环境影响报告书-晶体硅太阳能电池项目-上海九晶电子

'本文由flyqiner贡献pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机,查看。150MW晶体硅太阳能电池项目环境影响报告书（简本）上海九晶电子材料股份有限公司2008年11月28日11总则1.1评价工作的由来上海九晶电子材料股份有限公司位于松江工业园区石湖荡分区长塔路399号，,是一家以现代企业制度运作、集科研、生产、加工、贸易为一体的高新技术企业，已,建成并进行单晶棒、晶圆、硅片的生产。产品主要应用于太阳能电池、半导体分立元,件、集成电路、电力半导体元件、探测器件和硅外延片衬底等行业，其生产工艺先进,，有较好的经济和社会效益；公司已通过ISO9001和2000质量体系认证；拥有,多名掌握国际先进工艺与技术的高级技术人员、管理人员和大批经验丰富的员工。公,司拟在上海建设一个包括单晶硅片生产、太阳能电池生产及封装在内的具有完整产业,链的国内最大的太阳能电池生产企业。太阳能电池可为人类提供新的清洁能源，是极,有发展前途的高技术产品，得到国家、上海市和松江区的大力支持。项目建设将大幅,度增强上海市的太阳能电池产业发展能力和规模，对上海市社会经济发展将带来积极,的影响。为此，上海九晶电子材料股份有限公司在上海市松江区石湖荡工业园区内（,松江SHD-07-001地块），建设晶体硅太阳能电池生产厂房和辅助用房，以及相应的,配套设施，和已有生产线配套，完成从拉晶、切片到晶体硅太阳能电池的一整套完整,产业链。总投资65602万元，形成150MW晶体硅太阳能电池生产能力。本次扩建严,格贯彻环境保护的要求，淘汰落后生产工艺，更新、改造落后老化的工艺、设备，完,善生产环节，进一步实施清洁生产，减少建筑面积，增加污染治理设施。项目在生产,过程中将产生工艺废气、工艺废水、工艺废渣、设备噪声、员工生活污水、生活垃圾,等环境不利因素。根据《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国环境影响,评价法》及国务院令第253号《建设项目环境保护管理条例》和2008年10月1日施行的,《建设项目环境影响评价分类管理名录》中的有关规定，拟建项目属于C41电子制造,业，必须在项目建设可行性研究阶段编制环境影响评价报告书。为此，上海九晶电子,材料股份有限公司委托上海师范大学和东华大学进行该项目的环境评价工作。本评价,课题组在对建设地区环境2现状进行了详细的调查与监测的基础上，对该项目的工程内容、生产工艺、主要,原辅材料用量及能源消耗、污染物排放的环节、源强以及现有项目污染物排放情况等,进行了认真的分析，分析和预测了本项目对周围环境产生的影响程度和范围，评价污,染防治措施的效果，并提出相应环保对策，按照项目环境影响评价技术导则，编制了,本项目环境影响报告书。在环评报告书的编制过程中得到了有关方面的支持和帮助，,特别是建设方、地方政府、环保局等有关领导、专家给予了大力支持，谨表衷心谢意,!1.2环境影响识别和评价因子筛选1.2.1环境影响识别建设项目主要环境问题可分为施工期和运行期二部分，在本项目中，较为重要和,敏感的环境问题是运行期的影响。各时期的影响行为如下：(1)施工期环境影响行,为建设项目在施工过程中，人为活动主要有施工现场的清理、地基深层处理、建筑材,料的运输、机械施工及基础设施的建造、外墙及内部装修等。这一时期的环境影响行,为主要有：①施工平整土地及建筑垃圾；②施工扬尘；③施工机械排放的废气,；④泥浆水；⑤施工人员生活污水及生活垃圾；⑥施工机械冲洗水；⑦施工,机械及运输车辆的噪声；⑧对道路交通的影响。(2)运营期运行期的主要环境影,响行为是建设项目排放的废水、废气、噪声及固体废物等，各类污染污染源产生的污,染物如下：3page1 ①废水：本工程废水主要包括①清洗产生的酸碱废水；②酸碱废液；③废气处,理系统排放的废水；②废气：包括HF、HCl、CF4、Cl2、NH3、VOCs、碱雾、醇类废,气③噪声：噪声主要来自风机、空压机、各类泵和电机等设备产生的机械噪声；④,固体废物：固体废弃物包括危险废物和一般废物、主要为氢氟酸废液、废硅片和包,装材料、剩余污泥、生活垃圾等。1.3评价目的及评价重点1.3.1评价目的项目属于电子制造业，评价目的主要在于：对选址规划相容性、产业导向、总,平面布局合理性进行总体评价；对项目的工艺先进性、清洁性、风险性进行评价；,分析项目运行过程中的各污染源位置、污染物产生量、排放量和排放特征；在监测所,在地区的水环境、声环境质量现状的基础上，对建设项目在施工期以及投产运行后所,产生的废水、噪声对环境的影响进行预测分析；对项目的排污特性、排放量进行分析,，对达标排放和总量控制等提出要求；对建设项目的废水、废气、噪声治理工艺的合,理性和排放的达标可能性等加以分析，并提出污染控制对策建议；对项目建设的可,行性作出明确结论。1.3.2评价重点环境影响评价工作重点为：工程分析、环境风险评价、污染控制措施。41.4评价工作范围1.4.1大气环境评价范围大气环境评价范围以项目排气筒为中心、边长1000米的正方形区域。1.4.2声环境评价范围声环境评价范围为建设项目基地厂区边界。1.5评价标准1.5.1大气环境评价标准根据《上海市空气环境功能区划》，项目所在区域为二类区，执行《中华人民,共和国环境空气质量标准》(GB3095-1996)中二级标准和参照《中华人民共和国工业,企业设计卫生标准》(TJ36-79)中居住区卫生标准的要求，具体见表1-1。表1-1污染物名称NO2SO2PM10HCl氟化物年平均浓度0.040.060.10—,环境空气质量评价标准（mg/m3）日平均浓度0.080.150.150.0157一小时平均,浓度0.120.50—0.052GB3095-1996（二级）标准来源工业废气执行《中华人民共和国大气污染物综合排放标准》(GB16297-96)，具体,见表1-2。表1-2大气污染物综合排放标准无组织排放监控浓度限值监控点mg/m3污染物名称最高允许排放速率最高允许排放浓度（mg/m3）排气筒高度排放速率（m）,（kg/h）标准来源5氯气氟化氢氯化氢≤65≤9.0≤100≤1002530152015200.520.870.100.170.260.43周界外浓度最高点0.400.020.20《半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2006）GB16297,-1996新污染源二级标准VOCs当VOCs的排放速率＞0.6kg/h时，处理效率应＞88%1.5.2水环境评价标准项目基地区域水环境属2类水功能区，执行《中华人民共和国地表水环境质量,标准》(GB3838-2002)中2类水标准。具体标准见表1-3。表1-3序号12345地表水环境质量标准（mg/l，pH无量纲）标准值6－,9≤15≤3≤0.50.5GB3838-2002标准来源page2 污染物名称pHCODcrBOD5氨氮石油类*除pH值、色度外，其余单位为mg/L；第一类污染物应在车间或车间处理设施,排出口取样达到本标准要求。项目废水经企业自建的废水处理站处理后达到《上海市污水综合排放标准》(D,B31/199-1997)三级标准后排入工业区污水管网，最后进入松江西部污水处理厂集中处,理。具体标准见表1-4。表1-4污水综合排放标准（DB31/199-1997）序号1234567污染物名称pH值CODcrBOD5NH3-NSS动植物油氟化,物允许排放浓度6～93001502535030206说明：表中数据除pH值外，其它数据单位均为mg/L。1.5.3声环境评价标准①运营期噪声标准运营期环境噪声执行《声环境质量标准GB12348-2008》中,3类区标准，厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准表1-5时段昼间夜间GB3096-2008》中Ⅲ标准。具体标准值如表1-5所示。声环境评价标准(dB(A))厂界Ⅲ类标准≤65≤55区域噪声3类区标准≤65≤55②施工噪声标准本项目建筑施工期间执行《建筑施工厂界噪声限值》（GB12,523-90）标准。详见表1-6：表1-6建筑施工厂界噪声限值[LeqdB(A)]施工阶段土石方打桩结构装修主要噪声源推土机、挖掘机、装载机等各种打桩机等混凝土搅拌机、振捣棒、电锯等吊,车、升降机等噪声限值（dB(A)）昼间75857065夜间55禁止施工55551.6环境保护目标项目生产厂区选址位于松江工业区石湖荡分区内，周围均为开发区规划工业用地,，主要为黄浦江水源保护区内跃进河等地表水体是重要的水环境敏感目标，本项目污,废水全部纳管排放，不进入周围河流；声环境敏感目标和环境空气目标是规划拆迁的,金胜村居民住宅（南厂界外S50m）、李塔汇（西南界外SE2000m）和塔汇中心,小学（南厂界外S1500m），而规划搬迁的金胜村居民住宅目前主要是提供给附近,工业企业的职工住房。72原有项目回顾2.1公司简介上海九晶电子材料股份有限公司创立于2002年，是一家民营股份制高新技术企,业。公司位于松江区石湖荡工业园区，注册资本7500万元人民币，现有员工246,名，其中中、高级职称技术人员接近50名，各类技术人员64名，拥有自主的研发,能力。2005年公司被上海市政府高新办认定为高新技术成果转化项目企业，2006、,2007连续两年被市政府认定高新技术企业，2007年被评为“松江区骨干企业”。,公司拥有先进的拉晶、切、磨等完整的单晶硅生产线，生产3英寸、6英寸、8英,寸单晶硅棒、片等产品，符合当前国家重点鼓励发展的产业、产品和技术目录第16,类轻工第14条高技术绿色电池产品制造和第24类信息产业第38条6英寸及以,上单晶硅、多晶硅及晶片制造标准。同时在经营管理上，目前公司已通过ISO9001,质量管理体系认证。公司自成立以来连续五年盈利，销售收入逐年递增，上缴国家利,税上千万元。公司高度重视人才的培养，把人才当作公司未来发展的关键。目前，公,司已经与上海大学等多所高等院校建立了良好的人才培养机制，并努力与更多的高校,和科研机构建立合作关系，建立一条产学研互惠互利、互动共赢的持续发展之路。公,司2008年着手建立企业技术研发中心，并得到了当地政府的支持。公司将以此为中,心，加强同周边及相关企业的技术交流和合作，逐步在石湖荡工业园区形成硅材料产,业群。公司以现代企业制度的要求立足长远，始终强调服务于客户和满足客户需求是,企业生产经营活动的中心，产品的质量是企业生命力的管理理念，在行业中赢得较高,的信誉。公司分别与无锡尚德、江苏林洋、南京中电、东洋碳素等多家公司建立了良,page3 好的合作伙伴关系。公司以创新、务实、求真的企业文化为依托，坚持“客户的需,要是我们的目标”的方针，奉行“诚信”的经营理念，使我们产品质量达到国内一流,先进水平，赶上国际先进水平。以国内市场为依托，开拓国际市场，与国际同行展开,合作、竞争，为振兴民族工业尽8自己的一份力。2.2产品简介本项目产品所处的行业大类是“非金属矿物制品业”，中类为“石墨及其他非,金属矿物制品制造”，小类为“其他非金属矿物制品制造”。其产品直接用于太阳,能电池制造。根据上海经济委员会编制的《上海工业产业导向与布局指南》（2007,年版），本项目产品属于鼓励发展类的“有色金属及半导体新材料”中的太阳能电,池。用低成本多晶硅、单晶硅制造太阳能电池产业。同时根据中国人民共和国改革与,发展委员会颁布的《产业结构调整指导目录》（2007年本）征求意见稿，本项目产,品属于鼓励发展类的“轻工”中17款的“高技术绿色储能电池产品制造”和“信息,产业”34款6英寸及以上单晶硅、多晶硅及晶片制造。本项目产业位势良好。根,据2006年4月上海环境研究中心编制的《上海九晶电子材料有限公司建设项目》,环境影响评价报告表及建设方提供的资料，上海九晶电子材料有限公司主要生产2,-8英寸P型掺硼、N型掺磷等五大系列的单晶棒、晶圆和硅片。年生产各种规格,单晶48t，硅片180万片。2008年扩大生产各种规格单晶硅230t，太阳能硅片,7500万片，单晶硅2250万(6〝/125*125)单晶硅片。已建项目只进行拉晶和切片生,产，不进行太阳能电池生产。2.3建设地点及投资规模上海九晶电子材料股份有限公司位于松江工业园区石湖荡分区长塔路399号，,东面为九晶电子材料股份有限公司的生产厂房，西面为工业用地，南面为佳力士公司,，北面为长塔路。周围主要为工业企业和规划搬迁的金胜村居民住宅。原项目建设,总投资15887.3万元。占地面积20750平方米，总建筑面积22707平方米，其中,生产用房28000平方米，办公及辅助用房2000平方米。2.4原辅材料及企业原有设备上海九晶电子材料股份有限公司项目原辅材料见表2-1。9表2-1序号123456名项目原辅材料称年用量300吨5900只300吨300吨540m3357吨多晶硅石英坩埚乙二醇绿碳化硅氩气硅棒上海九晶电子材料股份有限公司项目原有主要设备见表2-2。表2-2项目原有,主要设备设备名称国产B80型直拉炉国产B62型直拉炉进口3000型直拉炉冷冻机,沙浆回收装置空压机数量（台）3344424设备名称DS-265线锯纯水生产,系统纯水生产系统线切割机线开方机数量（台）54套1套4682.5原有生产工艺流程上海九晶电子材料有限公司主要生产2-8英寸P型掺硼、N型掺磷等五大系列,的单晶棒、晶圆和硅片。年生产各种规格单晶48t，硅片180万片。第一次扩建后,具有年产单晶硅2250万(6〝/125*125)单晶硅片，各种规格单晶硅230t，太阳能硅,片6500万片的生产力。该项目有较好的经济和社会效益。符合松江工业区石湖荡工,业分区的产业导向(信息产业、新型建材、食品、精细化工、生物医药和轻工机械为,支柱产业)。（1）、单晶生产工艺（开方滚圆）流程及排污点单晶硅圆棒开段线开方滚圆方棒page4 切削液W1切削液W2清洗废水W3、粉尘G110（2）、单晶生产工艺（晶片加工）流程及排污点粉尘、有机废气（乙二醇）G2方棒硅块绑定线切割切片切削液W4喷淋清洗废水W5超声波清洗测试甩干潜流反冲洗（3）、拉晶、切片生产工艺流程及排污点仓库准备纯水制备配料掺杂剂配制籽晶装置单晶制备循环水装炉抽空通氩升温化硅引晶、放大等径生长收尾、停炉炉膛冷却单,晶出炉物理测试磨测量边测点阻率开段测物理参数计量、包装线锯加工切片清洗检测11循环100m3/d（4）原有水平衡分析单晶循环补充水100m3/d制备纯水175m3/d线锯、开段刀头冷却水5m3/d沉淀自来水205m3/d硅片清洗水70m3/d废水处理站75m3/d生活用水30m/d3生活污水27m3/d松江西部污水处理厂2.6厂址及总平面布置合理性分析本项目（具体见图2-1和图2-2）位于上海松江工业园区石湖荡分区，该园区,为上海市保留工业园区，是市级工业区上海松江工业区的分区之一，处于上海松江区,石湖荡镇。区域内除规划搬迁而未完全搬迁的金胜村居民住宅外，周围1000米范,围内无居民与学校等敏感目标。而规划搬迁的金胜村居民住宅目前主要是提供给附近,工业企业的职工住房。该区是将生态环境与经济发展联结为一个互为因果的有机整体,，其设施、管理机制、环境到土地产出率均能体现国内外先进水平。这里无论是从自,然条件、交通状况方面还是从设施配套、投资政策方面，都为企业提供了绝佳的投资,环境。因此，本项目厂址及平面布置基本合理。123建设项目概况3.1项目名称150MW晶体硅太阳能电池项目page5 3.2项目性质（1）项目性质：扩建（2）行业类别：非金属矿物制造业（3）行业代码：C4,1电子及通讯设备制造业3.3项目地点上海九晶电子材料股份有限公司位于松江工业园区石湖荡分区长塔路399号，,东面为九晶电子材料股份有限公司的生产厂房，西面为工业用地，南面为佳力士公司,和50米处规划搬迁的金胜村居民住宅（100人左右），北面为长塔路。见图3-1,。3.4项目投资及规模项目建设总投资65602万元，建筑面积30000平方米。建设晶体硅太阳能电池,生产厂房和辅助用房，以及相应的配套设施，增加6条25MW/年太阳能电池芯片生,产线，35台切片机和5台线开方机进行切片，年切片量为5460万片；和已有生产,线配套，完成从拉晶、切片到晶体硅太阳能电池的一整套完整产业链，形成150MW,晶体硅太阳能电池生产能力。车间平面布置见图3-2。134工程分析4.1项目工艺流程和产污环节4.1.1太阳能电池生产工艺流程和产污分析太阳能电池芯片生产工艺流程和产污环节如图4-1。G1、W1G2、W2W2、G2、G3G1、W2W2、G4、S1G5硅片清洗G3碱洗表面制绒G7酸洗氢氟酸洗W2、G4、S1扩散G6、S2丝网印刷正背面电极G3减反射膜沉积氢氟酸洗刻蚀烧结电池片测试分档检验包装图4-1太阳能电池芯片生产工艺流程注：G1－盐酸雾G6－CF4W1－酸性废水,G2－碱雾G3－乙二醇废气G4－HFG5－氯气G7－VOCs、NH3、硅烷W2－碱性废水S1－HF废液S2－SiF粉未各工艺段介绍与产污环节：14硅片清洗：采用3%的HCl溶液进行清洗，溶液每12h排放一次，平均排放,量为0.24t/d，然后用纯水冲洗，产生酸性清洗废水和少量盐酸雾。碱洗：采用2,0%的NaOH溶液进行清洗（加热至85℃），溶液每12小时排放一次，每次排放约,1440升，平均约2.88t/d；然后用纯水冲洗，产生碱性清洗废水33t/d和碱雾。,page6 表面制绒：用3%的NaOH溶液和10%酒精溶液进行绒面制作（加热至85℃）。溶液,每12小时排放一次，每次排放约1440升，平均约2.88t/d；然后用纯水冲洗，产,生碱性清洗废水33t/d；另外为碱雾。酸洗：用10%的HCl溶液进行清洗，溶液每,24小时排放一次，每次排放约1.44吨，平均约1.44t/d；然后用纯水冲洗，产生,酸性清洗废水33t/d；此外为碱雾。氢氟酸洗：10%的HF溶液进行表面清洗，用,溶液每24小时排放一次，每次排放约1.44吨，平均约1.44t/d；然后用纯水冲,洗，产生酸性清洗废水33t/d和碱雾。扩散：通过高温扩散，实现P型或N型原,子对硅片掺杂，生成P-N结。项目采用目前最成熟的多管扩散炉用磷扩散的方法来,制太阳能电池的PN结。扩散方法采用液态扩散，优点是可以得到较高的表面浓度，,适合于高浓度扩散；液态扩散时，用气体将杂质源带到系统中，在一定的温度下，杂,质源分解并与硅反应产生杂质原子。磷扩散源用三氯氧磷（POCl3），气流用氮气和,氧气。恒温区温度控制在840℃-930℃之间，加热时间30-60min。此工序反应产生,氯气。扩散炉清洗外协，不在本场地。刻蚀：通入气体CF4、氮气和氧气，采用高频,激发CF4等离子体，产生游离态F。尾气中有少量的CF4，CF4排放速率0.167kg,/h，浓度为0.56g/m。SiF4经过过滤后以粉末形式沉淀。氢氟酸洗：用10%的H,F溶液进行表面清洗，然后用纯水冲洗。溶液每24小时排放一次，每次排放约1.,44吨，平均约1.44t/d；然后用水冲洗，产生酸性清洗废水33t/d和碱雾。减反,射膜沉积：用PECVD等设备在硅片正面沉积减反射膜，增加电池表面的光吸收，并,起到表面钝化的作用。PECVD是在高温低压环境下，对注入的氨气和硅烷气体上施加,一个射频电场，使气体电离，产生等离子体。高能粒子流碰击到吸附在晶片表面上的,反应气体，使反应气体结合键破裂而成为活性物质，这些活性物质反应形成SiN薄,膜于晶片表面。加热温度300-500℃。硅烷和氨气年用量各为13.5t，产生挥发性,有机气体（VOCS）535m3/h,315浓度为3.6g/m3,氨气尾气排放速率0.9kg/h，浓度约1.68g/m3。丝网印刷：,将银浆和铝浆印到电池极板上，银浆和铝浆中含有少量的松油醇，印刷时产生少量的,醇类废气。使用不锈钢网版，废网版由供货厂家回收。烧结：将电极放入烧结炉中，,抽真空，加热200-900℃，使电极与半导体接触更为牢固，然后降温。该工序不产生,废气。测试分档：在标准光强模拟设备下测试电池性能，并根据电性能进行分档。分,档时个别电池用酒精擦拭，产生少量的醇类废气。本工艺酸洗和碱洗共六道工序，,清洗废水总量约165吨/天，酸碱废液10.08吨/天。16150MW晶体硅太阳能电池项目4.1.2生产过程污染产生情况（1）废水：项目生产废水包括①清洗产生的酸碱废水，产生量约165t/d；②酸,碱废液产生量约10.08t/d；③废气处理排放的废水约3t/d。总生产废水量合计17,8.08t/d，其中含氟废水量69.88t/d，不含氟的废水量108.2t/d。（2）废气：表,4-12种类盐酸雾(G1)碱雾(G2)醇类废气(G3)HF(G4)Cl2(G5)CF4(G6)VOCS(G7),NH3(G7)废气量31废气排放表产生浓度21.8mg/m68mg/m少量31处理前的产生量0.072kg/h0.225kg/h少量3300m/h3300m/h少量3300m/h3000m/h300m/h535m/h535m/h333333323.6mg/m50mg/m33page7 0.078kg/h0.15kg/h0.55g/m3.6g/m330.167kg/h1.926kg/h1.68g/m30.9kg/h注：1.参照物料平衡估算（4）噪声表4-13噪声源空压机空调机组生产线主要噪声源噪声值(dB(A))908570（5）固体废物本项目生产固废为少量的硅片边角料和废品、废包装材料。硅片,边角料和废品约1吨/天、三氯氧磷使用后的残液及其包装材料产生量约0.2吨/年,、其他废包装材料产生量约1吨/年。污水处理产生的含GaF2污泥约2890吨/年。,根据国家危险废物名录，三氯氧磷使用后的残液及其包装材料属于危险固废(编号H,W37)。4.1.3主要污染治理措施(1)废水1、酸碱废水(不含HF)工艺中产生的酸碱废液(不含HF部分)收集后,(约7.2t/d)，一并纳入中和调节池1，pH值总体呈碱性，加10%盐酸调节pH值为,6～9，达标排放。清洗废水和废气处理废水(不含HF部分)收集后(约101t/d)，纳,入中和调节池2，调节pH值为6～9，达标排放。这部分清洗废水经中和处理后，,基本不含其它污染物，主要主份为NaCl,高盐份是阻碍其回用的主要因素。建议企业,对这部分废水(约101t/d)以及制纯水过程产生清下水(约165t/d)开展脱盐和中水回,用可行性研究。目前常用的脱盐方法有三种：①、采用离子交换设备进行脱盐处理，,该方法运行成本太高，不易采用。②、采用反渗透设备进行脱盐处理，该方法投资成,本较高，运行成本很低。③、采用钠滤设备进行脱盐处理，该方法投资成本最高，运,行成本最低。综合比较，推荐反渗透脱盐技术。2、HF废水含氢氟酸废液及清洗废,水的主要处理目标是将废水中的氟化物浓度降到20mg/L以下。参考国内外含氟酸性,废水的处理流程，建议采用化学中和沉淀的方法处理这部分生产废水。氢氟酸废水,收集后先进性调节池，调节水质水量后进入中和池1，采用10%的氢氧化钙中和，,pH值控制为8.5，出水进入调节反应池，投加强电解质CaCl2，pH值控制为11.5,，沉淀后的出水进入混凝反应池，投加混凝剂PAM(5%)和絮凝剂PAC(0.5%)，强化沉,淀效果，经竖流沉淀池进行泥水分离后，出水进中和池2，用稀盐酸调节pH值为,6～9，经砂滤池过滤后达标排放。工艺流程中石灰的作用有两个方面：一是中和废,水的H+。使废水呈碱性；二是利用石灰中的Ca2+与F-反应生成CaF2沉淀，以去,除F-，反应方程式为：2HF+Ca(OH)2CaF2+2H2O。投加氯化钙的作用：氟化钙的溶度积为104级。为了使反应进行的更彻底，确,保出水中氟离子达到排放标准，在这一阶段还加入了氯化钙。由于氯化钙是强电解质,。在溶液中完全电离成Cl-和Ca2+，使得溶液中的Ca2+大大过量，推动反应进行的,更彻底，使F-进一步沉18淀。投加絮凝剂和混凝剂的目的是使生成的沉淀物颗粒絮凝成团，利于沉淀物,和泥水的分离。(2)废气1、酸碱废气（不含HF)建议将距离较近的排放点产生的,盐酸雾和碱雾废气混合，统一收集，经过两级串联喷淋吸收塔处理后达标排放。喷淋,采用逆流操作，废气由喷淋塔底部进入，吸收液由塔顶喷出，一级喷淋塔吸收液选用,酸，二级喷淋塔吸收液选用碱，以确保酸碱废气均能处理达标，吸收液循环使用，饱,和后送入酸碱废水处理设施处理。整个系统除循环泵为不锈钢外，其余均使用玻璃钢,材料制作，具有耐腐蚀性强、寿命长的特点。2、HF酸雾HF酸雾采用单级喷淋吸收,塔处理。喷淋采用逆流操作，废气由喷淋塔底部进入，吸收液由塔顶喷出，吸收液选,用碱液，吸收液循环使用，饱和后送入含HF废水处理设施处理。整个系统除循环泵,page8 为不锈钢外，其余均使用玻璃钢材料制作。3、PECVD尾气PECVD尾气主要含残余硅,烷、氨和挥发性有机物(VOCs),先经燃烧柜燃烧处理，再用清水喷淋，尾气达标后排,放。喷淋水中主要含HNO3,排入厂内废水中和调节池处理。根据上海太阳能科技公司,采用此方法处理PECVD尾气的监测数据，非甲烷总烃平均排3放浓度小于10mg/m、排放速率约为0.054kg/h，能达到相关排放标准。换算,成VOCs的排放量也能达到排放标准。4、氯气扩散工序产生的氯气采用废碱液喷淋吸收后,达标排放。吸收液饱和后送入酸碱废水处理设施处理。(3)固废废包装材料(产生量,1t/a)、硅片边角料和废品等(产生量1t/a)由回收单位回收利用。污水处理的污泥,(产生量2890t/a)委托专业机构处置。三氯氧磷使用后的残液及其包装材料(产生量,约0.2吨/年)属于危险固废(编号HW37)，由生产厂家完全回收。194.1.4污染物产生及排放汇总（1）废水表4-15废水污染物产生及排放汇总,表水量废水种类t/dpH氟化物CODcr生活污水氨氮动植物油45108.269.,88处理前浓(mg/L)3～4426340025100297.9181.1254.5296.54.503.,15度产生量(kg/d)削减量削减量(kg/d)排放量浓(mg/L)6～97.2300,25300.5013.51.1251.35度排放量(kg/d)生产废水（2）废气表4-16废气污染物产生及排放汇总表种类盐酸雾(G1)碱雾(G2)醇类废气(G3)HF(G4)3300m/h23.6mg/m30,00m/h50mg/m33333产生浓度3300m/h21.8mg/m3300m/h68mg/m3331处理前的产生量0.072kg/h削减量0.045kg/h0.096kg/h排放浓度和排放量8.1mg/m,0.027kg/h39mg/m,0.129kg/h少量33230.225kg/h少量0.073kg/h0.1485kg/h0.159kg/h1.872kg/h0.078kg/h1.5mg/m,0.005kg/h0.5mg/m,0.0015kg/h0.055mg/m,0.008kg/h100,mg/m,0.054kg/h3333Cl2(G5)0.15kg/hCF4(G6)300m/h0.55g/m535m/h3.6g/m3330.167kg/hVOCs(G7)1.926kg/h20NH3(G7)535m/h1.68g/m33page9 0.9kg/h0.81kg/h168mg/m,0.09kg/h3注：1.参照物料平衡估算，2.参照太阳能科技公司和八院其他所的类比监测数据,（3）噪声该项目生产区附近以工厂和道路为主，最近的敏感点在该项目厂房,50m处，通过采用低噪声设备，将高噪声设备放置在工厂中央位置，并通过隔音、减,振等防噪措施，通过距离衰减，噪声排放能满足能满足《工业企业厂界环境噪声排放,标准》（GB12348-2008）Ⅲ级标准，对周围敏感目标（金胜村）影响较小。表4-,17序号1234567工艺系统废气净化系统一般废气排风系统压缩空气系统,冷冻机机械真空泵冷却塔通风设备和风机系统项目主要产噪设备统计表功率数量(台/套)521883622噪声dB(A)75～8575～8585～9080～,857881～8675～85设备名称变频离心风机变频离心风机水冷无油空气压缩机冷冻水系统清,扫真空泵电动机风机260kw300kw540KW240KW270KW200kW500kW（4）固体废物表4-18固体废物汇总表工序固废名称一般包装材料硅片边角料及废品工业固废污水处理污泥三氯,氧磷使用后的残液及其包装材料（危险固废，编号HW37）合计生活垃圾餐厨垃圾,产生量1t/a1t/a2890t/a0.2t/a2892.2t/a62.5t/a12.5t/a214.2主要原辅材料上海九晶电子材料股份有限公司项目原辅材料见表4-1。表4-12序号12345678910111213150MW晶体硅太阳能电池主要原辅料清单用量(年用量)6240万片/年22000Kg70000Kg100吨300吨150吨1500吨,1400吨1000吨7000立方米100000L3000ml7000L材料名称晶体硅片银浆铝浆氢氟酸氢氧化钠盐酸乙醇绿碳化硅切削液,液氮氧气三氯氧磷四氟化碳4.3主要设备清单上海九晶电子材料股份有限公司150MW晶体硅太阳能电池项目引进设备清单见,表4-3。表4-3序号1234150MW晶体硅太阳能电池项目引进设备清单设备名称扩散炉采购数量（台）3666等离子增强化学气相沉积自动丝网印刷线烧结炉2256线切割机少子寿命仪351新增设备清单见表4-4。表4-4项目新增设备清单序号1234567891011121314151617181920设备名称超声,波清洗机槽式清洗机甩干机清洗制绒机等离子刻蚀机等离子增强化学气相沉积,自动丝网印刷线烧结炉去磷硅玻璃清洗机石英管清洗机化学注入机机械真空泵,空压机冷冻机空调系统纯水设备少子寿命测试仪废水处理系统冷却水塔水泵,数量12121241266663363618820211126单台KW1626757.,5220751104062.27.5303011401407.57.5总KW192247230090,13204506602401879.227054024022080140904523page10 5废气排放影响分析5.1大气环境影响评价5.1.1预测因子和内容根据项目生产过程中的产污环节分析，废气中的主要污染物为废气污染物主要有,HF，NOx，Cl2,HCl和SiH4，故选取HF、HCl、Cl2和SiH4作为预测因子。5.2废气影响分析5.2.1盐酸雾（1）排放情况主要的排放源为酸洗工序，产生速率为0.072kg/h，处理后的排,放速率为0.027kg/h。排气温度为常温，参照标准要求排放高为15米。（2）预测,结果按照导则中的预测模式和参数，计算正常排放和事故排放(处理设施出现事故)落,实浓度进行计算。从计算结果看，在正常排放情况下，落地浓度能满足居住区的要求,，能够满足环保要求。如果出现事故排放，最大落地浓度将明显增加，所以保证处,理设施的正常运转是减少污染影响的关键。5.1.2HF（1）排放情况主要的排放源为酸洗工序，产生速率为0.078kg/h，处理后的排,放速率为0.005kg/h。24排气温度为常温，参照标准要求排放高为15米。（2）预测结果按照导则中,的预测模式和参数，对盐酸雾的正常排放和事故排放(处理设施出现事故)落实浓度进,行计算。从计算结果看，在正常排放情况下，落地浓度远小于标准规定的0.02mg/m,3，能够满足环保要求。如果出现事故排放，最大落地浓度将明显增加，所以保证处,理设施的正常运转是减少污染影响的关键。5.1.3碱雾（1）排放情况主要的排放源为碱洗工序，产生速率为0.225kg/h，处理后的排,放速率为0.129kg/h。排气温度为常温，参照标准要求排放高为15米。（2）预测,结果按照导则中的预测模式和参数，对碱雾的正常排放和事故排放(处理设施出现事,故)落实浓度进行计算。从计算结果看，在正常排放情况下，落地浓度非常小，不会,造成影响。如果出现事故排放，最大落地浓度将明显增加，保证处理设施的正常运转,是减少污染影响的关键。7.1.4其他（1）氯气排放来源为扩散工序，根据标准要求，其排放高度必须大于25米。,排放影响情况见下表。按照居住区标准要求(一次浓度为0.1mg/m3)，正常排放时为,标准的0.1%以下，不会对环境造成影响。事故排放则会有较明显的增加。（2）挥,发性有机物(VOCs)，主要是减反射膜沉积产生的少量混合废气，残余硅烷、氨气和,VOCs，先进入燃烧柜处理后，再经过自来水喷淋，尾气达标排放。污染物产生量比较,小，根据其它同类项目的类比数据分析，废气经处理后可以达标排放。25（3）氨A、排放情况主要的排放源为减反射膜沉积工序，产生速率为0.9kg/,h，处理后的排放速率为0.09kg/h。排气温度为常温，参照标准要求排放高为15米,。B、预测结果按照导则中的预测模式和参数，对氨的正常排放和事故排放(处理设,施出现事故)落实浓度进行计算。从计算结果看，在正常排放情况下，落地浓度非常,小，为居住区标准的5%以下，不会造成影响。如果出现事故排放，最大落地浓度会,有明显增加，保证处理设施的正常运转是减少污染影响的关键。（4）无组织排放,本项目所有废气产生点均安装收集设备，且其车间要求为超净环境，基本没有无组织,排放。5.3控制措施建议（1）、所有废气必须经集风罩收集处理后排放，不产生无组织排放。特别是本,项目对车间空气质量要求很高，无组织排放不但影响环境，同时也影响生产与产品质,量。（2）、本建设项目主要废气为酸碱雾，处理设施应采用现在已经使用成熟的工,艺，废气排放高度达到15米以上。（3）、排放含氯气的排气高度必须大于25,米。（4）、所有废气治理设施必须保证正常运转，防止事故排放。266固废处理、处置方案论证6.1固废性质和成分分析page11 废包装材料：1吨/年，为无毒固废；硅片边角料和废品：1吨/年，本公司回,收利用；职工生活垃圾：产生量约62.5吨/年，餐厨垃圾12.5吨；污水处理污泥,：污泥约2890吨/年，主要成分为GaF2，为一般工业固废。三氯氧磷使用后的残液,及其包装材料：产生量约0.2吨/年，属于危险固废(编号HW37)。6.2固废处理方案可行性分析该项目的固废分类收集，分类存放和运输。废包装材料全部委托公司回收利用,。硅片边角料和废品由本公司自行回收利用。污水处理污泥由专业机构回收处置。,生活垃圾委托环卫外运。三氯氧磷使用后的残液及其包装材料由生产厂家完全回收,。以上分类收集分别处置方案符合环保要求，处置方法可行。6.3固废出路说明新建项目产生的生产性固体废物，仍然委托原来为上海太阳能科技有限公司处置,的企业，这些企业均获得相关资质，能够满足本项目的要求。277环境风险分析从工程分析表明，本项目需使用多种化学品，其中部分化学哭喊运输、储存、使,用和管理过程中均有一定环境风险，在突发事故状态下，如不采取有效措施，一旦发,生爆炸或泄漏，则可能产生较严重的环境污染并危及人群和周围自然环境。根据《关,于加强环境影响评价管理防范环境风险的通知》，应对本项目进行环境风险评价，,加强环境风险管理，降低危害程度。序号1234化学品名NaOH氨气硅烷盐酸容器类型桶装钢瓶钢瓶,桶装运输方式汽车汽车汽车汽车毒性强腐蚀、强刺激LD50350mg/kg(大鼠经,口)；LC501390mg/mLC509600ppmLC504600mg/m；1h(大鼠吸入)LC501276pp,mLD50280mg/kg(大鼠经口)；6POCl3瓶装汽车LC50200.3mg/m；4h(大鼠吸入),333使用量0.7t/d周转天数3353储存量2t1t0.06t1.5t规定临界量生产场所1t,储存场所100t生产场所20t,储存场所50t生产场所2t,储存场所5t5HF桶装汽车32.5t30.033t本项目在生产过程中涉及的主要化学品的名称、使用量和贮存量见表8－1。本,项目使用的化学品虽然种类较多，但使用量和储存量均不大，根据《建设项目环境风,险评价技术导则》规定，不属于重大危险源，因此评价等级定为二级。8公众参与表8－1《150MW晶体硅太阳能电池项目》公众参与调查表28☆被调查对象个人情况（请在你认为正确的选项打√）（1）姓名（2）性别,（3）年龄（5）职业（6）性质☆项目概况上海九晶电子材料股份有限公司位于松,江工业园区石湖荡分区长塔路399号，东面为九晶电子材料股份有限公司的生产厂房,，西面为工业用地，南面为佳力士公司，北面为长塔路。周围主要为工业企业和空地,。项目将会产生工艺废气、废水、工艺废渣、员工生活污水、生活垃圾、设备噪声等,不利因素，投资方将采取严格的措施确保各类污染经治理后达标，减少对区域环境的,不利影响。☆对建设项目的认识您是否关心周围项目的建设您对建设项目所持态度,page12 您认为项目的发展前景如何？☆环境影响（1）对周围地区环境质量是否满意？（,空气、水、固体废物、噪声）：□满意□不满意□基本满意□有的满意，有的不,满意。□噪声□垃圾污染不满意的是：□河道污染□河道污染□能□废水□空,气污染□空气污染□噪声污染□一般□固体废物□关心□支持□很好□不关,心□不支持□已经饱和□无所谓□无所谓□一般□不知道□男□女□>60□,60-50□50-40□工人□个体者□农民□学生□40-30□30-20□<20□商业工,作者□其它□专家□其它（4）文化程度□硕士以上□大专以上□高中□初中□初中以下□文盲□,干部、教师、医生□待业人员□企业员工□周围居民□管理人员（2）您最关心并希望最先解决的环境污染问题是：□垃圾污染（3）您能感觉,到周围50米内的工厂噪声吗？□基本上感觉不到□废气污染□一般（4）您认为该,厂对环境和人体影响最大的是：□噪声污染□不甚了解□从源头抓起□必要的防,护措施（5）您对噪声防治措施了解吗？□非常了解□规范操作（7）其它意见：,（6）您觉得防治废水、废气、噪声污染最重要的是：□缩短工作时间299总体评价结论综上所述，建设单位认真落实本表提出的有关污染防治的各项措施，切实执行环,保管理“三同时”制度，确保各项指标符合上海市有关的环保要求，则该项目的建设,对周围环境影响较小。因此，从环境影响评价角度分析，该项目的建设是可行的。301page13'