水、3％碳酸氢钠、30苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书·易溶于水、乙醇，微溶于眼接触可引起灼伤，氯化镁彻底冲洗10～乙醚重者失明15min，就医。·第8.1类酸性腐蚀品·吸入：迅速脱离现场至(81016)空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。呼吸、心跳停止，立即进行心肺复苏术，就医·食入：用水漱口，给饮牛奶或蛋清。可口服乳酸钙或石灰与水或牛奶混合溶液，就医。·职业接触限值：3·皮肤接触：立即脱去污PC-TWA1mg/m；3PC-STEL2mg/m(G1)染的衣着，用大量流动清IDLH：15mg/m3水冲洗20～30min，立刻·纯品为无色油状液体。工·急性毒性：大鼠经口就医。业品因含杂质而呈黄、棕LD502140mg/kg；大·眼睛接触：立即提起眼等色。与水混溶，同时产鼠吸入LC50睑，用大量流动清水或生生大量热，会使酸液飞溅510mg/m3(2h)理盐水彻底冲洗伤人或引起飞溅。与碱发·对皮肤、黏膜等组织10-15min，立刻就医。硫酸H2SO4/生放热中和反应有强烈的刺激和腐蚀·吸入：迅速脱离现场至·熔点：10.5℃作用空气新鲜处。保持呼吸道·沸点：330.O℃·皮肤和眼接触引起严通畅。如呼吸困难，给输·相对密度：1.83(98.3％)重灼伤，氧。呼吸、心跳停止，立·第8.1类酸性腐蚀品·食入引起消化道灼伤即进行心肺复苏术，立刻(81007)·吸入硫酸雾引起眼和就医。呼吸道刺激，重者引·食入：用水漱口，给饮起支气管炎、肺炎和牛奶或蛋清，立刻就医。肺水肿·职业接触限值：3·无色或浅黄色透明液体，MAC7.5mg/m有刺鼻的酸味。工业品含IHLD：50ppm·皮肤接触：立即脱去污氯化氢≥31％，在空气中·对皮肤和黏膜有强刺染的衣着，用清水彻底冲发烟。与水混溶,与碱发生激性和腐蚀性洗皮肤眼睛接触：提起眼放热中和反应·接触盐酸烟雾后迅速睑，用流动清水或生理盐盐酸HCIH—CI·沸点：108.58℃(20.22％)出现眼和上呼吸道刺水冲洗。就医·相对密度：1.10(20％)；激症状，可发生喉痉·吸入：脱离现场至空气1.15(29.57％)；挛、水肿和化学性支新鲜处。就医1.20(39.11％)气管炎、肺炎、肺水·食入：饮水，以手指探第8.1类酸性腐蚀品肿咽部催吐。就医(81013)·眼和皮肤接触引起化学性灼伤·无色透明液体，有芳香·职业接触限值：·皮肤接触：立即脱去污3味，极易挥发。与水混溶。PC-TWA300mg/m；染的衣着，应用2％硼酸3与硝酸、过氧化氢等强氧PC-STEL450mg/m液或大量清水彻底冲洗。丙酮C3H60化剂发生剧烈反应，形成·IDLH：2500ppm就医不稳定的、具有爆炸性的·急性毒性：大鼠经·眼睛接触：立即提起眼过氧化物LD505800mg/kg；兔经睑，用大量流动清水或生·沸点：56.5℃皮LD508000mg/kg理盐水彻底冲洗10～苏州科太环境技术有限公司31 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书·相对密度：0.80·可经呼吸道、胃肠道15min。就医·闪点：-20℃和皮肤吸收，对中枢·吸入：迅速脱离现场至·爆炸极限：2.5％～13.0％神经系统有麻醉作空气新鲜处。保持呼吸道·第3.1类低闪点易燃液用，对黏膜有刺激性通畅。如呼吸困难，给输体(31025)·急性中毒出现乏力、氧。呼吸、心跳停止，立恶心、头痛、头晕、即进行心肺复苏术。就医容易激动。重者发生呕吐、气急、痉挛，甚至昏迷。对眼、鼻、喉有刺激性。口服后，口唇、咽喉有烧灼感，后出现口干、呕吐、昏迷、酸中毒和酮症毒性分级微毒类急性毒性口服大鼠无色透明液体，有似乙醇LD50:5840毫克/公和丙酮混合物的气味，能斤；口服-小鼠与醇、醚、氯仿和水混溶，LC50:3600毫克/公能溶解生物碱、橡胶、虫斤，家兔经皮LD5为操作人员应戴防毒面具，异丙胶、松香、合成树脂等多16.4ml/kg刺激数据C3H8O浓度高时应戴气密式防醇种有机物和某些无机物，眼睛-兔子100毫克/护眼镜。与水形成共沸物，不溶于公斤。盐溶液。常温下可引火燃高浓度蒸气具有明显烧，其蒸汽与空气混合易麻醉作用，对眼、呼形成爆炸混合物。吸道的黏膜有刺激作用，能损伤视网膜及视神经。·单纯性窒息性气体·在高浓度时，由于空气中氧分压降低引起缺氧性窒息。在很高·无色、无臭的气体。很难的分压下，呈现出麻液化。液态氢无色透明。醉作用·吸入：迅速脱离现场至·极易扩散和渗透。·氢气占4%至74%的空气新鲜处。保持呼吸道·微溶于水浓度时与空气混合或氢气H2H—H通畅。如呼吸困难，给输·气体相对密度：0.07占5%至95%的浓度氧。呼吸、心跳停止，立·爆炸极限：4％～75％时与氯气混合时是极即进行心肺复苏术。就医·第2.1类易燃气体易爆炸的气体在热、(21001)日光或火花的刺激下易引爆。氢气的着火点为500°C。纯净的氢气与氧气的混合物燃烧时放出紫外线。·黄绿色有刺激性气味气·职业接触限值：·皮肤接触：立即脱去污体。3染的衣着，用大量流动清MAClmg/m·熔点：-101℃·急性毒性：大鼠吸入水冲洗。就医3·沸点：-34.5℃LC50850mg/m(1h)·眼睛接触：提起眼睑，氯气C12/·蒸汽压：·IDLH:10ppm用流动清水或生理盐水506.62kPa(10.3℃)·剧毒。具有强烈刺激冲洗,就医·相对密度(水=1):1.47性·吸入：迅速脱离现场至·相对密度(空气=1):2.48·经呼吸道吸入，引起空气新鲜处。如呼吸困32苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书·易溶于水、碱液气管-支气管炎、肺炎难，给输氧。呼吸、心跳·第2.3类有毒气体(23002)或肺水肿停止，立即进行心肺复苏·吸入极高浓度氯气，术,就医可引起喉头痉挛窒息而死亡；也可引起迷走神经反射性心跳骤停．出现“电击样”死亡·可引起急性结膜炎,高浓度氯气或液氯可引起眼灼伤·液氯或高浓度氯气可引起皮肤暴露部位急性皮炎或灼伤·普通大气压下无毒。高浓度时，使氧分压降低而发生窒息。·氩浓度达50%以上，引起严重症状;75%以·泄漏时立即切断气源，上时，可在数分钟内·无色无臭的惰性气体迅速撤离泄漏污染区，处死亡。·蒸汽压理泄漏事故人员戴自给·当空气中氩浓度增高202.64kPa(-179℃)正压式呼吸器，处理液氩时，先出现呼吸加速，·熔点:-189.2℃;应配带防冻护具。若气瓶注意力不集中，共济·沸点:-185.7℃泄漏而无法堵漏时，将气氩气Ar/失调。继之，疲倦乏·溶解性:微溶于水瓶移至空旷安全处放。力、烦躁不安、恶心、·密度:相对密度(水=1)：·一般不需特殊防护，但呕吐、昏迷、抽搐，1.40(-186℃)当作业场所空气中氧气以致死亡。·相对密度(空气=1)：1.38浓度低于18%时，必须佩·液态氩可致皮肤冻·稳定性:稳定戴空气呼吸器、氧气呼吸伤;眼部接触可引起炎器或长管面具症。·毒理学资料及环境行为危险特性:若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险·呼吸系统一般不需特殊防护；当作业场所空气中·无色无臭气体氧气浓度低于18%时，必·熔点：-209.8℃须佩戴空气呼吸器、氧气·沸点：-195.6℃呼吸器或长管面具；进入·蒸汽压：罐、限制性空间或其它高1026.42kPa(-173℃)，浓度区作业，须有人监氮气N2//·相对密度(水=1)：护。0.81(-196℃)，相对密度·迅速脱离现场至空气新(空气=1)：0.97鲜处。保持呼吸道通畅。·微溶于水、乙醇。如呼吸困难，给输氧。呼·第2.2类不燃气体(22005)吸心跳停止时，立即进行人工呼吸和胸外心脏按压术。就医。苏州科太环境技术有限公司33 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书·职业接触限值：3PC—TWA20mg/m；3PC—STEL30mg/m·IDLH：300ppm·皮肤接触：立即脱去污·急性毒性：大鼠吸入染的衣着，应用2％硼酸·无色有刺激性恶臭的气3LC501390mg/m液或大量清水彻底冲洗。体。·强烈的刺激性气体，就医·熔点：-77.7℃对眼和呼吸道有强烈·眼睛接触：立即提起眼·沸点：-33.5℃刺激和腐蚀作用睑，用大量流动清水或生蒸汽压：·急性氨中毒引起眼理盐水彻底冲洗10～氨NH3506.62kPa(4.7℃)，和呼吸道刺激症状，15min。就医·相对密度(水=1)：支气管炎或支气管周·吸入：迅速脱离现场至0.82(-79℃)围炎，肺炎，重度中空气新鲜处。保持呼吸道·相对密度(空气=1)：0.6毒者可发生中毒性肺通畅。如呼吸困难，给输·易溶于水、乙醇、乙醚。水肿。可因喉头水肿氧。呼吸、心跳停止，立·第2.3类有毒气体(23003)和呼吸道黏膜坏死脱即进行心肺复苏术。就医落引起窒息。高浓度氨可引起反射性呼吸和心搏停止·可致眼和皮肤灼伤·职业接触限值：·皮肤接触：立即脱去污3PC-TWA1.5mg／m染的衣着．用大量流动清·IDLH：75ppm水冲洗20～30min。就医·无色透明液体，有微弱·急性毒性：大鼠经·眼睛接触：立即提起眼的特殊气味。工业品分为口睑，用大量流动清水或生27.5％．35.0％和50.0％LD50376mg/kg(H20290理盐水彻底冲洗10～双氧三种规格。溶于水％)；大鼠经皮15min。就医H202/水·熔点：-0.43℃LD504060mg/kg(H2029·吸入：迅速脱离现场至·沸点：150.2℃0％)空气新鲜处。保持呼吸道·相对密度：l.46·蒸气或雾对眼和呼通畅。如呼吸困难，给输·5.1类氧化剂吸道有刺激性氧。呼吸、心跳停止，立·眼直接接触液体可即进行心肺复苏术。就医致灼伤。误服可发生·食入：饮水，禁止催吐。胃扩张，腐蚀性胃炎就医·吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道·无色气体，有甜味通畅。就医。·熔点：-90.8℃·呼吸系统防护:一般不·沸点：-88.5℃需特殊防护。高浓度接触一氧·蒸汽压：3时可佩戴自吸过滤式防化二L50:1068mg/m，4小N2O/506.62kPa(-58℃)毒面具(半面罩)。氮（笑时(大鼠吸入)·相对密度(水=1)：1.23，·眼睛防护:一般不需特气）相对密度(空气=1)：1.52殊防护。·第2.2类不燃气体·身体防护:穿一般作业(22017)工作服。·手防护:戴防化学品手套。·无色无臭气体迅速脱离现场至空气新四氟·熔点：-183.6℃鲜处。保持呼吸道通畅。CF4/化碳·沸点：-128.0℃如呼吸困难，给输氧。如·蒸汽压：呼吸停止，立即进行人工34苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书13.33kPa(15.07℃)呼吸。就医·相对密度(水=1)1.61(-130℃)·不溶于水·第2.2类不燃气体(22033)·眼接触:硅烷会刺激·热灼伤:由于硅烷泄漏引眼睛。硅烷分解产生起人员灼伤时应由受过无定型二氧化硅。眼培训的人员进行急救，并睛接触无定型二氧化立即寻求医疗处理。硅颗粒会引起刺激。·眼睛接触:立即用水冲洗·吸入:1.吸入高浓度的最少15分钟，水流不要硅烷会引起头痛、恶太快，同时翻开眼睑。立心、头晕并刺激上呼·无色气体，有恶臭即寻求眼科处理。吸道。2.硅烷会刺激呼·熔点：-185℃·吸入:将患者尽快移到空吸系统及粘膜。过度·沸点：-112℃气清新处。如有必要由受吸入硅烷会引起肺炎硅烷SiH4·闪点<-50℃过培训的人员进行输氧和肾病，这是由于存·相对密度(水=1)：0.68或人工呼吸。在结晶二氧化硅的原·溶于苯、四氯化碳。·皮肤接触:1.用大量的水因。3、暴露于高浓度·第2.1类易燃气体(21050)冲洗最少15分钟。脱掉气体中还会由于自燃已暴露在硅烷中或被污而造成热灼伤。染的衣服，小心不要接触·皮肤接触:硅烷会刺到眼睛。激皮肤。硅烷分解产2.如果患者有持续的刺生无定型二氧化硅，激感或其他进一步的健皮肤接触无定型二氧康影响需立即进行医疗化硅颗粒会引起刺处理激。·吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道·有毒气体，长期在低通畅。如呼吸困难，给输浓度环境中作业主要·性状：常温常压下为无色氧。如呼吸停止，立即进表现为头痛、乏力、气体。有大蒜气味，且剧行人工呼吸。就医。恶心、呕吐、哆嗦等，毒可燃。·灭火方法：消防人员必较重者有多发性神经·熔点（ºC）：-113须佩戴过滤式防毒面具炎，常伴有贫血。在砷烷AsH3·沸点（ºC，常压）：58.5(全面罩)或隔离式呼吸空气中可燃限4.5%～·溶解性：微溶于水和有机器、穿全身防火防毒服，64%（体积）溶剂，易与高锰酸钾，溴在上风处灭火。切断气·吸入：大鼠LC50：和次氯酸钠等溶剂起反3源。若不能立即切断气390mg/m/10min；吸应，生成砷的化合物。源，则不允许熄灭正在燃入-小鼠LC50：3烧的气体。喷水冷却容250mg/m/10min器，可能的话将容器从火场移至空旷处。·职业接触限值：MAC30.3mg/m，·无色气体。有类似大蒜的IDLH:50ppm·吸入：迅速脱离现场至气味。微溶于冷水·急性毒性：大鼠吸入空气新鲜处。保持呼吸道·气体相对密度：1.173磷烷PH3LD5015.3mg/m(4h)通畅。如呼吸困难，给输·爆炸极限：1.8％～98％·磷化氢主要损害神经氧。呼吸、心跳停止．立·2.3类有毒气体系统、呼吸系统、心即进行心肺复苏术。就医脏、肾脏及肝脏3·10mg/m接触6小时，苏州科太环境技术有限公司35 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书有中毒症状；409-8463mg/m时，0.5～l小时发生死亡·在常温常压下为无色透明有毒液体。·熔点：-15.8℃，沸点：55.8℃，闪点：-18℃三甲基镓的燃烧产·蒸气压：37.0kPa(30℃)，物，能刺激和腐蚀眼、液体密度(15℃，100kPa)：皮肤和呼吸道黏膜，31151kg/m，气体密度：损伤支气管、肺和肾，3三甲Ga(CH34.0kg/m。严重时可引起肺水/基镓)3·在已烷、庚烷等脂肪族饱肿。三甲基镓接触皮和烃和甲苯、二甲苯等芳肤能引起组织破坏和香族烃中以任何比例相烧伤。吸入高浓度3溶，与水激烈反应放出甲（15mg/m）气体会中烷气。在空气中易氧化，毒。在室温自燃，燃烧时发出金属氧化物白烟。高温时自行分解。·在常温常压下为无色透明具有特殊臭味的升华性·接触大量三甲基铟及其无色结晶。副产品后应立即就医。·熔点：89℃，沸点：具有毒性、对眼睛、·皮肤接触：立即用肥皂135.8℃，蒸气压：三甲In(CH3)呼吸道有刺激性，可和水清洁三甲基铟，立即0.960kPa(30℃)。基铟3致肺水肿，皮肤接触就医·与己烷、庚烷等脂肪族饱可被灼伤。·眼睛接触：立即用大量和烃，甲苯、二甲苯等芳清水冲洗15分钟，立即香族烃以任意比例相溶。就医遇冷水部分水解放出甲烷气体。空气中自燃。·现场操作人员应戴口罩、防护眼镜及手套。·无色透明油状液体，微有·大鼠口服LD50:3914·呼吸系统防护：高浓度胺的气味。能与水、醇、mg/kg;小鼠口服环境中应该佩带防毒面甲基C5H9N醚、酯、酮、卤代烃、芳LD50:5130mg/kg具。紧急事态抢救或逃生吡咯O烃和蓖麻油互溶。挥发度·遇明火、高温、强氧时佩带自给式呼吸器。烷酮低，热稳定性、化学稳定化剂可燃;受热分解·眼睛防护：戴化学安全性均佳，能随水蒸气挥发。有毒氧化氮气体防护眼镜。·身体防护：穿相应的防护服。3.1.5主要生产设备本项目主要生产设备见表3.1-7。表3.1-7项目主要生产设备一览表序号设备名称数量备注1MOVEP有机金属气相沉积反应炉8进口设备36苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书2PL光激量测仪5进口设备3EL电激量测仪3进口设备4金相显微镜8进口设备5金属磁控溅射镀膜机3进口设备8蚀刻机3进口设备11高温合金炉3进口设备13等离子体增强化学的气相沉积设备（PECVD）2进口设备14低温合金炉2国内设备18抛光机6进口设备19清洗机3国内设备20激光切割机7进口设备21裂片机7进口设备22扩片机3进口设备23均质机3进口设备25烘箱2进口设备26积分球测机10进口设备27点测机93进口设备28计量机1进口设备29有机金属气相沉积设备（MOCVD）8进口设备3.1.6公用工程㈠给水⑴水源本项目用水来自市政供水管网，供水管径800mm，出厂水压5.8kg，满足本项目生活、生产、消防用水需要。⑵给水工程①新鲜水系统33本项目生产用水量为1016.25m/a，其中主要用水为生产使用纯水用水900m/a。新鲜水依托市政供水管网供给，项目所在地给水系统采用生产、生活、消防等合用环状给水管网，和市政供水管网相连。②消防水系统消防用水由市政给水管网供给，压力为0.2～0.3MPa，室外消防用水量为25L/s、室苏州科太环境技术有限公司37 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书内消防用水量为10L/s。③纯水制备系统一期设有纯水站，供整个入孵化平台驻企业生产使用，纯水站采用RO反渗透工艺3进行纯水制备，制备能力为30m/h，以满足生产中冲洗、显影脱膜使用纯水的需要。平3台纯水站暂未向其他企业提供纯水，本项目生产过程中纯水的最大需求量约为20m/d，则平台纯水站的制备能力可满足本项目的需求量，故本项目生产中所需的纯水可依托一期纯水站供给。㈡排水项目生产废水依托一期污水处理站处理达标后排入市政污水管网，进入西安市第七污水处理厂，最终排入太平河；生活污水依托一期化粪池处理后排入市政污水管网，进入西安市第七污水处理厂进行处理，最终排入太平河。㈢供电电源：项目引10kV专线，作为本项目的电源，双回路供电。西安市高新区的供电电缆现已引至项目区，无需架线引入。厂内配供电：设800kV节能变压器一台；场区内设变电室，配置相应的进线柜、电容柜、配电柜等设备。变电室高压侧设避雷专柜，库区设避雷针或避雷带保护，所有电气设备的金属外壳均应可靠接地，接地电阻不大于10欧姆。㈣供暖本项目冬季依托市政集中供暖。㈤制冷本项目夏季制冷采用分体空调制冷。3.1.7平面布置及厂区周边现状为打造完整的光电子集成产业链条，陕西光电子集成电路先导技术研究院有限责任公司（简称“先导院”）与控股单位西安中科光机投资控股有限公司（简称“光机所”）在西安市高新区上林苑一路15号携手打造光电子集成孵化平台，该平台分三期建设，一期已基本建成，二期为本项目（目前为空地），三期正在筹划阶段（目前为空地），一期、二期、三期地理位置关系详见图1.1-1。本项目所在平台占地基本呈长方形，东邻丈八八路；西邻上林苑一路；南邻毕原二38苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书路；北邻毕原一路（具体四邻关系详见图3.1-2建设项目四邻关系图）。平台目前建设现状（即一期目前建设现状）为：以平台大门引出的东西向平台道路大体将其分为南北两个地块，南侧地块靠近平台入口处是员工活动中心（设有职工食堂和宿舍楼），其余均为绿化；北侧地块由东向西依次为A栋厂房、B栋厂房和污水处理站，污水处理站位于地块的西北角，其余占地均为绿化。污水处理站远离职工生活区，生产楼紧靠平台道路，方便原料及产品运输及职工出入，平台布置科学合理，在满足各企业生产需求的同时充分考虑平台的整体视觉效果。本项目主要建设1条半导体材料生产线（位于化合物芯片厂房一层）、3栋厂房（即半导体材料厂房、化合物芯片厂房、封装及模组厂房）、1栋宿舍楼和1座仓储区（包含仓库和气体储罐区），具体平面布置详见图3.1-3建设项目平面布置图。半导体材料厂房位于平台地块西侧居中位置。该厂房东临一期B栋厂房，南临三期空地，西临上林苑一路，北临一期污水处理站和本期气体储存仓库。化合物芯片厂房位于平台地块北侧居中位置。该厂房东临本期封装及模组厂房，南临一期B栋厂房，西临一期污水处理站，北临毕原一路。封装及模组厂房位于平台地块东北角位置。该厂房东临丈八八路，南临一期A栋厂房，西临本期化合物芯片厂房，北临毕原一路。宿舍楼位于平台地块东南角位置。该楼东临丈八八路，南临毕原二路，西临三期空地，北临一期员工活动中心。仓储区位于平台地块西北角位置。该仓储区东临一期污水处理站，南临本期半导体材料厂，西临上林苑一路，北临毕原一路。本项目总平面布置在满足工艺要求的前提下，尽量使生产流程顺畅，平面与空间布置力求合理紧凑。3.1.8劳动定员及工作制度本项目全厂定员300人，年工作时间为260天，每天工作8小时。苏州科太环境技术有限公司39 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书3.2影响因素分析3.2.1生产过程影响因素分析本项目主要建设半导体材料生产线1条，生产的产品主要为砷化镓外延片和磷化铟外延片，两种产品的生产工艺及设备均相同。3.2.1.1工艺流程及产污环节半导体材料生产线生产工艺为：外延生长—清洗---SiO2沉积----光刻---SiO2刻蚀---ICP刻蚀---去胶和清洗---金属电极沉积---抛光减薄---去蜡清洗---北面镀金---退火---切割---测试---目检---包装入库等工序。项目生产工艺产污节点及治理措施见表3.2-1，生产工艺流程及产污节点见图3.2-1。表3.2-1生产工艺产污节点及治理措施一览表类型编号产污节点主要污染物治理措施及去向W1清洗工序酸性废水W2SiO2刻蚀工序含氟废水依托一期污水处理站废水W3去胶、清洗工序有机废水处理后排入市政污水管网W4去蜡清洁有机废水G1外延生长工艺氨气碱性废气洗涤塔+15m排气筒（1#排气筒）G2外延生长工艺磷烷、砷烷Scrubber处理器+15m排气筒（2#排气筒）G3清洗工序硫酸雾、氯化氢酸性废气洗涤塔+30m排气筒（3#排气筒）G4SiO2沉积工序氮氧化物废气G5MESA光刻工序非甲烷总烃活性炭吸附+15m排气筒（4#排气筒）G6SiO2刻蚀工序HF含氟废气洗涤塔+15m排气筒（5#排气筒）G7ICP刻蚀工序氯气酸性废气洗涤塔+30m排气筒（3#排气筒）G8去胶、清洗工序非甲烷总烃活性炭吸附+15m排气筒（4#排气筒）40苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书G9去蜡清洁工序非甲烷总烃活性炭吸附+15m排气筒（4#排气筒）S1清洗工序酸性废液设废液收集桶收集后交有资质单位处理S2涂胶、软胶工序废光刻胶设废液收集桶收集后交有资质单位处理S3显影工序废显影液设废液收集桶收集后交有资质单位处理S4SiO2刻蚀含氟废液设废液收集桶收集后交有资质单位处理S5去胶、清洗工序有机废液设废液收集桶收集后交有资质单位处理固废S6抛光减薄工序废抛光液设专用桶收集后交有资质单位处理S7去蜡清洁工序有机废液设废液收集桶收集后交有资质单位处理S8测试不合格产品设专有容积收集并交由有资质单位处置S9目检不合格产品S10包装废包装材料收集后外售3.2.1.2工艺流程简介⑴外延生长工艺①外延生长的原理外延生长的基本原理是，在一块加热至适当温度的衬底基片上，气态物质Ga、N、In、Al、Mg有控制地输送到衬底表面，在衬底表面发生热分解反应，生长出具有特定组分、特定厚度、特定电学和光学参数的半导体薄膜外延材料。通过掺Si或掺Mg，生长N型与P型薄膜材料。本项目采用MOCVD设备完成外延生长。MOCVD机外延生长的过程为：本项目外延生长利用金属有机物气相反应器，采用晶体气相外延的方式，目的是在砷化镓衬底上长出磷化铟和砷化镓超晶格量子阱结构。通常金属有机物气相反应器中的生长都是在常压或低压下，被精确控制流量的反应源材料在载气的携带下被通入石英反应室中进行，衬底温度为500-1200℃，用电阻加热石墨基座（衬底基片在石墨基座上方）。MOCVD系统中衬底的加热方式主要有三种：射频加热，红外辐射加热和电阻加热，本项目外延炉为电阻加热方式。本项目MOCVD设备在停用时持续通入氮气用以驱除管道及设备中的空气。生产时，氢气通过温度可控的液体源鼓泡携带过量磷烷、砷烷、三甲基镓、三甲基铟到生长区，在衬底上发生表面反应后生长外延层，反应后残留的尾气被扫出反应室排至尾气处理系统处理。MOCVD系统包括控制单元、气控单元、反应室，具体见图3.2-2。苏州科太环境技术有限公司41 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书MO源控制单元PC机载气（H2和N2）气控单元反应式尾气处理大气特气衬底加热系统图3.2-2MOCVD系统示意图常用的MO源有TMGa(三甲基镓，液态)、TMAl（三甲基铝，液态）、TMIn（三甲基铟，固态）、TEGa（三乙基镓，液态）、Cp2Mg（二茂镁，固态）。MO源存放在固定MO源罐内，生产时将载气（H2、N2）通入MO源罐携带出MO源蒸汽后，再连同载气将反应物带入反应室内。本项目MO源采用TMGa(三甲基镓，液态)、TMIn（三甲基铟，固态）；外延片生产载气采用高纯度（99.9999%）的氢气和氮气；光外延片生产特气采用高纯度（99.99999%）NH3（气态）。控制单元：采用PC机对气控单元和反应室进行操控。气控单元：气体操作系统包括控制Ⅲ族金属有机源和V族氢化物源的气流及其混合物所采用的所有的阀门、泵以及各种设备和管路，用于气体的控制和输送。其中最重要的是对通入反应室进行反应的原材料的量进行精确控制的部分，主要包括对流量进行控制的质量流量控制计（MFC），对压力进行控制的压力控制器（PC）。气体反应物可用高压气体钢瓶经MFC精密控制流量，而固态或液态原料则需以高纯度氢气和氮气作为载体将反应物带入反应室内。本项目所用衬底为GaAs衬底，衬底放置在被加热的石墨基座上。反应室：反应室是MOCVD生长系统的核心组成部分，反应室的设计对生长的效果有至关重要的影响。不同的MOCVD设备的生产厂家对反应室的设计也有所不同。但是，最终的目的是相同的，即避免在反应室中出现离壁射流和湍流的存在，保证只存在层流，从而实现在反应室内的气流和温度的均匀分布，有利于大面积均匀生长。尾气处理系统：由于MOCVD系统中先参与反应的是氨气，再参与反应的是磷烷、42苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书砷烷。在氨气参与反应完成后先将过量的氨气（G1）引入碱性气体洗涤塔进行洗涤吸收处理后经15m排气筒（1#排气筒）达标排放；再进行磷烷、砷烷的反应，磷烷、砷烷在300℃左右会分解产生磷、砷和氢气，反应中过量的磷烷、砷烷部分分解，未分解的磷烷和砷烷经scrubber处理器处理后经15m排气筒（2#排气筒）达标排放。②外延生长工艺流程InP外延片生产外延生长工艺流程及产污环节图3.2-3所示，GaAs外延片生产外延生长工艺流程及产污环节图3.2-4所示。GaAs衬底GaAs衬底基片检查基片检查装片装片H2、N2清洁H2、N2清洁H2、N2、硅烷H2、N2、硅烷成核G1氨气成核G1氨气三甲基镓、氨气三甲基镓、氨气H2、N2、硅烷H2、N2、硅烷长N型长N型三甲基铟、磷烷三甲基镓、砷烷H2、N2、硅烷G2H2、N2、硅烷G2三甲基镓、磷烷长InGaAsP型磷烷、三甲基镓、磷烷长InGaAsP型磷烷、砷烷砷烷三甲基铟、砷烷三甲基铟、砷烷H2、N2、硅烷H2、N2、硅烷长P型长P型三甲基铟、磷烷三甲基镓、砷烷降温出片降温出片退火退火图3.2-3InP外延片外延生长工艺流程图图3.2-4GaAs外延片外延生长工艺流程图采用金属源（如三甲基镓TMG、三甲基铟TMIn）和以氨气为N源的原料，并混以氢气在外延炉内的高温高压无氧环境下完成外延生长过程，在外延生长过程中会产生一部分废气，即氨气（G1），磷烷、砷烷（G2）。苏州科太环境技术有限公司43 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书基片检查：用显微镜检查GaAs衬底有无瑕疵缺陷及杂质，检验合格的基片进入下一工序。装片：人工用镊子将检查后的GaAs衬底放置于基座上。清洁：将外延炉抽真空，然后把炉温升至1000℃左右（电阻加热方式）并通入N2、H2对GaAs衬底进行高温处理，以清洁其表面。成核：该工序是在GaAs衬底表面生长一层厚度20~30nm的缓冲层。炉温降温至550℃左右，用N2保护、H2作载体，使三甲基镓、氨气和硅烷（用于掺杂，不参与反应）反应生成GaN层，其反应方程式为：Ga(CH3)3+NH3→GaN+3CH4该工序利用大量氨气高温分解产生氮原子与三甲基镓反应生成氮化镓晶层，该过程在密闭的操作室内进行操作，每台设备都配有排风设施，将未过量的氨气（G1）引入洗涤塔进行洗涤吸收处理后经15m排气筒（1#排气筒）排放。长N型：InP外延片生产工艺该工序：在缓冲层表面生长一层约4μm厚的N型InP，此层主要为有源层，提供辐射复合电子。将炉温升至900℃左右，用N2保护、H2作载体，使三甲基铟、磷烷、硅烷（用于掺杂，不参与反应）反应生成InP的N电极层。其反应方程式为：2In(CH3)3+2PH4→2InP+6CH4+H2GaAs外延片生产工艺该工序：在缓冲层表面生长一层约4μm厚的N型GaAs，此层主要为有源层，提供辐射复合电子。将炉温升至900℃左右，用N2保护、H2作载体，使三甲基镓、砷烷、硅烷（用于掺杂，不参与反应）反应生成GaAs的N电极层。其反应方程式为：2Ga(CH3)3+2AsH4→2GaAs+6CH4+H2长InGaAsP型：生长一套有源区(MQW)，其成分是InGaAsP，是主要的发光层，光强和波长主要由此层决定。炉温降低，用N2保护、H2作载体，使三甲基镓、三甲基铟、磷烷、砷烷、硅烷（用于掺杂，不参与反应）反应生成InGaAsP层，其反应方程式为：Ga(CH3)3+In(CH3)3+PH4+AsH4→InGaAsP+6CH4+H2长P型：InP外延片生产工艺该工序：生长一层P型InP层，此层主要为有源层，提供辐射复合空穴。将炉温升至900℃左右，用N2保护、H2作载体，使三甲基铟、磷44苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书烷、硅烷（用于掺杂，不参与反应）反应生成InP的P电极层。其反应方程式为：2In(CH3)3+2PH4→2InP+6CH4+H2GaAs外延片生产工艺该工序：生长一层P型GaAs层，此层主要为有源层，提供辐射复合空穴。将炉温升至900℃左右，用N2保护、H2作载体，使三甲基镓、砷烷、硅烷（用于掺杂，不参与反应）反应生成GaAs的P电极层。其反应方程式为：2Ga(CH3)3+2AsH4→2GaAs+6CH4+H2长N型、长InGaAsP型、长P型工序中使用磷烷、砷烷。磷烷、砷烷在300℃左右会有部分分解生成磷、砷和氢气，反应中过量的磷烷、砷烷部分分解，本项目按最不利情况考虑，即过量的磷烷和砷烷未分解；未分解的磷烷、砷烷（G2）全部经过scrubber处理器处理后经15m高排气筒（2#排气筒）外排。该工序还会使用少量硅烷，用于掺杂，不参与反应，大部分随反应物进入产品，有极少量的硅烷废气产生，随磷烷、砷烷一起经scrubber处理器处理后经15m高排气筒（2#排气筒）外排，本次评价对其不进行定量分析，忽略不计。降温出片：外延材料生长时炉内温度较高，因此生长结束后需将外延片进行自然降温冷却。退火：合金炉经氮气吹扫，用红外加热至300~500℃，对外延片进行热处理。⑵清洗清洗工序是在不破坏外延片表面特性的前提下，有效的使用化学溶液清除外延片表面的各种残留污染物。将外延片按要求依次放入酸洗槽（酸洗液由98%硫酸、37%盐酸、双氧水、纯水按照一定比例配制而成）、冲洗槽（纯水）进行清洗。清洗干净并用氮气吹干后进入下一道工序。酸洗操作温度85℃，电加热，清洗方式为浸泡3分钟。外延片酸洗后送入冲洗槽用纯水冲洗，将其表面粘附的酸洗液冲洗干净，本项目冲洗槽清洗方式为常温下使用纯水对外延片进行冲洗清洁。该工序使用37%的盐酸、98%硫酸、双氧水和纯水进行清洗，清洗过程中会有酸性气体及酸雾（G3）、酸洗废水（W1）及酸洗废液（S1）产生。有酸性气体及酸雾（G3）经酸性废气洗涤塔洗涤吸收处理后于30m高排气筒（3#）排放；酸洗废水（W1）依托一期污水水处理站处理；含酸洗废液（S1）设专用容器收集后交有资质单位处理。⑶SiO2沉积苏州科太环境技术有限公司45 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书利用PECVD设备在整个外延层表面淀积一层氧化硅薄膜，对器件起到保护的作用。其原理是利用10%的硅烷（SiH4）热分解得到硅外延生长的技术。先将PECVD设备腔体抽至低压，再流进特定气体(10%SiH4和笑气)，并将腔体控制在特定压力下，温度约设定200~300℃，以设备自带的射频产生器来产生电浆，使存在于空间中的气体被活化而可以在更低的温度下制成硅氧化层薄膜，产生的氮气和氢气也被带入氧化硅薄膜中。本项目淀积过程是硅烷与笑气反应生成氧化硅淀积在器件表面，其化学反应方程式分别为：SiH4+2N2O→SiO2+2N2+2H2该工序会有废气产生，主要是未完全反应的硅烷和过量的一氧化二氮（以氮氧化物计），硅烷产生量极少，可忽略不计，则沉积废气的主要成分为氮氧化物（G4），经酸性废气洗涤塔洗涤吸收处理后于25m高排气筒（3#）排放。⑷光刻经SiO2淀积后，整个外延层都被SiO2保护住，露出P、N两电极，需对电极上方的SiO2刻蚀。光刻包括：涂胶、软烤、曝光、显影。A涂胶、软胶：经SiO2淀积后的外延片需先在表面均匀涂上一层光刻胶，光刻胶主要由对光与能量非常敏感的高分子聚合物和有机溶剂组成，前者是光刻胶的主体，主要成分为酚醛树脂、丙二醇醚酯等，后者是光刻胶的介质，主要成分为丙酮、丁酮等，由于光刻胶涂层很薄，为了使涂覆的光刻胶层绝对均匀，涂覆的方法是让外延片旋转，光刻胶的涂敷是用转速和旋转时间可自由设定的匀胶机来进行的。首先，用真空吸引法将外延片吸在匀胶机的吸盘上，将具有一定粘度的光刻胶滴在基片的表面，然后以设定的转速和时间匀胶。由于离心力的作用，光刻胶在外延片表面均匀地展开，多余的光刻胶被甩掉并回收使用，会产生部分不可回用的废光刻胶（S2），获得一定厚度的光刻胶膜，光刻胶的膜厚是由光刻胶的粘度和匀胶的转速来控制。涂胶过程中会有部分光刻胶被离心力带出基片，这些光刻胶由于纯度已不能达到工艺要求，因此只能作为废物（S2废光刻胶）处置。为了使光刻胶附着在外延片表面，涂胶后要进行软烤，在80℃左右的烘箱中、惰性气体环境下烘烤15~30分钟，去除光刻胶中的溶剂。光刻胶中的有机溶剂挥发成有机废气（以非甲烷总烃计），光刻胶中的高分子聚合物作为涂层牢固地附着在基质的表面。B曝光：在掩模版的遮蔽下，对光刻胶进行曝光，使光刻胶发生化学反应。46苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书C显影：显影在常温下进行，方式为将曝光后的外延片浸在显影液（显影液的主要成分是甲醇、对苯二酚等）中60秒。则正光刻胶的曝光部分被溶解，该工序会产生废显影液（S3）。光刻工序中涂胶、软胶、曝光及显影等过程均有机废气（G5）产生，主要成分为丙酮、丁酮、甲醇、对苯二酚等，以非甲烷总烃（G5）计，经活性炭处理装置收集处理后于15m排气筒（4#排气筒）排放。⑸SiO2刻蚀将外延片浸在刻蚀液（氢氟酸）中，对未有光刻胶保护的SiO2进行腐蚀刻蚀，目的是为了去除外延片凸起的二氧化硅层，仅剩凹槽中的二氧化硅层。SiO2刻蚀使用HF刻蚀液，其蚀刻反应式为：SiO2+4HF→SiF4+2H2OSiF4与氢氟酸生成氟硅酸（六氟合硅酸），反应方程式：SiF4+2HF→H2SiF6该工序会产生HF废气（G6）、含氟废水（W2）、含氟废液（S4）；HF废气（G6）经含氟废气洗涤塔处理后经15m排气筒（5#排气筒）排放；含氟废水（W2）依托一期污水水处理站处理；含氟废液（S4）设专用容器收集后交有资质单位处理。⑹ICP刻蚀对SiO2刻蚀的区域进一步用气体刻蚀方式去除不需要的P电极部分，露出基质InP部分。ICP蚀刻即气体刻蚀，反应气主要有氯气、氩气。Cl2、刻蚀原理是在射频作用下产生高能等离子体，同InP反应达到刻蚀效果，生成挥发性的InClx，生成的挥发性氯化铟等被泵抽离反应腔体。反应方程式为：InP+Cl→InClx，（x=1，2，3）氩气主要是物理轰击功效，用量很少，同时Cl2也有物理轰击功效。因此气体刻蚀步骤产生的大气污染物主要为氯化物（未完全反应的Cl2和反应生成的InClx），结合排放标准及排放量，气体刻蚀步骤的大气污染物考虑Cl2（G7），经酸性废气洗涤塔+30m排气筒（3#排气筒）排放。⑺去胶和清洗经刻蚀完成以后，需去外延片表面的光刻胶。去胶步骤为：先将外延片浸泡在装有NMP的1.5L容器中，浸泡5min，然后放入苏州科太环境技术有限公司47 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书丙酮、异丙醇等有机溶剂按一定比例配制溶液中，于清洗槽中进一步去除外延片表层的光刻胶，去胶后再放入冲洗槽用高纯水清洗。丙酮去胶操作温度40℃，使用电加热，操作方式为使用超声波清洗，清洗去胶时间5分钟，用于去除表面有机物。异丙醇去胶在常温条件下进行，操作方式为浸泡2分钟，用于去除残留丙酮。最后对晶片表面残留的显影液进行清洗，清洗分三次，第一次、第二次清洗是将晶片放入纯水烧杯中进行蘸洗；第三次清洗采用水管进行冲洗，清洗工艺示意图见图3.2-3。清洗后采用氮气将基片表面的残留液体吹干。图3.2-3清洗工序示意图该工序浸泡、第一次蘸洗、第二次蘸洗产生的废有机液（S5）设废液收集桶收集后交有资质单位处理，第三次清洗废水（W3）依托一期的污水处理站处理。此外，该工序使用丙酮、异丙醇等有机溶物，会产生有机废气，主要成分为丙酮、异丙醇等，以非甲烷总烃（G6）计，经活性炭处理装置收集处理后于15m排气筒（4#排气筒）排放。后续工艺中的去胶和清洗操作流程与此步骤相同，不再重复说明。清洗完的外延片重复进行SiO2沉积—光刻（含涂胶、软烤、曝光、显影）—SiO2刻蚀—去胶清洗—光刻，所用物料及工艺与前文所述步骤相同，不同之处在于所使用的光掩模板不同，此处不再重复说明。⑻金属电极沉积第三次光刻后，采用金属磁控溅射镀膜机进行镀金，其原理是：电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜。48苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书本项目镀金靶材为金，此工序仅仅是物理加工，不发生化学反应。沉积后仍需进行去胶和清洗，步骤同⑺。⑼抛光减薄外延片经上述操作处理后，其厚度在352μm左右，需要通过抛光机将基片厚度减薄至102μm，使外延片易于切割，提高器件的可靠性。本项目使用钻石抛光液在抛光机上通过机械抛光的方式对外延片进行抛光减薄。抛光时，抛光液从抛光机上部滴至外延片上，并从下部排出，废抛光液（S6）设专用桶收集后交有资质单位处理。⑽去蜡清洗抛光后需对外延片进行去蜡清洗，即将外延片依次用丙酮、异丙醇进行去蜡清洁处理，然后用纯水冲洗。丙酮、异丙醇及水冲洗操作同前文所述。该工序会产生废有机液（S6）、有机废水（W4）和有机废气（G9，以非甲烷总烃）；废有机液（S6）设废液收集桶收集后交有资质单位处理；有机废水（W4）依托一期的污水处理站处理；有机废气（G9，以非甲烷总烃）经活性炭处理装置收集处理后于15m排气筒（4#排气筒）排放。⑾退火在合金炉里通Ar气，使晶圆先升温后降温，Ar起保护作用。⑿切割切割的主要是将减薄后的外延片在激光切割机上用激光划过一条沟道，划出每一个单独的管芯。划片后的外延片的在裂片机上，用适当的力量和刀具击打划痕以使外延片在划痕处裂开。最后在扩片机上将衬底张开。⒀测试用点测机、积分球测试机等检测设备对生产的外延片质量进行检查测试，并对不符合要求的芯片做出标记，该工序会产生不合格产品（S8）。⒁目检在显微镜下将外观不合格和做标记的芯片剔除，该工序会产生不合格产品（S9）。⒂包装、入库将目检过的芯片用包装膜包装后，计数并贴上有光电参数、产品规格等的标签，再交由成品库入库，该工序会产生废包装材料（S10）。苏州科太环境技术有限公司49 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书3.2.2公辅设施影响因素分析⑴公用辅助、储运工程产污环节本项目辅助工程主要为员工宿舍、办公室、污水处理设施，其中员工宿舍、办公室为本次新建项目；食堂及污水处理设施依托一期；公用工程主要为给排水、供电、供热及制冷，其中制冷、供暖采用商用多联机；储运工程主要为原料库房、化学品库、仓库及运输（原料库、成品库及化学品库均位于地块西北角的仓库内，与气体存储罐区紧邻），运输主要为社会物料、汽车运输。因此，本项目公用辅助、储运工程主要污染因素为职工的生活污水和生活垃圾。公用辅助、储运工程产污节点及治理措施见表3.2-2。表3.2-2公用辅助、储运工程产污节点及治理措施一览表污染类型编号排污节点主要污染物治理措施及去向废水W5职工生活生活污水化粪池固废S8职工生活生活垃圾设垃圾桶收集，交环卫部门统一清运⑵环保工程产污环节本项目环保工程产污环节主要为有机废气吸附产生的废活性炭（S9）、scrubber处理器处理废气中产生的吸收液（S10）、废气吸收塔排放的废水（W6）。废活性炭、吸收液均分别设临时堆放点，由专人收集后交有资质单位统一处理。3.2.3非正常工况影响因素分析本项目在车间开工时，首先运行所有的废气处理装置、除害装置和污水处理站，然后再开启车间的工艺流程，使在生产中所使用的各类化学品所产生的废气都能得到处理、废水也能排到废水处理站。车间停工时，所有的废气处理装置、除害装置和废水处理站继续运转，待工艺中的废气和废水排出之后才逐台关闭。这样，车间在开、停机时排出污染物均得到有效处理，经排气筒排出的污染物浓度和正常生产时基本一致。废气处理系统和排风机均设有保安电源，系统均为N+1配置（一备一用）且公司备用发电机，避免停电时造成废气处理系统无法启用。当废气处理设备出现故障时，工艺生产过程排放的废气将未经处理直接排入大气，造成非正常排放。故障一般能在2小时内修复。本项目车间排风系统均设有安全保护电源和报警系统，设备每年检修一次，基本上50苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书能保证无故障运行。日常运行中，若出现故障，检修人员可立即到现场进行维修，一般操作在10分钟内基本上可以完成，预计最长不会超过30分钟。废气处理系统出现故障，一般有3种情况：停电、洗涤塔、活性炭吸附和风机出现故障。本次评价非正常工况按废气处理装置均出现故障的最不利情况考虑，即废气处理效率为0的情况。针对生产异常情况，应采取以下措施：⑴如果全厂停电，停止生产，无污染物产生。为确保安全，风机仍然继续运转。⑵风机出现故障时，备用风机立即启动。⑶当某一废气洗涤塔出现故障时，可引到其他洗涤塔，此时液/气比发生变化，应操作调整pH参数及风机风量，必要时停止生产原料的供给。3.2.4环境风险因素识别根据《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ/169-2004）要求，对于涉及有毒有害和易燃易爆物质的生产、使用、贮运等新建、改建和技术改造项目应进行环境风险评价。本项目生产所用的原辅材料见表3.1-3，按照《危险化学品重大危险源辨识》（GB18218-2009）中的规定，本项目无重大危险源。本次评价不对该项目环境风险进行预测分析，只提出相关风险管理、防范要求和建议。3.2.6物料平衡本项目物料总平衡见表3.2-1。表3.2-1物料总平衡表输入输出GaAs衬底0.0600000磷化铟外延片0.4050000TMGa0.1584000砷化镓外延片0.2700000TMIn0.0288000氨0.0428800砷烷0.0570000磷烷0.0129600磷烷1.2960000砷烷0.0057600氨气0.9000000氯化氢0.0020000笑气0.5760000硫酸雾0.0052000硅烷（浓度0.2%）0.0000070酸洗废水102.0000000苏州科太环境技术有限公司51 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书硅烷（浓度10%）0.0000026酸洗废液25.8188000光刻胶0.6220000氮氧化物0.1152000显影液4.0000000非甲烷总烃3.7244000氢氟酸0.3430000废光刻胶0.0621000氯气0.0030000废显影液3.0001500丙酮19.1330000氟化物0.0004500异丙醇19.1330000含氟废水0.3471794纯水900.0000000含氟废液0.0875672NMP1.1400000氯气0.0001000金0.0350000有机废水771.5932940抛光液0.1200000有机废液42.4251690硫酸（浓度98%）0.7600000废抛光液0.2880000盐酸（浓度37%）1.4530000不合格产品0.2250000双氧水0.6130000----合计950.4312096合计950.43120963.3污染源强核算3.3.1水污染物本项目建成投产后废水来源主要为生产废水和生活污水。⑴生产废水本项目建成投产后引进的企业类型主要为半导体材料和芯片制造，根据建设单位提供的资料，引进的企业不产生生产废水。本项目产生的生产废水主要包括工艺酸碱废水、含氟废水、有机废水和废气洗涤塔排水等。本项目建设单位已从事多年光电子集成电路产品的制造生产，对生产工艺掌握精准，本次评价采用物料衡算分析并结合建设单位提供的数据资料计算得到各生产废水的产生量。本项目生产废水水质产生浓度详见表3.3-11。表3.3-11本项目废水水质产生浓度一览表废水产主要污染物浓度（mg/L）类别产污环节生量m3/apHCODBOD5SS氨氮氟化物清洗工序、酸性废气洗涤酸碱废水1803-5400802503600塔、碱性废气洗涤塔52苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书SiO2刻蚀工序、含氟废气含氟废水15.353-5350452500227.8洗涤塔去胶清洗工序、去蜡清洁有机废水771.596-750012045010工序合计/996.94--479112410680.36本项目生产废水依托平台一期污水处理站处理后排入市政污水管网，进入西安市第七污水处理厂进行处理，最终排入太平河。本项目生产废水水质详见表3.3-12。表3.3-12本项目生产废水水质情况一览表产生情况治理措施排放情况生产废水标准3污染物3量m/amg/m浓度mg/L产生量t/a工艺效率浓度mg/L排放量t/aCOD4790.463≥65%1680.162300BOD51120.108依托平≥80%220.022150台一期996.94SS4100.396≥85%620.059400污水处氨氮680.066理站≥70%200.02025氟化物0.360.003≥95%0.020.000220⑵生活污水本项目建成后预设职工40人，外租企业办公预计260人，根据按照陕西省地方标准发布通告2014年第9号（总第26号）《行业用水定额》（DB61/T943-2014）规定“机3关及科研院所”关中地区大城市为：70L/人·d，则项目生活用水量为21m/d，按照废水3量系数0.8取，则本项目生活污水排放量为16.8m/d。本项目生活污水水质情况详见表3.3-4。表3.3-4本项目生活污水水质情况一览表生活污水产生情况治理措施排放情况标准3污染物3量m/a浓度mg/L产生量t/a工艺效率浓度mg/L排放量t/amg/mCOD3501.529≥15%2981.302300BOD51700.743依托平≥15%1450.6331504368.00台一期SS4001.747化粪池≥20%3201.398400氨氮250.1090%250.109253.3.2大气污染物项目运营期主要为各生产工序产生的废气，包括外延生长工序产生的氨气（G1）、苏州科太环境技术有限公司53 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书磷烷、砷烷（G2），清洗工序产生的酸性废气（G3，主要污染物为氯化氢和硫酸雾），SiO2沉积工序产生的氮氧化物（G4），光刻工序、去胶清洗工序及去蜡清洁工序产生的非甲烷总烃（G5、G8、G9），SiO2刻蚀工序产生的氟化物（G6），ICP刻蚀工序产生的氯气（G7）。3.3.1.1有组织废气本项目有组织废气主要来自各生产工序。根据工艺流程与产污环节、物料平衡等分析结果，项目废气产生节点、治理措及产生情况见表3.3-1。表3.3-1本项目废气产生节点、治理措施及产生情况一览表生产线编号产污节点污染物产生量t/a治理措施及去向碱性废气洗涤塔+15G1氨气0.04288排气筒（1#）外延生长工序磷烷0.01296Scrubber处理器+15mG2砷烷0.00576排气筒（2#）酸性氯化氢0.00200G3清洗工序废气硫酸雾0.00520酸性废气洗涤塔+30m半导体材料生G4SiO2沉积工序氮氧化物0.11520排气筒（3#）产线G7ICP刻蚀工序氯气0.00010G5光刻工序非甲烷总烃1.12440活性炭吸附+15m排气G8去胶清洗工序非甲烷总烃1.95000筒（4#）G9去蜡清洁工序非甲烷总烃0.65000含氟废气洗涤塔+15mG6SiO2刻蚀工序氟化物0.00045排气筒（5#）本项目生产过程大部分在密闭环境中进行操作，且设备均设置有抽气装置，废气直接通过管道从设备腔体抽至废气处理装置，基本不会产生无组织排放的废气，故废气的捕集效率按100%计。根据建设单位提供的资料，各生产工序年工作时间均约为1500h，则本项目有组织废气产排情况见表3.3-2。表3.3-2有组织废气排放情况一览表排排放源产生情况排放情况气参数处理筒污染物高直温产生量浓度效率浓度编3速率kg/h排放量t/a3速率kg/h度径度t/amg/mmg/m号mm℃95%，-3-31#氨气0.042885.720.03处理风量2.14×100.291.43×10150.354035000m/h54苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书-5-3-5磷烷0.012968.640.010.05×100.35×100.03×1099.996%2#150.1525处理风量-5-3-5砷烷0.0428828.590.0330.17×101.14×100.11×101000m/h-3-3-5氯化氢0.002000.271.33×100.10×100.016.67×10-3-3-3硫酸雾0.005200.693.47×1095%，处理0.26×100.030.17×103#氮氧风量-3-3300.35250.1152015.360.085000m3/h5.76×100.773.84×10化物-3-5-3-5氯气0.000100.010.07×100.50×100.67×100.33×1090%，非甲烷4#3.72440248.292.48处理风量0.3724.830.25150.5025总烃310000m/h95%，-3-5-3-55#氟化物0.000450.060.30×10处理风量2.25×103.00×101.50×10150.352535000m/h3.3.1.2无组织废气本项目生产过程大部分在密闭环境中进行操作，且设备均设置有集气装置，废气直接通过管道从设备腔体抽至废气处理装置，故在生产过程中基本不会产生无组织排放的废气，本次评价按废气均有组织排放进行分析。3.3.3噪声本项目生产无高噪声设备，高噪声源主要来自风机、空压机及水泵等，声级在82～90dB（A），项目对噪声源采取隔声、减震措施，噪声源分布及控制措施见表3.3-5。3.3-5主要噪声源及治理措施数量治理前声压声源位置声源名称运行状况项目治理措施降噪效果（台）级dB(A)车间内水泵2间断85隔声、减振25车间外侧水泵2间断85隔声、减振20紧邻车间内风机4连续90隔声、减振20车间外空压机1间断90隔声、减振203.3.4固体废弃物本项目固体废弃物主要为生产固废和生活垃圾。苏州科太环境技术有限公司55 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书⑴生产固废根据本项目生产工艺，本项目生产固废主要来源于清洗工序产生的酸性废液（S1），涂胶软化工序产生的废光刻胶（S2），显影工序产生的废显影液（S3），SiO2刻蚀工序产生的含氟废液（S4），去胶清洗工序（S5），去蜡清洁工序（S,7）产生的废有机液，抛光减薄工序产生的废抛光液（S6），测试（S8）、目检（S9）工序产生的不合格产品、包装工序产生的不合格产品（S10），有机废气处理装置产生的废活性炭（S11）及scrubber处理器处理废气中产生的吸收液（S12）。⑵生活垃圾本项目，根据全国污染源普查手册，生活垃圾每天产生量按0.5kg/（人d）计，本项目职工人数共计300人，年工作220天，生活垃圾产生量为33t/a。根据工程分析中物料平衡及建设单位提供的经验数据，得出本项目工业、生活固体废物产生情况，见表3.3-6。⑶小结综上所述，本项目固体废弃物产排情况见表3.3-6。表3.3-6本项目固体废物源强表产生量编号名称固废性质危废类别废物代码处置措施最终去向(t/a)交有资质单位S1酸洗废液危险废物HW34废酸900-300-34设专有容器收集25.82处置HW13有机树交有资质单位S2废光刻胶危险废物900-014-13设专有容器收集0.06脂类废物处置HW16感光材交有资质单位S3废显影液危险废物397-001-16设专有容器收集3.00料废物处置HW32无机氟交有资质单位S4含氟废液危险废物900-026-32设专有容器收集0.09化物废物处置HW06废有机S5、交有资质单位有机废液危险废物溶剂与含有900-403-06设专有容器收集42.43S7处置机溶剂废物HW17交有资质单位S6废抛光液危险废物表面处理废346-099-17设专有容器收集0.29处置物S8、不合格产HW49其他废危险废物900-045-49设专有容器收集0.23回用于生产S9品物S11废活性炭危险废物HW06废有机设专有容器收集5.20交有资质单位溶剂与含有900-410-06处置S12吸收液危险废物机溶剂废物设专有容器收集0.30S10废包装材一般固废//设垃圾桶收集0.58出售56苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书料S13生活垃圾生活垃圾//设垃圾桶收集39t/a--苏州科太环境技术有限公司57 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书4环境现状调查与评价4.1自然环境现状调查与评价4.1.1地形、地貌与地质西安市境内海拔高度差异悬殊位居全国各城市之冠。巍峨峻峭、群峰竞秀的秦岭山地与坦荡舒展、平畴沃野的渭河平原界线分明，构成西安市的地貌主体。秦岭山脉主脊海拔2000－2800m，其中西南端太白山峰巅海拔3867m，是大陆中部最高山峰。渭河平原海拔400－700m，其中东北端渭河河床最低处海拔345m。西安城区便建立在渭河平原的二级阶地上。西安市的地质构造兼跨秦岭地槽褶皱带和华北地台两大单元。距今1.3亿年前燕山运动时期产生横跨境内的秦岭北麓大断裂，自距今约300万年前第三纪晚期以来，大断裂以南秦岭地槽褶皱带新构造运动极为活跃，山体北仰南俯剧烈降升，造就秦岭山脉。与此同时，大断裂以北属于华北地台的渭河断陷继续沉降，在风积黄土覆盖和渭河冲积的共同作用下形成渭河平原。项目所在地地势平坦，无地质灾害。4.1.2气候气象西安属于暖温带半湿润大陆性季风气候，四季分明，冬季寒冷、风小、多雾、少雨雪；春季温暖、干燥、多风、气候多变；夏季炎热多雨，伏旱突出，多雷雨大风；秋季凉爽，气温速降，秋淋明显。年平均气温13.0℃~13.7℃，最冷1月份平均气温-1.2℃~0.0℃，最热7月份平均气温26.3℃~26.6℃，年极端最低气温-21.2℃（蓝田1991年12月28日），年极端最高气温43.4℃（长安1966年6月19日）。年降水量522.4~719.5mm，由北向南递增。7月、9月为两个明显降水高峰月。年日照时数1646.1~2114.9h，年主导风向各地有差异，西安市区为东北风，周至、户县为西风，高陵、临潼为东东北风，长安为东南风，蓝田为西北风，全年平均风速为1.2m/s。气象灾害有干旱、连阴雨、暴雨、洪涝、58苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书城市内涝、冰雹、大风、干热风、高温、雷电、沙尘、大雾、霾、寒潮、低温冻害。4.1.3水文⑴地表水西安境内河网密集，共有54条河流。其中，渭河、泾河及石川河系过境河流，其余河流均发源于秦岭山地或骊东南丘陵，绝大多数河流由南向北流经渭河平原注入渭河。黄河流域面积占全市总面积的98.46％。本区地表水属渭河水系的沣河，位于项目西侧8.3km处。地表水体沣河属地表水Ⅳ类水域，本项目所在地纳污水体为太平河。渭河发源于甘肃省渭源县的鸟鼠山，流经宝鸡峡进入关中平原，沿途纳入一级支流11条，二级支流85条，三级支流84条。流经西安市境长度141.5km，属渭河中下游河段，纵向坡降平缓，横向摆动较大，河床宽阔，汛期河宽500～3000m，水流缓慢。年33平均径流量55.7亿m，最大年径流量（咸阳水文站）111.7亿m，最小年径流量20.723亿m，径流量波动比值5.4倍。每年7～9月丰水期径流量占全年总量的46％以上，最3大洪峰流量11500m/s。河水含沙量较高，年均输沙14900万t，其中汛期（7～9月）输沙量占全年的78.34％。沣河发源于长安县喂子坪乡鸡窝子以南的秦岭北侧，长81.9km，主河道比降8.8‰，22流域面积1460km，其中山区871km，计有一级支流五条，二级支流九条，三级支流七条，主要支流有高冠峪河、太平峪河和潏河。333沣河年平均径流量4.80亿m，最大年径流量6.38亿m，最小年径流量1.06亿m，3波动比值6.25倍。7～10月丰水期径流量占全年总量54.7％，最大洪峰流量1430m/s，12月至翌年3月枯水期径流量占全年总量7.1％。由于上游引流灌溉，枯水期下游常有断流现象，1977年断流长达27天⑵地下水评价区地下水按水动力条件和赋存状态可划分为第四系松散层孔隙潜水和中浅层承压水两种类型。①孔隙潜水：水位埋深一般在10～50m，含水层主要由更新统冲积、湖积沙及砾卵石组成，水化学类型以HCO3、SO4-Ca、Mg型为主，矿化度小于1g/L，水质较好，流向自东南流向西北。②承压水：水位埋深59.0～278.5m，含水层厚度约110m；主要由中上更新统冲积、苏州科太环境技术有限公司59 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书湖积物中细砂及亚粘土组成，含水层富水性强，透水性较好，水化学类型属低矿化度HCO3-Ca、Na型水，水质良好，符合《地下水质量标准》中Ⅲ类标准。现状调查，评价区内现有村庄居民饮用水主要为自来水，农灌水井深20～150m不等；区内企事业单位用水主要由西安市曲江水厂供水；根据西安高新区三期规划，区内供给水源为曲江水厂和南郊水厂。4.1.4土壤环境西安市境内土壤母质种类复杂，植被类型众多，河流纵横交错，地下水位悬殊，历史上人类影响程度不一，因而土壤构成复杂多样。经1980～1986年土壤普查，根据土壤形成条件、过程和属性，境内土壤可分为褐土塿土、潮土、水稻土、黄绵土、红粘土、新积土、紫色土、棕壤、暗棕壤、沼泽土和亚高山草甸土等12个土类。根据土壤腐殖质含量、土层厚度、盐渍化程度及土壤耕层厚度、质地、生产性能，各土类又分若干亚类、土种，共有24个土壤亚类，50个土属，181个土种。由于农耕历史悠久，人类生产活动对土壤形成发展影响深刻，土壤兼受自然因素和人为因素双重影响，人工培育而成的农业土壤分布广泛塿土、潮土、水稻土都是在褐土或黄土基础上，经自然淋溶粘化作用和几千年耕种熟化后形成的农业土壤。4.1.5植被西安市的自然植被未遭受第四纪大陆冰川直接侵袭，尚保留若干第三纪古老的孑遗植物，如银杏、水青树、连香、马甲子等。秦岭山地从高海拔向低海拔垂直分布有高山灌丛草甸、针叶林、针阔叶混交林和落叶阔叶林等自然植被类型。自然植被中野生植物资源丰富，计有野生植物138科、681属、2224种，为中国种子植物的重要“基因库”之一。渭河平原主要为大田农作物、蔬菜、果园和城市绿化等栽培植物类型。野生动物资源主要分布在秦岭山地，有兽类55种，鸟类177种，包括有大熊猫、金丝猴、扭角羚秦岭亚种、鬣羚、大鲵、黑鹳、白冠长尾雉、血雉、金鸡等珍稀动物。为保护自然生态系统和珍稀动植物资源，境内已建立3个国家级自然保护区。60苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书4.1.6其他经调查，本项目拟建地及其周围无地下水源保护区、自然资源保护区、风景名胜区、重要保护性文物古迹、军事基地等需要保护的区域。4.2环境保护目标调查4.2.1环境空气质量现状监测与评价为了解项目拟建地的环境质量现状，特根据陕西盛中建环境科技有限公司为《光电子集成电路标准化厂房建设项目》出具的监测报告，监测时间为2017年9月17日~9月23日。⑴监测点位设置本次监测考虑区域地形特征与主导风向，监测点位距离位于光电子集成电路标准化厂房建设项目上风向乳驾庄村（1#）、项目所在地（2#）和项目下风向的祝村（3#），具体监测点位见图4.2-1。⑵监测项目SO2、NO2、PM10、氟化物、NH3共五项，其中SO2、NO2、NH3监测1小时均值，SO2、NO2、PM10、氟化物监测24小时均值。⑶监测时间与频次数据监测时间为2017年9月17日~9月23日，连续监测7天。⑷监测方法及分析方法各污染物的监测分析方法及其最低限见表4.2-1。表4.2-1环境空气监测项目及分析方法一览表序号分析项目分析方法方法依据检出限小时均值30.007mg/m1SO2甲醛吸收副玫瑰苯胺分光光度法HJ482-200924小时均值30.004mg/m小时均值30.005mg/m2NO2盐酸萘乙二胺分光光度法HJ479-200924小时均值30.003mg/m苏州科太环境技术有限公司61 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书33PM10重量法HJ618-20110.010mg/m34氨纳氏试剂分光光度法HJ533-20090.010mg/m5氟化物滤膜采样氟离子选择电极法HJ480-2009/⑸评价方法采用单因子指数法对评价区各污染物进行评价，公式如下：Ii=Ci/Si式中：Ii——污染物i的单项质量指数；3Ci——污染物i的实测浓度平均值，μg/m；3Si——污染物i的浓度标准值，μg/m。⑹监测及评价结果利用所选评价方法和标准对各监测点各污染物监测期间的日均浓度及小时浓度进行评价，监测及评价结果详见表4.2-2。表4.2-2项目环境空气监测结果统计表1小时平均浓度24小时平均浓度监测监测最大点位项目浓度范围超标超标标准浓度范围超标最大超标准率限值率标倍数限值倍数33PM10--------75~104μg/m00150μg/m3333SO28~16μg/m00500μg/m8~15μg/m00150μg/m1#乳驾333庄村上NO238~68μg/m00200μg/m39~60μg/m0080风向33氨0.03~0.05mg/m000.2mg/m--00--3氟化物--------ND000.007mg/m33PM10--------76~109μg/m00150μg/m3333SO210~23μg/m00500μg/m12~19μg/m00150μg/m2#项目3333NO240~69μg/m00200μg/m40~65μg/m0080μg/m所在地33氨0.04~0.06mg/m000.2mg/m--00--3氟化物--------ND000.007mg/m33PM10--------84~123μg/m00150μg/m33333#项目SO29~28μg/m00500μg/m10~23μg/m00150μg/m所在地3333NO244~71μg/m00200μg/m47~67μg/m0080μg/m下风向33祝村氨0.04~0.07mg/m0.2mg/m--00--3氟化物--------ND000.007mg/m62苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书根据监测结果可知：本项目评价区域各监测点的常规监测因子SO2、NO21小时平均浓度、24小时平均浓度、PM1024小时平均浓度均满足《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准要求；氟化物的日均浓度值及氨的一次浓度值满足《工业企业设计卫生标准》（TJ36-79）中表1“居住区大气中有害物质的最高容许浓度”，因此项目区域环境空气质量良好。4.2.2地下水环境质量现状监测与评价本次地下水环境质量现状评价引用陕西盛中建环境科技有限公司为《光电子集成电路标准化厂房建设项目》出具的监测报告，监测时间为2017年9月17日~9月23日。⑴监测点位设置本次监测共设6个监测点位（1#～6#），具体监测布点详见表4.2-3和图4.2-1。表4.2-3地下水环境质量现状监测布点一览表监测布点1#2#3#4#5#6#点位位置东祝村长里村西祝村训善村杨家湾村邓店北村⑵监测项目地下水环境质量现状监测设6个监测点位（1#～6#），其中，4#、5#、6#监测点位只需要给出井深和水位，1#、2#、3#监测点位需要监测钾、钠、钙、镁、碳酸盐、碳酸氢盐、氯化物、硫酸盐、pH、氨氮、硝酸盐、总硬度、高锰酸盐指数、六价铬、溶解性总固体、总大肠菌群、铅、镉、砷、汞、挥发酚。并同步给出了井深、水位和水温。⑶监测时间与频次数据监测时间为2017.9.21，监测1天。⑷监测方法及分析方法各污染物的监测分析方法及其最低限见表4.2-4。表4.2-4地下水环境现状监测分析方法序号监测因子分析方法检出限1钾0.03mg/L火焰原子吸收分光光度法GB/T11904-19892钠0.010mg/L3钙0.02mg/L原子吸收分光光度法GB/T11905-19894镁0.002mg/L苏州科太环境技术有限公司63 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书5铅无火焰原子吸收分光光度法GB/T5750.6-2006（11.1）2.5μg/L6镉无火焰原子吸收分光光度法GB/T5750.6-2006（9.1）0.5μg/L7碳酸盐酸碱指示剂滴定法《水和废水监测分析方法》/8碳酸氢盐（第四版增补版）国家环境保护总局（2002）/9高锰酸盐指数酸性高锰酸钾滴定法GB/T5750.7-2006（1.1）0.05mg/L10氯化物离子色谱法GB/T5750.5-2006（2.2）/11硫酸盐离子色谱法GB/T5750.5-2006（1.2）/12硝酸盐氮离子色谱法GB/T5750.5-2006（5.3）/13pH玻璃电极法GB/T6920-19860.1（pH值）14氨氮纳氏试剂分光光度法HJ535-20090.025mg/L15六价铬二苯碳酰二肼分光光度法GB/T7467-19870.004mg/L16挥发酚4-氨基安替比林分光光度法HJ503-20090.0003mg/L17汞原子荧光法GB/T5750.6-2006（8.1）0.1μg/L18砷原子荧光法GB/T5750.6-2006（6.1）1.0μg/L19总硬度乙二胺四乙酸二钠滴定法GB/T5750.4-2006（7.1）1.0mg/L20溶解性总固体称量法GB/T5750.4-2006（8.1）/21总大肠菌群多管发酵法GB/T5750.12-2006（2.1）/⑸监测结果地下水环境质量现状现场监测结果见表4.2-5，现状因子监测结果见表4.2-6。表4.2-5地下水环境质量现状现场监测结果监测布点1#东祝村2#长里村3#西祝村4#训善村5#杨家湾村6#邓店北村井深4055305040200水位416388419401422258水温18.9℃19.1℃17.818.5℃17.719.1℃表4.2-6地下水环境质量现状评价因子监测结果采样地点监测项目单位III类标准1#东祝村2#长里村3#西祝村钾mg/L1.020.680.576.5~8.5钠mg/L2.381.151.70250钙mg/L1311071373.0镁mg/L30.013.758.90.2铅μg/LND（2.5）ND（2.5）ND（2.5）0.0564苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书镉μg/LND（0.5）ND（0.5）ND（0.5）250氯化物mg/L63.515.761.4--六价铬mg/L0.020ND（0.004）0.016碳酸盐mg/L未检出未检出未检出碳酸氢盐mg/L210180262--高锰酸盐指数mg/L0.490.500.700.001硫酸盐mg/L12516.31210.05硝酸盐氮mg/L71.516.64.070.05pH--7.657.847.430.01氨氮mg/L0.101ND（0.025）0.0843.0挥发酚mg/L0.00060.00030.0004450汞μg/LND（0.1）ND（0.1）ND（0.1）1000砷μg/LND（1.0）ND（1.0）ND（1.0）0.002总硬度mg/L32426816820溶解性总固体mg/L376316613--总大肠菌群个/L未检出未检出未检出--从上表可以看出，评价区地下水环境现状评价因子中钾、钠、钙、镁、碳酸盐、碳酸氢盐、氯化物、硫酸盐、pH、氨氮、硝酸盐、总硬度、高锰酸盐指数、六价铬、溶解性总固体、总大肠菌群、铅、镉、砷、汞、挥发酚的监测值均满足《地下水质量标准》（GB/T14848-93）III类标准要求，东祝村硝酸盐氮超标，超标原因可能是因为周边拆迁的较大所导致的。4.2.3声环境质量现状监测与评价⑴监测布点：本次评价分别在项目所在厂界的西、北、东、南4个厂界分别布设1个监测点位，具体监测布点见图4.2-1。⑵监测项目：监测项目为昼、夜间等效连续A声级。⑶监测时间：监测时间为2017年9月17日-2017年9月18日，昼夜各一次。⑷监测方法：监测方法按照《声环境质量标准》（GB3096-2008）进行，噪声测量值为A声级，用等效连续A声级LAeq作为评价量。⑸监测结果声环境现状监测结果见表4.2-7。苏州科太环境技术有限公司65 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书表4.2-7声环境监测结果统计表监测结果LeqdB(A)序号监测点位监测时段标准2017年9月17日2017年9月18日昼间49.849.765dB(A)1#北厂界夜间43.945.355dB(A)昼间52.652.465dB(A)2#东厂界夜间40.944.255dB(A)昼间50.148.565dB(A)3#南厂界夜间42.940.955dB(A)昼间53.653.065dB(A)4#西厂界夜间45.647.855dB(A)从表4.2-7可知，项目各厂界监测点昼、夜间噪声值均满足《声环境质量标准》（GB3096-2008）中3类标准限值要求。因此，评价区域声环境质量较好。4.3区域污染源调查根据建设项目的污染特征和评价区内主要污染情况，本项目选取废气SO2、NOx、废水中的COD、氨氮，调查评价范围内的污染源情况，调查统计结果见表4.3-1。表4.3-1评价区内主要污染源及污染物排放情况表污染源主要污染物及排放情况废气：烟尘0.24t/a，SO20.48t/a，NOX1.67t/a陕西航天动力高科技有限公司废水：COD17.52t/a，氨氮1.20t/a废气：烟尘7.07t/a，SO210.61t/a，NOX7.01t/a金堆城公司钼金属材料加工中心废水：COD10.01t/a，氨氮1.25t/a；石油类0.10t/a废气：烟粉尘0.59t/a，SO20.38t/a，二甲苯8.81t/a陕西欧舒特汽车公司废水：COD0.33t/a，石油类0.08t/a废气：烟尘0.08t/a，SO20.18t/a，NOX0.58t/a西安威世半导体公司废水：COD50.99t/a，氨氮2.50t/a废气：烟尘0.03t/a，SO20.06t/a，NOX0.21t/a西安交大药业集团公司废水：COD1.73t/a，氨氮0.14t/a66苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书5环境影响预测与评价5.1建设期环境影响预测与评价项目建设污染特征（1）施工内容和施工特点建设项目施工期是本项目开发建设最活跃的阶段，主要施工内容包括场地平整、基础开挖、建筑物土建和配套设施建设，给排水管线和供电、供热、供气管线铺设，停车场建设和环境绿化等。施工期基本特点主要是周期较长，工地相对集中，施工量大，机械化程度高，施工人员较多，在多种施工活动中存在着污染环境的因素。（2）环境污染影响特征按照本项目具有基础设施建设的特点，项目施工建设期间的主要环境污染因素来源于土石方挖填、施工机械、土建等环节。按污染种类分有噪声、废气、固体废物和废水。从环境污染影响程度分析，施工作业活动产生噪声、扬尘的环境影响较大，废水和固体废物对环境的影响相对较小。根据项目特点、污染类型及其环境影响程度，确定环境污染特征见表5.1-1。表5.1-1建设施工期环境污染特征影响分类影响来源污染物影响范围影响程度特征地表破坏、生态场地平整等土石方全施工场地较严重水土流失噪声运输、施工机械Leq施工场所周围较严重间断运输、土方挖掘、TSP、NO2、CO、施工场所及其下TSP严重、装修与施工期扬尘、废气室内装修装修有机废气风向、建筑室内有毒有害气体同步COD、BOD5、废水生活、生产废水施工、生活场所一般SS简单固体废物生活、建筑垃圾有机物、无机物施工、生活场所一般5.1.1建设期废水影响预测与评价施工废水主要为施工人员产生的生活污水以及施工过程产生的施工废水。苏州科太环境技术有限公司67 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书一、建设期废水的环境影响1、生活污水3项目施工期人员约200人。施工期间，工地生活用水按60L/人•d计，用水量为12m/d；3排污系数以0.8计，排放量约为9.6m/d。生活污水产生量小，成分简单，主要为COD、NH3-N等常规污染因子。2、施工废水该项目施工废水主要为各种施工机械设备运转的冷却、洗涤用水和车辆冲洗废水。3类比调查，本项目施工废水产生量约50m/d。因其成分简单，主要为泥沙等悬浮物，综上所述，该项目施工期废水对周边环境影响不大。5.1.2建设期废气影响预测与评价施工期废气主要包括施工扬尘、车辆、机械尾气及装修产生的少量装修废气。一、环境空气影响分析1、施工扬尘施工粉尘是施工中产生量最大的大气污染因子，主要产生阶段在土方的开挖、堆放、回填和水泥、石灰、砂石等建材在运输、装卸过程中。施工扬尘的起尘量与许多因素有关，如挖土机等在工作时的起尘量与挖坑深度、挖土机抓斗与地面的相对高度、风速、土壤的颗粒度、土壤含水量等因素有关。施工扬尘对环境空气的影响范围，经类比同类项目监测资料得知，施工中产生的扬3尘影响范围基本在下风向100~150m左右，中心处浓度约5~10mg/m。会使施工期场所附近的环境空气质量受到影响，使空气能见度有所降低，沾污周围的建筑物及树木，且对施工场地附近的道路行车、公众生活带来不便；若遇上刮风天气因施工挖动的土石方等则噪声扬尘而加重对施工区域环境空气的污染，因此要采取有效措施，防止施工扬尘对外界的影响。（1）施工扬尘源强的影响因子及核算方法1）影响施工扬尘源强的因子施工期间，项目土石方开挖建设过程势必会破坏地表结构，建筑材料砂石装卸、转运、运输均会造成地面扬尘污染环境，其扬尘量大小与施工现场条件、施工管理水平、68苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书机械化程度高低及施工季节、时间长短，以及土质结构、天气条件等诸多因素关系密切。建筑工地的扬尘主要来自：土方挖掘、堆放和清运过程的扬尘；建筑材料、水泥、白灰、砂子等装卸、堆放的扬尘；运输车辆来往形成的扬尘；建筑垃圾堆放和清运过程造成的扬尘。2）施工扬尘核算方法①车辆运输扬尘核算方法车辆运输扬尘约占扬尘总量的30%，车辆行驶产生的扬尘，在完全干燥情况下，可按下列经验公式计算：0.850.75Q=0.123（V/5）(W/6.8)(P/0.5)式中：Q——汽车行驶的扬尘，kg/km·辆；V——汽车速度，km/h；W——汽车载重量，t；2P——道路表面粉尘量，kg/m。一辆载重5t的卡车，通过一段长度为500m的路面时，不同路面清洁程度，不同行驶速度情况下产生的扬尘量见表5.1-2。表5.1-2不同车速和地面清洁程度时的汽车扬尘单位：kg/辆·kmP2222220.1（kg/m）0.2（kg/m）0.3（kg/m）0.4（kg/m）0.5（kg/m）1.0（kg/m）车速5(km/h)0.02830.04760.06460.0010.09470.159310(km/h)0.05660.09530.12910.16020.18940.318615(km/h)0.08500.14290.19370.24030.28410.477820(km/h)0.11330.19050.25830.32040.37880.6371表5.1-2中结果表明，在同样路面清洁情况下，车速越快，扬尘量越大；而在同样车速情况下，路面清洁度越差，则扬尘量越大。如果在施工期间车辆行驶路面实施洒水抑尘，每天洒水4~5次，可使扬尘减少70%左右。施工场地洒水抑尘的试验结果表明实施洒水抑尘，可有效的控制施工扬尘，可将扬尘污染距离缩小到20~50m范围。因此，施工期间施工运输车辆应限速行驶，保持路面清洁，并在施工区域适当洒水降尘。苏州科太环境技术有限公司69 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书②露天堆场和裸露场地施工扬尘核算方法露天堆场和裸露场地的风力扬尘约占扬尘总量的70%。由于施工需要，一些建材需露天堆放，一些施工点表层土壤需要人工开挖、堆放，在气候干燥又有风的情况下会产生扬尘，通常其扬尘量可按堆场起尘的经验公式计算：3-1.023wQ=2.1（V50-V0）e式中：Q—起尘量，kg/t·aV50—距地面50m处风速，m/sV0—起尘风速，m/sW—尘粒含水率，%因此针对此类扬尘，本次环评要求挖方、回填及粉状、小颗粒建材运输卸载等作业应在无风天气下进行，作业过程中应洒水抑尘并配置工地细目滞尘防护网，混凝土应采用商品混凝土，不能现场进行混凝土搅拌作业，做到施工现场及场外道路泥土及时清理。另外，对于易起尘的建材应覆盖存放，并且土方等堆场应设在远离比亚迪宿舍的区域，以减轻施工扬尘对该区域休息人员生活造成的影响。2、施工机械、车辆尾气在施工期间，施工机械、车辆（主要以柴油为燃料）运行将排放尾气，尾气中主要污染物为CO、NOX、THC。根据相关资料，柴油车污染物排放系数如表5.1-3表5.1-3污染物排放系数序号污染物排放系数1THC4.442NO244.43CO27.0由于，本项目施工期间施工机械、车辆的使用量及频次都不大，因此对周边环境的影响不大。3、装修废气油漆废气主要来自装饰过程，由于不同建筑物的用途不同，不同建设单位的习惯、审美观、财力等因素的不同、装修时的油漆耗量和油漆品牌也不相同，造成的污染程度不同。由于本项目主要建设内容为厂房和员工宿舍，用途决定了装修程度偏简约话。70苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书5.1.3建设期噪声影响预测与评价根据《中华人民共和国环境噪声污染防治条例》等有关规定，控制城市环境噪声污染，对施工期间场界噪声限值要求执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011）。一、噪声影响分析1、主要噪声源分析建设过程中各施工阶段的主要噪声源声级大小均不一样，其噪声值也不一样，通过类比调查，各施工阶段主要设备及噪声级见表5.1-4，施工厂界噪声标准见表5.1-5。表5.1-4主要施工机械及其噪声源强施工阶段设备名称声级dB(A)声源性质翻斗机83～89推土机90土石方阶段装载机86挖掘机85静压式打桩机80间平地机86基础施工阶段歇风镐98性噪空压机92声吊车73振捣棒93结构施工阶段电锯103升降机78切割机88表5.1-5施工阶段场界噪声排放标准（GB12523-2011）噪声限值[dB(A)]施工阶段昼间夜间施工场界7555⑵施工噪声预测及施工边界确定施工机械中除各种运输车辆外，其它施工机械一般可视为固定声源。因此可将施工机械噪声作为点声源处理。苏州科太环境技术有限公司71 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书在不考虑其它因素情况下，施工机械噪声预测模式如下：L2=L1-20lg（r2/r1）（r2＞r1）式中：L1、L2分别为距声源r1、r2处的等效A声级dB（A）；r1、r2为接受点距声的距离，m。△L=L2—L1=20lgr2/r1噪声随距离增加的衰减量：△L2=L1-20lg（r2/r1）以r1为5m计，具体衰减值见表5.1-6。表5.1-6噪声值与距离衰减关系距离（m）51050100200400600△L(dB)062026323842根据《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011）的规定，各种建筑施工机械满足国家标准的距离列于表5.1-7。表5.1-7施工机械满足国家标准的距离声级评价标准dB(A)最大超标范围(m)施工阶段设备名称dB(A)昼间夜间昼间夜间翻斗机83～89705515178土石方推土机90705529281阶段装载机86705518178挖掘机85705516160静压式打桩机8070/10/吊车7370/4/基础施工平地机8670/17/阶段风镐9870/5/空压机9270/7/结构施工吊车73705522120阶段振捣棒9370555680结构施工电锯103705545252阶段吊车73705538120装修阶段升降机787055515切割机8870551545不同施工机械影响的范围相差很大，夜间施工噪声的影响范围比昼间大得多。在实际施工过程中可能出现多台施工机械同时作业，则此时施工噪声相互叠加，影响范围比72苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书预测值大。又因为施工噪声昼间超标范围主要出现在距施工机械30m的范围内，夜间超标范围出现在距施工场地300m的范围内。而该建设项目位于位于高新技术开发区新型工业园区上林苑一路15号，东临丈八八路，西邻上林苑一路，北临毕原一路，南邻毕原二路。北侧、西侧均为西安比亚迪汽车有限公司，东侧为西安海关出口加工区B区，内有美光半导体(西安)有限公司、力成半导体(西安)有限公司、应用材料（西安）有限公司。厂界四周200m范围内均无敏感点。按施工阶段分析，施工机械噪声影响主要集中在土石方阶段、基础施工和结构施工阶段。因此应合理安排施工时间，避免夜间、午休时间施工，优化施工工艺，结合项目与周边环境敏感点毗邻的实际条件，基础施工应采用静压桩等，严禁使用汽锤打桩机等高噪声设备。建设单位要通过选择低噪声施工设备、严格的施工管理及场界周围1.8m围墙隔挡等，减低施工对敏感保护目标的影响，使其声环境质量达标。在厂界北边靠近比亚迪宿舍一侧设置移动声屏障，加强噪音隔离，避免对比亚迪宿舍休息人员造成噪音扰邻。若夜间、午休时间必须施工时，应提前按照统一格式向当地环保部门申请。经批准后，提前在项地四周相邻单位门口向社会公告，协调好邻里关系。2、施工运输车辆噪声施工期间，随着项目运输建筑物料车辆的增多，势必将增加运输道路的车流量及沿线交通噪声污染。类比监测，该类运输车辆噪声级一般在75～85dB(A)，间断运行，属于非连续性噪声源，由于项目运输量有限，加上禁止车辆夜间和午休间鸣笛，因此施工期间运输车辆产生噪声污染是短时间的。施工运输过程中必须加强运输车辆的管理，选择合理的时段和运输线路，减速慢行。3、其他施工噪声由于施工场地各施工专业交叉作业，施工工序繁杂，除施工机械噪声、车辆运输外，还有工具使用、碰撞、切割等一些其他的施工噪声，它们基本贯穿于施工的全过程。5.1.4建设期固废影响预测与评价施工期固体废弃物主要包括施工人员产生的生活垃圾，施工场地的废建材等建筑垃圾及机械、车辆维修产生的废机油等废弃物。苏州科太环境技术有限公司73 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书1、生活垃圾该项目施工期人员约200人。施工期间，生活垃圾产生量按照0.5kg/人.d计，则生活垃圾产生量约为0.1t/d，通过在施工场地布设15个垃圾收集箱，集中收集后交由环卫部门，定期运至生活垃圾填埋场进行处理。2、建筑垃圾类比同类建设项目，该项目在施工过程中产生废钢料、废建材约15t，能回收利用的回收再次利用，不能回收利用的并其他建筑垃圾一起运往政府指定的建筑垃圾处置地进行处理。3、机械车辆维修产生废机油项目施工期间，存在车辆、大型机械维修，会产生少量的废机油，根据《国家危险废物名录》废机油属于危险废弃物，危险废弃物编号为HW08，通过专用容器收集保存，定期交由有资质的单位处理。采取以上环保措施后，施工固废可得到合理处置，对环境影响小。5.1.5建设期生态影响预测与评价一、生态环境影响分析2项目占地55048.70m（约83亩），工程施工将改变原有地表形态，造成土地利用性质永久改变，平整场地将破坏地表植被与土壤结构。弃土渣堆放若不及时清理和无任何遮挡、覆盖等措施，在干燥气象条件下极易引起扬尘污染；遇暴雨季节，将会导致水土流失。工程建成后，随着规划生态恢复，以及对项目四周、内外空地和道路两侧环境绿化措施实施，项目占地的生态影响可得到一定补偿。二、生态保护、恢复措施项目建设对生态环境的影响主要是施工期地基开挖、修建构筑物、道路等对地表土壤和植被的破坏及水土流失，从而影响到区域生态系统的变化或引发相关环境问题。为将这些负面影响降到最小程度，实现开发建设与生态保护协调发展，在工程实施全过程中，采取一定的环保对策与措施，是工程设计中必不可少的工作。为此提出以下要求：⑴强化生态环境保护意识，严格控制施工作业区，不得随意扩大范围，必须减少对附近植被和道路的破坏；74苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书⑵物料、弃土渣应就近选择平坦地段集中堆放，要设土工布围栏、截排水沟等；⑶对临时占地开挖土方实行分层堆放，全部表土都应分开堆放并标注清楚，至少地表0.3m厚的土层应被视作表土。填埋时，也应分层回填，尽可能保持原有地表植被的生长环境、土壤肥力，以便于今后开展环境绿化。5.1.6施工期环境影响小结评价认为，项目施工期在采取上述污染防治措施后，可将施工建设带来的环境影响降到最小限度。归纳建设期各项防治措施及其预期效果详见表5.1-8。表5.1-8建设期环保措施及预期效果一览表实施项目环保设施或措施要求实施部位保护对象保证措施预期效果时间①原材料运输、堆放要求遮盖①运输车施工场地周②场地四周设围栏，辆、堆料场周围环境空气达施工围空气环道路临时硬化、及时清周围；全部到GB3095-1996扬尘境、施工人理场地弃渣料，洒水灭②施工场施工期《环境空气质量防治员及周围植尘，防止二次扬尘；地弃渣处及①建立环标准》二级标准被③逐段施工方式，缩道路境管理机短工周构，配备①合理布置，选用低噪专职或兼声设备；施工场地施工职环保管②采取隔音、减振、消强噪声设备准备期理人员；声措施；②制定相施工场界噪声符③严格操作规程，降低强噪声设备施工人员及关方环境合GB12523-2011施工噪人为噪声环境污染；操作人员施工场地周管理条《建筑施工场界声防治④严格控制施工时段，围的环境敏例、质量环境噪声排放标禁止夜间进行产生环境全部感点管理规准》噪声污染的建筑施工作施工期定；施工场地业③加强环⑤优化运输路线，减少境监理、监对周围敏感点的影响督，定期向①生活垃圾、建筑垃施工场地周有关部门合理调配土方固体废圾应分别堆放，送指定施工场地与全部围环境空做出书面后，弃土弃渣全物处置垃圾场填埋处理；场外道路施工期气、土壤及汇报，发现部合理利用②合理调配弃土弃渣植被问题及时施工废设临时沉砂池和沉淀池全部施工场地附解决、纠正施工场地全部综合利用水防治等污水处理设施施工期近地表水体①强化生态环境保护施工场界及施工场地周施工场地周围生态环意识；全部内部临时占围土壤、植土壤、植被不被境保护②加强管理，控制施施工期地被破坏工占地、及时恢复植被苏州科太环境技术有限公司75 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书5.2运营期环境影响预测与评价5.2.1运营期废水影响预测与评价本项目建成投产后废水来源主要为生产废水和生活污水。33生产废水的产生量为996.94m/a，生活污水的产生量为4368.00m/a。项目生产废水依托一期污水处理站处理达标后排入市政污水管网，进入西安市第七污水处理厂，最终排入太平河；生活污水依托一期化粪池处理后排入市政污水管网，进入西安市第七污水处理厂进行处理，最终排入太平河。5.2.2运营期废气影响预测与评价项目运营期主要为各生产工序产生的废气，包括外延生长工序产生的氨气（G1）、磷烷、砷烷（G2），清洗工序产生的酸性废气（G3，主要污染物为氯化氢和硫酸雾），SiO2沉积工序产生的氮氧化物（G4），光刻工序、去胶清洗工序及去蜡清洁工序产生的非甲烷总烃（G5、G8、G9），SiO2刻蚀工序产生的氟化物（G6），ICP刻蚀工序产生的氯气（G7）。根据工程分析，结论如下：氨气采用碱性废气洗涤塔处理后可以达标排放。磷烷、砷烷采用Scrubber处理器处理后可以达标排放。酸性废气、氮氧化物、氯气采用酸性废气洗涤塔处理后可以达标排放。非甲烷总烃采用活性炭吸附处理后可以达标排放氟化物采用含氟废气洗涤塔处理后可以达标排放本项目废气治理设碱性废气洗涤塔1座、酸性废气洗涤塔1座、含氟废气洗涤塔1座、Scrubber处理器1套及活性炭吸附装置1套，各废气采取相应治理措施后可以达标排放，对外环境影响较小。5.2.3运营期噪声影响预测与评价根据工程分析，本项目噪声预测结果见表5.2-1。76苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书表5.2-38噪声预测结果单位：dB(A)昼间夜间预测点贡献值贡献值X1北厂界28.2828.28X2东厂界39.1239.12X3南厂界32.6132.61X4西厂界41.5341.53在选用低噪声设备、采取车间隔声、对设备加装减振基础等治理措施后，厂房的东、西、南、北边界的噪声昼间、夜间贡献值均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准要求。为保证厂界噪声值长期稳定达标，项目建设单位应严格执行本评价中提出的噪声治理措施，首先应选择低噪型设备、合理布局，将高噪声设备置于室内并尽可能远离厂界，其次需要采取适当的隔声降噪措施。本项目在采取环评提出的降噪措施后，生产运营期间对周围声环境影响较小。5.2.4运营期固废影响预测与评价⑴一般固废项目产生的一般固体废物主要为废包装材料（主要是指废包装箱等），废包装材料出售给物资回收部门。⑵危险固废本项目生产过程中产生的危险废物种类较多，主要有废光刻胶、废有机溶剂、氢氟酸废液、废抛光液、废活性炭、酸洗废液、氧化吸收液、废活性炭等；收集后均交有资质单位进行处置，危险废物均应按《危险废物贮存污染控制标准》（GB18957-2001）贮存管理，防止对环境产生污染。针对本项目产生的危险废物，本次环评要求严格按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）和《危险废物转移联单管理办法》（国家环保总局5号令）相关要求对其进行贮存及转移。危险废物厂内暂存时必须满足以下要求：-7①基础必须防渗，防渗层为至少1m厚的黏土层（渗透系数≤10cm/s），或2mm苏州科太环境技术有限公司77 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书-10厚的高密度聚乙烯，或至少2mm厚的其他人工材料（渗透系数≤10cm/s）；②危险废物存放要防风、防雨、防晒；③不能兼容的危险废物不能放在一起等危险废物堆放贮存要求；④危险废物贮存区设置危险废物贮存标志。⑶生活垃圾本项目职工生活垃圾收集于厂内垃圾桶中，定期交由当地环卫部门统一处置，对外环境影响较小。78苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书6环境保护措施及其可行性论证6.1建设期环境保护措施及可行性论证6.1.1建设期废气治理措施及可行性论证1、施工扬尘防治措施可行性分析环境影响因素分析表明，项目施工期产生的粉尘是主要大气污染因子之一，施工期间其土方的开挖、堆放、回填和水泥、石灰、砂石等建材在运输、装卸过程中，都会有部分抛洒，并经施工机械、运输车辆碾压卷等，形成部分细小颗粒进入大气中形成扬尘，会污染空气。施工扬尘对环境空气的影响范围，经类别有关项目监测资料知，施工中产生的扬尘3影响范围基本在下风向100~150m左右，中心处浓度约5~10mg/m。施工中产生的扬尘将对施工期场所附近的环境空气质量造成一定的影响，使空气能见度有所降低，沾污周围的建筑物及树木，且对施工场地附近的道路行车、公众生活带来不便；若遇上刮风天气因施工挖动的土石方等则噪声扬尘而加重对施工区域环境空气的污染，因此要采取有效措施，防治施工扬尘对外界的影响。施工扬尘的大小随施工季节、土方量的大小和施工管理不同差别甚大，影响范围可达150～300m。围栏对减少施工扬尘污染有一定作用，风速为2.5m/s时，可使影响距离缩短40%左右。根据《陕西省“铁腕治霾•保卫蓝天”2017年工作方案》、《陕西省大气污染防治条例》、《陕西省人民政府关于印发省重污染天气应急预案的通知》【陕政函（2014）126号】、《陕西省建筑施工扬尘防治措施16条》评价项目建设施工过程提出以下具体要求：（1）建设施工活动，必须对施工区域实行封闭，设置有1.8m以上的硬质围档；所有建设施工工地出入口必须进行净化处理，并配备专门的清洗设备和人员，负责清除驶出工地运输车辆车体和车轮的泥土，车体和车轮不能带泥土驶出工地；遇到可造成扬尘污染的4级以上风力的，应停止土方施工，并采取防尘措施；严禁从高层建筑物和正在建设的建筑物上向外抛散、倾倒各类废弃物；在绕城高速以内，所有运输沙石、水泥、土方、垃圾等易产生扬尘的车辆，必须符合规定的要求，封闭严密，不许撒漏。苏州科太环境技术有限公司79 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书（2）沙、渣土、灰土等易产生扬尘的物料，必须采取覆盖等防尘措施，不得露天堆放；禁止城市建成区裸露黄土，裸露黄土的，土地使用者应当采取绿化、硬化、覆盖等防尘措施。加强建设开发过程中的环境保护工作，禁止使用散装白灰，推行使用商品混凝土等一系列有效的行政措施，降低地面尘和二次扬尘污染。（3）在建筑工地集中路段设置拉土保洁指定通道，规划时间、路线、流程进行拉土工作；确保施工扬尘降到最低。（4）施工过程应及时清理堆放在场地上的弃土、弃渣和道路上的抛撒料、渣，配备洒水设备，专人负责，及时洒水除尘。（5）针对施工任务和施工场地以及天气状况，制定合理的施工计划，采取集中力量逐项施工的方法，既缩短施工周期，又减少施工现场的作业面，减轻施工扬尘对环境的影响。（6）雾霾橙色以上等级预警或环境空气质量连续两天达到严重污染日标准且无改善趋势，应暂停建筑工地出土、拆迁、倒土等所有土石方作业。采取如上防尘治理措施后，将降低施工扬尘量50%~70%，可有效减少对环境的影响，同时建设期造成的扬尘污染是短期的、局部的影响，工程竣工后即可消失，故对周围环境影响较小。2、施工设备尾气防治措施可行性分析在施工期间，施工设备（主要以柴油为燃料）运行将排放尾气，尾气中主要污染物为CO、NOX、THC。根据相关资料，柴油车污染物排放系数如表6.1-2表6.1-2污染物排放系数序号污染物排放系数1THC4.442NO244.43CO27.0本项目施工期使用的运输设备和动力设备较少，排放量较小，加之场地空气流动性好，施工期施工设备燃料废气不会对区域环境空气质量以及周边居民产生明显不利影响。3、装修材料废气防治措施可行性分析①、采用优质的建筑材料，达到国家相应标准。②、装修中应采用符合国家标准的室内材料和装修材料，这是降低造成室内污染的根本，建议采用符合环保要求的环保漆，以减少环境污染。、③、装修后的房间不宜立即投入使用，通常要通风换气30天左右。80苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书④、在室内有选择的进行养花植草，即可美化室内环境，又可降低室内有害气体的浓度。只要合理规划、科学管理，切实按照有关规定进行执行，施工活动基本上不会影响场地周围的环境空气质量，而且随着施工活动，这些污染也会消失。综上所述，采取上述废气污染防治措施后，可有效保护施工期废气对环境产生的影响，则施工期废气治理措施可行。6.1.2建设期废水治理措施及可行性论证施工污水主要为施工人员产生的生活污水以及施工过程产生的施工废水。本项目为二期项目，施工期施工人员入厕可依托一期现有卫生间，生活污水经卫生间收集后进入一期化粪池处理，达标后排入市政管网。本项目在建设期，施工人员用餐可依托周边现有食堂、餐点，因此本项目施工期不设食堂，无餐饮废水产生。3本次环评要求，在施工建设过程中，必须设置临时沉淀池一座（80m），项目各种3施工机械设备运转的冷却、洗涤用水和车辆冲洗废水，最大产生量约50m/d，因此沉淀池设置合理。施工废水经临时沉淀池沉淀处理后，用于施工现场洒水抑尘，不对外排放。施工期产生的废水由于量少形不成规模，通过采取以上措施后，施工期产生的废水对水环境影响较小。因此，本项目废水防治措施可行。6.1.3建设期噪声治理措施及可行性论证施工期噪声源主要是施工机械设备噪声和运输车辆运行噪声。为严格执行国家环境噪声污染防治法，切实解决建筑施工噪声扰民问题，给周围居民创造良好的生活学习环境。项目建设过程中，施工单位和建设单位将依法做好施工工地的噪声防治工作，停止夜间（22时至次日6时）进行产生环境噪声污染的施工作业。若有特殊情况需夜间施工的，施工单位将提前按照统一格式向当地环保部门申请。经批准后，提前在建筑工地周围100m内居民楼前向社会公告。根据《中华人民共和国环境噪声污染防治条例》等有关规定，控制城市环境噪声污染，对施工期间场界噪声限值要求执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011）。为有效减小施工噪声对环境的影响，保证施工噪声符合国家相关标准，环评要求施工期采用以下噪声防治措施：①合理布置施工场地，安排施工方式，控制环境噪声污染。苏州科太环境技术有限公司81 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书a、选用低噪声施工机械，严格限制或禁止使用高噪声设备，要求采用混凝土灌注桩或静压桩等低噪音新工艺；b、要求使用商品混凝土。与施工场地设置混凝土搅拌机相比，商品混凝土具有占地少、施工量小、施工方便、噪声污染小等特点，同时可大大减少建筑材料水泥、沙石等汽车运量，减轻车辆交通噪声影响。②严格操作规程，加强施工机械管理，降低人为噪声影响。不合理施工作业是产生人为噪声主要原因，如脚手架安装、拆除，钢筋材料装卸，及其安装过程产生的金属撞击声和落料声等均会产生较大距离的声环境影响，因此要杜绝人为敲打、野蛮装卸现象，规范建筑物料、土石方清运车辆进出工地高速行驶和鸣笛等。③采取有效隔音、减振、消声措施，降低噪声级。对位置相对固定施工机械，如切割机、电锯等，应将其设在专门工棚内，同时选用低噪声设备，采取必要的吸音、隔声降噪措施，控制施工机械噪声符合《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011），做到施工场界噪声达标排放；同时做好劳动保护工作，为强噪声源周围的施工机械操作人员配备耳塞或耳罩等必要的劳动防护用品。④强化项目施工期间环境管理，提高施工机械化程度，缩短施工工期。严格控制施工车辆运行时段，避免进出场地造成道路堵塞；要对车辆限速行驶、禁鸣喇叭，减少交通噪声对沿途敏感点的影响。此外，夜间应尽量避免大量施工车辆运行，以保证道路两侧居民的休息环境。⑤合理安排工期，严格控制施工时间。根据不同季节合理安排工期，要避开午休时间动用高噪声设备，禁止夜间22：00～06：00施工作业，避免扰民。确因特殊需要必须连续作业的，必须向有关主管部门申请夜间施工证明，且应提前公告附近居民；高考期间不得施工。⑥对已竣工交付使用的综合影剧院进行室内装修，应当限制作业时间，避免对周边居住区造成噪声环境污染。⑦对进出场地车辆限速行驶、禁鸣喇叭，同时要求运输集中在昼间运行，夜间应避免土方及物料运输。综上所述，采取上述噪声污染防治措施后，可有效保护施工期噪声对环境产生的影响，则施工期噪声治理措施可行。82苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书6.1.4建设期固体废弃物治理措施及可行性论证施工期固体废弃物主要废弃的各种建筑装修材料和少量施工人员生活垃圾等。施工人员产生的生活垃圾经垃圾桶收集后，由当地环卫部门统一处理；废弃的各种建筑装修材料等及时清运至环卫部门指定的场所。采取以上环保措施后，施工固废可得到合理处置，对环境影响小。6.1.5建设期生态保护治理措施及可行性论证项目建设对生态环境的影响主要是施工期地基开挖、修建构筑物、道路等对地表土壤和植被的破坏及水土流失，从而影响到区域生态系统的变化或引发相关环境问题。为将这些负面影响降到最小程度，实现开发建设与生态保护协调发展，在工程实施全过程中，采取一定的环保对策与措施，是工程设计中必不可少的工作。为此提出以下要求：⑴强化生态环境保护意识，严格控制施工作业区，不得随意扩大范围，必须减少对附近植被和道路的破坏；⑵物料、弃土渣应就近选择平坦地段集中堆放，要设土工布围栏、截排水沟等；⑶对临时占地开挖土方实行分层堆放，全部表土都应分开堆放并标注清楚，至少地表0.3m厚的土层应被视作表土。填埋时，也应分层回填，尽可能保持原有地表植被的生长环境、土壤肥力，以便于今后开展环境绿化。采取上述生态保护措施后，可有效保护施工期对生态环境的影响，则施工期生态治保护措施可行。6.2运营期环境保护措施及可行性论证6.2.1运营期废水治理措施及可行性论证本项目排水系统采用雨、污分流制，分别设置污水和雨水排水系统。并按照废水的污染程度分别采取不同管网收集进行处理。清污分流、废水分类收集和分质处理符合环保要求，有利于废水的处理和重复利用。6.2.1.1生产废水处理的可行性分析⑴废水处理措施的技术可行性苏州科太环境技术有限公司83 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书3污水处理站的处理能力约为883.4m/d，污水经处理满足《黄河流域（陕西段）污水综合排放标准》（DB61/224－2011）中的二级标准及《污水综合排放标准》（GB8978－1996）中的三级标准，排入市政污水管网，西安市第七污水处理厂进行深度处理，最终纳入太平河。①处理工艺可行性分析本项目所在地一期已建设处理站1座，污水处理站主要处理废碱废水、有机废水、含氢氟酸废水等。其处理工艺见图6.2-1图6.2-1厂内污水处理站处理工艺图本项目生产废水经过以上处理流程后出水水质可满足相应排放标准，其水质情况详见表6.2-1。84苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书表6.2-1项目污水处理站出水水质指标污染物名称项目pHSSCODBOD5氨氮氟化物排放浓度（mg/L）6~927.3583.9322.434.823.3排放标准（mg/L）6~94003001502520达标情况达标达标达标达标达标达标由上表可知，本项目生产废水经产区污水处理站处理后水质满足（DB61-224-2011）《黄河流域（陕西段）污水综合排放标准》二级标准和《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中的三级标准要求，故本项目生产废水可采取该处理工艺进行处理。污水处理站位于平台西北角，主要用于后入驻企业生产废水的预处理，处理规模为3883.4m/d，各种废水处理系统的处理规模可根据每种废水的产生量进行调整，本项目生产车间已经按照不同类型的生产废水接至污水相应相应的处理单元的入水口，本项目生3产废水包括清洗废水和洗涤塔产生废水，总产生量约为3.716m/d，其中酸洗废水、含333氟废水、有机废水的产生量分别为0.39m/d、0.0013m/d、2.968m/d；洗涤塔废水包括333碱性废水、酸洗废水、氟洗废水产生量分别为0.069m/d、0.23m/d、0.058m/d；该平台目前暂未入驻废水产生量较大的生产企业，尚有余量接纳本项目生产废水，且由“华新联合”竣工验收意见可知，生产废水经平台污水处理站处理后可满足排放标准，故本项目生产废水可依托平台污水处理站进行预处理，处理后可达标排放。②项目排水可行性分析3本项目污水处理站处理废水量883.4m/d，项目周边排水管网已配套到位，项目废水处理达标后经市政污水管网排入西安市第七污水处理厂。西安市第七污水处理厂位于西安高新技术开发区的西南部，主要接纳和处理西安高新技术开发区的生活污水和工业2企业生产废水，服务区域面积约为48.27km。于2008年12月投入试运行，2009年5343月正式投产运行。污水处理规模为8万m，规划远期建设规模为20×10m，近期建设4343规模为8×10m，包括回用水1.5×10m。西安市第七污水处理厂2008年12月20日具备了通水条件并开始设备调试运行，本项目属于该污水处理厂的收水范围，收水范围图见附图6.2-2，经现场踏勘，市政污水管网已接至本项目所在地，故本项目废水经平台污水处理站处理后可依托西安市第七污水处理厂进行深度处理。⑶废水处理措施的经济可行、长期稳定运行的可靠性分析本项目废水治理运行费用主要包括：药剂、电费、设备折旧维修费、人员工资等。具体情况见表6.2-2。苏州科太环境技术有限公司85 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书表6.2-2项目废水治理运行费用一览表类别单价（元/吨水）合计年费用（万元）电费3.5569.06药剂等0.710.25设备折旧维修费5.382.0人工费2.32.0合计11.9473.31根据项目废水特性，污水处理站投入运营后废水处理费用为11.94元/t废水，年处理费用约为73.31万元，在企业可以承受的范围内。因此拟建污水处理站处理本项目生产废水，无论是在处理工艺还是在经济上都是可行的。6.2.1.2生活污水处理的可行性分析本次环评保护本项目员工生活污水以及外租企业员工生活污水，本项目拟员工403人，外租企业员工为260人。本项目生活污水年产生量为4368m/a，日排放放量为16.83m/d，生活污水处理依托一期建设的化粪池。3一期于厂区北侧建设1座容积200m的化粪池（化粪池为普通化粪池），设计水力3停留时间为24h，一期项目生活污水排放量为21.44m/d（包含后期外租企业员工产生3的生活污水），本项目生活污水排放量为16.8m/d，化粪池设计可容纳本项目排水。普通化粪池是一种利用沉淀和厌氧发酵的原理，去除生活污水中悬浮性有机物的处理设施，属于初级的过渡性生活污水处理构筑物。本项目生活污水的COD、BOD5、SS、氨氮产生浓度为350mg/L、170mg/L、400mg/L、25mg/L，经化粪池处理后项目COD、BOD5、SS、氨氮废水的排放浓度为298mg/L、145mg/L、320mg/L、25mg/L。因此本项目产生的生活污水经化粪池处理后能够满足（DB61-224-2011）《黄河流域（陕西段）污水综合排放标准》二级标准（其中污染物SS和动植物油执行《污水综合排放标准》（GB8978－1996）中的三级标准）要求。6.2.2运营期废气治理措施及可行性论证根据《大气污染治理工程技术导则》（HJ2000-2010）的要求，大气污染治理工程应遵循综合治理、循环利用、达标排放和总量控制原则；应采取各种有效措施，控制污染源有组织排放，减少污染气体的处理量。本项目大气污染防治措严格按照要求落实各项86苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书处理设施正常运行。大气污染物治理措施技术可行性分析本项目生产过程中产生的废气包括外延生长过程产生的尾气（G1），清洗工序产生的尾气（G2）、光刻、烘烤、显影、去胶及有机溶剂使用过程产生的的非甲烷总烃（G3）、沉积废气（G4）、氟化物（G5）。废气特点为产生工序和污染物种类均较多，但污染物产生量和浓度均较小。经与建设单位沟通和现场实际踏勘，本项目生产废气均经酸性废气洗涤塔、碱性废气洗涤塔、含氟废气洗涤塔和活性炭吸附装置，设备均按一备一用的规模进行设置，并配有备用发电机，当在用设备出现故障时刻立即启动备用设备，停电时可立即使用备用发电机进行发电，以避免非正常工况下污染物的非正常排放。根据国家相关法律、法规和地方环保要求，针对项目废气处理环评单位提出如下改进要求：排放氯气的排气筒高度应满足不低于25m的高度要求。（1）磷烷和砷烷废气处理措施可行性分析外延生长工序产生的未反应的磷烷和砷烷属有毒物质，本项目建设单位拟使用Scrubber处理器进行处理。Scrubber处理器是利用磷烷和砷烷的化学特性，通过其与化学溶液进行反应，以达到磷烷和砷烷去除的目的，主要包括入口系统、化学药剂系统、两极反应塔、反应室等。外延生长产生的废气经过装有次氯酸钠和氢氧化钠混合罐，生成磷酸钠和砷酸钠，通过该反应将剧毒性的磷烷和砷烷转化为低毒性的磷酸钠和砷酸钠。该处理器的处理能力为AsH38L/min和PH310L/min，最大总进气处理量为800L/min，主要采用30%~40%氢氧化钠、≥10%次氯酸钠和20%~30%磷酸对磷烷和砷烷进行处理（磷酸调节pH值），处理效率可达99.996%以上，处理原理如下：AsH3+4NaClO3+3NaOH===Na3AsO4+NaCl+3H2OPH3+4NaClO3+3NaOH===Na3PO4+NaCl+3H2O本项目外延生长工序中未反应的磷烷和砷烷量分别为12.96kg和5.76kg，磷烷、砷烷在300℃左右会有部分分解产生磷、砷和氢气，本项目反应温度约为1000℃，按最不利情况考虑，即磷烷和砷烷未分解全部经过scrubber处理器处理，需处理的磷烷和砷烷量为12.96kg和5.76kg，磷烷速率为0.01kg/h、砷烷速率为0.03kg/h，砷烷处理后磷烷-33-33和砷烷排放浓度分别为0.35×10mg/m和1.14×10mg/m，满足《荷兰排放导则》（NER）要求，故Scrubber处理器可满足处理要求。苏州科太环境技术有限公司87 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书（2）非甲烷总烃处理措施可行性分析⑴非甲烷总烃主要成分和来源项目非甲烷总烃来源主要为光刻、烘烤、显影、去胶及有机溶剂使用过程，主要成分包括丙二醇单甲醚醋酸酯、丙酮、异丙醇，根据物料平衡可得，其产生量为3.7244t/a。⑵非甲烷总烃的脱除方法国内外脱除废气中非甲烷总烃主要有三种方法：吸收法、吸附法和燃烧法。燃烧法又分为直接燃烧法与催化燃烧法。①吸收法先将非甲烷总烃通过吸收液吸收后回收，然后对其进行处理，转化为无毒无害的物质。非甲烷总烃不溶于水，不能用水进行吸收。②吸附法采用吸附剂吸附非甲烷总烃，当污染物质通过装有吸附剂（如活性炭、疏水分子）的吸附塔时，利用该吸附剂对污染物的强吸附力，以减少非甲烷总烃的排放浓度。该方法设备简单，去除效果好。③燃烧法生产过程所排放的非甲烷总烃，具有一定的可燃性，因此可以在一定温度下使气体燃烧，生成CO2和H2O，可以除去有害组分，防止大气污染。直接燃烧法：当有机组分与氧的浓度处在某一范围，且在某一点点火所产生的热量可以继续引燃周围的混合气体，使燃烧继续，可采用直接燃烧法处理尾气。在850～900℃时，基本全部分解。催化燃烧法：催化燃烧的实质是活性氧参与的剧烈氧化作用。催化剂活性组分在一定温度下连续不断地将空气中的氧活化，活性氧与反应物接触时，将自身获得的能量迅速转移给反应物分子而使其活化，使氧化反应的活化能降低。根据实验结果其净化效率在98～99.7%，缺乏大规模工业化实践。几种处理方法比较见表6.2-3。表6.2-3几种处理方法的比较净化工艺适用范围安全性净化效率总投资能耗有无二次污染吸收法浓度较高、温度较低安全低低低废液需处理吸附法低浓度安全高低低固废需处理燃烧法高温下可分解不安全低高高有88苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书③非甲烷总烃净化措施分析综上所述，项目产生的非甲烷总烃中污染物浓度较小，且部分不溶于水，吸收和燃烧效果都相对较差，缺乏经济性和实用性。因此采用活性炭吸附法去除非甲烷总烃具有一定的经济技术可行性。项目非甲烷总烃产生部位均设置集气装置，产生的非甲烷总烃由风机引至有机废气处理系统经吸附效率不小于90%的活性炭吸附处理后经风机引至15m高排气筒排放，3非甲烷总烃排放速率2.48kg/h。具体处理工艺流程见图6.2-2。排放浓度24.83mg/m，满足《陕西省挥发性有机物排放控制标准》(DB61/T1061-2017)中对电子产品制造业污染物排放限值的要求，处理措施可行。目前国内已有多家同类企业使用该处理措施，运行及处理效率较稳定，本项目产生的非甲烷总烃在经活性炭吸附处理后由15m高排气筒排放，可达标排放，污染防治措施可行。排放污染源废气收集风管抽风机活性炭吸附排气筒图6.2-2非甲烷总烃处理工艺流程图根据以上分析，在尾气处理装置排口处加装活性炭吸附装置是对有机废气的针对性处理设施，可有效降低有机废气的浓度和排放量，同时也可对未反应的磷烷、砷烷等其他有机废气进行去除，从而减小项目废气对周围环境的影响。经与建设单位与设计单位沟通，项目尾气处理增加活性炭吸附处理后，应根据生产需求，在采取适当提高压力的条件下，可避免对生产设备及Scrubber处理器的影响。（3）洗涤吸附处理措施的可行性分析洗涤塔是一种新型的气体净化处理设备。它是在可浮动填料层气体净化器的基础上改进而产生的，广泛应用于工业废气净化、除尘等方面的前处理，净化效果很好。处理工艺下图6.2-3；苏州科太环境技术有限公司89 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书洗涤液排放污染源废气收集罩风管抽风机洗涤塔排气筒排污废气洗涤进入废水处理系统循环水池图6.2-3废气洗涤处理工艺流程图酸性废气是生产车间内各种酸性物质使用过程中挥发产生的酸雾（主要工段环节有酸清洗、刻蚀），主要污染物为硫酸雾、HCl、Cl2等。酸性废气处理系统主要由废气洗涤塔、通风机、排气管和加药系统等组成。酸性废气进入吸收塔后，水平穿过填料，中和碱液由喷淋管上的喷头均匀分布在填料上，水气两相在填料上得到充分接触，废气中的酸性物质与中和碱液中的NaOH发生化学反应，转移至液相，废气得到净化，中和碱液循环使用。随着化学反应的进行，中和碱液的pH值不断降低，此时中和碱液的投放由控制系统自动完成，而排放的少量废中和液进入酸碱废水处理系统处理。碱液喷淋吸收塔采用10%～15%NaOH溶液作为中和吸收液，抗压2000Pa，直立逆流式，填充物采用特拉瑞德，材质为PP，空隙率95%，对气流阻力小，表面积28FT2/FT3（96M2/M3），其内部的压力损失为60mmAq，均为喷嘴型非阻塞型（BETETF28FC120度），材质为PP。酸洗气体经过酸性洗涤塔（处理效率为95%）处理后30m烟筒排放。产生量可根-3据物料平衡得。硫酸雾的产生量为0.00520t/a，速率为3.47×10kg/h，经酸洗洗涤塔处3-3理后排放浓度为0.03mg/m；氯化氢的产生量为0.0020t/a，速率为1.33×10kg/h，经酸3洗洗涤塔处理后排放浓度为0.01mg/m；氮氧化物的产生量为0.11520t/a，速率为0.08kg/h，3经酸洗洗涤塔处理后排放浓度为0.77mg/m，氯气产生量为0.00010t/a，速率为0.07×-3-3310kg/h，经酸洗洗涤塔处理后排放浓度为0.67×10mg/m。硫酸雾、氯化氢、氮氧化物、氯气废气经酸性洗涤塔处理后可达到《大气污染物综合排放标准》二级标准。碱性气体经过碱性洗涤塔（处理效率为95%）处理后15m烟筒排放（其中氯气经过25m排放）。产生量根据物料平衡得。氨气产生量为0.04288kg/a，速率为0.03kg/h，3经碱性洗涤塔处理后排放浓度为0.29mg/m；。氨气废气经碱性洗涤塔处理后可达到《大90苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书气污染物综合排放标准》二级标准。含氟气体经过含氟洗涤塔（处理效率为95%）处理后15m烟筒排放。产生量根据物料平衡得。氟化物产生量为0.45kg/a，速率为0.0002kg/h，经含氟洗涤塔处理后排放3浓度为0.043mg/m。处理后可达到《大气污染物综合排放标准》二级标准。碱性洗涤塔和酸洗洗涤塔、含氟洗涤塔处理工艺成熟，国内外应用较为广泛，处理较高浓度废气时运行费用也较低，能够稳定达标排放。碱性废气处理原理和酸性废气相同，只是所使用的吸附液不同，根据上述分析可得，洗涤吸收法对其处理后可达标排放。项目建成后的废气处理情况及拟配备废气设备、设施情况见表6.2-4苏州科太环境技术有限公司91 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书表6.2-4项目废气处理及设备、设施情况一览表代号污染工序污染物名称处理设施排放情况氨气碱性废气洗涤塔1外延生长砷烷经15m高排气筒排放scrubber处理器磷烷硫酸雾2清洗HCL酸性废气洗涤塔经30m高排气筒排放氯气3SiO2沉积氮氧化物光刻、去非甲烷4活性炭吸附经15m高排气筒排放胶、清洗总烃湿法刻蚀、5氟化物含氟废气洗涤塔经15m高排气筒排放设备清洁⑵大气污染物治理措施经济可行、长期稳定运行的可靠性分析本项目废气治理运行费用主要包括：电费、设备折旧维修费、人员工资等。具体情况见表6.2-5。表6.1-2项目废气治理运行费用一览表类别年消耗量单价年费用（万元）电费约10万kwh1元/kwh10.0集气罩--4.0设备折旧维修费按直接投资的10%计2.43人工费2人60000元/年12.0合计//16.43从表6.1-2可见，本项目废气治理设施年运行费用约16.43万元/年，相比企业获得的年49405.2万元销售收入和利税，在企业可以承受的范围内。本项目针对大气污染物排放所采取的治理措施为集气罩、除尘器、活性炭吸附及15m高排气筒，在保证设备正常运行的条件下，大气污染物的排放可达标排放。若保证长期稳定运行，需对设备进行及时检修与维护。⑶大气污染物治理措施满足环境质量改善。⑴根据《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）Cl2排放高度不得低于25m，本项目拟建设排气筒高度为30m，满足标准要求。⑵非甲烷总烃经集气罩收集后由活性炭吸附，根据《挥发性有机物排放控制标准》92苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书（DB61/T1061-2017）的规定，非甲烷总烃去除效率不得低于85%。⑶对活性炭定期更换，确保其净化效率，实施稳定达标排放。⑷对烟道内壁进行喷防腐漆等防腐处理，防止氟化氢气体对烟道进行腐蚀。⑸根据调查的资料分析显示，项目拟选择的废气处理系统运行稳定，目前国内及国外还没有类似处理系统出现较大故障的报道。但若在本项目运行过程中出现废气处理系统出现较大故障，需要较长时间进行维修的状况时，建设单位应立即停止生产，以免大量废气直接排放后对环境空气造成污染影响。综上所述，本项目采用的废气处理工艺成熟、技术可靠、运行稳定、成本和运行费用均较低、经济合理，废气治理措施工艺、技术、经济可行。6.2.3运营期噪声治理措施及可行性论证⑴工程拟采取的噪声污染控制措施及可行性本项目主要噪声源情况见表3.4-3。为确保项目建成运营后厂界噪声稳定达标，项目设计拟采取以下治理措施：①控制设备噪声采购设备时对供应商提出噪音控制要求，尽可能选用低噪音设备；采用低噪声的噪音冷却塔，控制水流噪声；通风换气系统均采用低噪声设备；提高机械设备装配精度，加强维护和检修，提高润滑度，减少机械振动和摩擦产生的噪声，防止共振等，可有效降低对周围环境的影响。②采取适用技术降噪根据生产工艺和操作等特点，将主要工艺设备置于室内操作，利用建筑物隔声屏蔽；对噪音较大的设备加装消音器降噪，对部分产生振动的设备和装置采取基础减振措施，将噪声影响控制在较小范围内。③合理安排生产作业时间合理安排生产作业时间，对高噪声设备的运行应尽量安排在昼间，避免高噪声设备的夜间运行对周围声环境产生不利影响。④合理布局，加强绿化隔离防护在厂区总图设计上科学规划，合理布局，尽可能将噪声设备集中布置、集中管理，使之远离办公区，以充分利用距离衰减。苏州科太环境技术有限公司93 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书根据相关设施的噪声污染防治经验分析，以上措施结合使用可获得一定的降噪效果，预测结果也表明，本项目运行时各厂界噪声仍可符合GB12348－2008《工业企业厂界环境噪声排放标准》中的3类区标准。因此评价认为以上噪声治理措施可行。⑵要求①尽量选用低噪声设备。②各种泵置于半地下隔音间内，同时对各类装置均安装消声器，局部加装隔音罩。对开料机等部分产生振动的设备和装置采取基础减振措施。③合理安排生产作业时间，对高噪声设备的运行应尽量安排在昼间，避免高噪声设备的夜间运行对周围声环境产生不利影响。④该项目高噪声设备较多，按照有关要求，工人接触时间为8h的卫生标准为85dB(A)，因此对于必须暴露在强噪声源（85dB(A)以上）下工作的人员，应配备防护耳罩，保护工人健康。⑶建议①加强厂区绿化和生态防护，利用草丛、树木的隔声、吸声作用降噪，减小项目运行对外界声环境的影响。②在厂区总图设计上科学规划，合理布局，尽可能将噪声设备集中布置、集中管理。6.2.4运营期固体废弃物治理措施及可行性论证（1）一般固废项目产生的一般固体废物废包装材料（主要是指废包装箱等）、生活垃圾等。废包装材料产生量为0.58t/a，出售给物资回收部门；生活垃圾产生量为39t/a，由当地环卫部门定期清理处置，本项目运营期产生的一般固体废物经以上措施处理后实现了固体废物的资源化，可保证不对环境产生明显污染，防治措施可行。（2）危险固废本项目生产过程中产生的危险废物种类较多，主要有酸洗废液产生量为25.8188t/a、不合格产品产生量为0.225t/a、废光刻胶产生量为62.1kg/a、废显影液产生量为3.00015t/a、含氟废液产生量为87.5672kg/a、有机废液产生量为42.425169t/a、抛光废液产生量为0.288t/a。均交有资质单位进行处置，危险废物均应按《危险废物贮存污染控制标准》（GB18957-2001）贮存管理，防止对环境产生污染。94苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书针对本项目产生的危险废物，本次环评要求严格按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）和《危险废物转移联单管理办法》（国家环保总局5号令）相关要求对其进行贮存及转移。危险废物厂内暂存时必须满足以下要求：-7①基础必须防渗，防渗层为至少1m厚的黏土层（渗透系数≤10cm/s），或2mm厚-10的高密度聚乙烯，或至少2mm厚的其他人工材料（渗透系数≤10cm/s）；②危险废物存放要防风、防雨、防晒；③不能兼容的危险废物不能放在一起等危险废物堆放贮存要求；④危险废物贮存区设置危险废物贮存标志。（3）生活垃圾本项目职工生活垃圾收集与厂内垃圾桶中，定期交由当地环卫部门统一处置，措施可行。（4）要求⑴设置符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）的临时贮存设施，采取防渗、防散失措施，危险废物贮存区设置危险废物贮存标志。⑵按照国家有关危险废物申报登记、转移联单等管理制度的要求，向当地环境保护部门进行危险废物的申报、转移等。危险废物贮存，应严格按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）的要求执行。⑶对生活垃圾设密闭垃圾筒（加盖）收集。6.2环保投资估算本项目环保总投资243万元，占总投资的1.22%，主要用于废气、废水、噪声、固体废物的治理措施。本项目污染防治措施及环保投资估算见表6.3-1。表6.3-1项目环保措施汇总一览表类环保投资资金污染源主要设备、设施内容数量备注别（万元）来源砷烷、磷烷等Scrubber处理器1套105/有机废气活性炭吸附装置+15m高排气筒2套8一备一用废酸性废气洗涤塔+15m高排气筒1套35自筹/气碱性废气洗涤塔+15m高排气筒1套30/含氟废气洗涤塔+15m高排气筒1套20/苏州科太环境技术有限公司95 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书3废生活污水化粪池（200m）1座/依托现有水生产废水污水处理站1座/依托现有噪设备噪声隔声、减振、柔性连接等/1/声按不同危险废物分别设置危险危险废物/3/固废物临时储存设施废一般固废分类收集装置及堆放点/0.5/生活垃圾垃圾桶/0.5/管理运行费/40/合计/243/96苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书7环境影响经济损益分析环境损益分析是项目环境影响评价的一个重要组成部分。环境影响的经济损益分析是从项目产生的正、反两方面的影响，分析项目所造成环境影响的损失与效益，尽可能估算其经济价值，并将环境影响的经济价值纳入项目的经济分析中去，以判断项目的环境影响对项目的可行性会产生多大的影响。其中负面的环境影响，估算出的是环境成本，正面的环境影响估算出的是环境效益。环境经济损益分析的最终目的是分析和评价项目的环境经济可行性。环境经济损益分析一般采用费用—效益分析方法进行。7.1经济效益分析根据项目可行性研究报告，本项目总投资20000万元，整个生产运营期的税前财务净现值为49405.2万元每年。项目的投资利润率及投资利税率较高，项目的建设将会为企业带来较大的投资回报，而且根据预测项目的盈亏平衡和风险分析，本项目建设具有较强的平衡能力和抗风险能力。因此，总体来看，本项目建设在经济方面是可行的，具有较高的投资价值。7.2社会效益分析项目拟投资20000万元在西安市高新区上林苑一路15号建设光电子集成思安路标准化厂房建设项目。《国务院关于印发进一步鼓励软件产业和集成电路产业发展若干政策的通知》（国发[2011]4号），进一步加大了对集成电路产业的扶持力度，使产业发展环境得到进一步优化，陕西省光电子集成电路先导技术研究院的成立紧紧抓住这个良好的发展时机。此外，先导院的成立与发展将有效地推动陕西乃至全国的光电子芯片技术产业发展，带动数百亿元新兴光电子大产业，并解决我国光通信产业高端核心芯片严重依赖进口，受制于人的格局；同时增加区域内的人流、物流、资金和信息流的流动，能够为社会提供大量的就业机会，有利于维护社会稳定。因此，本项目的实施带来巨大的市场及社会效益，具有良好的可行性。苏州科太环境技术有限公司97 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书综上所述，本项目具有较大的社会效益。7.3环境经济损益分析7.3.1环保投资本项目属于环保设施投资的主要为废气和废水处理系统、固废收集系统、噪声治理投资等。环保总投资估算为243万元，占总投资的1.22%,环保措施投资估算具体见表7.3-1表7.3-1项目环保投入估算表项目环保类别主要设备、设施内容数量备注投资（万元）砷烷、磷烷等Scrubber处理器1套105暂无有机废气活性炭吸附装置+15m高排气筒2套8一备一用，废气酸洗废气洗涤塔+30m高排气筒1套35/碱性废气洗涤塔+15m高排气筒1套30/含氟废气洗涤塔+15m高排气筒1套20/生产废水污水处理站1座/依托现有废水3生活污水化粪池（200m）1座/依托现有噪声噪声控制隔声、减振、柔性连接等/1/按不同危险废物分别设置危险废危险废物/3/物临时储存设施固体一般固废分类收集装置及堆放点///废物设计生活垃圾垃圾桶/厂区现有配套管理运行费/40/合计/243/7.3.2环境代价环境代价主要体现在由于建构筑物、管道施工以及生产车间建设等将造成临时或永久性占地，造成地表植被破坏、气候环境改变等一系列环境经济损失。运行期间环境损失很小，主要表现在占地的机会成本增加。在此主要计算永久占地的损失，工程永久占22地55048.70m（约83亩），按当地企业、政府租用土地费用标准（3万元/hm·a），估算占地损失为16.5万元/a。98苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书7.3.3环境成本分析环境成本是指项目为防治生态破坏和环境污染，建设必要的生态保护工程和采取环境污染设备所折算的经济价值，初步估算本项目的环境代价如下。⑴环保工程建设投资项目环保总投资243万元，按环保设备的使用寿命20年计算，则每年的环保工程建设投资为12.15万元/a。⑵环保工程运行管理费用运行管理费用包括设备检修、能源、材料、环保工作人员工资、环境监测费及排污费等，经估算得到本项目运行管理费为40万元/a。综合分析得出建设项目的环境成本为52.15万元/a。7.3.4环境收益分析环境收益即工程采取环保措施后挽回的经济损失，主要是污染防治收益。按照《排污费征收管理办法》，采取环保措施后可以减少缴纳的排污费，经估算废气约16万元，废水约4万元，合计总环境经济收益为20万元/a。7.3.5环境经济效益分析⑴环境代价率环境代价率指工程单位经济效益所需的环境代价：环境代价率=环境代价/工程总经济效益*100%=0.03%⑵环境成本率环境成本率是指工程单位经济效益所需的环境成本，本项目的环境成本率为：环境成本率=环境成本/工程总经济效益*100%=0.11%⑶环保工程经济效益系数环境工程经济效益系数=环境收益/环境成本=0.387.4环境经济损失分析结论本工程的建设符合国家产业政策要求，从本项目的环境代价率、环境成本率、环境系数率和环保工程经济效益系数来看，该项目的环境代价率、环境成本率和环境系数较苏州科太环境技术有限公司99 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书低，说明建设项目采取环保措施后能够取得一定的环境收益。因此从环境经济综合的角度来看，本项目是合理可行的。综上所述，从企业的长远利益出发，该项目只要认真落实已采取的和本报告中建议的各项防治措施，并保证投产后切实加强管理，使环保设施正常运行，是能够达到经济、社会和环境效益协调发展。100苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书8环境管理与监测计划建设项目的主要环境问题为项目投入使用后废气、废水、噪声、固废污染，在加强管理的同时，应定期进行环境监测，以便采取相应措施，消除不利因素，减轻环境污染，使各项环保目标落到实处。8.1环境管理环境管理是企业管理的一项重要内容。加强环境监督管理力度，是实现环境、生产、经济协调发展和走可持续发展道路的重要保证。实践证明，要解决好企业的环境问题，首先必须强化企业的环境管理，由于企业的产品产出与“三废”的排放是生产过程同时存在的两个方面，因此，企业的环境管理实质上是生产管理的主要内容之一，其目的是在发展生产的同时，对污染物的排放实行必要的控制，保护环境质量，以实现环境效益、社会效益、经济效益的统一。环境监测是污染防治的依据和环境监督管理工作的重要内容，也是环境影响评价的一个重要组成部分；加强环境监测工作，不仅是贯彻执行《中华人民共和国环境保护法》等法律法规，也是了解和掌握排污特征，研究污染发展趋势，开展科学技术研究和综合开发、利用资源能源的有效途径。随着人民生活水平的不断提高和环保意识不断增强，环境管理和环境监测工作也越来越显得重要。8.1.1各阶段环境管理要求（一）施工期管理要求企业在进行施工组织的同时必须加强施工期环境管理，减小施工扬尘和施工噪声对环境的影响，减小施工时压占、剥离地表植被对生态环境的破坏。具体的施工期环境管理措施有以下几项：（1）粉状材料如水泥、石灰等应进行罐装或袋装，禁止散装运输，堆放场地应使用蓬布遮盖。（2）出入料场的道路、施工便道及未铺装的道路应经常洒水。（3）施工废料、地表清除物不得倾倒在水体附近，应及时清运或按环保部门的规苏州科太环境技术有限公司101 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书定进行处理。（4）施工中冲洗水排入沉淀池重复使用。（5）在施工过程中，注意选用低噪声的机械设备，并注意对机械的维修养护和正确操作，把噪声影响降到最低。（6）不得随意开设施工便道，施工产生的建筑垃圾及施工人员生活垃圾应及时清运。（7）尽量减少对植被的破坏，严格控制作业面积，对可以不扰动的地方尽量不要破坏地表植被，对破坏的地方采取生态补偿（绿化等）。（8）建设过程中尽量平衡土方量。（9）加快建设步伐，严禁在大风、大雨天气下施工，减少水土流失和环境空气污染。（10）工程结束后，应按环境保护部门的有关规定进行绿化，进场运输道路两侧及厂界设置绿化防护带。（二）运营期管理要求（1）根据国家环保政策、标准及环境监测要求，制定该项目运行期环保管理规章制度、各种污染物排放控制指标；（2）负责该项目内所有环保设施的日常运行管理，保障各环保设施的正常运行，并对环保设施的改进提出积极的建议；（3）负责该项目运行期环境监测工作，及时掌握该项目污染状况，整理监测数据，建立污染源档案；（4）该项目运行期的环境管理由应设专门科室由专人承担；负责该项目内所有环保设施的日常运行管理，保障各环保设施的正常运行，并对环保设施的改进提出积极的建议；负责对员工进行环保宣传教育工作，以及检查、监督各单位环保制度的执行情况；（5）建立健全环境档案管理制度、污染防治设施设计技术改进及运行资料、污染源调查技术档案、环境监测及评价资料、项目平面图和给排水管网图等。本评价提出各阶段环境管理要求见表8.1-1。表8.1-1环境管理工作计划表（建议）阶段环境管理主要任务内容1、参与工程建设前期各阶段环境保护和环境工程设计方案工作；建设前2、编制企业环境保护计划，委托有资质环评单位开展项目环境影响评价；期3、积极配合可研及环评单位开展项目区现场踏勘与调研工作；4、针对工程生产特点，建立健全内部环境管理体系与监测制度；102苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书5、委托设计部门依据环评文件及批复文件要求，落实工程环保设计，编制环保专篇。1、按照工程环保设计，与主体工程同步建设，严格执行“三同时”制度；建设期2、监督和考核各施工单位责任书中任务完成情况；3、认真做好各项环保设施施工监督，及时与当地环保行政主管部门沟通。1、对照环评文件、批复文件及设计报告核查环保设施落实情况；2、检验环保工程效果和运行工况，建立记录档案，要求与主体工程同步进行；试运行3、检查环保机构设置及人员配备、环境管理制度、环境监理资料档案等是否健全；期4、试生产前向环保行政主管部门提交试生产申请报告，配合竣工验收和检查；5、总结试运行经验，针对存在问题进行整改，提出补救措施方案；6、委托有资质单位编制工程“三同时”竣工验收监测报告。1、认真贯彻、执行国家和地方环境保护法律法规和标准，保证生产正常运行；2、申报排污许可证，建立环保设施运行卡，对环保设施定期进行检查和维护；3、按照环境监控计划开展定期、不定期环境与污染源监测，发现问题及时处理；生产期4、完善环境管理与污染防治目标，配合地方环保部门制定区域环境综合整治规划；5、推行清洁生产，循环经济和减污增效，实现污染预防；6、参与编制项目的环境风险事故应急预案，建立企业环境管理体系。环境管1、加强污染源监控与管理，提高水资源、能源和工业固废的综合利用率；理2、坚持“预防为主、防治结合、综合治理”原则，强化企业污染防治设施管理力度；工作重3、严格控制生产全过程废气、废水和噪声排放及危险固废的安全处置。点8.1.2污染物排放清单及污染物排放管理要求（1）施工期污染物排放清单及污染物排放管理要求本项目施工期污染物排放清单见表8.1-2。表8.1-2施工期污染物排放清单及污染物排放管理要求一览表污染产污环节及排放浓度污染物排放管理处理措施类别污染物总量指标要求周围环境空气质量达土建工程产①定期洒水抑尘废气/到《环境空气质量标生的扬尘②设置围挡准》中二级标准①合理布置，选用低噪声设备；②严格操作规程，降低人为噪声环境污染；施工场界噪声符合安装设备产噪声③严格控制施工时段，禁止夜间进行/《建设施工场界环境生的噪声产生环境噪声污染建筑施工作业；噪声排放标准》④优化运输路线，减少对周围敏感点的影响。①生活垃圾、建筑垃圾应分别堆放，固体生活垃圾、送指定垃圾场填埋处理；/弃渣应合理利用废物建筑垃圾②合理调配弃渣施工人员生综合利用，城市污水废水沉淀池/活污水管网（2）运营期污染物排放清单及污染物排放管理要求①污染物排放清单苏州科太环境技术有限公司103 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书本项目需设置5个排气筒、1个污水接管口、1个一般固废临时堆放场所和1个危废暂存间，并定期向社会公开污染物排放情况，接受社会的监督。104苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书8.1-3大气污染物排放清单达标排气产生情况治理措施排放情况排放源参数排放标准排放情况产污节点污染物筒编方式核算产生量浓度速率处理排放量浓度高度直径温度速率浓度号3治理工艺3速率kg/h3方法kg/amg/mkg/h效率kg/amg/mmm℃kg/hmg/m物料衡算0.01290.05×0.35×-5磷烷有组织68.640.0199.99-5-30.03×100.011.0法scrubber10101#6%15125外延生物料衡算0.0428处理器0.17×1.14×-5砷烷有组织28.590.03-5-30.11×100.011.0达标长法81010物料衡算0.0428碱性废气2.14×-3氨气有组织2#5.720.0395%-30.291.43×10151254.9--半法8洗涤塔10导物料衡算0.00523.47×0.26×-3硫酸雾有组织0.69-3-30.030.17×108.845达标体法01010材物料衡算0.00201.33×0.10×-5清洗HCl有组织0.27-3-30.016.67×101.4100达标料法010酸洗废气103#95%30125生物料衡算0.00010.07×洗涤塔5.76×-3产氯气有组织0.01-3-30.773.84×100.8765达标法01010线SiO2沉氮氧化物料衡算0.11520.50×0.67×-5有组织15.360.08-5-30.33×104.4240达标积物法01010光刻、去非甲烷物料衡算3.7244活性炭吸有组织4#248.292.4890%0.3724.830.2515125--50达标胶、清洗总烃法0附刻蚀、设物料衡算0.00040.30×含氟废气2.25×3.00×-5氟化物有组织5#0.06-395%-5-31.50×10151250.1211达标备清洁法510洗涤塔1010苏州科太环境技术有限公司105 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书8.1-4废水污染物排放清单产生情况治理措施排放情况3标准(污)废水量m/a污染物3mg/m浓度mg/L产生量t/a工艺效率浓度mg/L排放量t/aCOD4790.463≥65%1680.162300BOD51120.108≥80%220.022150依托平台一996.94SS4100.396期污水处理≥85%620.059400站氨氮680.066≥70%200.02025氟化物0.360.003≥95%0.020.000220COD3501.529≥15%2981.302300BOD51700.743≥15%1450.633150依托一期化4368.00粪池SS4001.747≥20%3201.398400氨氮250.1090250.109258.1-5主要噪声源及治理措施治理前声压级声源位置声源名称数量（台）运行状况项目治理措施降噪效果dB(A)车间内水泵2间断85隔声、减振25106苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书车间外侧紧邻水泵2间断85隔声、减振20车间内风机4连续90隔声、减振20车间外空压机1间断90隔声、减振208.1-6主要固体废物及治理措施代号名称固废性质危废类别废物代码处置措施产生量最终去向S1酸洗废液危险废物HW34废酸900-300-34设专有容器收集25.8188t/a交有资质单位处置S2废光刻胶危险废物HW13有机树脂类废物900-014-13设专有容器收集62.1kg/a交有资质单位处置S3废显影液危险废物HW16感光材料废物397-001-16设专有容器收集3.00015t/a交有资质单位处置87.5672S4含氟废液危险废物HW32无机氟化物废物900-026-32设专有容器收集交有资质单位处置kg/aS542.425169有机废液危险废物HW06废有机溶剂与含有机溶剂废物900-403-06设专有容器收集交有资质单位处置S7t/aHW17S6抛光废液危险废物346-099-17设专有容器收集0.288t/a交有资质单位处置表面处理废物S8不合格产品危险废物HW49其他废物900-045-49设专有容器收集0.23t/a交有资质单位处置S9S11废活性炭危险废物HW06废有机溶剂与含有机溶剂废物900-410-06设专有容器收集0.58t/a交有资质单位处置S12氧化吸收液危险废物HW06废有机溶剂与含有机溶剂废物900-410-06设专有容器收0.30t/a交有资质单位处置苏州科太环境技术有限公司107 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书S10废包装材料一般固废//设垃圾桶收集0.58t/a出售S13生活垃圾一般固废//设垃圾桶收集39t/a环卫部分收集108苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书②污染排放管理要求1）工程组成和原辅材料组分要求本项目工程组成主要有主体工程、辅助工程、储运工程、公用工程、依托工程和环保工程组成，其中环保工程组成包括：废水：生产废水经厂区自建的污水处理站处理后与生活污水经化粪池处理后经市政污水管网进入西安第七污水处理厂；废气：磷烷、砷烷经Scrubber处理器后经15m高排气筒排放；氨气经碱性废气洗涤塔处理后经15m高排气筒排放；HCl、硫酸雾、氯气、氮氧化物经酸性废气洗涤塔处理后经30m排气筒排放；非甲烷总烃经活性炭装置吸附处理；氟化物经含氟洗涤塔处理后经15m排气筒排放。噪声：采用合理布局+减振+厂房隔声等措施；固废：1个一般固废暂存间和1个危废暂存间以及各类固体废物的收集和存储容器。2）建设项目拟采取的环境保护措施及主要运行参数建设项目拟采取的环境保护措施主要有废气处理措施，废水处理措施，噪声处理措施以及固体废物存储措施，项目运营期污染防治措施见表8.1-7，主要运行参数见表8.1-8，环保设施位置见图8.1-1。表8.1-7项目运营期污染防治措施污染物类别治理措施治理效果磷烷砷烷Scrubber处理器+15m排气筒《荷兰排放导则》（NER）外延生长《恶臭污染物排放标准》氨气碱性废气洗涤塔+15m排气筒(GB14554-93)表2中相关标准。清洗工序HCl、硫酸雾、《大气污染物综合排放标准》酸性废气洗涤塔+30m排气筒半氯气（GB16297-1996）中二级标准；废导气光刻去《陕西省挥发性有机物排放控体非甲烷总烃活性炭吸附装置，处理效率90%胶清洗制标准》(DB61/T1061-2017)材沉积废料氮氧化物酸性废气洗涤塔+30m排气筒气《大气污染物综合排放标准》生刻蚀设（GB16297-1996）中二级标准；产氟化物含氟废气洗涤塔+15m排气筒，备清洁线《黄河流域（陕西段）污水综合排放标准》（DB61/224-2011）废生产废水污水处理站中二级标准（缺项执行《污水水综合排放标准》（GB9878-1996）三级标准）苏州科太环境技术有限公司109 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书GB22337-2008《工业企业厂界噪声隔声、基础减震等措施环境噪声排放标准》3类标准要求危险废物临时储存设施、专用盛《危险废物贮存污染控制标危险废物装容器、场地防渗、按不同危险固体准》（GB18597-2001）废物分别存放废物生活垃圾垃圾桶、固定收集点处置率100%表8.1-8建设项目拟采取的环境保护措施及主要运行参数项目污染物处理措施运行参数2#排气筒：处理风量磷烷、砷烷Scrubber处理器+15m排气筒31000m/h，处理效率99.996%1#排气筒：处理风量氨气碱性废气洗涤塔+15m排气筒35000m/h，处理效率95%硫酸雾、3#排气筒：处理风量HCl、氯气酸性废气洗涤塔+25m排气筒5000m3/h，处理效率95%废气氮氧化物酸性废气洗涤塔+15m排气筒3#排气筒：处理风量35000m/h，处理效率95%非甲烷总烃活性炭吸附装置，处理效率90%4#排气筒：处理风量313000m/h，处理效率90%5#排气筒：处理风量氟化物含氟废气洗涤塔+15m排气筒，35000m/h，处理效率95%COD、生活BOD、SS、化粪池处理（依托一期）停留时间24h5污水氨氮COD、生产BOD5、SS、自建污水处理站处理（依托一期）/废水氨氮、氟化物噪声Leq（A）减振+厂房隔声降噪量≥30dB（A）危险废物临时储存设施、专用盛装容器、场危险废物/地防渗、按不同危险废物分别存放固废生活垃圾垃圾桶、固定收集点/3）信息公开根据《企业事业单位环境信息公开办法》（环保部令第31号）的规定：企业应建立健全本单位环境信息公开制度，及时、如实的公开其环境信息；公开的信息应包括：A、单位名称、组织机构代码、法定代表人、生产地址、联系方式以及生产经营和管理服务的主要内容、产品及规模等基础信息；B、主要污染物名称、排放方式、排放口数量和分布情况、排放浓度、总量、超标情况等排污信息。110苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书建设单位环境信息公开平台或者当地报刊等便于公众知晓的方式公开环境信息，同时可以采取以下一种或者几种方式予以公开：A、公告或者公开发行的信息专刊；B、广播、电视等新闻媒体；C、信息公开服务、监督热线电话；D、本单位的资料索取点、信息公开栏、信息亭、电子屏幕、电子触摸屏等场所或者设施。8.1.3排污口规范化管理排污口是企业排放污染物进入环境的通道，污染源排污口的规范化管理，是加强企业环境管理的重要举措，也是实施污染物总量控制管理的基础工作。对于加强污染源管理，现场监督检查，促进企业落实污染治理措施，实现环境管理的科学化、定量化都具有很大的现实意义。按照国家环保总局《排污口规范化整治技术要求》，本工程排污口规范化管理要求见表8.1-9。表8.1-9排污口规范化管理要求表项目主要要求内容凡向环境排放污染物的一切排污口必须进行规范化管理；将总量控制的污染物排污口及行业特征污染物排放口列为管理的重点；基本原则排污口设置应便于采样和计量监测，便于日常现场监督和检查；如实向环保行政主管部门申报排污口位置，排污种类、数量、浓度与排放去向等。排污口位置必须按照环监（1996）470号文要求合理确定，实行规范化管理；技术要求废气排气装置设置便于采样、监测的采样孔和采样平台；具体设置应符合《污染源监测技术规范》的规定与要求。排污口必须按照国家《环境保护图形标志》相关规定，设置环保图形标志牌；标志牌设置位置应距排污口及固体废物贮存(处置)场或采样点较近且醒目处，设置高度一般为标志牌上缘距离地面约2m；立标管理重点排污单位排污口设立式标志牌，一般单位排污口可设立式或平面固定式提示性环保图形标志牌；对危险物贮存、处置场所，必须设置警告性环境保护图形标志牌。使用《中华人民共和国规范化排污口标志登记证》，并按要求填写有关内容；严格按照环境管理监控计划及排污口管理内容要求，工程建成后将主要污染物种建档管理类、数量、排放浓度与去向，立标及环保设施运行情况记录在案，及时上报；选派有专业技能环保人员对排污口进行管理，做到责任明确、奖罚分明。苏州科太环境技术有限公司111 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书8.1.4环境管理措施、机构1、环境管理措施为更好地进行环境管理，建议采取以下措施：⑴经济手段：按污染物流失总量控制原理对厂内各装置分别进行总量控制，并采用职责计奖，超额加奖，签订包干合同等方式，将环境保护与经济效益结合起来。⑵技术手段：在制定企业产值标准、工艺条件、操作规程等工作的同时，把环境保护的要求也考虑在内，这样既能促进企业生产发展，又能有效保护环境。⑶教育培训手段：通过环保教育，提高全体职工的环境意识，自觉控制人为污染；加强职工操作培训，使每一个与环境因素有关的关键岗位人员均能熟练掌握操作技术，避免工艺过程中的损耗量。⑷行政手段：将环境保护列入岗位责任制，纳入生产调度，以行政手段督促、检查、奖惩，促使各生产车间直至生产岗位按要求完成环境保护任务。2、环境管理机构设置与职责根据《建设项目环境保护设计规定》的要求，工程应配套建设相应的污染治理设施，一方面为有效保护区域环境提供良好的技术基础，另一方面科学地管理、监督这些环保设施的运行又是保证治理效果的必要手段。项目运营后，建设单位聘请专门的环保和安全管理人员，委托具有专门的监测仪器和资质的监测单位，负责环境管理、环境监测和事故应急处理，其主要职责为：⑴执行国家、省、市环保主管部门制定的有关环保政策和法律法规，协调项目生产和环境保护的关系，并结合项目具体情况，制定全厂环境管理条例和章程。⑵负责全厂的环保计划和规划，负责开展日常环境监测工作，完成上级主管部门规定的监测任务，统计整理有关环境监测资料并上报地方环保部门；“三废”排放状况的监督检查及不定期总结上报等工作。⑶配合上级环保主管部门检查、监督工程配套建设的污水、废气、噪声、固体废物等治理措施的落实情况；检查、监督环保设备等的运行、维修和管理情况，监督本厂各排放口污染物的排放状态。⑷检查落实安全消防措施，开展环保安全管理教育和培训。⑸加强环境监测仪器、设备的维护保养，确保监测工作正常运行。⑹参加本厂环境事件的调查、处理、协调工作。112苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书⑺参与本厂的环境科研工作。⑻参加本厂的环境质量评价工作。项目应在该机构设管理人员1～2人，从事污染设施的运行和管理，委托有资质的监测单位进行环境监测。按有关环境保护监测工作规定，依托监测仪器、分析仪器，进行日常环境监测，监测人员应接受培训合格后方可上岗。8.2监测计划为了有效监控建设项目对环境的影响，项目建立环境监测制度，定期委托当地有资质环境监测站开展污染源及环境监测，以便及时掌握产排污规律，加强污染治理，建立健全监测档案，发现问题及时处理。8.2.1污染源监测计划环保监测是企业环境管理必不可少的一部分，也是环境管理规范化的重要手段，通过对企业主要污染物进行监测分析、资料整理、编制报表、建立技术文件档案，为上级环境保护部门进行环境规划、管理及执法提供依据。为了有效监控建设项目对环境的影响，项目建立环境监测制度，定期委托当地有资质环境监测站开展污染源及环境监测，以便及时掌握产排污规律，加强污染治理，建立健全监测档案，发现问题及时处理。运营期监测计划见表8.2.1表8.2-1项目运营期监测计划表监测监测类别监测项目监测点位置点数频率半年外延生长过程磷烷、砷烷排气筒取样口1个一次产生的尾气半年（G1-1）氨气排气筒取样口1个一次清洗工序产生半年HCl、硫酸雾、氯气排气筒取样口1个污废的尾气（G1-2）一次染气非甲烷总烃半年非甲烷总烃排气筒取样口1个源（G1-3）一次监半年沉积废气（G1-4）氮氧化物排气筒取样口1个测一次半年氟化物（G1-5）氟化物排气筒取样口1个一次废pH值、COD、BOD5、半年生产废水总排口1个水SS、氨氮、动植物油一次噪厂界噪声Leq(A)厂界外1m4个每季度一苏州科太环境技术有限公司113 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书声次（昼夜）氯气、氟化物、氮氧化环厂址上风向、下风一年环境空气物、非甲烷总烃、硫酸3个境向、项目所在地一次雾等质-2-pH值、Cl、SO4、高项目附近地下水一年量地下水3个锰酸盐指数、氟、砷等取水点一次监一年测声环境Leq(A)厂界四周4个一次8.2.2环境质量监测计划环境监测计划的制定与执行将保证环境管理措施的实施和落实，并及时发现问题，促进环境管理措施的修正和持续改进。⑴环境空气监测①监测项目：SO2、NO2、PM10、NH3、氟化物；②监测频率：连续监测7天，1次/年。其中SO2、NO2、NH3应有1小时均值，SO2、NO2、、氟化物、PM10应有监测日的24小时均值；③监测点位：在项目所在的上风向、下风向及项目地共布设3个监测点位；⑵地下水监测①监测项目：pH、总硬度、NH3-N、硫酸盐、高锰酸钾指数、六价铬、溶解性总固体、总大肠杆菌、镉、砷、汞。②监测频率：1次/年；③监测点：项目建设地下游共布设1个监测点位。⑶噪声监测：噪声：①监测项目：Leq[dB(A)]；②监测频率：2次/年；③监测点：厂界；连续监测1天，每天1次。8.3环境监理8.3.1环境监理工作的形式和任务建设单位应按照省环保厅有关要求，施工前委托具有环境监理资质的单位，对施工114苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书期拟采取的环境保护措施的实施情况进行监督。并依据环境影响报告书中的环境监理方案要求，在施工招标文件、施工合同和环境监理招标文件、监理合同中明确各自的环境保护责任。环境监理单位应依据建设单位的委托和监理合同中的环境保护要求，进行环境保护监理工作。8.3.2监理工作方案和内容环境监理的主要工作范围为：工程场地、进场道路和排水管线的施工现场、生活营地灯可能对周边造成环境污染和生态破坏的区域。建设期环境检测内容详见表8.4-1。表8.4-1建设期工程环境监理内容主要环境问题污染因子监理项目达到标准或要求监督施工期降尘措施的实施；监督生产《环境空气质量标准》废气施工扬尘系除尘装置安装（GB3095-2012）二级标准施工期生活污水经旱厕处理后定期清废水生活污水生活污水不外排掏施肥《建筑施工场界环境噪声施工设备噪监督施工期噪声达到《建筑施工场界环排放标准》噪声控制声境噪声排放标准》（GB12523-2011）相关规定生活垃圾、建监督施工期建筑垃圾定点堆放，生活垃固体废物定期清理，不得乱堆乱放筑垃圾圾定点堆放、定期清运工业场地、进检查施工现场土方堆置点的临时挡护生态环境场道路及排措施，监督施工期绿化、排水管线等水按要求完成绿化、硬化水管线保措施的落实建立环保设施施工进度档案，确保环保工作的正常实施运行；施工噪声与振动不得干扰周围群众的正常生活和工作；施工中造成的地表破坏，土地、植物毁委托监理单位，监督设计和加强管理，文其它坏应在竣工后及时恢复；设立施工期环环评提出的各项环保措施明施工境监理制度，监督环保工程的实施情工程和管理的落实况，施工阶段的环保工程进展情况和环保投资落实情况定期向环保主管部门汇报8.4总量控制依据工程分析，工程采取有效污染防治措施后，运行期间各种废气、废水污染物均能做到达标排放。本次评价按照国家污染物排放总量控制原则，核定工程主要污染物排放总量控制建议指标见表8.4.1。苏州科太环境技术有限公司115 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书表8.4-1总量控制建议指标污染物类型污染物本工程排放t/a建议总量指标t/aCOD1.4641.464废水NH3-N0.1290.129VOCS0.370.37116苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书9环境影响评价结论9.1建设项目概况2项目总投资20000万元，占地面积，55048.70m（约83亩），主要建设1条半导体材料生产线、3栋厂房（即半导体材料厂房、化合物芯片厂房、封装及模组厂房）、1栋宿舍楼和1座气体存储仓库。9.2环境质量现状结论9.2.1环境空气质量现状结论根据监测结果可知，本项目评价区域各监测点的常规监测因子SO2、NO21小时平均浓度、24小时平均浓度、PM1024小时平均浓度均满足《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准要求；氟化物的日均浓度值及氨的一次浓度值满足《工业企业设计卫生标准》（TJ36-79）中表1“居住区大气中有害物质的最高容许浓度”，因此项目区域环境空气质量良好。9.2.2地下环境质量现状结论根据监测结果可知，评价区地下水环境现状评价因子中钾、钠、钙、镁、碳酸盐、碳酸氢盐、氯化物、硫酸盐、pH、氨氮、硝酸盐、总硬度、高锰酸盐指数、六价铬、溶解性总固体、总大肠菌群、铅、镉、砷、汞、挥发酚的监测值均满足《地下水质量标准》（GB/T14848-93）III类标准要求，东祝村硝酸盐氮超标，超标原因可能是因为周边拆迁的较大所导致的。9.2.3声环境质量现状结论根据监测结果可知，项目各厂界监测点昼、夜间噪声值均满足《声环境质量标准》（GB3096-2008）中3类标准限值要求。因此，评价区域声环境质量较好。苏州科太环境技术有限公司117 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书9.3污染物排放情况9.3.1废水排放情况33本项目生产废水产生量为3.716m/d，生活污水产生量为16.8m/d（保护本项目员工及外租企业员工）。9.3.2废气排放情况本项目主要排放的废气由：氨气、磷烷、砷烷、硫酸雾、氯化氢、氮氧化物、非甲烷总烃、氟化物、氯气。3根据工程分析，氨气的排放浓度为0.21mg/m3、磷烷的排放浓度为0.00025mg/m、33砷烷的排放浓度为0.0001mg/m、硫酸雾的排放浓度为0.025mg/m、氯化氢的排放浓度33为0.0095mg/m、氮氧化物的排放浓度为0.55mg/m、非甲烷总烃的排放浓度为3337.162mg/m、氟化物的排放浓度为0.002mg/m、氯气的排放浓度为0.0005mg/m。9.3.3噪声排放情况本项目主要高噪声设备有风机、空压机及水泵等，声级在82～90dB（A），项目对噪声源采取隔声、消声处置措施，9.3.4固体废弃物排放情况（1）一般固废项目产生的一般固体废物废包装材料（主要是指废包装箱等）、生活垃圾等。废包装材料产生量为0.58t/a，生活垃圾产生量为39t/a。（2）危险固废本项目生产过程中产生的危险废物种类较多，主要有酸洗废液产生量为25.8188t/a、不合格产品产生量为0.225t/a、废光刻胶产生量为62.1kg/a、废显影液产生量为3.00015t/a、含氟废液产生量为87.5672kg/a、有机废液产生量为42.425169t/a、抛光废液产生量为0.288t/a。118苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书9.4主要环境影响结论9.4.1运营期废水影响预测与评价本项目建成投产后废水来源主要为生产废水和生活污水。33生产废水的产生量为996.94m/a，生活污水的产生量为4368.00m/a。项目生产废水依托一期污水处理站处理达标后排入市政污水管网，进入西安市第七污水处理厂，最终排入太平河；生活污水依托一期化粪池处理后排入市政污水管网，进入西安市第七污水处理厂进行处理，最终排入太平河。9.4.2运营期废气影响预测与评价项目运营期主要为各生产工序产生的废气，包括外延生长工序产生的氨气（G1）、磷烷、砷烷（G2），清洗工序产生的酸性废气（G3，主要污染物为氯化氢和硫酸雾），SiO2沉积工序产生的氮氧化物（G4），光刻工序、去胶清洗工序及去蜡清洁工序产生的非甲烷总烃（G5、G8、G9），SiO2刻蚀工序产生的氟化物（G6），ICP刻蚀工序产生的氯气（G7）。根据工程分析，结论如下：氨气采用碱性废气洗涤塔处理后可以达标排放。磷烷、砷烷采用Scrubber处理器处理后可以达标排放。酸性废气、氮氧化物、氯气采用酸性废气洗涤塔处理后可以达标排放。非甲烷总烃采用活性炭吸附处理后可以达标排放氟化物采用含氟废气洗涤塔处理后可以达标排放本项目废气治理设碱性废气洗涤塔1座、酸性废气洗涤塔1座、含氟废气洗涤塔1座、Scrubber处理器1套及活性炭吸附装置1套，各废气采取相应治理措施后可以达标排放，对外环境影响较小。9.4.3运营期噪声影响预测与评价在选用低噪声设备、采取车间隔声、对设备加装减振基础等治理措施后，厂房的东、西、南、北边界的噪声昼间、夜间贡献值均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准要求。苏州科太环境技术有限公司119 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书为保证厂界噪声值长期稳定达标，项目建设单位应严格执行本评价中提出的噪声治理措施，首先应选择低噪型设备、合理布局，将高噪声设备置于室内并尽可能远离厂界，其次需要采取适当的隔声降噪措施。本项目在采取环评提出的降噪措施后，生产运营期间对周围声环境影响较小。9.4.4运营期固废影响预测与评价⑴一般固废项目产生的一般固体废物主要为废包装材料（主要是指废包装箱等），废包装材料出售给物资回收部门。⑵危险固废本项目生产过程中产生的危险废物种类较多，主要有废光刻胶、废有机溶剂、氢氟酸废液、废抛光液、废活性炭、酸洗废液、氧化吸收液、废活性炭等；收集后均交有资质单位进行处置，危险废物均应按《危险废物贮存污染控制标准》（GB18957-2001）贮存管理，防止对环境产生污染。针对本项目产生的危险废物，本次环评要求严格按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）和《危险废物转移联单管理办法》（国家环保总局5号令）相关要求对其进行贮存及转移。危险废物厂内暂存时必须满足以下要求：-7①基础必须防渗，防渗层为至少1m厚的黏土层（渗透系数≤10cm/s），或2mm-10厚的高密度聚乙烯，或至少2mm厚的其他人工材料（渗透系数≤10cm/s）；②危险废物存放要防风、防雨、防晒；③不能兼容的危险废物不能放在一起等危险废物堆放贮存要求；④危险废物贮存区设置危险废物贮存标志。⑶生活垃圾本项目职工生活垃圾收集于厂内垃圾桶中，定期交由当地环卫部门统一处置，对外环境影响较小。9.5公众意见采纳情况120苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书9.6环境保护措施结论9.6.1废气污染防治措施结论（1）磷烷和砷烷废气处理措施可行性分析外延生长工序产生的未反应的磷烷和砷烷属有毒物质，本项目建设单位拟使用Scrubber处理器进行处理。33砷烷处理后磷烷和砷烷排放浓度分别为0.0002mg/m和0.0001mg/m+15m排气筒排放后，满足《荷兰排放导则》（NER）要求，故Scrubber处理器可满足处理要求。（2）非甲烷总烃处理措施可行性分析项目非甲烷总烃产生部位均设置集气装置，产生的非甲烷总烃由风机引至有机废气处理系统经吸附效率不小于90%的活性炭吸附处理后经风机引至15m高排气筒排放，3排放浓度7.162mg/m，满足《陕西省挥发性有机物排放控制标准》(DB61/T1061-2017)中对电子产品制造业污染物排放限值的要求，处理措施可行。（3）洗涤吸附处理措施的可行性分析洗涤塔是一种新型的气体净化处理设备。它是在可浮动填料层气体净化器的基础上改进而产生的，广泛应用于工业废气净化、除尘等方面的前处理，净化效果很好。处理酸洗气体经过酸性洗涤塔（处理效率为95%）处理后15m烟筒排放。硫酸雾、氯化氢、氮氧化物废气经酸性洗涤塔处理后可达到《大气污染物综合排放标准》二级标准。碱性气体经过碱性洗涤塔（处理效率为95%）处理后15m烟筒排放（其中氯气经过25m排放）。氨气、氟化物、氯气废气经碱性洗涤塔处理后可达到《大气污染物综合排放标准》二级标准。含氟气体经过含氟洗涤塔（处理效率为95%）处理后15m烟筒排放。氟化物经含3氟洗涤塔处理后排放浓度为0.043mg/m。处理后可达到《大气污染物综合排放标准》二级标准。碱性洗涤塔和酸洗洗涤塔、含氟洗涤塔处理工艺成熟，国内外应用较为广泛，处理较高浓度废气时运行费用也较低，能够稳定达标排放。碱性废气处理原理和酸性废气相苏州科太环境技术有限公司121 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书同，只是所使用的吸附液不同，根据上述分析可得，洗涤吸收法对其处理后可达标排放。9.6.2废水污染防治措施结论（1）生产废水处理的可行性分析3污水处理站的处理能力约为883.4m/d，污水经污水处理站处理排入市政污水管网，西安市第七污水处理厂进行深度处理，最终纳入太平河。污水经污水处理站后可满足《黄河流域（陕西段）污水综合排放标准》（DB61/224－2011）中的二级标准及《污水综合排放标准》（GB8978－1996）中的三级标准。（2）生活污水处理的可行性分析本次环评保护本项目员工生活污水以及外租企业员工生活污水，本项目拟员工403人，外租企业员工为260人。本项目生活污水年产生量为4368m/a，日排放放量为16.83m/d，生活污水处理依托一期建设的化粪池。3一期于厂区北侧建设1座容积200m的化粪池（化粪池为普通化粪池），设计水力3停留时间为24h，一期项目生活污水排放量为21.44m/d（包含后期外租企业员工产生3的生活污水），本项目生活污水排放量为16.8m/d，化粪池设计可容纳本项目排水。因此本项目产生的生活污水经化粪池处理后能够满足（DB61-224-2011）《黄河流域（陕西段）污水综合排放标准》二级标准（其中污染物SS和动植物油执行《污水综合排放标准》（GB8978－1996）中的三级标准）要求。9.6.3噪声污染防治措施结论本项目主要高噪声设备有风机、空压机及水泵等，声级在82～90dB（A），项目对噪声源采取隔声、消声处置措施，同时通过建筑物隔声等措施可使厂界噪声达标。项目噪声防治措施可行，对厂界外影响很小。9.6.4固体废弃物污染防治措施结论（1）一般固废项目产生的一般固体废物废包装材料（主要是指废包装箱等）出售给物资回收部门、生活垃圾由当地环卫部门定期清理处置本项目运营期产生的一般固体废物经以上措施处理后实现了固体废物的资源化，可保证不对环境产生明显污染，防治措施可行。122苏州科太环境技术有限公司 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书（2）危险固废本项目生产过程中产生的危险废物种类较多，主要有酸洗废液、不合格产品、废光刻胶、废显影液、含氟废液、有机废液、抛光废液。均交有资质单位进行处置，危险废物均应按《危险废物贮存污染控制标准》（GB18957-2001）贮存管理，防止对环境产生污染。危险废物厂内暂存时必须满足以下要求：-7①基础必须防渗，防渗层为至少1m厚的黏土层（渗透系数≤10cm/s），或2mm厚-10的高密度聚乙烯，或至少2mm厚的其他人工材料（渗透系数≤10cm/s）；②危险废物存放要防风、防雨、防晒；③不能兼容的危险废物不能放在一起等危险废物堆放贮存要求；④危险废物贮存区设置危险废物贮存标志。9.7环境经济损益分析结论工程的建设符合国家产业政策要求，从本项目的环境代价率、环境成本率、环境系数率和环保工程经济效益系数来看，该项目的环境代价率、环境成本率和环境系数较低，说明建设项目采取环保措施后能够取得一定的环境收益。因此从环境经济综合的角度来看，本项目是合理可行的。综上所述，从企业的长远利益出发，该项目只要认真落实已采取的和本报告中建议的各项防治措施，并保证投产后切实加强管理，使环保设施正常运行，是能够达到经济、社会和环境效益协调发展。9.8环境管理与监测计划结论设置环境管理机构，明确职责，建立健全环境保护管理制度、环保设施管理规程与环境管理工作计划。环境监测计划的制定与执行将保证环境管理措施的实施和落实，并及时发现问题，促进环境管理措施的修正和持续改进。针对该建设项目的实际，建议对废水、废水排放、厂界噪声监测由有资质单位按有关规程定期监测苏州科太环境技术有限公司123 光电子集成电路标准化厂房建设项目环境影响报告书9.9总结论9.9.1结论西安中科光机投资控股有限公司光电子集成电路标准化厂房建设项目符合国家产业政策及区域规划要求，项目选址合理。建设单位在严格执行建设项目“三同时”制度和本报告提出的污染防治措施特别是废水、废气和固废治理措施后，该项目所排污染物能够达标排放，其对评价区环境影响较小，环境可以接受。因此，从环保角度分析，该项目的建设是可行的。9.9.2主要要求与建议⑴若在本项目运行过程中出现废气处理系统出现较大故障，需要较长时间进行维修的状况时，建设单位应立即停止生产，以免大量废气直接排放后对环境空气造成污染。⑵按照国家有关危险废物申报登记、转移联单等管理制度的要求，向当地环境保护部门进行危险废物的申报、转移等。危险废物贮存，应严格按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）的要求执行。⑶制定危险废物环境风险防范措施，防止对地表水、环境空气和地下水等造成污染。⑷运行期加强运行管理，确保环保设施高效、正常运行，达标排放。124苏州科太环境技术有限公司'