集成电路项目环境影响报告书

'泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书第1章总论1.1评价目的与指导思想1.1.1评价目的摸清工程所在地的环境质量现状，通过对拟建项目进行工程分析，找出工程的排污环节、确定污染物产生量、治理后排放量，分析治理措施的可行性，预测项目投产后对周围环境的影响范围和程度；论证项目建设是否符合国家产业政策和区域发展规划；论证厂址选择和工程建设的环境可行性，为工程的环保设施设计、环境管理及领导部门决策提供依据。1.1.2指导思想本次评价的指导思想是根据项目特点，抓住影响环境的主要因子，有重点的进行评价；评价方法力求科学严谨，实事求是；分析论证客观公正；贯彻达标排放、总量控制和清洁生产等环境保护政策的基本原则；提环保措施和建议时注意可行性和合理性；充分利用现有资料，在保证报告书质量的前提下，尽量缩短评价周期。1.2编制依据1.2.1国家法规依据⑴《中华人民共和国环境保护法》（1989）；⑵《中华人民共和国环境影响评价法》（2003）；⑶《中华人民共和国大气污染防治法》（2000）；⑷《中华人民共和国水污染防治法》（1996）；⑸《中华人民共和国噪声污染防治法》（1996）；⑹《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》（2005）；⑺《中华人民共和国水土保持法》（1991）；⑻《中华人民共和国清洁生产促进法》（2002）；⑼国务院第253号令《建设项目环境保护管理条例》（1999）；⑽国家经贸委国资源（2000）1015号文《关于加强节约工业用水的规定》；⑾国家发展和改革委员会令第40号《产业结构调整指导目录(2005年本)》（2005）；6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书⑿国家发展和改革委员会、商务部联合发布第24号令《外商投资产业指导目录》（2004）；⒀中华人民共和国国家发展计划委员会、科学技术部、商务部令第26号《当前优先发展的高技术产业化重点领域指南》（2004.4.30）；⒁山东省人大第99号公告《山东省环境保护条例》（2001）；⒂《山东省地面水环境功能区划方案》（山东省政府2000年3月以鲁政字[2000]86号文批准）；⒃《危险化学品安全管理条例》（2002年）；⒄《国家危险废物名录》（国家环保总局、国家经贸委、对外贸易经济合作部、公安部）（1998）；⒅《关于加强环境影响评价管理防范环境风险的通知》（环发[2005]152号）。1.2.2技术规范依据⑴HJ/T2.1～2.3-93《环境影响评价技术导则》；⑵HJ/T2.4-1995《环境影响评价技术导则——声环境》；⑶HJ/T19-1997《环境影响评价技术导则——非污染生态影响》；⑷HJ/T169-2004《建设项目环境风险评价技术导则》。1.2.3项目依据⑴国家环保总局《建设项目环境保护分类管理名录》（环发[2001]17号）；⑵国家计委、国家环保局《关于规范环境影响咨询收费有关问题的通知》（计价格[2002]125号文）；⑶《烟台市城市总体规划》；⑷《烟台市福山区城市规划》；⑸《烟台市“十五”环境保护计划》；⑹《烟台市海洋功能区划》；⑺《烟台市环境功能区划》；⑻《烟台市福山区地下水资源开发利用规划》；⑼《烟台市福山区水资源保护规划》；⑽泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书集成电路芯片项目申请报告；⑾泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司环境影响评价委托书。1.3评价标准根据地方功能区划和山东省环保局对该项目评价标准的批复，本次评价执行标准如下。1.3.1环境质量标准环境质量标准具体见表1-1。表1-1环境质量标准类别序号环境因素执行标准污染因子标准限值备注环境质量标准1地下水环境《地下水质量标准》（GB/T14848-93）Ⅲ类标准砷0.05mg/L六价铬0.05mg/L铅0.05mg/L氟化物1.0mg/L镉0.01mg/L锰0.1mg/L氯化物250mg/LCODMn3.0mg/L氰化物0.05mg/L硫酸盐250mg/L总硬度450mg/L溶解性总固体1000mg/L2环境空气《环境空气质量标准》（GB3095-1996）二级标准PM100.15mg/m3日均NO20.24mg/m30.12mg/m31小时平均日均SO20.50mg/m30.15mg/m31小时平均日均氟化物20µg/m37µg/m31小时平均日平均《工业企业设计卫生标准》TJ36-79居住区大气中有害物质的最高允许浓度氯化氢0.50mg/m30.15mg/m3一次浓度日平均硫酸雾0.30mg/m30.10mg/m3一次浓度日平均溴化氢丙酮0.80mg/m3一次浓度氨0.20mg/m3一次浓度前苏联居民区大气中有害物质的最大允许浓度异丙醇0.60mg/m3一次浓度3LeqA65dB(A)昼间6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书声环境《城市区域环境噪声标准》（GB3096-93）3类标准南、西、北厂界55dB(A)夜间《城市区域环境噪声标准》（GB3096-93）4类标准东厂界LeqA70dB(A)昼间55dB(A)夜间4土壤《土壤环境质量标准》（GB15618-1995）一级标准砷15mg/kg镉0.20mg/kg汞0.15mg/kg铜35mg/kg铅35mg/kg铬90mg/kg锌100mg/kg镍40mg/kg1.3.2污染物排放标准污染物排放标准具体见表1-2。表1-2污染物排放标准类别序号环境因素执行标准污染因子标准限值备注污染物排放标准1废水《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准pH6～9SS400mg/LCODCr500mg/LBOD5300mg/L石油类20mg/L动植物油100mg/L氟化物20mg/LNH3-N/磷酸盐/2废气《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）二级标准氟化物9.0mg/m30.59kg/h30m氯化氢100mg/m31.4kg/h30m硫酸雾45mg/m38.8kg/h30m氮氧化物240mg/m34.4kg/h30m《工作场所有害因素职业接触限值》（GBZ2—2002）及上海市控制标准异丙醇320mg/m330m《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）氨20kg/h30m6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书《荷兰排放导则》NER砷烷1.0mg/m30.01kg/h磷烷1.0mg/m30.01kg/h硅烷5.0mg/m30.05kg/h台湾地区《半导体制造业空气污染管制及排放标准》及上海拟颁布的半岛体行业标准挥发性有机物VOC100mg/m3排放速率小于0.6kg/h排放削减率大于90%《锅炉大气污染物排放标准》（GB13271-2001）二类区域标准（第Ⅱ时段）烟尘50mg/m3燃气100mg/m3燃油SO2100mg/m3燃气500mg/m3燃油NOx400mg/m3燃气、燃油3噪声《工业企业厂界噪声标准》（GB12348-90）Ⅲ类标准南、西、北厂界LeqA65dB(A)昼间55dB(A)夜间《工业企业厂界噪声标准》（GB12348-90）Ⅳ类标准东厂界LeqA70dB(A)昼间55dB(A)夜间(1)废水：《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准。(2)废气：《大气污染物综合排放标准》（GB16279-1996）二级标准，《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）（氨），《锅炉大气污染物排放标准》（GB13271-2001）二类区域标准。对于目前我国尚无排放标准的本项目排放的特殊污染物，参照执行国外的有关标准。通过调研，收集国外有关标准参照执行如下：①我国台湾地区《半导体制造业空气污染管制及排放标准》对特征污染物----挥发性有机物VOC的控制标准主要为排放削减率，要求大于90%。本项目有机废气VOC的排放拟参照执行《半导体制造业空气污染管制及排放标准》及上海拟颁布的半岛体行业标准。②对于目前我国尚无排放标准的特殊污染物，如砷烷、磷烷、硅烷等，参照执行《荷兰排放导则》（NER，NederlandseEmissieRichtlijnen=DutchEmission6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书Guidelines）。关于该导则需要说明的是：NER不是类同于中国排放标准的强制性规章，而是政府和行业用来为每个工厂设备设置环境许可所用的指导方针。(3)噪声：营运期执行《工业企业厂界噪声标准》（GB12348-90）Ⅲ类标准，施工期执行《建筑施工场界噪声限值》（GB12523-90）。1.4环境影响因素识别及评价因子筛选1.4.1环境影响因素识别拟建项目施工建设期土建施工作业、人工作业和设备安装作业等将会破坏厂区范围内的原有植被、改变土地使用功能，产生施工扬尘、废水、施工垃圾和噪声等。项目生产运营期间将产生废气、废水、固废和设备噪声等污染，对周围环境产生一定污染。根据工程分析拟建项目生产运营期间产生主要大气污染物是酸性气体、碱性气体、有机废气、有机污染物燃烧废气，将对厂址附近的环境空气产生一定影响。厂区生产废水中有机污染物浓度相对较高，经污水处理设施处理后排入城市污水管网。生产过程中产生的固体废物全部安全处置或回收综合利用，无外排。厂区周围较空旷，声环境敏感目标较少，对厂内高噪声设备采取相应消声、减噪措施后对声环境的影响较小。根据以上项目特点及厂址周围环境情况，确定拟建项目的环境影响要素详见表1-3。表1-3拟建项目环境影响要素识别表工程阶段环境空气水环境声环境生态环境社会环境施工期▲▲▲□□运营期■■▲△▲注：表中■表示影响显著，▲表示影响一般，□表示影响轻微，△表示基本无影响。1.4.2环境影响因子识别6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书1.4.2.1施工期项目施工期间对环境的影响很大程度上取决于工程特点、施工季节以及工程所处的地形、地貌等环境因素。经分析，施工期主要环境影响因素见表1-4。表1-4施工期主要环境影响因素环境要素产生影响的主要内容主要影响因素环境空气土地平整、挖掘，土石方、建材运输、存放、使用扬尘施工车辆尾气、炊事燃具使用NOx、SO2水环境施工人员生活废水等COD、BOD、SS声环境施工机械、车辆作业噪声噪声生态环境土地平整、挖掘及工程占地水土流失、植被破坏土石方、建材堆存占压土地等1.4.2.2施工期拟建项目运营期将产生废气、废水、噪声以及固废等污染因素，将相应对厂址周围的环境空气、地表水、地下水环境及声环境等产生不同程度的影响。综上所述，拟建项目运营期环境影响因子识别情况详见表1-5。表1-5拟建项目运营期环境影响因素识别表环境要素环境影响因素废气废水噪声固废酸性废气碱性废气有机废气VOC燃烧废气环境空气有影响地表水有影响地下水轻微影响声环境有影响生态轻微影响土壤轻微影响轻微影响轻微影响1.4.3评价因子的确定6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书根据工程分析及环境影响要素、影响因子识别，确定本次评价的评价因子详见表1-6。表1-6拟建项目环境影响评价因子一览表项目专题主要污染源现状评价因子预测因子环境空气工艺废气SO2、NO2、PM10、氟化物、氯化氢、溴化氢、氨、硫酸雾、VOC、丙酮、异丙醇共11项氟化物、HCl、硫酸雾、NH3、异丙醇、VOC、氮氧化物地表水生产、生活污水项目区附近河道已干涸无水，因此未进行现状监测影响分析地下水厂区污水砷、六价铬、铅、氟化物、镉、锰、氯化物、CODMn、氰化物、硫酸盐、总硬度、溶解性总固体、异丙醇、丙酮共14项影响分析土壤厂区土壤砷、镉、氟、汞、铜、铅、铬、锌、镍共9项--噪声厂区生产设备LAeqLAeq1.5评价等级及评价重点1.5.1大气环境影响评价等级根据拟建项目主要大气污染物的排放量，依据《环境影响评价技术导则·大气环境》的评价级别计算方法：结合评价区范围内的地形特点，确定的评价等级详见表1-7。表1-7拟建项目大气环境影响评价等级确定表序号大气污染物Qi（kg/h）Coi（mg/m3）Pi地形评价等级确定1氟化物0.070.023.5×106山丘陵区三级2氯化氢0.0330.050.66×106三级3硫酸雾0.140.300.47×106三级4NOx4.930.150.32×108三级6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书5SO20.0160.500.032×106三级6异丙醇0.140.600.23×106三级7NH30.0860.200.43×106三级8烟尘0.670.302.23×106三级由上表可见，Pi＜2.5×108，根据项目性质评价等级提高一级，因此，拟建项目环境空气影响评价应执行二级评价。1.5.2水环境影响评价等级拟建项目日外排废水约114.416万t/a，经厂内污水处理站处理达标后经市政污水管网排入烟台市套子湾污水处理厂，因此本次环评重点对本项目废水经厂内污水处理站处理达标后再通过市政管网进入烟台市套子湾污水处理厂处理的可行性和可靠性进行分析。项目厂区地面硬化、雨污分流，废水收集系统和污水处理设施进行防渗处理，外排废水经过管道排入烟台市城市套子湾污水处理厂，因此地下水环境影响仅作简要分析。1.5.3声环境影响评价等级根据地方环境功能区划，项目厂址所在区域适用于《城市区域环境噪声标准》（GB3096-93）中规定的3类功能区，拟建项目属大型建设项目，项目建设前后噪声的增量较小，受影响人口变化不大，因此根据《环境影响评价技术导则—声环境》（HJ/T2.4-1995）的规定，确定本项目噪声影响评价等级为三级评价。1.5.4环境风险评价等级根据《建设项目环境风险评价技术导则》，本次项目位于环境敏感区，原材料包含剧毒危险性物质，因此本次环评环境风险评价定为一级评价。6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书1.6评价范围和重点保护目标根据项目厂址所在地的气象、水文、地质条件，项目“三废”排放特点、排放量以及厂址周围敏感目标的分布情况，见表1-8、图1-1。表1-8拟建项目评价范围和重点保护目标一览表环境要素环境保护对象名称方位距离（米）评价范围环境功能环境空气吕格庄SW1600以厂址为中心，主导风向为主轴，边长6km的范围《环境空气质量标准》GB3095-1996二级芝阳山医院N1100房家疃ENE1600前埠村居民点W150福山区政府N2800东留公W1300水厂地下水取水口WNW1100芝阳小区N1400南涂山SE1700水环境大沽夹河E2600内夹河和大沽夹河流域《地表水环境质量标准》GB3838-2002Ⅲ类标准内夹河W1000地下水取水口W500厂址500m的范围《地下水质量标准》（GB/T14848-93）Ⅲ类标准声环境前埠村W150厂界外1米《城市区域环境噪声标准》GB3096-933类标准第2章建设项目概况6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书2.1项目建设内容2.1.1工程概况项目名称：泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片项目建设性质：新建筹建方：森邦集团（美国）（SCHAUMBONDGroup.Inc.）建设地点：山东省烟台市福山区工业用地。详见图2-1A、2-1B。总投资：12.6亿美元。2.1.2生产规模和产品方案新购工艺生产设备组建8英寸芯片加工生产线，形成月生产8英寸硅片3万片的能力，生产工艺达到0.13～0.25μm的CMOS工艺技术水平，并将同时具备为客户代工的能力。公司生产方式主要采用CMOS和BiCMOS技术进行代工生产。2.1.3厂区布置和项目组成2.1.3.1厂区布置2.1.3.2项目组成建筑物情况及主要数据指标见表2-1，项目组成情况详见表2-2。表2-1建筑物情况及主要数据指标一览表序号项目建筑面积m2指标1办公研发楼193942综合楼142883八英寸芯片厂房592604综合动力站152995气站11106化学品库14267锅炉房7078活动室和餐厅32129倒班宿舍1503810门卫18011总用地面积13329312总建筑占地面积425026-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书13总建筑面积12991414容积率0.9715建筑密度32％16绿化率36％表2-2拟建项目组成情况一览表序号设施名称内容1生产设施主要由8英寸芯片厂房、办公研发楼等构成，内容包括：集成电路芯片生产设施、集成电路测试设施、实验设施、原材料半成品及成品存放、生产线技术管理、生产线设备维修等。2动力设施由综合动力站，锅炉房、气站等构成，内容包括：水泵房、纯水站、废水站、冷冻站、锅炉房、空压站、真空站、净化、通风和排风系统、消防等；变电站、柴油发电机房（备用）、大宗气体供应站。3辅助设施化学品库、硅烷站（SiH4）、天然气调压站（NG）、特殊气体供应系统、大宗气体供应系统，空分主装置(PL-2E)，包括：主空气压缩机,氮气压缩机。工厂空气装置（CDA），包括：空气压缩机。4环保设施工业废水处理系统、生活污水处理系统、废气处理系统、废液、废渣收集系统、绿化、雨水回收处理系统。5服务设施由办公研发楼，综合楼、倒班宿舍、专家宿舍、活动室及餐厅等构成，内容包括：办公、会议、餐厅等用房；停车场6厂外设施给水管线、排水管线、天然气管线、高压输电线、通信线路等。注：本项目新鲜水依托福山自来水公司，电依托福山电力公司，天然气的供给依托福山燃气公司，生产、生活污水末端处理依托烟台市套子湾污水处理厂2.1.4项目主要技术经济指标拟建项目的主要技术经济指标情况详见表2-3。表2-3拟建项目主要技术经济指标一览表序号项目名称单位数量备注1生产能力万片/月38英寸0.13～0.25μm2所需人数人15006-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书3生产线主要设备仪器台（套）365套4用地面积m21332935总建筑面积m21299146项目总投资万美元126000（1）建设投资万美元100000（2）流动资金万美元260007正常生产年年销售收入万美元1200008正常生产年所得税后利润万美元329039所得税前内部收益率%28.2610所得税后内部收益率%24.4711税后静态投资回收期年5.01含建设期1.5年12税后动态投资回收期年6.15含建设期1.5年2.1.5定员及年时基数拟建项目劳动定员1500人，其中管理人员200人，技术人员300人，操作人员800人，其他人员200人。年工作日360天，生产线工人实行四班二运转工作制，每天2班，每班12小时，2天上班2天休息；管理人员实行单班工作制。2.1.6工程投资及经济指标项目总投资为126000万美元，其中注册资本42000万美元，由美国森邦集团公司全资投入，其余由境外资金、设备等中国法律允许的注资形式投入，属于外商独资项目，资金有保障；注册资本及项目投资分年投入，考虑了项目运作的客观规律。6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书第3章工程分析3.1主要原、辅材料用量及能源供应和消耗3.1.1主要原辅材料及用量主要原辅材料消耗量见表3-1。表3-1主要原辅材料消耗量一览表序号名称规格单位年用量1硅片8英寸片3790002控制片8英寸片720003光刻版套1004H2O230%升4550005NH4OH29%升2450006H2SO496%升2450007HCl37%升770008HF49%升1540009HF1%升6300010氧化层刻蚀缓冲液（BOE6：1）NH4F/HF/H2O升3500011HNO370%升2100012H3PO480%升2170013KOH10%升1200014异丙醇(IPA)100%升2800006-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书15剥离液（NMP）STRIPERN-methylPyrrolidone（C5H9NO）升10500016Slurry-1（SM700）10%KOH+30%H2O2+纯水升7000017Slurry-2（BT900）NH4OH+纯水升8750018Slurry-3（SS25）抛光稀浆原料（25%固体成分）升35000019显影液（TMAH）四甲基氢氧化铵(CH3)4NOH升52500020边角去除剂（EBR）丙烯乙二醇一甲胺升1550021光刻胶苯酚-甲醛聚合物（聚合物）升4250022稀释液（OK-73）THINNER丙二醇甲醚、丙二醇单甲醚乙酸酯的混合物升26250023刻蚀液（EKC-270）羟氨、单乙醇胺、异丙醇胺等的混合物升660024预涂液（HMDS）六甲基乙硅烷升1320025TEOS正硅酸乙脂公斤35026CHF3升/瓶564/4727C2F6升/瓶28200/4728He/N25%升/瓶94/476-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书29H2/N24%升/瓶28200/4730SF6升/瓶5640/4731N2O升/瓶4800/4032CH4/Ar10%升/瓶188/4733O2/He20%升/瓶564/4734CO2升/瓶720/3035CF4升/瓶11280/4736CH2F2升/瓶90/1537WF6升/瓶1440/2038BCl3升/瓶480/1039Kr/Ne升/瓶588/4940Kr/Ne/F21%升/瓶588/4941NH3千克/瓶240/2042HBr千克/瓶120/1043Cl2千克/瓶960/1044NH4F千克79106-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书45NF3升/瓶4512/4746SiF4升/瓶141/4747PH3/He0.8%升/瓶1128/4748PH3/N20.8%升/瓶8460/4749SiH4升/瓶7896/47AsH450SiH4/He20%升/瓶94/4751C4H8升/瓶564/4752CO升/瓶3384/4753ClF3千克/瓶120/1054B2H6/N20.8%升/瓶8460/4755靶材（Al、Ti等）个2803.1.2原辅材料供应系统、产品运输及储存方案本项目原材料基本上都由空运和海运进入烟台，工厂成品采用空运或海运方式。该项目的原辅材料和成品对运输条件要求较高，市区内运输由专业运输公司承担，以专用货车运至厂区内。化学品及特殊气体，视需要送至厂内，置于专设的化学品库（参见总图）、fab厂房的特气间、化配间、物料入口室处、原材料暂存间、备品备件存放间等，并做好安全卫生防护措施。6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书在化学品库中大宗化学品存量为1-3天的用量，小瓶装存量为1-2星期的用量，特殊由外国进口的化学品存量为2-4星期的用量。化学品储存量参照有关规范规定的限额进行储存。特殊气体采用钢瓶储存，有气体监测器（电化学式、半导体式和色带式检测器等），在有气体泄露时报警。以1个月的用量为储存量。储存方式为钢瓶。需要气体监测器（电化学式、半导体式和色带式检测器等）。3.1.3能源动力供应和消耗3.1.3.1供电经计算全厂用电负荷总装设容量72750Kw。本工程拟建设一座110kV总变电所，从市电不同的区域变电站引来两路独立的电源。变电所内安装两台31.5MVA110/6.3kV有载调压变压器。另外设置六台6kV、1650kW柴油发电机组作为应急电源。3.1.3.2供汽、供热本项目工艺中所需热源为开发区提供的热水。另设热水锅炉房做为备用热源，锅炉房内安装全自动热水锅炉（油气两用，Q=5.6MW，供水温度80℃）5台，供应蒸汽40t/h。本项目仅用轻质柴油作为锅炉燃料，锅炉年运行5天。3.1.3.3天然气与柴油天然气设计使用量为120m3/h，由福山燃气公司经外网送至厂区调压站，经调压计量后用管道送给FABVOC使用。柴油由槽车运来后，储存于室外柴油储罐内，2个200m3立式地上柴油罐，室外地上摆放。经过滤器、油泵加压后由管网系统送锅炉房。柴油品质为0~10#柴油(GB252-64)。3.1.3.4空压、氮气项目所需压缩空气及氮气由厂给。厂区所需压缩空气量详见表3-2。项目厂区内使用0.65MPa高纯氮气，用量为2500Nm3/h。6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书表3-2拟建项目厂区压缩空气消耗量一览表序号压缩空气压力消耗量（Nm3/h）常压露点平均最大10.7MPa-5000-70℃主要能源动力消耗量见表3-3。表3-3主要能源动力消耗一览表序号项目名称单位数量备注1总装设功率kVA727502生产、生活用水t/a14401003纯水m3/h1804工艺用冷却水m3/h15005常温冷却水m3/h47506空调用冷却水m3/h13007天然气m3/h1208柴油9蒸汽kg/h4000010耗冷量kW863911工艺氮气Nm3/h250012动力氮气Nm3/h450013工艺氢气Nm3/h5014工艺氧气Nm3/h8515工艺氩气Nm3/h9016工艺氦气Nm3/h2517工艺真空Nm3/h250018清扫真空Nm3/h15003.1.3.5其他动力1、工艺真空系统2、清扫真空系统3、工艺设备冷却水系统：3.1.3.6工程给排水6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书供水：拟建项目用水全部由烟台市福山区信息产业区供水工程管理中心提供。具体描述：工业用水和生活用水系统（1）自市政引入一条供水管线(目前按DN300考虑)，接入生产水池，生活水箱及消防水池。市政给水压力按0.3MPa考虑。（2）本厂生产及生活日用水量约为4100m3。（3）厂区所有生活用水利用市政水压直接供给。（4）生产水池设置在4号建筑（动力站），储水量约5000m3，其中包括576m3的消防水量。（5）设备备用：生产水泵及纯水原水泵均为N＋1备用方式。排水：本项目厂区排水体制实行雨污分流制：（1）雨水经厂区雨水管网汇集后排入市政雨水管网；（2）生产废水经厂区内生产废水处理站处理，生活污水经化粪池、隔油池处理后，分别由拟建项目生产废水总排口、生活污水总排口排入市政污水管网，经市政污水管网排入套子湾污水处理厂，处理后深海排放。生活污水、生产废水在生产废水总排口和生活污水总排口按《污水综合排放标准》（GB8978-1996）的三级排放标准执行。3.1.4水量平衡本项目用水主要分为生产用水和生活用水。本项目用水量分布见图3-1。6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书自来水超纯水系统生活用水初纯水系统酸碱废水含氟废水含氨废水处理系统处理系统处理系统纯水回收系统热水锅炉工艺冷却水空调循环水冷却塔排放3301（3316）3066（3086）4951503784596192036442964000（4020）（20）322（15）隔油池、化粪池123废气洗涤塔工艺用水研磨废水处理系统有机废水中和处理系统浓水常温冷却水系统1080120120120360495227237204554损耗520损耗27损耗15损耗（5）67200循环1140001920411损耗56108214108576621绿化用水蒸发、渗透9696（15）621生产废水3178（3193）图3-1拟建项目全厂用水平衡图（m3/d）注：热水锅炉为备用锅炉，括号内数字为锅炉运行时用水量（下同），热水锅炉年运行5天。3.1.5物料平衡为了了解主要原辅材料中的有毒有害物质的情况，本次环评对其中具有代表性的物料（用量较大或者毒性较大的物料），如氟、氨6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书、异丙醇进行物料平衡分析。3.1.5.1氟平衡本项目氟平衡见图3-2。3.1.5.2氨平衡氨的平衡图见图3-3。3.1.5.3异丙醇平衡IPA异丙醇平衡图见图3-4。折合纯氟：85643.5消耗2141.1进入废水51386.1进入废气6423.3废气排放642.3废气处理5781.0废水处理57167.1废水处理污泥54880.4废水排放2286.7HFNH4FCHF3C2F6SF6CF4WF6CH2F2NF3ClF39118279101.69166.1835.2538.2718.770.2013.70120废液回收25693.0图3-2氟平衡图（单位：kg/a）6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书折合纯氨：49322消耗2466进入废水39458进入废气7398废气排放740废气处理6658废水处理46116生化处理43810废水排放2306NH4OHNH4FNH3877477910240图3-3氨平衡图（单位：kg/a）异丙醇IPA219828清洗进入废水8793进入有机废气24181废水排放8793废气排放1099废液外委处理186854有机废气处理24181进入有机废液186854沸石浓缩转轮23082燃烧6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书图3-4异丙醇平衡图（单位：kg/a）3.2工艺流程及产污环节3.2.1工艺流程一般地，集成电路芯片制造生产工艺包括硅片清洗、热氧化、扩散、化学气相沉积(CVD)、光刻、去胶、离子注入、刻蚀、金属化、化学机械抛光(CMP)等，这些工序反复交叉，包括检测和测试在内实际达到300左右的工艺步数。并且生产过程中使用多种化学试剂、特殊气体和配套动力。集成电路芯片生产的工艺流程如图3-5所示。清洗氧化硅片离子注入光刻图3-5芯片生产工艺流程图(简化)CVD沉积CMP抛光入库检测去胶湿法刻蚀背面减薄溅射干法刻蚀现将集成电路芯片加工的主要生产工艺的内容介绍如下：3.2.1.1清洗集成电路芯片生产的清洗包括硅片的清洗和工器具的清洗。由于半导体生产污染要求非常严格，清洗工艺需要消耗大量的高纯水；且通过特殊过滤和纯化的半导体级化学试剂、有机溶剂等被广泛使用。6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书硅片清洗是完全清除半导体硅片表面的尘埃颗粒、有机物残留薄膜和吸附在表面的金属离子。在硅片的加工工艺中，硅片先按各自的要求放入各种药液槽进行表面化学处理，再送入清洗槽，将其表面粘附的药液清洗干净后进入下一道工序。最主要的清洗方式是将硅片沉浸在液体槽内或使用液体喷雾清洗，同时为有更好的清洗效果，通常使用超声波激励，在一些特定的情况下，高温蒸汽腐蚀和低温喷溅腐蚀也被采用。由于使用有机溶剂清洗带来的溶剂残留，一般在有机溶剂清洗后立即采用无机酸将其氧化去除，最后用纯水冲洗，如图3-6所示。废药液清洗排水1清洗排水3清洗排水2药液超纯水超纯水超纯水药液槽清洗槽图3-6硅片清洗工艺示意图废液收集系统清洗水回收系统废水处理系统芯片移动工具的清洗基本采用硅片清洗同样的方法。3.2.1.2热氧化热氧化是在800～1250℃高温的氧气气氛和惰性携带气体（N2）下使硅片表面的硅氧化生成二氧化硅膜的过程，产生的二氧化硅用以作为扩散、离子注入的阻挡层，或介质隔离层。典型的热氧化化学反应为：Si+O2→SiO23.2.1.3光刻光刻包括涂胶、曝光、显影。涂胶是在硅片表面通过硅片高速旋转均匀涂上光刻胶的过程；曝光是使用光刻机，并透过光掩膜版对涂胶的硅片进行光照，使部分光刻胶得到光照，另外部分光刻胶得不到光照，从而改变光刻胶性质；显影是对曝光后的光刻胶进行去除，由于光照后的光刻胶和未被光照的光刻胶将分别溶于显影液和不溶于显影液，这样就使光刻胶上形成了沟槽。基片涂胶后基片片显影后基片曝光后基片光刻胶6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书3.2.1.4湿法腐蚀和等离子刻蚀通过光刻显影后，光刻胶下面的材料要被选择性地去除，使用的方法就是湿法腐蚀或干法刻蚀。湿法腐蚀或干法刻蚀后，要去除上面的光刻胶。湿法腐蚀是通过化学反应的方法对基材腐蚀的过程，对不同的去除物质使用不同的材料。对不同的对象，典型使用的腐蚀材料为：腐蚀硅(Si)——使用氢氟酸加硝酸（HF+HNO3）腐蚀二氧化硅(SiO2)——使用氢氟酸（HF）腐蚀氮化硅(Si3N4)——使用热磷酸（热H3PO4）干法刻蚀是在等离子气氛中选择性腐蚀基材的过程，刻蚀气氛通常含有F等离子体或碳等离子体，因此刻蚀气体通常使用CF4这一类的气体。3.2.1.5扩散扩散是在硅表面掺入纯杂质原子的过程。通常是使用乙硼烷（B2H6）作为N-源和磷烷（PH3）作为P+源。工艺生产过程中通常分为沉积源和驱赶两步，典型的化学反应为：2PH3→2P+3H2掺杂区P/N-Si片P/N-Si片阻挡层3.2.1.6离子注入6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书离子注入也是一种给硅片掺杂的过程。它的基本原理是把掺杂物质（原子）离子化后，在数千到数百万伏特电压的电场下得到加速，以较高的能量注入到硅片表面或其它薄膜中。经高温退火后，注入离子活化，起施主或受主的作用。3.2.1.7化学气相沉积（CVD）化学气相沉积是在一定的温度条件下，依靠反应气体与芯片表面处的浓度差，以扩散方式，被芯片表面吸收，并沉积出薄膜。在反应器中，反应气体（SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H4、AsH3）和携带气体（H2、O2、Ar、N2O、NH3等）不断流过反应室而产生气态副产物，连同未反应的气体一起排出。CVD被使用来在硅片上沉积氧化硅、氮化硅和多晶硅等半导体器件材料，是在300-900℃的温度下通过化学反应产生以上物质的过程。典型的化学反应为：400～450℃SiH4+O2→SiO2+2H2O生长过程中掺磷时加磷烷的反应为：4PH3+5O2→2P2O5+6H2SiH2Cl2+2N2O→SiO2+2N2+2HCl化学气相沉积根据CVD反应的气氛和气压可分为低压CVD（LPCVD）、常压CVD（APCVD）和离子增强CVD（PECVD）等。3.2.1.8化学机械抛光（CMP）CMP是类似机械抛光的一种抛光方式，一般用于具有三层或更多层金属的集成电路芯片制造生产。在已形成图案的芯片上进行化学机械抛光，使之形成整体平面，以减轻多层结构造成的严重不平的表面形态，满足光刻时对焦深的要求。3.2.1.9金属化金属化是在芯片表面上制成金属或合金的导体。在硅基片上沉积金属以作为电路的内引线的方法有蒸发、溅射、CVD等。本项目采用的是溅射工艺。铝是常用的金属沉积材料，其它的材料包括金、钛、钼、钨、钛钨合金、钯、铜。3.2.1.10后加工6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书后加工包括对集成电路硅片的金属层热处理，电性测试和晶背研磨。3.2.2产污环节本项目生产过程中主要污染源的分布情况见图3-7。本项目主要污染源在总平面布置图上的位置见图3-8。6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书清洗氧化光刻湿法刻蚀去胶离子注入干法刻蚀CVD沉积CMP抛光溅射背面减薄检测入库G1、G2、G3W1、W2、W3、W5S1、S2、S3G4G1、G2、G3W1、W5S3、S4G1、G2、G3、W1、W2S3G3、S5G4G3、G4G4G1、G2、W4W4S6注：G1酸性废气；G2碱性废气；G3有机废气；G4特殊气体废气；W1酸碱废水；W2含氟废水；W3含氨废水；W4研磨废水；W5有机废水；S1磷酸废液；S2硫酸废液；S3有机废液（IPA）；S4有机废液（废光刻胶、废显影液）；S5其他有机废液；S6废硅片图3-7污染源分布示意图3.3污染物排放及其治理措施3.3.1工程施工期施工期间的主要污染有扬尘和噪声。扬尘主要由建筑工地施工和运输车辆运行引起；噪声主要是机械的施工噪声及车辆运行的交通噪声。车辆和施工机械的尾气含CH、NO2、CO等会造成大气污染。施工过程产生的各种噪声应遵守国家规定的标准。施工期的无组织扬尘应注意控制，如道路应及时洒扫，建筑弃土弃石应及时清运，堆存场所应洒水抑尘，运输车辆应蓬盖等。3.3.2工程营运期3.3.2.1废水拟建工程排放的废水主要包括生产废水和生活污水两大类。（一）、生产废水6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书本项目产生的生产废水主要包括酸碱废水、含氨废水、含氟废水、研磨废水、有机废水、废气洗涤塔排水、纯水制备废水、工艺设备冷却水和冷却塔循环水排水等，排放量3178t/d，锅炉运行时排放量为3193t/d。1.酸碱废水（1）工艺酸碱废水排放方式为连续排放，排放量为1080t/d。工艺酸碱废水主要来自芯片加工过程中使用硫酸、磷酸、盐酸等超纯试剂以及超纯水对生产硅片进行清洗的过程，包括对生产工具、器具、石英制品的清洗等。（2）纯水站酸碱再生废水排放方式：连续排放，排放量为150t/d。主要为离子交换再生酸碱废水，废水中主要污染物为酸、碱，与上述工艺酸碱废水一并处理后，拟汇入中和处理系统处理后由公司废水总排口排放。酸碱废水简化处理流程如下：酸碱废水合格排放酸碱废水收集罐一级中和槽二级中和槽三级中和槽不合格最终pH调节槽2.含氟废水排放形式：连续排放，排放量574t/d。2.含氟废水排放形式：连续排放，排放量574t/d。含氟废水采用化学沉淀法进行处理。含氟废水处理流程如下：6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书洗涤塔废水浓HF废液浓HF废液Ca（OH）2、H2SO4混凝剂CaCl2预处理一级反应槽储槽收集槽含氟废水Ca（OH）2、H2SO4事故水箱絮凝剂混凝剂CaCl2一级澄清槽三级反应槽处理后水箱二级澄清槽二级反应槽NaOH、H2SO4、NaHSO3、混凝剂最终PH值调节槽污泥槽板框压滤机排放外运在采用氟化钙絮凝沉淀法处理含氟废水的同时，亦可去除废水中大部分磷。3.含氨废水：排放量为228t/d，排放方式为连续排放。本项目在生产上使用氟化铵和氨水，产生的含氨废水属高浓度的含氨废水。拟采用吹脱＋硝化脱氮方式处理，处理后出水溢流至最终pH调节槽，与上述工艺酸碱废水一并中和处理后排放。含氨废水处理流程如下：含氨废水热交换吹脱(NH4)2SO4污泥处理系统活性炭过滤器NaOHH2SO4洗涤塔废水硝化槽脱氮槽曝气槽澄清槽最终pH调节槽NaOHH2SO4外运6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书4.研磨废水排放方式：连续排放，排放量120t/d。分为背晶研磨废水、金属研磨废水等，主要污染物为悬浮物，采用絮凝沉淀法进行处理。5.有机废水排放方式：连续排放，排放量120t/d。根据生产废水中有机物的含量分析，采用生化法处理。废水经过pH调节，生物接触氧化，澄清沉淀后排放，部分污泥回流，其余污泥经浓缩、脱水后外运。由专门公司统一处理。6.纯水站浓缩废水和超滤浓缩废水排放方式：连续排放，排放量1071t/d。本项目生产工艺中用到大量纯水和超纯水，纯水站的浓缩废水主要含原自来水中的离子（盐类），每天浓缩废水量为495t/d。这部分废水基本不含污染物，直接排出。在制取超纯水时，将产生超滤浓缩废水，是未通过超滤膜的废水，是优质排水，每天超浓缩废水量为576t/d。这部分废水不排出，而是供冷却塔用水。7.废气洗涤塔排水排放方式：间歇排放，排放量322t/d。芯片加工过程中排放的HF、HCl、硫酸雾、NH3等酸碱废气，工程上设置有碱（酸）液喷淋吸收塔吸收处理，排放的废水为吸收塔中多次循环使用的吸收废液。其中，碱性洗涤塔废水108t/d，汇入含氨废水处理系统进行处理；酸性洗涤塔废水214t/d，汇入含氟废水处理系统进行处理。8.工艺设备冷却水、空调循环水排放方式：连续排放，排放量为45t/d。工艺设备冷却水及空调循环水排放量45t/d。6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书工艺设备冷却水使用RO纯水，采用管道密闭循环，由于工艺设备对循环水质量要求较高，因此循环水需少量外排，并且补充部分新鲜RO水，以维持一定的水质指标，这部分废水不直接排出，进入冷却塔供其使用。9.冷却塔排水排放方式：连续排放，排放量为411t/d。冷却塔中循环水经反复多次使用后，盐分增高，需要定期外排。排水中主要成份为原自来水中浓缩的盐类、SS，无需处理，直接经厂区生产废水总排口排放。10.热水锅炉排水热水锅炉全年运行5天，在运行期间排水15t/d，废水基本不含污染物，直接排出。生产废水处理工艺流程详见图3-9。（二）生活污水生活污水主要有厂区职工日常清洗用水、卫生间污水、餐厅废水以及洁净服清洗水等，排放量123t/d。卫生间粪便污水拟采用化粪池预处理，餐厅污水拟设置隔油池作撇油处理后由公司生活污水总排口排放。（三）污染物排放情况各类废水处理设施中主要污染物处理前后的排放量和浓度见表3-4。表3-4废水中主要污染物处理情况统计废水处理系统废水处理量t/d主要污染物处理前处理后处理效率(%)产生量kg/d浓度mg/L排放量kg/d排放浓度mg/L含氨废水处理系统（包括含氨废水、废气洗涤塔废水）228NH3-N128.1561.86.428.195含氟废水处理系统（包括含氢氟酸、磷酸废水、废气洗涤塔废水）574pH*1～66～9－F-158.8276.76.411.196磷酸盐（以P计）5.69.80.621.189CODCr84.9147.949.285.8426-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书TOC42.574.025.544.440SS60.3105.030.252.550研磨废水处理系统120pH*7～126～9/SS48.2402.02.924.194有机废水处理系统120pH*5～66～9CODCr44.8373.36.756.085TOC22.4186.74.4837.380SS7.68640.776.490最终pH调节（包括含氟废水、含氨废水、研磨废水、酸碱废水和纯水站离子交换再生酸碱废水）2272pH*1.5～106～9F-6.42.86.42.8－NH3-N6.42.86.42.8－磷酸盐（以P计）1.010.441.010.44－CODCr379.5167.0379.5167.0－TOC189.883.5189.883.5SS105.946.6105.946.6－生活污水123pH*6.5～9.06.5～9.0－CODCr43.135031.025228BOD525.821018.6151.228TOC17.9145.513.8112.023SS27.122020.1162.826NH3-N3.125.32.520.718*——pH无单位。上述经过处理后的各类生产废水汇合后经拟建项目生产废水总排口，生活污水经拟建项目生活污水总排口进入开发区污水管网进行二次处理。生产废水总排口各类污染物排放指标统计见表3-5。表3-5生产废水总排口污染物排放情况废水排放量(万t/a)名称污染物名称氟化物(以F计)NH3-N磷酸盐(以P计)CODCrTOCSSpH114.416排放浓度(mg/L)2.0（2.0）2.0（2.0）0.32（0.32）119.4（118.9）59.7（59.4）33.3（33.2）6～9年排放量(kg/a)23042304363.61366206832838124—排放标准(mg/L)20——500—4006～9达标情况达标达标达标达标达标达标达标6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书注：1.pH无单位；括号内数字为锅炉运行时排放浓度。2.排放标准为《污水综合排放标准》GB8978-1996三级标准。生活污水总排口各类污染物排放指标统计见表3-6。表3-6生活污水总排口污染物排放情况废水排放量(万t/a)名称污染物名称NH3-NTOCCODCrSSPH4.428排放浓度(mg/L)20.7112.0252162.86.5～9年排放量(kg/a)9004968111607236—排放标准(mg/L)——5004006～9达标情况达标达标达标达标达标注：1.pH无单位；2.排放标准为《污水综合排放标准》GB8978-1996三级标准。从表3-5、表3-6中可见，拟建项目排放的生产废水经处理后均能达到《污水综合排放标准》GB8978-1996三级标准要求。3.3.2.2废气（一）工艺废气①一般废气（废热）排风系统该系统排放一般的废气和高温排风，不需经处理而直接排放。总排风量为540000m3/h。②酸性废气酸性废气量430000m3/h，主要来源于工艺流程中使用各种酸液对芯片的腐蚀、清洗过程，主要污染物为氟化物、硫酸雾、HCl等。酸性废气采用废气洗涤塔进行处理，该装置对污染物的吸收效率为90～95%，含酸废气经洗涤塔处理达标后排入大气。③碱性废气.碱性废气76000m3/h，主要来源于清洗、显影、去胶、湿法刻蚀、CMP等工序产生的工艺排气，主要污染物为NH3。碱性废气采用废气6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书洗涤塔进行处理，该装置对碱性废气的吸收效率为90～95%左右，碱性废气经洗涤塔处理达标后排入大气。④有机溶剂废气有机废气94000m3/h，主要是来自于光刻区、扩散区的及清洗用之异丙醇等有机溶剂废气；以及涂胶、去胶、湿法刻蚀工序剥离、光刻区、扩散区的光阻剂及清洗用有机废气，主要污染物为异丙醇等。经由特殊的沸石浓缩转轮将有机溶剂废气浓缩后通入天然气燃烧处理，该装置处理效率为90～95%左右。主要污染物指标均能达到相应排放标准要求。表3-7工艺废气主要污染物处理及排放情况表废气种类排放参数污染物名称处理前处理后处理效率评价标准达标情况排气筒数量高度(m)排气总量(m3/h)排放速率(kg/h)排放浓度(mg/m3)排放速率(kg/h)排放浓度(mg/m3)排放速率(kg/h)排放浓度(mg/m3)酸性废气430430000氟化物0.741.720.070.1790%0.599.0达标HCl0.330.770.0330.07790%1.4100达标硫酸雾1.353.10.140.3190%8.845达标NOX0.110.260.0110.02690%4.4240达标碱性废气13076000NH30.8611.30.0861.1390%20/达标有机废气13094000异丙醇2.8029.80.141.4995%/320/TVOC9.095.70.909.690%//注：1.除氨执行《恶臭污染物排放标准》GB14554-93外，其余均执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297--1996）中二级标准(第二时段)。6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书　2.氮氧化物以NO2计，氟化物以F计.在我国台湾地区目前执行的是《半导体制造业空气污染管制及排放标准》对特征污染物----挥发性有机物VOC的控制标准为排放削减率（要求大于90%）或排放速率（要求低于0.6kg/h）。而目前我国国内尚未完成相应的控制标准制订工作。根据国内外同类生产企业的运行、测试经验，本项目采取的特殊的沸石浓缩转轮将有机溶剂废气浓缩后通入天然气燃烧处理，效果完全能达到90%以上，能满足台湾地区《半导体制造业空气污染管制及排放标准》的要求。⑤天然气燃烧废气生产过程中产生的有机溶剂废气（VOC），使用沸石浓缩转轮将有机溶剂废气浓缩后燃烧处理，以及区域性除害装置在处理特殊气体时,所需燃料为天然气。使用的天然气约120m3/h，年总用量为100.8万m3/a（一年按350天，一天按24小时计），烟气排放量为1058.4万m3/a，污染物排放量为：NOx1.77t/a、SO20.0058t/a、烟尘0.24t/a。⑥特殊气体废气在生产过程中使用的硅烷、磷烷等特殊性气体自设备排出后先经专用的区域除害装置进行处理，然后再进入酸性废气处理系统，通过中央湿式洗涤塔处理后，洗涤后的废气由防腐离心风机经置于屋顶的排气筒（高度：30米）排放。区域性废气处理系统主要采用吸附、燃烧、水洗和热氧化4种处理方式，分别处理不同性质的废气污染物。在设备尾端对制程尾气（如SiH4,AsH3,PH3,H2,C4F6等）直接处理，以降低废气输送过程中的风险，经处理后废气通过输送管道进入中央处理系统再次进行酸碱洗涤处理，处理效率为85%左右。工程特殊废气处理措施见表3-8。表3-8特殊废气处理措施6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书废气处理设备原理废气来源废气种类排气类型备注区域性废气处理系统电热水洗式BOCE-HOX通过电加热（750度）使废气氧化产生固体废物和可溶于水的气体，再由三级水洗系统吸收溶于水的气体并排走固体废物炉管蚀刻CO、HCl、HF、HBr、SiCl4、SiF4、ClF3、、PFC酸性排气废水进入工业废水处理系统处理填充水洗式BOC-Tempest逆流水淋洗废气吸收易溶于水气体蚀刻、清洗HCl、HBr酸性排气废水进入工业废水处理系统处理燃烧式BOCE-TCS/TPU通入燃气（CH4,C3H8等）高温燃烧（700-1100度）处理废气，产生固体废物和可溶于水的气体，再由三级水洗系统吸收溶于水的气体并排走固体废物化学气相沉淀,物理气相沉淀,炉管PFC，H2、SiF4，PH3，AsH3酸性排气废水进入工业废水处理系统处理干式吸附式BOCE-GRC使用吸附剂（金属酶和钙盐），通过物理或化学吸附法处理各类有害气体。离子植入AsH3,PH3,B2H6酸性排气吸附材料由指定厂商定期更换、再生（二）锅炉烟气本项目工艺中所需热源为开发区提供的热水。项目用蒸汽量为40t/h，另设热水锅炉房做为备用热源，6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书有5台5600KW热水锅炉。根据园区市政情况，热水锅炉将使用燃料---轻质柴油（0＃、10＃），5台锅炉年运行5天，柴油用量为1320L/h，烟气排放情况见表3-15。从表中可见，使用燃料轻质柴油时，锅炉烟气排放能达到GB13271-2001二类区域标准。表3-9热水锅炉烟气排放情况统计排放参数污染物名称排放速率(kg/h)排放浓度(mg/m3)评价标准(mg/m3)达标情况排气筒数量高度(m)烟气温度℃排气总量(Nm3/h)11520024006氮氧化物3.6148400达标二氧化硫1.1179500达标烟尘0.113100达标（三）无组织排放无组织排放是指排气筒高度小于15m或不通过排气筒的废气排放。（1）气体及化学品的储存过程6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书本项目特殊气体和化学品根据生产需要由供应商负责储存、运输、供货。特殊气体采用钢质高压容器，工艺中使用的化学品，全部采用不锈钢、不锈钢聚已烯内胆、锰钢等钢质瓶、罐密封后用车运的方式运输入厂，然后根据其不同的用途和性质分别储存在化学品库内。储罐采用密封，在储存过程中不存在损耗，基本没有污染物的无组织排放。（2）气体及化学品的使用过程本项目大宗气体（氮气、氧气、氢气）由专业气体公司在项目建设地内建设气体工厂，根据使用量现场制备并通过管道直接输送至生产车间。特殊气体和化学品在使用前分别转运至特气、药品自动供给室，在开罐使用时不可避免会有少量逸出，由于特气及药品配送站设计位于密闭的洁净厂房内，设置有紧急排气系统，废气将通过30m高度的排气筒有组织排放。特气及化学品在输送至生产工序时管道采用双层套管，避免了物料的跑、冒、滴、漏，对于产生的废液也作了储存处理。本项目生产车间大部分为超洁净室，全封闭式操作，易挥发有机、无机废气分别抽取到4类废气净化系统中进行处理，再通过30m高度的排气筒排放。废气处理系统划分合理，覆盖面大，基本消除了工艺废气在使用过程中的无组织排放源；废气处理措施完善，系统的净化效率较高。（3）化学品运输过程中的极微量泄漏管道输送液体的过程中，在管道接口处有极微量液体泄漏。根据类比数据，化学材料在运输过程中，在罐装、管道等接口处可能的极微量泄漏约为总量的0.05%。本评价考虑的是使用量较大的氟化氢、氨，年使用量分别按91182kg/a、87747kg/a计，泄漏量按最坏情况来考虑，为总量的0.8%计，可得到氟化氢、氨的极微量无组织排放约为0.084kg/h、0.081kg/h。3.3.2.3噪声　本项目生产设备位于洁净厂房内，声级较小。产噪设备主要为冷冻机组、空压机、真空泵、风机、水泵等动力设备。本项目的主要动力设备情况见表3-10。通过选用低噪声设备，布置于厂房内，并采取了隔声、吸声、减振等有效的降噪措施，可大大降低了其噪声影响。6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书表3-10拟建工程主要噪声污染源一览表序号噪声源名称数量(台)数量(台)来源源强(dBA)备注治理前治理后1通风机5酸性废气处理系统（包括特殊性废气）≤95752通风机2碱性废气处理系统≤95753通风机2有机废气处理系统≤95754冷冻机组12冷冻站85左右75～802台备用冷冻水一次泵12建筑物外1m处冷冻水二次泵6循环冷却水泵125冷却塔6冷却塔75左右70冷却塔风机6冷却塔90左右856生活/生产加压泵4生活/生产给水系统78左右707热水泵5锅炉房70左右705台备用8真空泵3工艺真空系统80左右701台备用9真空泵2清扫真空系统80左右70701台备用旋风式分离器210新风机组14生产厂房化学品库80～85752台备用空调器机组665～757011风机1065～757012空气压缩机6～7大宗气体供应站（BulkGasYard）≤10075～80建筑物外1m处为75～80膨胀机2～3≤10075～8013柴油发电机6柴油发电机房＜9075～8014主变压器2主变压器室＜703.3.2.4固体废物　本项目建成投产后，产生的废物的排放情况见表3-11。表3-11废物、废液处置与排放情况统计表6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书类别废物名称主要成分排放量（吨/年）危害性处置去向废液废光刻胶、废显影液（HW16）EKC、EBR、A515等142.5易挥发燃烧委托具有危险废物处理资质的单位进行收集处置混合有机溶剂废液（HW42）NMP等70.5易挥发燃烧、低毒硫酸铵废液（HW34）（NH4）2SO4237.6一般异丙醇废液（HW42）IPA560刺激、低毒；有火灾爆炸得危险废酸（废硫酸、磷酸等）（HW34）H2SO4、H3PO4等928.8刺激、腐蚀含氟废液HF等128.5腐蚀、刺激、低毒浓废光阻液（HW42）115.2易挥发燃烧小计2183.1固体废物废芯片5.6生产厂回收电子混合废料废五金15具有危险废物处理资质的单位进行收集处置含砷废物含砷抹布等3含汞废物含汞灯泡0.4废化学试剂瓶玻璃75废水处理污泥CaF2、SiO21164.6一般废包装材料等一般事业废弃物纸、塑料等97.5废品回收商办公及生活垃圾纸、厨余等540一般城市垃圾处理场小计1901.1合计4084.2第3章自然与社会环境概况3.1自然环境概况3.1.1项目地理位置本次项目位于烟台市福山区工业用地内，处于福桃路与五区连环路交叉口的西南角，地理位置详见图2-1。烟台市福山区位于胶东半岛东北部、黄海之滨，是全国首批14个沿海开放城市—6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书烟台市的市辖区，东以大沽夹河为界与芝罘区、莱山区隔河相望，东南与牟平区为邻，西南与栖霞市相连，西北与蓬莱市接壤，北临烟台经济技术开发区。总面积482.83平方公里，辖4个镇、2个街道办事处和1个省级高新技术产业区，179个行政村，52个居委会。烟台市工业用地位于福山区南部，距离莱山机场7km；与主城区联系便捷。该地区也是烟台的西南门户，站立在烟台对外开放的最前沿；并位于绕城高速北侧，有着极其优越的区位条件。3.1.2地形地貌项目区地形属山丘陵区，山丘起伏，沟壑纵横。总的地势是西高东低，南高北洼，自西南向北倾斜。南部山峰多为东西走向，西部峰峦多为南北走向。主要山脉为嗒垆山，主峰塔顶，海拔630.4m。沿河多为小片平原。3.1.3气候气象烟台市属于暖温带大陆性气候，四季分明。春季温暖而干燥，风大雨少；夏季湿热多雨；秋季天高气爽；冬季寒冷少雨雪。流域地处中纬度，属于暖温带季风型大陆性气候。具有四季分明，气候温和等特点。常年主要气象特征为：多年平均气温11.8℃，最冷月份平均气温-2.9℃，最热月份平均气温25℃，极端最高气温39.8℃，极端最低气温-17.3℃。多年平均无霜期207.3天，最大冻土深0.5m。多年平均降雨量696.7mm，平均最大风速17.6m/s。3.1.4水文3.1.4.1地表水烟台境内河流属半岛边沿水系，主要河流有：清洋河，俗称内夹河，发源于栖霞城南小灵山，境内长27公里，流域面积330平方公里；大沽夹河，俗称外夹河，发源于海阳县郭城镇牧牛山，境内长43公里，流域面积130平方公里。两河分别自西、南入境，流贯全区，蜿蜒于福山城东北永福园村东，汇流入黄海。境内有烟台市最大的水库——门楼水库，库容可达1.2亿立方米，是烟台市区生产、生活用水的主要水源地。内夹河控制流域面积1224平方公里，河道长度65公里6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书，流域平均长度52公里，宽度22．5公里。地貌为低山丘陵区，其中山区面积占80％，丘陵占20％。地势为西南高、东北低。流域内水土保持一般，森林覆盖率在21．7％以上。流域内现有门楼大(2)型水库1座，庵里中型水库1座，小型水库86座，控制总流域面积1079平方公里，总库容3．52亿立方米，兴利库容1.95亿立方米。3.1.4.2地下水本区地下水按其赋存条件，可分为第四系松散岩类孔隙水、碳酸盐岩类岩溶裂隙水和基岩裂隙水三种类型。第四系松散岩类孔隙水主要分布于沿内夹河发育的山间河谷河道、河漫滩及河流阶地内。其沉积厚度由南向北渐增加，一般6～23m左右。含水层岩性以砂、砾、卵石为主，赋存孔隙潜水、微承压水。地下水埋深一般4～12m。主含水层渗透系数50～80m/d，单井涌水量1200～2000m3/d。3.1.5地质条件本区在大地构造上属胶东隆起区，处于次一级单元胶北隆起的北部边缘。位于岗嵛一古现向斜东翼，该向斜主要由粉子山群软质云母片岩组成。桃村一东陡山断裂在本区东南10公里处的莱山、初家一带穿过，向东北入黄海。芝罘岛北侧，有北西向烟台一蓬莱北断裂通过。项目区域内，无大的活动性断裂构造存在。据《中国地震动参数区划图》(GBl8306—2001)，地震动峰值加速度为0.10g，场地地震动反映谱特征周期为0．40S，相应的地震基本烈度为Ⅶ度，属设计地震第一组。3.2社会环境概况3.2.1福山区概况福山区是烟台市的市辖区，在1949年至2002年间，行政区划几经调整，至2002年9月，福山区辖清洋街道办事处、福新街道办事处、高疃镇、门楼镇、张格庄镇、回里镇和福山高新技术产业区；共4个镇、2个街道办事处和1个省级高新技术产业区。2003年全区国内生产总值50.2亿元，地方财政收入1.96亿元；社会消费品零售总额11.5亿元；城镇居民人均可支配收入8586元，农民人均纯收入3939元；城乡居民储蓄余额29亿元。福山区按照6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书“以园区化带动工业化、推进城市化，建设新型工业化河滨市区”的总体发展思路，以福山高新技术产业区为重要载体，膨胀发展机械制造、纺织服装、电子信息和高档食品加工四大主导产业。2003年全区规模以上工业企业完成增加值7.9亿元，销售收入28.6亿元，利税2.1亿元。同时加快农业结构调整，促进农业增效、农民增收。到2003年，全区大樱桃种植面积7万亩，无公害蔬菜基地面积3000亩，粮经种植比例达到1:9；畜禽规模养殖场340个，奶牛存养量3000头，形成了以林果、蔬菜和奶牛养殖为重点的三大高效主导产业。农业产业化水平不断提高，农产品加工企业达到27家，年加工能力25万吨，促进了全区农产品的销售，增加了农民收入。项目位于福山城市规划的工业用地。位于福山区南部，距离莱山机场7km，至烟台火车站7km，至八角港码头15km。现状有正在建设的芝阳小区及卫家疃、房家疃、南塗山等村庄，已有通用显示、华俊科技电子、福山政府接待中心等企事业单位入驻,土地平整已基本完成。本区主要由产业研发区、信息产业区、展示区、普通一类产业区和居住片区组成，规划总用地682.6公顷。3.2.2厂址周围社会概况拟建项目厂址东临福桃路；西与内夹河相望；北临新五区连接路，经调查评价范围内无名胜古迹及重点文物保护区，也无旅游区。厂址周围均为已经平整的信息产业区土地。经调查，本项目厂址一期工程占地的单位正在搬迁，距离厂址最近的居民点为前埠村居民点，共有24户，72口人。项目厂址附近主要敏感目标分布情况详见表3-1和图5-1。表3-1拟建项目厂址附近主要敏感目标一览表序号名称相对厂址方位相对厂址距离(m)1吕格庄SW16002芝阳山医院N11003房家疃ENE16004前埠村居民点W1505福山区政府N28006东留公W13007水厂地下水取水口WNW11006-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书8芝阳小区N14009南涂山SE17003.2.3套子湾污水处理厂简介套子湾污水处理厂于1996年开工建设，1998年10月投入试运行，一期设计一级处理能力为25万m3/d，二级处理能力为4万m3/d，目前，实际处理量约为16万m3/d。主要用于处理烟台市芝罘区、福山区和经济开发区的城市污水。该污水处理厂一期工程总投资4.53亿元，经过二级AAO处理工艺及深度处理的废水量仅为4万m3/d，其余废水经一级机械处理后，经污水处理厂内排海泵站通过4950米管道及穿山隧道深海排放。排放管线见图3-1。该污水处理厂二期工程共投资2.35亿元，目前正处于招标阶段，将于2007年中旬投入运行。该工程根据城市排水量的变化，计划将二级处理的能力扩建16万m3/d，处理工艺采用改良的AAO工艺。二期投产后，项目废水经套子湾污水处理厂处理后，达到《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）中二级排放标准，深海排放。本次项目污水最终进入套子湾污水处理厂，地理位置见图2-1B。3.3环境质量概况3.3.1环境空气质量现状根据2005年烟台市福山区例行监测点（环保局）例行监测数据显示，福山区环境空气质量现状良好，PM10、SO2、NO2年均值满足《环境空气质量标准》（GB3095-1996）中二级标准要求。详见表3-2。表3-22005年烟台市福山区例行监测点（环保局）例行监测数据(1)名称(2)时间(1)可吸入颗粒物(1)二氧化硫(1)二氧化氮(1)1月(2)0.025(2)0.038(2)0.038(1)2月(3)0.028(3)0.031(3)0.031(1)3月(4)0.095(4)0.048(4)0.048(1)一季均值(5)0.049(5)0.039(5)0.039(1)4月(6)0.105(6)0.032(6)0.011(1)5月(7)0.072(7)0.017(7)0.017(1)6月(8)0.082(8)0.045(8)0.0176-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书(1)二季均值(1)0.086(1)0.013(1)0.015(1)7月(2)0.085(2)0.049(2)0.017(1)8月(3)0.055(3)0.005(3)0.008(1)9月(4)0.067(4)0.009(4)0.020(1)三季均值(5)0.069(5)0.021(5)0.015(1)10月(6)0.071(6)0.020(6)0.042(1)11月(7)0.090(7)0.036(7)0.052(1)12月(8)0.042(8)0.045(8)0.034(1)四季均值(9)0.068(9)0.034(9)0.042(1)年日平均值(10)0.068(10)0.027(10)0.0283.3.2地表水环境质量现状根据2005年烟台市城市环境综合整治定量考核结果报表显示，本次项目5km范围内的河流断面地表水环境质量良好，能够满足《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）中Ⅲ类标准。详见表3-3。表3-32005年烟台市城市环境综合整治定量考核明细表监测水域监测项目执行标准监测情况（毫克/升(PH除外)）水体断面3月5月7月8月10月11月大沽夹河（外夹河）大沙埠PH6-97.267.527.127.057.147.18DO≥56.417.526.886.446.446.22CODcr≤2011.011.88.59.89.810.6CODmn≤65.025.325.113.443.445.92BOD5≤43.723.013.333.953.853.41NH3-N≤1.00.650.9520.7540.8770.8770.987总氨≤1.00.8540.9890.9580.9980.9850.997氰化物≤0.2未检出未检出未检出未检出未检出未检出挥发酚≤0.005未检出未检出未检出未检出未检出未检出氟化物≤1.0未检出未检出未检出未检出未检出未检出砷≤0.05未检出未检出未检出未检出未检出未检出汞≤0000006-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书0.0001六价铬≤0.05未检出未检出未检出未检出未检出未检出铅≤0.05未检出未检出未检出未检出未检出未检出镉≤0.005未检出未检出未检出未检出未检出未检出阴离子表面活性剂≤0.2未检出未检出未检出未检出未检出未检出石油类≤0.05未检出未检出未检出未检出未检出未检出硫化物≤0.20.110.080.070.090.080.08仉村河PH6-96.897.40--7.117.057.10DO≥56.226.88--6.876.875.95CODcr≤209.2010.8--8.508.458.52CODmn≤64.445.24--2.882.885.31BOD5≤43.123.15--3.613.612.53NH3-N≤1.00.3320.955--0.9850.9850.856总氨≤1.00.5540.995--0.9950.9990.956氰化物≤0.2未检出未检出--未检出未检出未检出挥发酚≤0.005未检出未检出--未检出未检出未检出氟化物≤1.0未检出未检出--未检出未检出未检出砷≤0.05未检出未检出--未检出未检出未检出汞≤0.000100--000六价铬≤0.05未检出未检出--未检出未检出未检出铅≤0.05未检出未检出--未检出未检出未检出镉≤0.005未检出未检出--未检出未检出未检出≤0.2未检出未检出--未检出未检出未检出6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书阴离子表面活性剂石油类≤0.05未检出未检出--未检出未检出未检出硫化物≤0.20.090.08--0.050.070.09内夹河福山水闸下PH6-97.986.95断流DO≥55.556.35CODcr≤2018.525.50CODmn≤65.8814.8BOD5≤43.943.85NH3-N≤1.00.7550.898总氨≤1.00.9560.997氰化物≤0.2未检出未检出挥发酚≤0.005未检出未检出氟化物≤1.0未检出未检出砷≤0.05未检出未检出汞≤0.000100六价铬≤0.05未检出未检出铅≤0.05未检出未检出镉≤0.005未检出未检出阴离子表面活性剂≤0.2未检出未检出石油类≤0.05未检出未检出硫化物≤0.20.150.123.3.3地下水环境质量现状根据2005年烟台市城市环境综合整治定量考核结果，福山区地下水质量状况良好，达标率为95.7%。6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书3.3.4声环境质量现状项目区域昼夜间噪声均达标，由于项目区正处于开发建设阶段，现有生产企业不多，区内噪声源主要是建筑施工噪声。3.4城市发展规划烟台市城市性质是：以高新技术产业、商业、旅游为主导的现代化、国际性港口城市。城市发展要加快芝罘、福山、开发区的融合和牟平区及蓬莱市相关区域的市区一体化协调发展进程，促进中心城市发展；建立空间充裕、规划到位、发展有序、超前灵活的城市用地控制体系，增强规划弹性，适应超常规发展的需要。根据总体规划福山规划的工业用地位于福山区南部，距离莱山机场7km；与主城区联系便捷。该地区也是烟台的西南门户，站立在烟台对外开放的最前沿；并位于绕城高速北侧，有着极其优越的区位条件。南部规划的工业用地功能分区“一核、一带、四大功能片区”。以公共服务片区为中心，以滨水休闲带、成龙线和福桃路为基本骨架，形成轴带结合、梯度推进的细胞组团式集合布局结构，并将该布局结构融入土地利用的自然生态规划中。福山规划的业用地确定了通过优质生态化与经营自然环境资本带动社会经济全面发展的生态型、服务性现代化之路。本项目位于福山规划的南部工业用地其中四个“功能社区”的“硅谷社区”。总体看来本集成电路芯片项目厂址选择和建设内容符合烟台市城市发展规划及福山区城市规划。见图3-2。第4章环境空气质量现状及影响评价4.1大气污染源调查与评价4.1.1调查对象与内容调查评价范围（项目区地理中心为原点，边长6km的区域）内的所有废气污染源，包括污染源位置、废气排放量及废气中的污染物种类、污染物排放量等参数。结果见表4.1-1。表4.1-1大气污染源调查表序名称废气排放量SO26-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书号污染源位置（万标立方米/年）烟尘排放量(t/a)排放量(t/a)1烟台北方家纺有限公司N4675682513.6554.62烟台醴泉酒业公司NNW330031006.224.83烟台闽航特种钢铁公司NNW4950562511.2556.254冰轮速冻设备有限公司NNE51002605.23.15烟台马利酵母有限公司E385017003.413.66烟台利达彩印包装有限公司NNW27502064.1210.67烟台首钢磁性材料股份公司N51003807.612.58烟台瑞丰印染有限公司NNE6600860017.268.89世刚纤维有限公司NE660010000208010山村果园生物股份公司N550028005.622.44.1.2评价方法4.1.2.1评价标准采用《环境空气质量标准》（GB3095-1996）中二级标准的日均浓度值为环境空气污染源评价标准，评价标准值为SO2：0.15mg/m3，烟尘：0.30mg/m3。4.1.2.2评价方法采用等标污染负荷法进行评价。计算公式为：某污染物的等标污染负荷Pi：式中：qi——废气中第i种污染物的年排放量，t/a；C0i——第i种污染物的评价标准，mg/m3。某污染的等标污染负荷Pn：6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书区域污染源的等标污染负荷P：区域某污染物的等标污染负荷Pi总：某污染物在污染源或区域中污染负荷比Ki、Ki总：某污染源在区域中的污染负荷比Kn：4.1.2.3评价结果评价区废气污染源、污染物评价结果见表4.1-2。表4.1-2评价范围内大气污染源评价结果表序号污染源名称污染物等标污染负荷Pi（×109m3/a）污染源等标污染负荷Pn（×109m3/a）污染源等标污染比Kn(%)名次SO2烟尘1烟台北方家纺有限公司45.5364409.515.5942烟台醴泉酒业公司20.67165.331867.0953烟台闽航特种钢铁公司37.50375412.515.7134冰轮速冻设备有限公司17.3320.67381.45105烟台马利酵母有限公司11.3390.671023.8986烟台利达彩印包装有限公司13.7370.6784.43.2297烟台首钢磁性材料股份公司25.3383.33108.674.1478烟台瑞丰印染有限公司57.33458.6751619.6626-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书9世刚纤维有限公司66.67533.3360022.86110山村果园生物股份公司18.67149.331686.396污染物污染负荷比（×109）314.0723112625.0100污染物负荷比Kn(%)1288100名次21由表4.1-2可以看出，污染源等标污染负荷世刚纤维有限公司、烟台瑞丰印染有限公司较高，等标污染负荷比分别为22.86%、19.66%。其次为烟台闽航特种钢铁公司、烟台北方家纺有限公司，等标污染负荷比分别为15.71%、15.59%。以上合计73.82%评价区各污染物SO2污染负荷最大，占总污染负荷的88%，是评价区的主要废气污染物。4.1.3例行监测点监测数据本次环评收集了福山市例行监测点—福山环保局2005年1～12月份的监测数据见表4.1-3。表4.1-32005年烟台市福山区例行监测点（环保局）例行监测数据名称时间可吸入颗粒物二氧化硫二氧化氮1月0.0250.0380.0382月0.0280.0310.0313月0.0950.0480.048一季均值0.0490.0390.0394月0.1050.0320.0115月0.0720.0170.0176月0.0820.0450.017二季均值0.0860.0130.0157月0.0850.0490.0178月0.0550.0050.0089月0.0670.0090.020三季均值0.0690.0210.01510月0.0710.0200.04211月0.0900.0360.0526-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书12月0.0420.0450.034四季均值0.0680.0340.042年日平均值0.0680.0270.028根据2005年烟台市福山区例行监测点（环保局）例行监测数据显示，福山区环境空气质量现状良好，PM10、SO2、NO2年均值满足《环境空气质量标准》（GB3095-1996）中二级标准要求。4.2环境空气质量现状监测与评价4.2.1环境空气质量现状监测4.2.1.1现状监测点位的布设与监测项目根据拟建项目大气污染物排放特征及评价等级，结合厂址周围环境特征及气象特点，在项目区内布设6个监测点，具体布点情况见表4.2-1和图4-1。表4.2-1环境空气现状监测点及项目一览表测点名称相对厂址方位与厂址距离（m）监测项目功能意义1#芝阳山医院NNE1100小时浓度：SO2、NO2和氟化物、氯化氢、溴化氢、氨、硫酸雾、VOC、丙酮、异丙醇日均浓度：SO2、PM10、NO2主导风向下风向，敏感点2#房家疃ENE1600均布点3#吕格庄SW1600次主导风向下风向，敏感点4#前埠村居民点W100厂址附近点5#银河化工厂N260厂址附近点6#福山区政府N2800城区点4.2.1.2监测时间和频率监测频率：于3月16—3月20日连续监测5天。各测点每天监测4次，监测小时浓度，开机时间为7:00、11:00、15:00、19:00。同时监测SO2、PM10、NO2日均浓度，每天采样18小时以上。6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书采样同时观测气温、气压、风向、风速、总云量、低云量等。4.2.1.3监测分析方法按照《环境空气质量标准》(GB3095-1996)和国家环保局颁布的《环境监测技术规范》中的有关规定执行。分析方法见表4.2-2。表4.2-2环境空气质量监测分析方法表分析方法方法来源最低检出限（mg/m3）SO2甲醛吸收-副玫瑰苯胺分光光度法（小时值）GB/T15262-19490.004mg/m3甲醛吸收-副玫瑰苯胺分光光度法（日均值）GB/T15262-19490.003mg/m3NO2Saltzman法（小时值）GB/T15436-19950.004mg/m3Saltzman法（日均值）GB/T15436-19950.002mg/m3PM10重量法GB/T15432-1995—氟化物滤膜•氟离子选择电极法GB/T15434-19950.4ug/m3氯化氢硫氰酸汞分光光度法HJ/T27-19990.006溴化氢离子色谱法0.008氨纳氏试剂比色法GB/T14668-19930.005硫酸雾离子色谱法《空气和废气监测分析方法》第四版0.017mg/Nm3丙酮气相色谱法0.05异丙醇气相色谱法0.054.2.1.4监测结果统计拟建项目本次环评现状监测结果详见表4.2-3，监测期间气象参数详见表4.2-5，监测结果统计情况详见表4.2-4。表4.2-3环境空气现状监测结果（单位：mg/m3TSP、PM10除外）点位日期SO2NO2PM107：0011：0015：0019：00日均7：0011：0015：0019：00日均日均1#3.160.1060.0850.0390.0290.0650.0470.0410.0290.0260.0370.2636-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书芝阳山医院3.170.1300.1390.0390.0830.0690.0670.0380.0260.0170.0270.1353.180.0470.870.0350.0100.0500.0050.0260.0180.0200.0160.2263.190.0380.0280.0660.0720.0530.0450.0350.0170.0170.0260.2403.200.0810.0330.0350.0250.0380.0360.0210.0150.0130.0280.1922#房家疃3.160.0630.0680.0280.0310.0430.0250.0280.0200.0260.0250.2003.170.0610.0280.0070.0130.0340.0420.0220.0150.0170.0230.1383.180.0120.0080.005未检出0.0110.0160.0170.0160.0280.0190.2123.190.0090.0060.0250.0170.0210.0250.0450.0140.0100.0260.3213.200.009未检出未检出未检出0.0080.0090.0130.0060.0070.0120.1423#吕格庄3.160.0840.0650.0150.0180.0170.0320.0180.0100.0190.0170.2613.170.0380.0060.0070.0140.0120.0210.0100.0120.0260.0170.1753.180.0230.0140.0130.0410.0190.0160.0160.0210.0080.0110.2053.190.013未检出0.0050.0260.0260.0190.0180.0110.0170.0210.2173.200.0110.0130.0190.0080.0140.0180.0170.0200.0090.0180.1434#前埠村居民点3.160.0650.0620.0190.0260.0330.0240.0270.0310.0290.0240.1823.170.0120.0360.0170.0370.0220.0650.0470.0210.0290.0460.1413.180.0410.0230.0050.0150.0240.0090.0170.0240.0280.0200.2963.190.0110.0080.0050.0230.0230.0230.0160.0110.0150.0200.1793.200.0160.011未检出0.0160.0150.0090.0140.0100.0120.0180.2615#银河化工厂3.160.0410.0670.0090.0340.0320.0470.0530.0130.0390.0330.2113.170.0780.0300.0240.0110.0290.0390.0280.0150.0230.0340.1423.180.0260.0120.0180.0120.0210.0280.0230.0140.0130.0170.2503.190.0090.0200.0380.0380.0330.0400.0240.0170.0080.0190.2443.200.0140.0200.0400.0110.0260.0240.0280.0090.0330.0240.1866#福山区政府3.160.0450.0640.0250.0560.0420.0430.0700.0680.0720.0710.1833.170.0480.0720.0310.0510.0400.0640.0350.0260.0380.0360.1363.180.0250.0150.0050.0170.0220.0240.0180.0300.0280.0290.2423.190.0240.0130.0370.0690.0350.0540.0320.0560.0740.0430.2633.200.0350.0240.0200.0150.0210.0120.0190.0180.0320.0230.137续表4.2-3环境空气现状监测结果（单位：mg/m3TSP、PM10除外）日期丙酮异丙醇溴化氢6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书点位7：0011：0015：0019：007：0011：0015：0019：007：0011：0015：0019：001#芝阳山医院3.16未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.17未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.18未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.19未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.20未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出2#房家疃3.16未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.17未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.18未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.19未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.20未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3#吕格庄3.16未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.17未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.18未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.19未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.20未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出4#3.16未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书前埠村居民点3.17未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.18未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.19未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.20未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出5#银河化工厂3.16未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.17未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.18未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.19未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.20未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出6#福山区政府3.16未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.17未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.18未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.19未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出3.20未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出续表4.2-3环境空气现状监测结果（单位：mg/m3TSP、PM10除外）点位日期氨硫酸雾VOC7：0011：0015：0019：007：0011：0015：0019：007：0011：0015：0019：001#3.160.0990.1050.0240.0490.0950.0970.0600.0440.0430.0470.0510.0496-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书芝阳山医院3.170.0430.0330.0100.0100.0350.0540.0600.0630.0460.0500.0430.0543.180.014未检出未检出未检出0.0240.0670.0300.0310.0490.0520.0500.0523.190.0820.0600.0460.0510.0530.0290.0720.0850.0460.0480.0510.0463.200.0810.0760.0410.0430.0560.0420.0460.0360.0500.0540.0480.0512#房家疃3.160.0370.0470.0510.0680.0740.0340.1080.0650.0410.0430.0380.0433.170.0670.0320.0590.0950.0350.0680.0180.0730.0400.0380.0470.0433.180.0540.0400.0440.0250.0680.0390.016未检出0.0390.0440.0450.0483.190.1070.0980.0880.1070.0630.0270.0650.0700.0440.0400.0460.0403.200.1430.0860.0790.0710.0170.0630.030未检出0.0420.0390.0430.0463#吕格庄3.160.0790.0820.0800.0700.0680.0810.1660.0340.0420.0470.0450.0433.170.0960.0160.0310.0210.0460.0560.0640.0290.0440.0460.0420.0423.180.0700.0190.0430.0360.0660.0430.0310.0270.0450.0460.0460.0473.190.1140.0630.0320.0500.0570.0620.0650.0700.0380.0410.0440.0393.200.0610.0530.0460.0420.0440.0510.0380.0410.0400.0430.0460.0414#前埠村居民点3.160.0370.0740.1020.0630.0620.0510.0730.0550.0400.0420.0460.0433.170.0400.0470.0530.0480.0510.0930.0100.0880.0380.0420.0450.0453.180.0210.0110.0300.0510.0260.0520.0600.0150.0430.0460.0450.0483.190.1130.0760.0530.0940.0710.0480.0620.0820.0410.0450.0430.0423.200.0340.0710.0580.0790.0290.0230.0310.0300.0390.0390.0420.0455#银河化工厂3.160.0620.0720.0640.0700.0820.0420.0320.0610.0470.0440.0510.0463.170.0570.1190.0810.0680.0910.1180.0490.0670.0420.0430.0480.0493.180.1070.1030.0680.0710.0260.0480.0260.0180.0500.0520.0450.0473.190.0830.0530.0790.1060.0620.0430.0680.0940.0490.0530.0440.0463.200.0640.0950.0990.1200.0520.0420.0440.0240.0410.0460.0480.0436#福山区政府3.160.1360.1000.0830.1310.0460.0530.0800.0520.0520.0540.0540.0493.170.1070.0150.0200.0140.0740.0630.0730.0540.0480.0530.0590.0523.180.0330.0110.0060.0060.0570.0360.013未检出0.0600.0610.0640.0623.190.0810.0590.0750.0900.0730.0560.1090.0620.0540.0550.0600.0573.200.0500.0640.0730.0430.0580.0460.0310.0380.0490.0530.0590.056续表4.2-3环境空气现状监测结果（单位：mg/m3TSP、PM10除外）6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书点位日期氟化物（ug/m3）氯化氢7：0011：0015：0019：00上午下午1#芝阳山医院3.161.21.10.90.8未检出未检出3.171.50.90.70.70.0100.0083.180.80.70.50.6未检出未检出3.191.90.60.50.60.006未检出3.200.80.70.60.5未检出未检出2#房家疃3.161.11.50.90.9未检出未检出3.171.40.90.80.8未检出未检出3.181.00.90.70.7未检出未检出3.192.20.70.70.8未检出未检出3.200.90.80.70.7未检出未检出3#吕格庄3.161.51.40.80.9未检出未检出3.171.41.10.70.7未检出未检出3.180.70.70.60.70.007未检出3.191.90.80.50.50.011未检出3.200.80.80.60.70.006未检出4#前埠村居民点3.161.11.30.80.8未检出未检出3.171.50.80.70.80.0230.0313.180.70.80.50.6未检出未检出3.192.70.70.60.7未检出未检出3.200.90.71.00.9未检出未检出5#银河化工厂3.161.11.41.11.0未检出未检出3.172.01.20.80.8未检出0.0143.180.80.90.60.50.0140.0093.191.11.00.60.7未检出未检出3.200.81.00.70.60.009未检出6#福山区政府3.161.31.00.90.8未检出未检出3.172.01.00.80.80.0060.0093.180.70.80.60.7未检出未检出3.191.90.80.50.50.007未检出3.200.90.90.70.60.009未检出6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书表4.2-4环境空气现状监测结果统计表（单位：mg/m3）监测点位SO2浓度范围NO2浓度范围PM10日均浓度范围小时浓度日均浓度小时浓度日均浓度1#芝阳山医院0.010～0.1390.038～0.0690.005～0.0670.016～0.0370.135～0.2632#房家疃未检出～0.0680.008～0.0430.006～0.0450.012～0.0260.138～0.3213#吕格庄未检出～0.0840.012～0.0260.008～0.0320.011～0.0210.143～0.2614#前埠村居民点未检出～0.0650.015～0.0330.009～0.0650.018～0.0460.141～0.2965#银河化工厂0.009～0.0780.021～0.0320.008～0.0530.017～0.0340.142～0.2506#福山区政府0.005～0.0720.021～0.0420.012～0.0720.023～0.0710.136～0.263监测点位丙酮浓度范围异丙醇溴化氢氨硫酸雾小时浓度小时浓度小时浓度小时浓度小时浓度1#芝阳山医院未检出未检出未检出未检出～0.0990.024～0.0972#房家疃未检出未检出未检出0.025～0.143未检出～0.1083#吕格庄未检出未检出未检出0.016～0.1140.031～0.1684#前埠村居民点未检出未检出未检出0.011～0.1130.010～0.0935#银河化工厂未检出未检出未检出0.053～0.1200.018～0.1186#福山区政府未检出未检出未检出0.006～0.136未检出～0.0806-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书监测点位VOC氟化物μg/m3氯化氢小时浓度小时浓度上午下午1#芝阳山医院0.043～0.0540.5～1.9未检出～0.010未检出～0.0082#房家疃0.038～0.0480.7～2.2未检出未检出3#吕格庄0.038～0.0470.5～1.9未检出～0.011未检出4#前埠村居民点0.038～0.0480.5～2.7未检出～0.023未检出～0.0315#银河化工厂0.041～0.0530.5～1.4未检出～0.014未检出～0.0146#福山区政府0.048～0.0640.5～2.0未检出～0.009未检出～0.009表4.2-5监测期间气象参数日期项目时间07：0011：0015：0019：003月16日风向SSWWSWWSWWSW风速（m/s）2.53.53.94.7总云量4000低云量00003月17日风向SSESWSSWSSW风速（m/s）1.65.77.76.8总云量1342低云量00003月18日风向NNENWNNENNE风速（m/s）6.77.35.46.16-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书总云量3100低云量00003月19日风向SWSWSSWSSW风速（m/s）1.53.14.85.4总云量0000低云量00003月20日风向SWSWSSWSSW风速（m/s）4.46.14.85.3总云量3333低云量00004.2.2环境空气质量现状评价4.2.2.1评价因子根据工程污染特征和环境空气质量特征，确定评价因子为SO2、NO2、PM10、氟化物、氯化氢、氨、硫酸雾、丙酮、异丙醇共9项。4.2.2.2评价标准评价执行《环境空气质量标准》（GB3095-1996）中的二级标准、国家环境保护局环发(2000)1号文《环境空气质量标准》(GB3095-1996)修改单中NO2标准、《工业企业设计卫生标准》（TJ36-79），参见表4.2-6。表4.2-6环境空气质量标准值（单位：mg/m3）《环境空气质量标准》（GB3095-1996）二级标准PM100.15mg/m3日均NO20.24mg/m30.12mg/m31小时平均日均SO20.50mg/m30.15mg/m31小时平均日均氟化物20µg/m37µg/m31小时平均日平均《工业企业设计卫生标准》TJ36-79氯化氢0.50mg/m30.15mg/m3一次浓度日平均6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书居住区大气中有害物质的最高允许浓度硫酸雾0.30mg/m30.10mg/m3一次浓度日平均丙酮0.80mg/m3一次浓度氨0.20mg/m3一次浓度前苏联居民区大气中有害物质的最大允许浓度异丙醇0.60mg/m3一次浓度注：VOC、溴化氢只在监测结果表中列出，不进行评价。4.2.2.3评价方法采用单因子指数法进行评价，具体计算公式为：式中：I——污染指数；Ci——污染因子i的实测浓度值（mg/m3）；Coi——污染因子i的标准值（mg/m3）。4.2.2.4评价结果本次环评监测评价结果详见表4.2-7。表4.2-7环境空气现状评价结果表监测点位SO2NO2小时浓度日均浓度小时浓度日均浓度单因子指数范围超标率单因子指数范围超标率单因子指数范围超标率单因子指数范围超标率1#芝阳山医院0.020～0.27800.253～0.46000.021～0.27900.133～0.30802#房家疃0.004～0.13600.053～0.28700.025～0.18800.100～0.21706-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书3#吕格庄0.004～0.16800.080～0.17300.033～0.13300.092～0.17504#前埠村0.004～0.13000.100～0.22000.038～0.27100.150～0.38305#银河化工厂0.018～0.15600.140～0.21300.033～0.22100.142～0.28306#福山区政府0.010～0.14400.210～0.28000.050～0.30000.192～0.5920续表4.2-7环境空气现状评价结果表监测点位PM10日均浓度丙酮小时浓度异丙醇小时浓度氨小时浓度单因子指数范围超标率单因子指数范围超标率单因子指数范围超标率单因子指数范围超标率1#芝阳山医院0.9～1.7580%0.03100.04200.125～0.49502#房家疃0.92～2.1460%0.03100.04200.125～0.71503#吕格庄0.95～1.7480%0.03100.04200.080～0.57004#前埠村0.94～1.9780%0.03100.04200.055～0.56505#银河化工厂0.95～1.6780%0.03100.04200.265～0.60006#福山区政府0.91～1.7560%0.03100.04200.030～0.6800续表4.2-7环境空气现状评价结果表监测点位硫酸雾小时浓度氟化物小时浓度氯化氢小时浓度单因子指数范围超标率单因子指数范围超标率单因子指数范围上午超标率单因子指数范围下午超标率1#芝阳山医院0.080～0.03200.025～0.09500.006～0.02000.006～0.01606-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书2#房家疃0.028～0.36000.035～0.1100.00600.00603#吕格庄0.103～0.56000.025～0.09500.006～0.02200.00604#前埠村0.033～0.31000.025～0.13500.006～0.04600.006～0.06205#银河化工厂0.060～0.39300.025～0.07000.006～0.02800.006～0.02806#福山区政府0.028～0.26700.025～0.10000.006～0.01800.006～0.0180由本次现状监测评价结果可见：监测期间，评价范围内SO2、NO2的小时浓度与日均浓度均未出现超标现象；氟化物、氯化氢、氨、硫酸雾、丙酮、异丙醇小时浓度或一次浓度均未出现超标现象；而PM10在所有监测点位均出现不同程度的超标现象，其中最大超标率为80％，最大超标倍数为1.14倍，出现在2＃房家疃点位。综上所述，拟建项目所在区域SO2、NO2、PM10、氟化物、氯化氢、氨、硫酸雾、丙酮、异丙醇均满足标准的要求；PM10日均浓度不能满足标准的要求，超标原因主要是由风起扬尘引起的。第5章地表水环境影响分析5.1烟台市套子湾污水处理厂情况简介5.1.1地理位置烟台市套子湾污水处理厂位于烟台市套子湾南岸，地理位置见图2-1B。该污水处理厂是由填海造地而成，一期工程造地24公顷，二期位于一期西侧，面积为32公顷。5.1.2概况烟台市套子湾污水处理厂一期工程，设计污水处理能力一级处理为25万m3/d，二级及深度处理为4万m3/d，1996年开工建设，1998年10月投入试运行。目前实际处理水量约为16万m3/d，主要接收烟台市芝罘区6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书老城区、西郊区、福山区和经济开发区的生活污水和工业污水。二级处理采用AAO工艺，深度处理采用投药混合、过滤处理工艺，其污泥处理采用浓缩、一级中温消化、机械脱水工艺。污水处理工艺流程见图5-1。二级及深度处理后的回用水主要用于合成革厂、氯碱厂、鲁宝钢管厂、合力混凝土公司、鹏辉铜业公司等，目前日回用水量为3000～5000m3，今后将继续增加中水回用合作企业单位。剩余处理后的污水与一级处理后的污水深海排放。该污水处理厂二期工程将于2007年中旬投入运行。二期工程根据城市排水量的变化，计划将二级处理的能力扩建16万m3/d，处理工艺采用改良的AAO工艺。污水处理工艺流程见图5-1。扩建工程的受纳水体为黄海，利用该厂原一级处理经污水处理厂内排海泵站通过4950米管道及穿山隧道深海排放，深海排放管道排放至芝罘岛西口村山后海域中34公顷的尾水排放混合区。排放口位置见图3-1。5.1.3水质指标根据2003、2004年套子湾污水处理厂实际进水水质情况，按留有余地的原则确定二期扩建后污水处理厂进水水质要求见表5-1。按照《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）的要求，城镇污水处理厂出水排入海水三、四类功能区域，执行二级排放标准，确定出水水质指标见表5-1。表5-1烟台市套子湾污水处理厂进水水质要球项目污染物浓度（mg/l）BOD5CODcrSSNH3-NTP设计进水水质≤320≤650≤450≤45≤8设计一级处理出水水质≤240≤455≤225≤45≤7.2设计二级处理出水水质≤30≤100≤30≤25≤3处理程度90%85%93%45%63%粗格栅及进水泵房细格栅及沉砂池初沉池污泥前浓缩二沉池过滤池消毒池清水池选择池厌氧池缺氧池好氧池排海泵房清除外运中温消化污泥后浓缩污泥脱水清除外运沼气净化贮气柜沼气火炬紫外消毒池曝气池二沉池污泥泵站贮泥池污泥浓缩池污泥脱水机污泥外运污泥回流排海排海或回用混合液回流6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书二期工程一期工程图5-1套子湾污水处理厂污水二级处理工艺流程5.2拟建项目排水情况项目废水排放总量1188435t/a，包括生产废水和生活污水。生产废水排放量1144155t/a，主要有：含氟、含氨废水（氟化物、磷酸盐、氨）；酸碱废水（酸、碱）；研磨废水（悬浮物），本项目拟建一座生产废水处理站，通过含氟废水（氟化钙絮凝沉淀法）、含氨废水（吹脱＋硝化法）、研磨废水（絮凝沉淀法）、有机废水（生化法）、最终中和处理废水系统（中和法）等处理设施，处理达标后再经公司生产废水总排口外排。生活污水排放量44280t/a，分别经化粪池和隔油池处理后再经公司生活污水总排口排放。上述外排废水中的主要污染物浓度均能达到《污水综合排放标准》GB8978-19966-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书三级标准，经处理后的废水进入开发区市政污水管网，然后经城市污水管网入烟台市套子湾污水处理厂进行二级处理后，最终深海排放。5.3项目排水进入烟台市套子湾污水处理厂可行性分析5.3.1污水管网配套情况福山区规划为雨水分流制，目前主要管道系统已按分流制建成，城区内工业污水和生活污水全部通过沿河主管道排入套子湾污水处理厂。厂区东厂界城市道路管网已经铺设完毕，能够保证污水排入。5.3.2污水处理厂处理能力分析污水处理厂二期工程完工后，二级处理的能力为20万m3/d，本次项目排水3301m3/d，仅占1.6%。污水处理厂完全能够有能力处理该项目废水，并且已经出具污水接受证明，保证污水进入套子湾污水处理厂。5.3.3项目废水水质与污水厂进水水质比较项目生产废水总排口各类污染物排放指标统计见表5-2。表5-2生产废水总排口污染物排放情况名称污染物名称氟化物(以F计)NH3-N磷酸盐(以P计)CODCrTOCSSpH项目排放浓度(mg/L)2.0（2.0）2.0（2.0）0.32（0.32）119.4（118.9）59.7（59.4）33.3（33.2）6～9三级排放标准(mg/L)20——500—4006～9污水处理厂设计进水水质—45—650—450—达标情况达标达标达标达标达标达标达标注：1.pH无单位；括号内数字为锅炉运行时排放浓度。2.排放标准为《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准。生活污水总排口各类污染物排放指标统计见表5-3。表5-3生活污水总排口污染物排放情况名称污染物名称6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书NH3-NTOCCODCrSSPH排放浓度(mg/L)20.7112.0252162.86.5～9三级排放标准(mg/L)——5004006～9污水处理厂设计进水水质45—650450—达标情况达标达标达标达标达标注：1.pH无单位；2.排放标准为《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准。从表5-2、表5-3中可见，拟建项目排放的生产废水经处理后不仅达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准要求，也满足套子湾污水处理厂入水水质要求。因此，项目排水进入套子湾污水处理厂可行。5.4有毒物质对污水处理厂生物处理的影响分析为保证市政污水处理厂能正常有效运转，除了要严格控制接纳的工业、企业所排出的污水水质能达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准要求外，凡含有毒有害物质的工业废水排放还必须满足“生化处理有毒物质的允许浓度”的要求。表5-4给出了与本项目有关微生物具毒害作用的有毒物质在废水中的最高允许浓度。表5-4生化处理的部分有毒物质允许浓度物质名称允许浓度(mg/L)物质名称允许浓度(mg/L)铁化合物（以Fe计）5～100硫化物（以S2-计）5～25铜化合物（以Cu计）0.5～1.0氰化物1～8银化合物（以Ag计）0.25硝酸5.0锌化合物（以Zn计）5～13硫酸5.0铅化合物（以Pb计）1.0磷酸5.0本项目外排废水中的上述有毒物质6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书含量远远低于该物质的最高允许浓度，对污水处理厂生物法处理污水几乎无影响。5.5小结综上所述，项目所排废水不仅达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准要求，也满足套子湾污水处理厂入水水质要求；污水管网配套；项目废水对市政污水管道和污水厂都不会产生不利影响。项目排水进入套子湾污水处理厂可行。6地下水环境质量现状及影响分析6.1区域水文及水文地质分析6.1.1区域水文地质烟台市福山区在区域构造上位于胶东隆起区，隶属新华夏系第二隆起带构成。区内水文地质条件与区域地质构造及地形、地貌条件具有明显的相似性。出露地层为中、深变质的太古－元古界胶东片群麻岩变粒岩，斜长角闪岩，中级变质的下元古界粉子山群长英石、大理岩及浅变质的上元古界蓬莱群石英岩、板岩。新生界第四纪堆积物主要分布在滨海平原和河间谷地。大沽夹河东西两大支流的内、外夹河纵贯本区南北，深厚的第四纪颗粒状松散物质为地下水的储存和运移提供了良好条件。本区地形属低山丘陵，西、南高，向北趋于平缓，其地形、地貌决定了地表水的流通、汇集，也决定了地下水的补给、径流和排泄。山前平原、山间谷地、河流两侧浅层地下水较丰富；近海地带为海积层，有零星咸水层分布；山区地表水受大气降水影响，一部分沿裂隙下渗，储存于风化带，一部分作为地表水泄走。地下水的类型，按其含水层空隙的性质不同，在本区可分为孔隙水、裂隙水、岩溶水三类。1、孔隙水6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书孔隙水是埋藏、运动在第四纪洪积松散的空隙中的地下水，这类地下水主要分布在沿海平原，内、外夹河沿岸，山区各小河，山前平原及山涧盆地中，呈层状，有统一的水位，但埋深不一，多数较浅，其来源除降水垂直补给外，还有侧向补给，水量较为丰富，单井涌水量一般在30～100m3/h，且年际、年内变化不大。是工、农业用水可行水源。2、裂隙水裂隙水是埋藏在变质岩、火成岩的风化、构造裂隙中的地下水，这些古老的岩层的含水量，常随风化裂隙和构造裂隙的发育程度而不同，在本区，一般片岩的风化裂隙深为5～8m，花岗岩类为1～3m，水质较好，这类地下水主要分布在本区的山丘区。如果在遇有岩脉穿插，如张格庄的东部，古现、八角的西部和兜余、回里的大部。此类水的基本特点是：浅部循环，短途排泄为河川基流，地势高，区域小，难以接受地表水的补给，没有统一的水位，山高水高，受季节性的影响较明显，且地下水不丰富，仅能用于这类地区的人畜用水。3、岩溶水岩溶水是贮存、运动于石灰岩、大理岩等可深性岩石空隙中的地下水。可深岩石一般质脆，裂隙、溶洞发育，水量丰富，埋藏很深，这类地下水在福山区的山岳均有零星分布，但面积较少。其基本特点是：石灰岩、大理岩岩溶裂隙水顺层面发育，一般无地表水，而地下贮存着较丰富的岩溶裂隙水，且具有承压性质。如门楼镇的赵庄钻孔，自流水量达3m3/h。在遇有张扭断裂富水通过，可打深井，水位埋深在20m以上。因岩溶裂隙的发育受地质构造、地形、地貌及岩性等条件的控制，大理岩和灰岩的富水程度很不均匀，本区在东厅的吴阳泉钻孔揭露出来的全是极不易溶蚀的硅质大理岩，孔深170m不见出水，即不能开采地下水。局部分布在山岳区的岩溶水，是山岳区的唯一水源，一般都开采为农业用水。6.1.2区域水文--地表水与地下水的相互转化关系烟台市福山区的地下水主要向河床排泄，成为河川径流的一部分。山区尚有一部分地下水，它以侧向排泄的形式补给平原，即称谓“山前侧向补给”6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书。此外，在河谷有深厚的第四纪冲积层或者基岩岩溶发育，则有河谷潜流，此部分水量也是山区地下水通过潜流补给平原。平原区地下水以大气降水补给为主，其次为地表水体入渗量和山前侧向补给，井灌回归量很少。烟台市福山区河床大都低于平原，侧向补给平原的地下水量和流域内的地表水补给地下水的水量都不大。从地层岩性看，山前无大的冲、洪积线，故入渗量也不会多。平原地下水的排泄，在天然状态下，是向河道排泄及潜水蒸发，部分通过地下径流入海。地表水、地下水之间在不断地运动和转化。由于地下水含水层主要蕴藏在地质浅层，所以本地区地表水和地下水联系紧密，地下水受地表水影响较大。在福山区北部的大沽夹河下游的近海平原，由于工农业用水量超过天然补给量，地表水补充不足，地下水的过量开采破坏了淡水和海水的平衡关系，引起了海水入侵淡水层，破坏了地下水环境，导致水质恶化。目前该区已经严格控制地下水的开采防止海水继续扩大侵染地下水面积，同时修建大沽夹河永福园橡胶坝，来回补地下水。地下水和地表水是一个有机整体，为合理利用地下水资源，避免破坏淡水和海水的平衡关系，丰水年充分利用地表水，提高地表水的利用率，最大限度的回补地下水做到以丰补歉。开发利用时，优先考虑中上游，对下游的地下水的开采应慎重。6.2地下水环境质量现状监测与评价6.2.1地下水环境质量现状监测1、监测布点拟建项目投产后其生产及生活污水经污水处理站处理后通过新建的排污管道排入污水处理厂，厂区地面硬化、污水收集处理设施进行防渗处理，预计项目建设对周围地下水环境的影响较小。根据当地地下水流向等水文地质条件及拟建项目废水产生与排放情况及废水去向，本次环评地下水环境质量现状监测共布设4个监测点位，监测评价范围内的浅层地下水和深层地下水水质情况。地下水环境质量现状监测点见表6-1和图6-1。表6-1地下水环境质量现状监测点一览表地下水监测点位测点名称功能相对厂址距离(m)1＃芝阳水厂取水口深层地下水上游水质13006-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书2＃南庄水厂取水口深层地下水下游水质10003＃南涂山浅层周下水上游水质12004＃前埠污水管附近浅层地下水下游水质14005＃201#取水口浅层地下水下游水质3406＃305#取水口浅层地下水下游水质907＃202#取水口浅层地下水下游水质3502、监测项目根据工程废水水质特点，地下水监测项目确定为：砷、六价铬、铅、氟化物、镉、锰、氯化物、CODMn、氰化物、硫酸盐、总硬度、溶解性总固体、异丙醇、丙酮共14项，同时调查井深和埋深。同时记录井深和地下水埋深、水温等相关资料。3、监测时间与频率本次环评地下水环境质量现状监测于2006年3月16日进行，监测一天，上午、下午各采样一次。4、监测单位本次环评地下水环境质量现状监测由烟台市环境监测中心站负责完成。5、监测分析方法按照《地下水质量标准》(GB/T14848-93)、《生活饮用水标准检验方法》(GB5750-85)、《水和废水监测分析方法》(第四版)和《环境监测技术规范》等有关规定执行。地下水环境质量现状监测分析方法见表6-2。表6-2地下水环境质量现状监测分析方法一览表序号监测项目分析方法方法依据检出限(mg/l)1pH值玻璃电极法GB6920-86--2砷GB/T7485-870.0076-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书二乙氨基二硫代氨基甲酸银分光光度法3六价铬4铅5氟化物离子选择电极法GB/T7484-870.056镉7锰8氯化物硝酸银滴定法GB11896-8929高锰酸盐指数高锰酸盐指数法GB11892-890.510氰化物11硫酸盐重量法GB11899-891012总硬度EDTA滴定法GB7477-870.0513溶解性总固体6、监测结果地下水环境质量现状监测结果见表6-3。表6-3地下水环境质量现状监测结果一览表点位1#芝阳水厂取水口2#南庄水厂取水口3#南涂山4#前埠污水管附近5#201#取水口6#305#取水口7#202#取水口砷未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出六价铬未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出铅未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出氟化物0.130.280.110.210.260.130.20镉未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出锰未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出氯化物58.710410793.071.065.188.1CODMn1.091.171.131.471.091.221.136-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书氰化物未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出硫酸盐72.574.072.973.273.666.774.8总硬度255384339354328292365溶解性总固体异丙醇未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出丙酮未检出未检出未检出未检出未检出未检出未检出井深26262322262628埋深111010101010116.2.2地下水环境质量现状评价1、评价标准评价标准：《地下水质量标准》(GB/T14848-93)Ⅲ类标准。地下水环境质量现状评价标准值见表6-4。表6-4地下水环境质量现状评价标准值一览表序号监测项目单位评价标准值标准来源1pH值--6.5～8.5《地下水质量标准》(GB/T14848-93)Ⅲ类2砷mg/l≤0.053六价铬mg/l≤0.054铅mg/l≤0.055氟化物mg/l≤1.06镉mg/l≤0.017锰mg/l≤0.18氯化物mg/l≤2509高锰酸盐指数mg/l≤3.010氰化物mg/l≤0.0511硫酸盐mg/l≤25012总硬度mg/l≤45013溶解性总固体mg/l≤10006-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书2、评价方法单项水质参数评价采用标准指数法。(1)一般水质因子(随因子浓度增加而水质变差的水质因子)式中：Pi—水质因子i的单因子指数；Ci—水质因子i的实测浓度值，mg/l；Coi—水质因子i的评价标准限值，mg/l。(2)特殊水质因子--pH的标准指数式中：PPHj—pH的单因子指数；pHj—pH的实测值；pHsd—评价标准中pH的下限值；pHsu—评价标准中pH的上限值。3、评价结果地下水环境质量现状评价结果见表6-5。表6-5地下水环境质量现状评价结果一览表点位1#芝阳水厂取水口2#南庄水厂取水口3#南涂山4#前埠污水管附近5#201#取水口6#305#取水口7#202#取水口砷√√√√√√√六价铬√√√√√√√铅√√√√√√√氟化物√√√√√√√镉√√√√√√√6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书锰√√√√√√√氯化物√√√√√√√CODMn√√√√√√√氰化物√√√√√√√硫酸盐√√√√√√√总硬度√√√√√√√溶解性总固体异丙醇√√√√√√√丙酮√√√√√√√注：未检出按最低检出限的一半计算，表中“√”表示“达标”、“×”表示“不达标”。由表6-5可见：四个监测点地下水水质均能满足《地下水质量标准》(GB/T14848-93)Ⅲ类标准要求，其指标不存在超标现象，当地的地下水水质很好。6.3地下水环境影响分析6.3.1项目厂址地层结构根据地质勘察资料，拟建项目场地地层主要是由第四系冲积成因的粘性土和砂土构成，上覆一定厚度的人工填土和耕土。按照其成因和岩性自上而下描述如下：①耕土及填土层（Q4ml＋pd）填土层：该土层主要由素填土（①-1亚层）和杂填土（①-2亚层）构成。①-1主要分布在场地中部，素填土为黄褐～褐黄色，松散，稍湿，主要由粉细砂组成，含少量炉渣、砖屑等。①6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书-2主要分布在场地中部，杂填土为黑色～杂色，松散，稍湿，主要由炉渣、建筑垃圾和粉细砂组成。①-3耕土主要分布在场地南部和西部，黄褐色，松散，稍湿，主要由粉细砂组成，含多量植物根。本层层底深度为0.30～2.00m，层底标高为7.11～10.07m，本层属高压缩性土，未经处理不宜作地基。②粉细砂层（Q4al＋pl）黄～黄褐色，稍湿，松散。局部稍密，主要矿物成分为长石和石英，粒径大于0.075cm的颗粒含量约在54.4～97.3％，含云母碎片和粘性土，局部混凝土。该层层底厚度为1.40～7.10m，层底标高介于1.74～8.04之间，层厚0.40～6.60m。本层属中压缩性土。③粉质粘土层（Q4al＋pl）褐黄色，湿，可塑，摇振反应慢，稍有光泽，干强度和韧性中等，含少量铁氧化物和云母碎片，局部夹薄层灰色粉土和粉砂（③-1亚层）。该层层底深度为2.90～8.60m，层底标高介于0.00～6.07m之间，层厚0.40～5.80m。本层属中压缩性土。④中细砂层（Q4al＋pl）黄～黄褐色，湿，稍密～中密，主要矿物成分为长石和石英，颗粒呈亚圆形～次棱角状，粒径稍大于0.25cm的颗粒含量约在19.4～66.9％，含少量粘性土，局部混粉砂。该层层底深度为6.80～13.40m，层底标高介于-3.19～1.78m之间，层厚0.70～7.00m。本层属中压缩性土。⑤粉质粘土层（Q4al＋pl）灰～灰褐色，饱和，可塑，局部软塑，摇振无反应，稍有光泽，干强度和韧性中等，含少量云母碎片，偶见腐殖质和螺壳碎片，局部夹薄层粉土（⑤-1亚层）。该层层底深度为12.50～16.90m，层底标高介于-6.89～3.29m之间，层厚1.00～7.30m。本层属中压缩性土。⑥中粗砂层（Q3al＋pl）黄～黄褐色，湿，稍密～中密，主要矿物成分为长石和石英，颗粒呈亚圆形～次棱角状，粒径稍大于0.5cm的颗粒含量约在11.0～55.5％，局部夹薄层粉质粘土（⑥6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路项目环境影响报告书-1亚层），底部含少量石英质碎石。该层最大揭露深度为19.30m，相应标高-10.50m，最大揭露厚度6.10m。本层属中低压缩性土。⑦粗砾砂层（Q3al＋pl）黄褐色，饱和，密实，主要矿物成分为长石和石英，颗粒呈亚圆形～次棱角状，粒径大于2cm的颗粒含量约在20.6～38％，混少量粘性土。本层最大揭露深度23.00m，相应标高-14.69m，最大揭露厚度4.90m。本层属低压缩性土。6-80山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书6.3.2项目场址地下水特征项目区地下水类型主要为第四系松散沉积物的孔隙水。由于沉积了厚度较大的海积－冲积地层和河流相地层，使福山一带第四系孔隙水较为丰富；含水层岩性主要为砂和砾石层，层次较多，水量较丰富，水质亦好。根据厂址钻孔取水样化验分析，地下水质对混凝土有弱腐蚀性，对钢筋混凝土中的钢筋不具腐蚀性。地下水来源主要靠大气降水补给，地下水位受季节影响较大。地下水含水层为潜水类型的单一含水层，有统一的地下水面，含水层厚度在4-10米以上。地下水流向基本与地表水流向一致，有南向北偏东方向流动。厂区内的地下水静止水位埋深为8.00～10.00m，相应的标高为-1.16～0.84m，高差为2.00m。多年平均地下水位为2.51m，枯水期（1-5月份）为2.58m，汛期（6-9月份）为2.22m，汛末（10-12月份）为2.80m。水位变幅为-1.61m，其中1995.1.1水位是5.17m，2004.12.26水位是3.56m；水位年变幅为-2.31m，其中1995年平均水位是5.12m，2004年平均水位是2.81m。6.3.2项目区附近水厂取水井调整情况项目区北部原有烟台市自来水厂的取水口。根据烟台市总体规划的要求，同时出于保护地下水的目的，现在该取水井已经放弃，烟台自来水厂水源采用门楼水库，由管道接入水厂。目前项目区周围有烟台市福山自来水厂有限公司现有两座水厂（芝阳水厂、南庄水厂）的10眼取水井。具体编号和水量详见表6-6。表6-6南庄水厂的水井序号井号井深涌水量方位（距厂区中心）距离（m）小时（m3/h）天（m3/d）1南庄水厂1013580～1001920～2400NNW65021033580～1001920～2400NNW60031043580～1001920～2400NW62041073580～1001920～2400NW6305芝阳水厂2043680～1001920～2400WSW60062053680～1001920～2400SW7007-2山东省环境保护科学研究设计院第四研究所编制 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书72063680～1001920～2400SW7508C3033580～1001920～2400SSE8009C3043580～1001920～2400SSE60010C3053580～1001920～2400SE480总计－800～100019200～24000－－南庄水厂和芝阳水厂设计最大日供水能力为24000m3采取统一供水的形式向福山区供水，福山城区居民7万人日需水量约为20000m3；芝阳水厂现有水源井6眼，设计最大供水能力为14400m3，南庄水厂4眼水井，水井供水能力约为9600m3。根据烟台市福山区城市发展规划，在福山南绕城高速公路以北的芝阳水厂的6眼取水井位于规划中的工业用地上；南庄水厂的4眼水井位置在工业用地的北部，在地下水流向的下游。工业用地上工业项目的建设会影响到两水厂的正常运行。为保证福山区的用水水量与水质，将这两水厂的10眼取水井关停不用，在拟建项目以南1000m的位置建设芝阳水厂新厂址同时开凿新的取水井来代替，新的取水井在拟建项目以南1000m的位置，调整后取水量和水质满足规划用水要求（具体内容见附件福山自来水厂调整证明）。取水井水井位置见图6-4。6.3.3项目区地下水环境影响分析调查分析项目所在区域地下水水文地质特征，主要包括地层结构、地质构造、主要含水层、隔水层分布及其特征，区域地下水补、迳、排泄规律，结合拟建项目排水水质，分析项目建设可能对厂址周围地下水环境造成污染的趋势和影响程度，进一步提出防止地下水污染的措施。根据前文调查分析，拟建项目厂区附近地下水埋深相对较浅，渗透条件较好，若各种污染物随意排放，将有可能污染该地区的地下水环境。由工程分析可知，拟建项目外排废水主要是少量的抽真空废水与生活废水，经厂区污水管网排入市政污水管网，最终进入城市污水处理厂（污水管网的具体线路见图3-3）。拟建项目可能对地下水环境产生的污染影响为非正常情况下废水排放对地下水环境的影响。比如：污水收集与排放系统防渗措施不当造成生产废水直接下渗影响厂址周围地区的浅层地下水，外排废水经排水管网沿途渗漏污染浅层地下水。上述非正常情况下产生的污染其源强不易确定，对浅层地下水水质的影响程度也难以定量估计。7-2山东省环境保护科学研究设计院第四研究所编制 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书拟建项目在设计和建设过程中务必加强污水管线防渗漏措施的落实，以预防为主，防止上述方式的地下水污染。另外，全厂污水收集处理系统必须采取防渗措施，如污水管道、循环水池等地下设施必须铺设土工防渗膜。6.3.4项目区地下水环境保护措施6.3.4.1流域综合整治措施加强流域整治，是一种行之有效的水资源保护基本措施。项目建设在平原区，在其南部是丘陵山区。对整个地区而言，山区是流域水资源形成区，保护山区水资源对保护整个流域水资源是有着重要意义。对山区的水资源保护主要是防止水土流失、资源开发中的资源流失和其它污染途径造成的水资源污染。只要防止或减轻山区的土壤侵蚀和资源开发中的资源流失，水质将会得到较好的解决。因此，为了有效地保护山区水资源，应当有计划地划分水资源保护区，禁止乱砍滥伐森林和安排有污染的工业。同时要大力加强植树造林，调节气候，涵养水源，促进自然界水分的良性循环。平原地区的经济活动一般是生产型和加工型的，工农业生产的废水和城市生活污水是造成该区水域污染的主要原因。所以，从保护与利用水资源考虑，平原地区应当采取有效的污水处理措施，提高水资源的利用效率。6.3.4.2项目厂址地下水保护措施为尽可能保护项目厂址所在区域附近地下水环境，在确保项目少量外排生产废水与生活废水全部排入城市污水管网最终进入城市污水处理厂的基础上，厂区内采取以下地下水环境保护措施：①拟建项目投产前确保与厂区污水管网与市政污水管网的对接，并制定严格的检查制度，发现渗漏问题及时解决。②建立和完善污、雨水的收集设施，并对厂区可能产生污染和无组织泄露下渗的场地进行水泥防渗处理；③在全厂废水收集与排放设施、排污管道设计的施工中严格执行高标准防渗措施，防止废水沿途泄漏，废水处理系统底部采用水泥防渗；④车间内地面进行硬化，空地进行绿化处理，硬化地面应高于绿化地面，从而保证雨水进入绿化地面补充地下水；7-2山东省环境保护科学研究设计院第四研究所编制 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书⑤加强生产设备的管理，对厂区内可能产生无组织排放及跑、冒、滴、漏的场地进行防渗处理。6.3.5.3地下水监测和地下水情通报制度对地下水动态、水质及其变化趋势进行全面、系统地监测，为地下水保护提供基础资料，对水源保护至关重要。要逐渐建立和完善地下水监测网络系统、地下水监测信息系统、地下水环境预警预报系统等建设，掌握地下水环境的变化规律，指导地下水保护。因此，自来水厂及环境监测相关部门应加大厂区周围地下水源水质的监测力度。在水源井启用期间，对水源井水实行跟踪监测制度，发现异常根据应急预案采取相应的措施。6.3.5.2项目区水质污染后的治理措施水质污染后的治理措施，要根据污染状况、范围、性质和使用要求，通过经济技术比较确定。一般需要外加能源提取稀释；或用其他物理化学方法以降解破坏水中污染物来达到使用标准。如果污染轻微，也可以利用土层的自净能力来达到净化目的（引自石振华、李传尧）。发现地下水污染后，首先应当切断污染源，然后立即采取防止污染物尽一步扩散的补救措施。治理措施包括以下三种：（1）补排措施这种措施就是对已被污染的地下水采用人工补给或强烈抽水方法，使污染地下水得到稀释或净化，或改变地下水径流条件，加速水的交替循环，以达到改善水质的目的。（2）堵截措施当地下水被污染之后，如果因技术经济条件的限制，不能采取补排措施加以治理，就可以考虑采用堵截污染体于一定范围之内，以防止进一步扩散。采用防渗墙或防渗帷幕进行堵截，通常应穿过整个含水层直达隔水层，其方法就是通过钻孔注入含有少量烷基类物质（1%左右）的水后所产生的大量泡沫，降低含水层对液体的渗透性，起到人造屏障作用，见图6-5。7-2山东省环境保护科学研究设计院第四研究所编制 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书图6-5多孔介质含水层中人造泡沫屏障A-平面图；B-剖面图引自胡尊国，Persoff（修改）（3）水处理措施对污染地下水，也可采用物理、化学和生物法处理。除了把地下水抽出来经过处理构筑物分离污染质外，也可以在污染水体内打净化井，投入粒状活性炭进行吸附或利用离子交换等方法进行处理。但由于污染水体面积大、水量较多，利用一般理化处理也难以见效，而且成本较高，目前尚处于试验阶段。表6-8列举不同类型污染质及其相应的单元操作或处理方法。表6-8地下水中的污染质及处理方法（据水污染防治手册）污染质单元操作或处理系统悬浮物格栅、磨碎，筛网、筛滤、沉淀、上浮、过滤、离心、投药(混凝剂、聚合电解质)混凝沉淀土地处理系统可生物降解有机污染物各种类型活性污泥法(悬浮生长型生物处理系统)生物膜法(固着生长型生物处理系统，如生物滤池，生物转盘等)土地处理系统难降解有机污染物物理—化学处理系统活性炭吸附，臭氧氧化土地处理系统病原体加氯消毒，臭氧消毒、二氧化氯消毒、紫外线消毒、加热消毒溴和碘消毒趋声波—紫外线—臭氧系统消毒7-2山东省环境保护科学研究设计院第四研究所编制 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书植物营养素氮磷生物硝化和脱氨(悬浮生长型、固着生长型)氨解析(氨吹脱)离于交换法土地处理原统投加金属盐石灰混凝沉淀生物—化学除磷土地处理系统重金属化学沉淀-化学上浮离于浮选、离子交换法电渗析、反渗透、活性炭吸附溶解性无机固体离子交换法、反渗透、电渗析、过滤油隔油池、上浮法、混凝过滤、粗粒化、过滤电解—絮凝—上浮热冷却池、冷却塔酸、碱中和、渗析分离、结晶、热力法（浸没燃烧）放射性污染物化学沉淀、离子交换法、蒸发、贮存等6.3.5地表水源替代地下水源的建议烟台市的总体规划对地下水明确要求：大沽夹河中下游流域为地下水源保护区，在此范围内，严禁工业废水排放，严禁从事有污染水源的活动，控制农药的使用，加强水源保护区的生态经济建设。并在此范围内划定禁采区、限采区，控制地下水开采量，实现地下水采补基本平衡，地下水负漏斗区面积减少，海水入侵得到有效控制，地下水环境得到改善。而福山区南部门楼水库的详细情况如下：门楼水库是烟台市最大的水库，位于清洋河下游，大坝枢纽处位于东经121o12"，北纬37o24"。该库于1959年建成，控制流域面积1079平方公里，总库容1.98亿立方米，设计兴利库容1.264亿立方米，现状多年平均净来水1.34亿立方米。由于该水库主坝坝基存在严重的渗流稳定问题，且渗漏严重，必须对门楼水库进行除险加固，除险加固工程将在“八五”末期组织实施。现状向城市供水能力为10万t/d，即3650万m3/a，在2000年工程实施完毕后，在保证率50%、75%、95%年份门楼水库的可供水量分别达到了7880万m3、6695万m3和4500万m3，其中向烟台市区的供水能力为4500万m3。福山城区的用水可以得到保障。7-2山东省环境保护科学研究设计院第四研究所编制 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书根据上述内容，从地下水资源可持续利用的角度考虑，建议不使用计划建设中的福山芝阳水厂地下水取水井，而采用地表水源门楼水库为城区供水水源。第7章声环境影响评价7.1声环境质量现状监测7.1.1监测布点在拟建场址4个厂界、厂址中心位置及前埠居民点各布设1个监测点监测厂界噪声背景值，共6个监测点。见表7-1。图7-1噪声现状监测点一览表测点名称功能1#厂址东侧厂界2#厂址南侧厂界3#厂址西侧厂界4#厂址北侧厂界5#厂址中心区域噪声点6#前埠居民点敏感点7.1.2监测时间与频率于2006年3月16日进行监测，监测一天，昼间、夜间各一次。7.1.3监测方法及条件测量方法按《工业企业厂界噪声测量方法》(GB12349－90)中有关规定执行，监测时间分别在昼间(14：00～17：00)和夜间(22：00～24：00)进行，测量期间无雨，风力小于四级，传声器加戴防风罩，监测等效连续A声级作为噪声代表值。7.1.4监测项目统计各监测点等效声级LAeq、L10、L50、L90。7.1.5监测结果监测结果见表7-2。表7-2噪声环境现状监测结果表单位：dB（A）编号方位监测结果昼间夜间L10L50L90LeqL10L50L90Leq1#东厂界47.049.246.144.643.245.140.535.57-2山东省环境保护科学研究设计院第四研究所编制 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书2#南厂界44.947.144.342.941.442.040.435.43#西厂界46.147.645.444.238.840.437.736.14#北厂界46.547.345.944.337.939.336.234.55#厂址中心45.747.644.742.841.643.040.739.46#前埠村42.944.941.339.737.440.635.033.57.2噪声环境现状评价7.2.1评价标准根据地区环境功能区划和山东省环保局对本项目执行标准的批复意见，南、西、北厂界执行《城市区域环境噪声标准》(GB3096－93)中的3类标准，即：昼间65dB(A)、夜间55dB(A)；东厂界执行《城市区域环境噪声标准》(GB3096－93)中的4类标准，即：昼间70dB(A)、夜间55dB(A)。7.2.2评价方法采用超标值法对等效声级LAeq[dB(A)]进行评价，计算方法为：P=LAeq-Lb式中：P为超标值，dB(A)；LAeq为测点等效A声级，dB(A)；Lb为噪声评价标准，dB(A)。7.2.3评价结果根据以上监测结果及评价方法、评价标准，得出评价结果见表7-3。表7-3声环境现状评价结果一览表编号方位昼间dB(A)夜间dB(A)现状值标准值超标值现状值标准值超标值1#东厂界44.670-25.435.555-19.52#南厂界42.965-22.135.455-19.63#西厂界44.2-20.836.1-18.54#北厂界44.3-20.734.5-20.55#厂址中心42.8-22.239.4-15.66#前埠居民点39.7-25.335.5-19.5由上表可见，拟建厂址所在区域噪声环境质量良好，昼夜间噪声均符合《城市区域环境噪声标准》(GB3096－93)中的3类、4类标准要求。7.3声环境影响预测与评价7.3.1主要噪声源分析及噪声防治措施7-2山东省环境保护科学研究设计院第四研究所编制 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书本项目生产设备位于洁净厂房内，声级较小。产噪设备主要为冷冻机组、空压机、真空泵、风机、水泵等动力设备。本项目的主要动力设备情况见表2-18。采用的减噪措施主要有：(1)水泵基础设橡胶隔振垫，以减振降噪；水泵吸水管和出水管上均加设可曲绕橡胶接头以减振。(2)柴油发电机房的进风道与排风道采取消声措施，对柴油发电机房的排烟系统加装消声器，柴油发电机组加装防振垫圈。(3)空调设备所有空调器的风机带减振底座，空调系统均采取消声措施。(4)大部分动力设备安装在密闭的动力厂房内，四周加吸声材料；(5)空压机四周加隔声板；设备基础设计减振台基础，所有空调净化排风系统的主排风管和通风机的进出风管均安装消声器；管道进出口加柔性软接。(6)合理布置噪声源；选用低噪声设备。通过选用低噪声设备，布置于厂房内，并采取了隔声、吸声、减振等有效的降噪措施，可大大降低了其噪声影响。7.3.2噪声预测经过衰减界噪声能够均满足《工业企业厂界噪声标准》（GB12348-90）中Ⅲ类标准。项目建成前后噪声变化值不大，本次项目噪声对外界没有不良影响。8固体废物环境影响分析8.1固体废物的产生量本项目建成投产后，公司各类废物产生总量为4084.2t/a，按其存在状态主要分为固体废物和废液两大类：1．固体废物产生量1901.1t/a，主要有：(1)废水处理污泥，主要成分为CaF2、SiO2，为含氟废水处理时产生的污泥，经板框脱水机脱水处理后，获得含水率较低的泥饼，再外运。泥饼属毒性较低的废物，送具有危险废物处理资质的单位进行处置。(2)含砷、含汞废物：含砷废物主要为工艺尾气区域处理系统产生的7-2山东省环境保护科学研究设计院第四研究所编制 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书含砷吸附剂和含砷抹布；含汞废物主要为废弃的含汞灯泡等，送具有危险废物处理资质的单位进行处置。(3)废化学试剂空瓶，为玻璃或塑料制品，送烟台市环保有限公司进行处置或由原厂回收。(4)废包装材料、废五金等一般事业性废物，由废品回收商收购。(5)办公生活垃圾，由环卫部门清运和统一处置。上述固体废物分别收集、存放在公司专门设置的废物堆放处。2、废液产生量2183.1t/a，主要来源于芯片生产过程，具体有：(1)废光刻胶、废显影液：来源于芯片生产中的光刻等工序，使用过的光刻胶和显影液除少量流入废水外，绝大部分作为废液收集处置。(2)有机溶剂废液：主要来源于硅片清洗工序使用有机溶剂清洗硅片时产生的各种混合废有机溶剂以及有机废气处理系统产生的有机溶剂废液等。(3)废酸：主要来源于硅片清洗过程的废硫酸、废磷酸等。(4)废硫酸铵:主要来自碱性废气处理。(5)异丙醇废液：主要来源于硅片清洗、刻蚀等。(6)含氟废液：主要来源于硅片清洗、刻蚀、离子注、沉积等。对生产过程中产生的废光刻胶、废显影液、有机溶剂废液、含氟废液和废酸含氟废液等废液，本项目拟设置废液收集系统（包括管道收集系统和收集罐）分别收集暂存，由泵转至卡车定期外运进行处置。根据《国家危险废物名录》（国家环保总局、国家经贸委、对外贸易经济合作部、公安部1998年1月4日颁布，1998年7月1日实施），上述危险废物和废液分别属HW06类、HW16类、HW24类、HW29类、HW34类、HW42类，交由有资质的公司处理。本项目产生的废弃物排放情况统计见表8-1。表8-1废弃物和废液排放情况统计表类别废物名称主要成分排放量（吨/年）危害性处置去向废液废光刻胶、废显影液（HW16）EKC、EBR、A515等142.5易挥发燃烧7-2山东省环境保护科学研究设计院第四研究所编制 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书委托具有危险废物处理资质的单位进行收集处置混合有机溶剂废液（HW42）NMP等70.5易挥发燃烧、低毒硫酸铵废液（HW34）（NH4）2SO4237.6一般异丙醇废液（HW42）IPA560刺激、低毒；有火灾爆炸得危险废酸（废硫酸、磷酸等）（HW34）H2SO4、H3PO4等928.8刺激、腐蚀含氟废液HF等128.5腐蚀、刺激、低毒浓废光阻液（HW42）115.2易挥发燃烧小计2183.1固体废物废芯片5.6生产厂回收电子混合废料废五金15含砷废物（HW24）含砷抹布等3具有危险废物处理资质的单位进行收集处置含汞废物（HW29）含汞灯泡0.4废化学试剂瓶（HW06）玻璃75废水处理污泥CaF2、SiO21164.6一般废包装材料等一般事业废弃物纸、塑料等97.5废品回收商办公及生活垃圾纸、厨余等540一般城市垃圾处理场小计1901.1合计4084.28.2废弃物处置环境影响分析生产过程中产生的固体废物，除废水处理污泥、废包装材料等一般废物外，还有部分危险废物，如废有机溶剂、废光刻胶、废酸等，其主要成份为易燃的有机化合物或腐蚀性的化学品。对这类废物的处置必须十分慎重，避免由于处理不当而造成对环境的二次污染。8.2.1固体废物处置原则为防止固体废物污染环境，保障人体健康，对固体废物的处置首先考虑合理使用资源，充分回收，尽可能减少固体废物产生量，其次考虑对其安全、合理、卫生的处置，力图以最经济和可靠的方式将废物量最小化、无害化和资源化，最大限度降低对环境的不利影响。8.2.2固体废物处置方法本项目产生的危险废物均全部送交有资质的单位统一处置，对危险废物拟采取的处置方法为：7-2山东省环境保护科学研究设计院第四研究所编制 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书(1)废酸液先经过中和处理，废光刻胶、废显影液先经过蒸馏，蒸馏液进入生化处理装置进行处理，处理后的达标废水排放。(2)废有机溶剂先经过蒸馏提取有用成份，残留液进入生化处理装置进行处理。(3)对于蒸馏出的高浓度废光刻胶、废显影液成分和生化处理污泥送入焚烧炉中进行焚烧，焚烧残渣送入安全填埋场填埋。(4)对于废活性炭、等固体废弃物则直接送入焚化炉中进行焚烧；废水处理污泥等直接送安全填埋场填埋。从上述处置流程来看，处置单位对本项目外委废弃物所采取的处置方法是可行和适用的。就今后运营产生的危险废物。8.2.3公司废弃物处置统计通过采取上述措施，工程建成投产后，公司废弃物的处置情况见表8-2。表8-2全厂固体废物产生处置统计表类别废弃物名称年排放情况(t/a)处置去向产生量转移量回收量废液废光刻胶、废显影液142.5142.5/具有危险废物处理资质的单位进行收集处置混合有机溶剂废液70.570.5/硫酸铵废液237.6237.6/异丙醇废液560560/废酸、废硫酸铵（废硫酸、磷酸等）928.8928.8/浓废光阻液115.2115.2/含氟废液128.5128.5/小计2183.12183.1/固体废物废芯片5.6/5.6生产厂家回收电子混合废料15/15含砷废物33/具有危险废物处理资质的单位进行收集处置含汞废物0.40.4/废化学试剂瓶7575/废水处理污泥1164.61164.6/废包装材料等一般事业废弃物97.5/97.5废品回收商办公及生活垃圾540540/城市垃圾处理场小计1901.11783118.1合计4084.23966.1118.17-2山东省环境保护科学研究设计院第四研究所编制 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书8.3危险废弃物储运方式及要求为了减小废弃物的储运风险，防止危废流失污染环境，本项目专门设计有废物库，用于临时存放外委处置前的危险废弃物。废物库将严格按照《危险废物储存污染控制标准》设计，地面采用坚固、防渗、耐腐蚀的材料建造，并设计有堵截泄漏的裙脚、泄漏液体收集装置、气体导出口和气体净化装置。库内废物定期由卡车外运至废弃物处置单位。对危险废弃物的收集和管理，拟采用以下措施：（1）对生产过程产生的大量废酸，显影废液、废光刻胶和废有机溶剂等废液，根据生产过程的特点，拟设置管道收集系统或收集罐直接从生产线收集。存放于相应的专用容器中，并贴上废弃物分类专用标签，临时堆放在危险废弃物库房中，累计一定数量后由卡车外运至废弃物处置单位。（2）废水处理污泥，主要成分为CaF2、SiO2，性质基本上较稳定，临时堆放在废水处理站污泥专用堆放处，定期由卡车外运至废弃物处置单位。（3）废活性炭、有机溶剂空瓶、废芯片、含有机溶剂抹布、废净化纸等，分门别类收集在不同容器中，临时存放在危险废弃物库房中。上述危险废弃物的收集和管理，公司将委派专人负责，各种废弃物的储存容器都有很好的密封性，临时储存场所安全可靠，不会受到风雨侵蚀，从而有效地防止了临时存放过程中的二次污染。根据中华人民共和国国务院令第344号《危险化学品安全管理条例》的有关规定，在危险废弃物外运至处置单位时必须严格遵守以下要求：（1）做好每次外运处置废弃物的运输登记，认真填写危险废物转移联单（每种废物填写一份联单），并加盖公司公章，经运输单位核实验收签字后，将联单第一联副联自留存档，将联单第二联交移出地环境保护行政主管部门，第三联及其余各联交付运输单位，随危险废物转移运行。第四联交接受单位，第五联交接受地环保局。（2）废弃物处置单位的运输人员必须掌握危险化学品运输的安全知识，了解所运载的危险化学品的性质、危害特性、包装容器的使用特性和发生意外时的应急措施。运输车辆必须具有车辆危险货物运输许可证。驾驶人员必须由取得驾驶执照的熟练人员担任。（3）处置单位在运输危险废弃物时7-2山东省环境保护科学研究设计院第四研究所编制 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书必须配备押运人员，并随时处于押运人员的监管之下，不得超装、超载，严格按照所在城市规定的行车时间和行车路线行驶，不得进入危险化学品运输车辆禁止通行的区域。（4）危险废弃物在运输途中若发生被盗、丢失、流散、泄漏等情况时，公司及押运人员必须立即向当地公安部门报告，并采取一切可能的警示措施。（5）一旦发生废弃物泄漏事故，公司和废弃物处置单位都应积极协助有关部门采取必要的安全措施，减少事故损失，防止事故蔓延、扩大；针对事故对人体、动植物、土壤、水源、空气造成的现实危害和可能产生的危害，应迅速采取封闭、隔离、洗消等措施，并对事故造成的危害进行监测、处置，直至符合国家环境保护标准。8.4小结本工程建成投产后废弃物产生量4084.2t/a，其中：危险废物（1901.1t/a）废液（2183.1t/a）和废水处理污泥（1164.6t/a）交由专业废物处置公司进行处置；废芯片和电子混合废料（共21.6t/a）由生产厂家回收；废包装材料（97.5t/a）交废品公司收购；办公及生活垃圾（540t/a）由环卫部门统一清运。通过上述分类处置措施，可使废弃物去向明确，不会产生二次污染，既安全有效而且经济、合理。建议公司在采取处理固体废物的同时，应切实加强对固体废物的管理，严格遵循危险废物贮存、运输、处置中的一系列操作规程，依法执行危险废物的五联单制度，尽可能将废弃物对环境的影响降低到最低限度。第1章第9章　环境风险评价大规模集成电路的生产过程中需使用多种化学品，其中部分化学品具有，这些化学品在运输、储存、使用和管理过程中具有一定的环境风险。在突发性的事故状态下，如不采取有效措施，一旦发生爆炸或泄漏，势必将危及人群和周围自然环境。根据国家环境保护局环发［2005］152号文《关于7-2山东省环境保护科学研究设计院第四研究所编制 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书加强环境影响评价管理防范环境风险的通知》的精神，本次环评对项目区进行环境风险评价，以便达到降低风险性、减少危害程度之目的。1.19.1评价等级拟建工程使用的化学品种类较多，其中部分为易燃易爆性或一定毒性，但这些化学品在生产场所的使用量及在贮存场所的贮存量相对较小，均小于《建设项目环境风险评价技术导则》所规定的临界量，不属于重大危险源。但是拟建工程厂址靠近地下水和地表水保护区，因此，评价等级定为一级。1.29.2环境风险识别9.2.1有毒有害化学品的危害特性识别本项目在生产过程中涉及的主要化学品的名称、使用量和贮存量及见表9-1。7-2山东省环境保护科学研究设计院第四研究所编制 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书表9-1主要化学品一览表序号化学物名称容器类型容器容积运输方式　毒性使用量周转天数储存量危险性类别1一氧化碳（CO）钢瓶47L汽车LC502069mg/m3，4小时(大鼠吸入)3384L/a30282L/6个第2.1类易燃气体2氢气（H2）管道503甲烷（CH4）10%钢瓶47L汽车188L/a3047L/1个4氯气钢瓶10kg汽车LC50850mg/m3，1小时(大鼠吸入)高毒960Kg/a3080kg/8个第2.3类有毒气体5三氟化氮(NF3)钢瓶47L（20kg）汽车LC5019000mg/m3，1小时(大鼠吸入)4512L/a30376L/8个6磷化氢/氦气(PH3/He)0.8%钢瓶47L汽车LC5015.3mg/m3，4小时(大鼠吸入)高毒1128L/a3094L/2个7磷化氢/氮气(PH3/N2)钢瓶47L（13.6kg）汽车8640L/a30720L/15个8氨气(NH3)钢瓶20kg汽车LC501390mg/m3，4小时，(大鼠吸入)低毒240Kg/a3020Kg/1个9四氟化硅（SiF4）钢瓶47L（20kg）汽车LC501275mg/m3(大鼠吸入)高毒141L/a3047L/1个10硅烷（SiH4）钢瓶47L（20kg）汽车LC50为9600ppm(4Hr）7896L/a30658L/14个11ClF3钢瓶10kgLC50299ppm，1小时(大鼠吸入)；120Kg/a10Kg/1个7-2山东省环境保护科学研究设计院第四研究所编制 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书12氧气(O2)管道85m3/h第2.2类助燃气体异丙醇(C3H8O)桶装200L汽车28.8万L/a32400L/12个第3类易燃液体13双氧水桶装200L汽车46.8万L/a33900L/20个第5.1类氧化剂14氢氟酸桶装200L汽车LC501276ppm，1小时(大鼠吸入)；6.5万L/a3542L/3个第8.1类酸性腐蚀品15硫酸(H2SO4)桶装200L汽车25.2万L/a32100L/11个16盐酸(HCl)桶装200L汽车LC504600mg/m3，1小时(大鼠吸入)7.9万L/a3658L/3个17磷酸(H2PO4)桶装200L汽车2.2万L/a3183L/1个18硝酸(HNO3)桶装200L汽车2.2万L/a3183L/1个19氨水（NH4OH）桶装200L汽车25.2万L/a32100L/11个第8.2类碱性腐蚀品7-2山东省环境保护科学研究设计院第四研究所编制 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书各类化学品均以卡车运输到化学品仓库，并用搬运车将化学品运至各放置房贮存。本项目的化学品分危险药品和一般药品分别储存。特殊气体由专业气体公司提供，由汽车运至汽站，然后由管道输送至各生产工序。氢气、氧气等一般气体由气体公司直接通过管道输至各工序。表9-1中的有毒有害化学品按危害特性可分为：腐蚀品和氧化剂、易燃气体和液体以及有毒气体三大类。（1）腐蚀品和氧化剂包括氢氟酸、硫酸、盐酸、磷酸、硝酸、氨水和过氧化氢。氢氟酸属无机剧毒品，特别是氢氟酸蒸汽对人体有极大的危害，其对皮肤、眼睛、粘膜和肺等有强烈的腐蚀作用，且能对这些器官造成难以痊愈的损害，甚至死亡。硝酸、硫酸均属一级无机酸性腐蚀品；盐酸属二级无机酸性腐蚀品。对皮肤、眼睛、粘膜和呼吸道具有强烈的腐蚀性和刺激与皮肤接触会引起腐蚀性灼伤。过氧化氢属一级无机腐蚀品，与可燃物接触，有燃烧和爆炸的危险。有强烈的烧灼感，毒性主要是通过过氧化氢的活性氧化作用所引起；可通过呼吸道吸入、皮肤接触吸收和误服等途径引起中毒。氨水吸入后对鼻、喉和肺有刺激性，引起咳嗽、气短和哮喘等；重者发生喉头水肿、肺水肿及心、肝、肾损害。溅入眼内可造成灼伤。皮肤接触可灼伤。（2）易燃气体和液体包括异丙醇和氢气、一氧化碳、甲烷等。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书异丙醇属一级无机易燃液体，遇高温、明火、氧化剂有爆炸和燃烧的危险；其毒性与乙醇相似，稍强；对呼吸道、眼睛有刺激作用。一氧化碳遇明火、高热能引起燃烧爆炸，急性轻度中毒者出现头痛、头晕、耳鸣、心悸、恶心、呕吐、无力，重度中毒者可能出现迟发性脑病；甲烷遇热源、明火能引起燃烧爆炸，甲烷对人基本无毒，但浓度过高时，使人窒息；氢气遇热或明火即会爆炸。（3）有毒气体包括氯气、硅烷、三氟化氮、磷化氢、氨气、四氟化硅。硅烷能与空气形成爆炸性混合物，高温时自燃；能强烈刺激皮肤、眼睛、粘膜和呼吸道器官，吸入硅烷蒸气后能引起头疼、头晕、恶心，严重者面色苍白、脉搏微弱、直至昏迷。氯气对眼睛和呼吸系统的粘膜有极强的刺激性，对皮肤也有强刺激性，形成可见刺激症状和水疮。四氟化硅对眼、皮肤、粘膜和呼吸道有严重损害。三氟化氮对皮肤、粘膜有刺激作用。磷化氢通过吸入造成对人的健康危害，主要作用于细胞酶，影响细胞代谢，发生内窒息。低浓度氨对粘膜有刺激作用，高浓度可造成组织溶解坏死和引起反射性呼吸停止。9.2.2有毒有害化学品的使用环境风险识别有毒有害化学品在正常使用过程中经过一定的化学反应和处理后排放，一般对周围环境和人体造成的影响可以控制在允许范围内；但是如果发生泄漏或在运输过程中产生运输事故时，就有可能产生意想不到的事故——7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书腐蚀性化学品泄漏会对周围环境和人员造成腐蚀污染，同时会影响周围环境空气质量，严重时会危及人们生命；易燃气体或液体泄漏可能造成火灾或爆炸；有毒气体泄漏会直接影响到周围地区人群的健康直至生命安全；毒害品管理不严可能会直接威胁人们的生命以及社会的稳定等。因此，当生产的控制系统发生故障或运输过程中产生突发事故时，系统中的易燃物和有毒物所引起的爆炸、火灾或超常量排放，都可能造成环境污染事故。针对本项目的生产特点，对可能发生的事故风险进行环境影响分析很有必要，以便提出防范及应急措施，力求将环境风险降至最低。9.2.2.1有毒有害化学品运输风险第4章拟建工程建成后，生产所需原辅材料及产生的危险废物大多需经公路进行运输。区内各类危险品装卸、运输中可能由于碰撞、震动、挤压等，同时由于操作不当、重装重卸、容器多次回收利用，强度下降，垫圈失落没有拧紧等，均易造成物品泄漏、固体散落，甚至引起火灾、爆炸或污染环境等事故。同时在运输途中，由于意外各种原因，可能发生汽车翻车等，造成危险品抛至水体、大气，造成较大事故，因此危险品在运输过程中存在一定环境风险。9.2.2.2有毒有害化学品贮存风险拟建工程危险品品种较多，多数属于或有毒、或易燃、易爆物品，因此厂区内潜在的事故原因为危险化学品包装物的破损、裂缝而造成的泄漏，潜在事故主要是火灾、爆炸和有毒有害物质的泄漏所造成的环境污染。9.2.2.3生产过程中潜在的事故风险根据项目各个装置的工艺流程，识别出生产过程潜在风险事故有：(1)生产中使用的易燃易爆气体，如工业氢等，一旦在生产过程中发生泄漏，很容易与空气形成爆炸性混合物，遇火源会发生燃烧、爆炸事故；7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书(2)生产过程中使用的有毒气体，如三氟化氮、氯化氢、氯等，这些有毒物质一旦因阀门、垫片、法兰、机泵等处泄漏，都有可能造成中毒事故；(3)异丙醇在贮存过程中，由于储罐泄漏或管道破损发生泄漏，在遇到明火或高热的情况下，会引起燃烧爆炸。9.2.2.4外界因素影响引起的潜在风险事故当发生停水、停电、停风等紧急故障或各种不可抵抗的自然灾害时可能会使易燃或有毒气体输送管弯裂，导致气体外泄而引发各种风险事故；当发生火灾事故时，室内温度突然剧烈升高，致使储藏气体的钢瓶超过规定极限温度时，钢瓶内气体膨胀，导致外泄或爆炸。危险品潜在事故的事故树分析见图9-1。危险品储存库房及汽站为主要可能发生事故风险的场所；所存储的物质是主要可能引起风险发生的物质。及时发现，立即收集处理容器破损及时发现，立即收集处理未造成事故未造成事故挥发扩散燃爆事故未发现泄漏污染进废液池易燃易爆品泄漏遇明火或高温无明火未造成事故有毒物品泄漏未发现大气污染地面污染7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书图9-1泄漏事件树示意图1.19.3源项分析9.3.1事故概率分析单纯对大规模集成电路生产线分析，根据有关方面的不完全统计，目前国内外尚未发生过类似工厂由于易燃气体、有毒气体泄漏而造成的火灾爆炸事故及人员伤害事故。也未见有毒气体泄漏的事故导致对外环境和人群造成严重影响与危害的报导。根据使用危险品的相近行业的有关资料对引发风险事故概率的介绍，主要风险事故的概率见表9-2。表9-2　主要风险事故发生的概率与事故发生的频率事故名称发生概率(次/年)发生频率对策反应输送管、输送泵、阀门、槽车等损坏泄漏事故10-1可能发生必须采取措施贮槽、贮罐、反应釜等破裂泄漏事故10-2偶尔发生需要采取措施雷击或火灾引起严重泄漏事故10-3偶尔发生采取对策贮罐等出现重大火灾、爆炸事故10-3—10-4极少发生关心和防范重大自然灾害引起事故10-5—10-6很难发生注意关心气体钢瓶阀门损坏泄漏事故4.7×10-4次/年/瓶关心和防范钢瓶大裂纹引起大量泄漏次/年/瓶6.9×10-7次/年/瓶7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书从表9-2可见，输送管、输送泵、阀门、槽车等损坏泄漏事故的概率相对较大，发生概率为10-1次/年，即每10年大约发生一次。而贮罐等出现重大火灾、爆炸事故概率10-3—10-4，属于极少发生的事故。气体仓库最大事故概率是由钢瓶阀门内结构因素引起的少量泄漏，其概率为4.7×10-4次/年/瓶，钢瓶大裂纹引起大量泄漏的事故概率为6.9×10-7次/年/瓶综合上述分析，本环评发生事故主要部位为容器阀门等破损，主要事故类型为有毒品泄漏后造成大气污染扩散事件。9.3.2主要风险事故源强计算第4章四氟化硅储存于47L装钢瓶中，充填量为20kg，假设在储存过程中钢瓶的易熔塞熔化发生泄漏，20min基本泄漏完，泄漏量为20kg，泄漏速率为0.017kg/s。第5章Cl2储存于10kg钢瓶中，事故发生时，有10kg气体泄漏，20min基本泄漏完，泄漏速率为0.008kg/s。（3.7）第6章ClF3储存于10kg钢瓶中，事故发生时，有10kg气体泄漏，20min基本泄漏完，泄漏速率为0.008kg/s。（3.7）第7章异丙醇以200L/桶为存放单元，每桶假定泄漏后有146kg的异丙醇借助于室内地坪坡度汇总于墙角的集液坑，然后人工取出外送危废处理厂处置。假定在发生泄漏事故10分钟后，可处理完现场。扩散量为0.054kg，蒸发速率为0.00009kg/s。(0.00024)第8章氢氟酸以200L/桶为存放单元，每桶假定泄漏后有230kg的氢氟酸借助于室内地坪坡度汇总于墙角的集液坑，然后人工取出外送危废处理厂处置。假定在发生泄漏事故10分钟后，可处理完现场。扩散量为0.22kg，蒸发速率为0.00037kg/s。(0.00095)第9章HCl以200L/桶为存放单元，每桶假定泄漏后有238kg的HCl借助于室内地坪坡度汇总于墙角的集液坑，然后人工取出外送危废处理厂处置。假定在发生泄漏事故10分钟后，可处理完现场。扩散量为32.4kg，蒸发速率为0.054kg/s。(0.137)7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书1.19.4　风险防范措施9.4.1　总图布置和建筑安全防范措施(1)各建筑物间的防火间距均按要求设置，主要建筑周围的道路呈环形布置。厂区内所有架空管道和连廊的最低标高不小于4.5m，保证消防车辆畅通无阻。(2)此外，对化学品输送系统，安装排风探头、溶剂分配间热探头、阀门箱中安装渗漏探头、过滤器的上游安装压力显示器、隔膜泵安装渗漏探头，确保安全操作。(3)为了防止偶然火灾事故造成重大人身伤亡和设备损失，设计有完整、高效的消防报警系统，整个系统包括感烟系统、应急疏散系统、室内外消防装置系统、排烟系统和应急照明及疏散指示系统。倒班宿舍离储油罐、化学品库距离较近，建议加大间距，应满足卫生防护距离的要求，并设置不小于30m的绿化隔离带。9.4.2　危险化学品储运安全防范措施本项目设计了专门的危险品库，用于储存危险原料。气体由专门厂家供应，包装采用钢质气瓶。根据《常用化学危险品贮存通则（GB15603-1995）》中要求，在贮存和使用危险化学品的过程中，应做到以下几点：(1)贮存仓库必须配备有专业知识的技术人员，库房及场所应设专人管理，管理人员必须配备可靠的个人安全防护用品。(2)原料入库时，应严格7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书检验物品质量、数量、包装情况、有无泄漏。入库后应采取适当的养护措施，在贮存期内，定期检查，发现其品质变化、包装破损、渗漏、稳定剂短缺等，应及时处理。(3)库房温度、湿度应严格控制、经常检查，发现变化及时调整。并配备相应灭火器。(4)装卸和使用危险化学品时，操作人员应根据危险性，穿戴相应的防护用品。(5)使用危险化学品的过程中，泄漏或渗漏的包装容器应迅速移至安全区域。(6)仓库工作人员应进行培训，经考核合格后持证上岗。(7)应制定应急处理措施，编制事故应急预案，应对意外突发事件。除以上管理措施外，针对不同危险品的性质，还应采取相应管理措施。9.4.2.1气体的贮运及使用管理一、易燃气体管理措施易燃气体应储存于阴凉、通风仓间内。仓内温度不宜超过30℃。远离火种、热源。防止阳光直射。储存间内的照明、通风等设施应采用防爆型，开关设在仓间外。配备相应品种和数量的消防器材。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。气体入库验收时要注意品名，注意验瓶日期，先进库的先发用。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。硅烷使用中参照有毒气体防护措施。二、不燃气体7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书本项目使用的不燃气体主要为氧气和六氟化硫。氧气的使用参照氧气的使用和安全预防措施进行。六氟化硫储运要求与易燃气体相同。使用时应密闭操作，局部排风。操作人员一般不需要特殊防护，高浓度接触时可佩戴过滤式防毒面具（半面罩）。或自给式呼吸器。工作毕，淋浴更衣，进入限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。三、有毒气体本项目使用的有毒气体包括三氟化氮、氨、磷化氢、氯气。储运中，除应达到易燃气体的储运要求外，还应做到：液氯存储区要建低于自然地面的围堤，磷化氢、氯和氨在运输时应按规定路线行驶，勿在居民区和人口稠密区停留。有毒气体使用时严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。提供安全淋浴和洗眼设备。空气中浓度超标时，建议佩戴空气呼吸器或氧气呼吸器。紧急事态抢救或撤离时，必须佩戴氧气呼吸器。9.4.2.2易燃液体的贮运及使用管理本项目使用的易燃液体主要有异丙醇。易燃液体储存、运输应参照易燃气体储存措施，在此基础上，还应注意：易燃液体包装可采用小开口钢桶、铁盖压口玻璃瓶、塑料瓶或金属桶外加木板箱。储存时堆垛不可过大，应留墙距、顶距、柱距及必要的防火检查走道。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。灌装时应注意流速（不超过3m/s），且有接地装置，防止静电积聚。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书9.4.2.3毒害品的贮运及使用管理本项目使用的毒害品主要有砷烷、硅烷、磷烷等，贮存、运输、使用过程的管理措施可参照有毒气体和有毒化学品管理措施，如：储存于阴凉、通风仓间内。仓内温度不宜超过30℃。远离火种、热源。防止阳光直射。储存间内的照明、通风等设施应采用防爆型，开关设在仓间外。配备相应品种和数量的消防器材。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。入库验收时要注意品名，包装日期，先进库的先发用。搬运时轻装轻卸，防止包装及附件破损。在运输时应按规定路线行驶，勿在居民区和人口稠密区停留。使用时严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。提供安全淋浴和洗眼设备。空气中浓度超标时，建议佩戴空气呼吸器或氧气呼吸器。紧急事态抢救或撤离时，必须佩戴氧气呼吸器。9.4.2.4腐蚀品的贮运及使用管理本项目使用的腐蚀品包括酸性腐蚀品盐酸、硫酸、磷酸、和氢氟酸等。这类化学品在贮存和使用过程中除参照其它危险品管理措施外，还应注意：(1)包装必须严密，严防泄漏，严禁与液化气体和其他物品共存。装卸、搬运贮酸容器时应按有关规定进行，做到轻装、轻卸。严禁摔、碰、撞、击、拖拉、倾倒和滚动。(2)7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书根据硝酸的理化性质，应储存于阴凉、干燥、通风良好的仓间，远离火种、热源，防止阳光直射。应与发泡剂、易燃或可燃物、碱类、金属粉末等分开存放。不可混储混运。搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。分装和搬运作业要注意个人防护。(3)使用中密闭操作，注意通风，尽可能机械化、自动化。9.4.3　工艺技术设计安全防范措施9.4.3.1大宗气体系统（1）所有大宗气体在3号建筑（FAB）内采用树枝状布置，从该主干管上有规律的接出支干管，并在支干管装有与主干管切断的切断阀。除一般氮气使用SS316LBA管，阀门用不锈钢波纹管阀外，其余皆采用SS316LEP管，阀门采用隔膜阀，3号建筑（FAB）室内大宗气体输配管均采用架空敷设。9.4.3.2特种气体系统特种气体依其物性及安全性，分为自燃/易燃、腐蚀性/毒性及惰性气体三类。3号建筑（FAB）支持区分设自燃/易燃、腐蚀性/毒性及惰性气体钢瓶柜间，将三类特气钢瓶柜分别布置于其内。除惰性气体采用气瓶架设置外，其余危险气体则以气瓶柜方式设置。危险气体（自燃/易燃、腐蚀性/毒性气体）的供应方式是由气瓶柜内的气瓶将气体传送至VMB（VALVEMANIFOLDBOX）再由分配管线传送至使用点。惰性气体的供应方式是由气瓶架之气瓶将气体传送至VMP（VALVEMANIFOLDPANEL）再由分配管线传送至使用点。对于以上所指危险气体之气瓶柜及VMB吹扫所产生废气设计采用就地吸收净化处理装置处理后，排至中央废气处理系统做后续处理。特气干管与干支管的连接应尽可能地采用焊接，对干支管需分配多个用户使用点并须设切断阀的部位，应相对集中设置、采用特气多管阀门箱，确保使用运行及维护的安全、可靠及操作方便；VMB/VMP选用5sticks或10sticks的阀门盘和阀门箱。所有特气管道采用7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书SS316LEP管，阀门采用隔膜阀。惰性气体系统由气体盘，单层气体管道和阀门盘组成。腐蚀性/毒性/自燃/可燃气体由气柜、单层或双层管道系统VMB组成。所有特气房间设有一般排风和紧急排风系统。自燃/易燃、腐蚀性/毒性特气钢瓶柜均采用两瓶柜，除惰性气体间外其余类别的特气钢瓶柜间均设置专用检漏工艺氮气钢瓶架和工艺氮气吹扫系统及动力氮气抽真空系统。除惰性气体外所有房间安装氮气吹扫盘。VMB/VMP的吹扫用N2利用安装在FAB中的PN2和UN2管道系统进行自动吹扫。惰性气体设气瓶架。SS316LEP不锈钢无缝钢管均采用氩气保护、等离子自动轨道对接熔融焊。设备、管道实施应符合现行国家建筑设计防火规范及相关的UFC消防规范；可燃或有毒气体管道电气按一般气体房间及技术下夹层布置的施工及安装应符合设计、施工及安装说明的要求。特气钢瓶柜设自动计量（压力或重量）声光报警及自动切换控制系统。自燃/易燃、腐蚀性/毒性气体的钢瓶柜、多管阀门箱设有气体泄漏报警、连锁控制系统。9.4.3.3化学品供应系统化学品储存桶(ChemicalDrum,200L)、化学品输送模块、及所有管件连接均需组装于化学品柜(Cabinet)之内,化学品柜作为二次防漏容器。盛装化学品桶之化学品柜需采用HEPA（高效过滤器）。储存桶或日用罐(Supply7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书Tank)的设计采用桶或罐配置，氮封保护，总容量至少能维持1天用量。动力连接点安装监测仪表，监测动力供应状态。仪器、仪表及阀门均考虑合理备用，确保单个设备发生故障时不会影响到整个系统或者化学品的品质。所有压力储罐均设计泄压阀，液位指示，采用高高、高、低、低低液位显示，液位信息除在本地显示外，同时应传送到控制和监视系统。每个分配模块的柜门门锁装置均应与自控安全系统连锁，如果设备在运行时门被打开，该装置将自动报警。打开有压力的化学品单元时，单元内的压力将降低到大气压力水平。系统管线末端均设取样口，同时预留液体粒子计数器的连接接口。供应主管末端预留阀门箱，供工艺机台扩充使用。系统设计应预留有系统管道排空口、UPW冲洗接口以及PN2吹扫接口。流体输送采用N2或泵加压供给方式。基于防漏与消防安全考虑，管线自储存罐到VMB，腐蚀性化学品（包括腐蚀性溶剂）需采用双层管，易燃性/可燃性化学品则采用金属管。同时分支管与使用端设有三通箱和阀门箱，可燃化学品设计泄漏探测系统，实行与泄漏报警连锁，报警信号分别送至监控系统。9.4.4　自动控制设计安全防范措施9.4.4.1特种气体报警系统在各特种气体存放间、易燃易爆气体间、气体柜（瓶）、管路分支阀门箱、工艺设备使用点、工艺机台排风管道内等气体易泄漏部位设置气体检测器。硅烷泄漏探测采用UV/IR（紫外线/红外线）火焰探测器，设在硅烷瓶架上。在生产厂房内设置地震监测仪，当地震监测仪报警，应关断特气柜阀门，防止气体泄漏。特种气体报警联动控制系统：a)气体探测设备监视特种气体系统的泄漏，包括气体柜、VMB（管路分支阀门箱）、工艺设备。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书b)如果探测到VMB（管路分支阀门箱）泄漏，报警信号发送到气体控制系统，关闭信号发送到VMB（切断主阀门），泄漏区域的疏散信号启动，“气体切断”信号发送到相关的工艺设备，气体控制系统在气体泄漏区域发出疏散报警。c)如果探测到工艺设备泄漏，报警信号发送到气体控制系统，关闭信号发送到相关的VMB（所有连接工艺设备的VMB），“气体切断”信号发送到工艺设备，气体控制系统在泄漏区域发出疏散报警。d)无论探测到任何位置泄漏，报警信号发送到气体控制系统，启动ERT分析，电脑会记录并显示气体探测的值，打印出事故报告，并存档。e)特气报警系统与火灾报警及广播系统、门禁系统、CCTV系统建立通信链路，以便采取相应的监视和警报措施。9.4.4.2氢气探测及报警在使用氢气的区域和氢气纯化间设氢气探测器。氢气探测器报警，联动事故排风机启动，信号同时接入火警系统中。9.4.4.3有机溶剂报警系统对生产厂房、化学品库等建筑中的氨、醇类、酸类等有机溶剂进行报警，以便采取相应措施。报警信号同时送至消防/保安控制中心。9.4.4.3液体泄漏报警系统1)系统由控制器，泄漏传感器电缆，传感浮球开关等组成。该系统与火灾报警系统联网。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书2)液体泄漏监测电缆对化学品输配系统的化学液体、排放系统的废酸排放管、废溶液排放管等液体进行检测，以便采取相应措施。3)泄漏报警信号同时送至消防/保安中心。特种气体报警、药液泄漏报警及可燃气体报警系统的联动控制线采用阻燃电缆。1.19.5风险事故应急预案9.5.1应急计划区拟建工程的危险目标主要为化学品仓库、气站、储罐区及生产区；主要环境保护目标为厂区内的倒班宿舍、专家宿舍以及区外的9.5.2应急机构（1）机构组成　企业成立环境风险事故应急救援“指挥领导小组”，由厂长、有关副厂长及生产、安全、环保、保卫等部门领导组成，下设应急救援办公室，日常工作由安全和环保部门兼管。发生重大事故时，以指挥领导小组为基础，立即成立风险事故应急救援指挥部，厂长任总指挥，有关副厂长任副总指挥，负责全厂应急救援工作的组织和指挥，指挥部可设在生产调度室。如若厂长和分管副厂长不在企业时，由安全、环保部门负责人为临时总指挥，全权负责应急救援工作。（2）机构职责指挥领导小组：负责单位“预案”的制定、修订；组建应急救援专业队伍，组织实施和演练；检查督促做好重大事故的预防措施和应急救援的各项准备工作。　　指挥部：发生重大事故时，由指挥部发布和解除应急救援命令、信号；组织指挥救援队伍实施救援行动；向上级汇报和向友邻单位通报事故情况，必要时向有关单位发出救援请求；组织事故调查，总结应急救援经验教训。　　（3）人员分工7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书　　总指挥组织指挥全厂的应急救援；副总指挥协助总指挥负责应急救援的具体指挥工作。安全科长协助总指挥做好事故报警、情况通报及事故处置工作；环保科长负责事故现场及有害物质扩散区域内的洗消、监测工作，必要时代表指挥部对外发布有关信息；保卫科长负责灭火、警戒、治安保卫、疏散、道路管制工作；生产科长(或调度长)负责事故处置时生产系统、开停车调度工作；事故现场通讯联络和对外联系。（4）专业救援队伍企业内设不脱产的专业救援队伍，由各部门职工经培训后组成，分为抢险抢修队、医疗救护队、义务消防队、通讯保障队、环境监测队，负责事故控制、救援和善后处理工作。9.5.3应急程序当企业发生环境事故或紧急情况后，事故的当事人或发现人采取应急措施防止事故扩大并立即向指挥领导小组报告。指挥领导小组指挥专业救援队伍对环境事故或紧急情况按本单位应急措施进行处理。在事故现场的救援中，由现场指挥部集中统一指挥，灾情和救援活动情况由指挥部各向指挥领导小组报告。如事故影响较大，本单位抢险抢救力量不足或有可能危及社会安全时，则由指挥领导小组向安监局和环保局报警，接到报警后，按《烟台市环境保护局突发性环境污染事件应急预案(试行)》规定启动应急预案。企业所使用的化学品等在运输过程中发生灾害事故时，应按就近救援的原则，先由运输人员自救，同时请示事故所在地的社会救援部门组织救援，并同时向单位报告，由企业应急组织进一步协调处理。9.5.4应急设施生产装置和罐区：防火灾，爆炸事故的应急设施，设备与材料，主要为消防器材、消防服等；防有毒有害物质外溢，扩散，主要是水幕或低压蒸汽幕、喷淋设备、防毒服和一些土工作业工具；烧伤、中毒人员急救所用的一些药品,器材。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书临界地区：烧伤、中毒人员急救所用的一些药品、器材。此外，还应配备应急通信系统，应急电源、照明。所有应急设施平时要专人维护、保管、检验，确保器材始终处于完好状态，保证能有效使用。对各种通讯工具、警报及事故信号，平时必须做出明确规定；报警方法、联络号码和信号使用规定要置于明显位置，使每一位值班人员熟练掌握。9.5.5应急环境监测　　由环境监测队伍对环境风险事故现场进行应急监测，对事故性质，严重程度等所造成的环境危害后果进行评估，吸取经验教训免再次发生事故，为指挥部门提供决策依据。9.5.6清除泄漏措施　　环境事故或紧急情况得到控制后，应立即清除环境污染。对于能收集的固体和液体污染物，收集在桶内或塑料袋内。收集不起来的，用水冲进污水管道内，送入污水处理厂处理。9.5.7、安全防护（1）应急人员的安全防护    现场处置人员应根据不同类型环境事件的特点，配备相应的专业防护装备，采取安全防护措施，严格执行应急人员出入事发现场程序。（2）受灾群众的安全防护    现场应急救援指挥部负责组织群众的安全防护工作，主要工作内容是：①根据突发环境事件的性质、特点，告知群众应采取的安全防护措施；②根据事发时当地的气象、地理环境、人员密集度等，确定群众疏散的方式。9.5.8应急终止（1）应急终止的条件7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书    ①事件现场得到控制，事件条件已经消除；    ②污染源的泄漏或释放已降至规定限值以内；    ③事件所造成的危害已经被彻底消除，无继发可能；    ④事件现场的各种专业应急处置行动已无继续的必要；    ⑤采取了必要的防护措施以保护公众免受再次危害，并使事件可能引起的中长期影响趋于合理且尽量低的水平。（2）应急终止的程序    ①现场救援指挥部确认终止时机，或事件责任单位提出，经现场救援指挥部批准；    ②现场救援指挥部向所属各专业应急救援队伍下达应急终止命令。（3）应急终止后的行动    ①有关部门及突发环境事件单位查找事件原因，防止类似问题的重复出现。    ②对应急事故进行记录、建立档案。并根据实践经验，一级应急机构组织有关类别环境事件专业部门对应急预案进行评估，并及时修订环境应急预案。    ③参加应急行动的部门负责组织、指导环境应急队伍维护、保养应急仪器设备，使之始终保持良好的技术状态。8、应急演习和应急技术培训对于环保管理人员和有关操作人员应建立“先培训、后上岗”、“定期培训安全和环保法规、知识以及突发性事故应急处理技术”的制度。应急机构应定期对机构内成员单位的有关人员进行应急技术培训和考核，并每年进行一次模拟演习，以提高应急队伍的实战能力，并积累经验。每一次演练后，企业应核对事故应急处理预案规定的内容是否都被检查，并找出不足和缺点。检查主要包括下列内容：（1)事故期间通讯系统是否能运作；7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书（2)人员是否能安全撤离；（3)应急服务机构能否及时参与事故抢救；（4)能否有效控制事故进一步扩大。（5）企业应把在演习中发现的问题及时提出解决方案，对事故应急预案进行修订完善；（6）企业应在现场危险设施和危险源发生变化时及时修改事故应急处理预案；（7）应把对事故应急处理预案的修改情况及时通知所有与事故应急处理预案有关的人员。第10章施工期环境影响及生态环境影响分析10.1施工期环境影响分析本项目的建设预计施工期长达1年半。在施工期间，将会对周围环境产生一定的影响，主要影响因素有：施工机械设备噪声、运载车辆废气、扬尘、建筑废渣土和垃圾，以及可能引起的水土流失等。施工期间，对周围环境的影响是暂时的，但也是多方面的。10.1.1施工期大气环境影响分析10.1.1.1施工期废气排放影响分析本项目在建设期对周围大气环境有影响的主要因素是：建筑施工工地扬尘污染、施工机械燃烧柴油排放的废气污染及大型运输车辆的汽车尾气污染。施工期间的扬尘污染，是指在基础建设、主体建设、道路清扫、物料运输、土方堆放过程中产生的细小尘粒向大气扩散的现象。造成扬尘的主要原因是：①建筑工程四周不围或围挡不完全，围挡隔尘效果差；②清理建筑垃圾时降尘措施不力；③建筑垃圾及材料运输车辆不加覆盖或不密封，施工或运输过程中风吹或沿途漏撒，或经车辆碾压产生扬尘；7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书④工地上露天堆放的材料、渣堆、土堆等无防尘措施，随风造成扬尘污染。建设期不同施工阶段的主要大气污染源和污染物排放情况见表10-1。表10-1施工期间不同施工阶段主要大气污染源及污染物排放情况施工阶段主要污染源主要污染物土石方、桩基工程阶段裸露地面、土方堆场，土方装卸过程扬尘打桩机、挖掘机、铲车、运输卡车等NOx、CO、HC建筑构筑工程阶段建材堆场，建材装卸过程、混凝土搅拌、加料过程，进出场地车辆扬尘运输卡车、混凝土搅拌机等NOx、CO、HC建筑装修工阶段程废料、垃圾扬尘漆类、涂料有机废气从表中可见：项目建设期的主要污染因子是扬尘，建设期不同施工阶段产生扬尘的环节较多，即扬尘的排放源较多，且大多数排放源扬尘排放的持续时间较长，如建材堆场扬尘和施工场地车辆行驶产生的道路扬尘等在各个施工阶段均存在；建设期施工机械排放的废气主要集中在打桩、挖土阶段，在建筑施工围场、平整土地和建筑构筑阶段则主要是进出施工场地的运载车辆排放的尾气污染。由于项目在建设期排放的扬尘和施工机械排放的废气会增加该地区NOx、CO、TSP等的污染，因此必须提倡科学施工、文明施工，并采取一定的防治措施，将项目建设期的污染降低到最小程度。10.1.1.2施工期大气环保对策措施①执行国家环保总局《关于有效控制城市扬尘污染的通知》（国家环保总局环发[2001]56号文）的要求。②施工区四周采用简易围屏。③施工过程中使用的建筑材料，在装卸、堆放、拌合过程中会产生大量粉尘外逸，为减轻对大气环境的污染，施工单位必须加强施工区域的管理。建筑材料（主要是黄砂、石子）的堆场以及混凝土拌合处应定点定位，并采取防尘抑尘措施，如在大风天气，对散料堆场采用水喷淋防尘，或用蓬布遮盖散料堆。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书④散装水泥罐下部出口处设置防尘袋，以防水泥散逸。⑤施工期间泥尘量大，进出施工现场车辆将使地面起尘，因此运输车进出的主干道应定期洒水清扫，保持车辆出入口路面清洁、湿润，以减少施工车辆引起的地面扬尘污染，并尽量减缓行驶车速。⑥加强运输管理，如散货车不得超高超载，以免车辆颠簸物料洒出；坚持文明装卸，避免袋装水泥散包；运输车辆卸完货后应清洗车厢；工作车辆及运输车辆在离开施工区时冲洗轮胎，检查装车质量。⑦加强对机械、车辆的维修保养，禁止以柴油为燃料的施工机械超负荷工作，减少烟度和颗粒物排放。⑧装修粉刷的涂料应使用污染相对较小的环保型涂料。⑨加强对施工人员的环保教育，提高全体施工人员的环保意识，坚持文明施工、科学施工，减少施工期的大气污染。10.1.2施工期声环境影响分析及对策建设施工阶段，建筑施工机械的作业一般位于露天，各种施工机械、设备噪声此起彼伏；其噪声传播距离远，影响范围大，是重要的临时性声源。10.1.2.1施工期作业噪声污染的影响分析施工期间，施工用机械设备有：混凝土振捣器、摇臂式起重机、装载机、锯切塑料板材的圆锯机以及运送建材、渣土的载重汽车等，均属强噪声源，主要施工机械噪声见表10-2。表10-2施工期作业主要设备噪声设备名称型号噪声测距(m)噪声级dB(A)混凝土振捣器1569～81混凝土搅拌机1572～90摇臂式起重机1586～87ZL20A装载机1584MJ-104圆锯机（未作降噪改装）1108铆枪1091夯土机1083～87装载车辆1570～95打桩机1595～105这些设备的噪声对周围环境影响较大，其中打桩机、混凝土搅拌机等产噪设备影响范围可达100～170m7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书。另外，运输建材、渣土的重型卡车也将增大周围道路的交通噪声，这类卡车近场声级达90dB(A)以上，特别是在夜间运输时，如无严格的控制管理措施，将严重影响周围的声环境。①土石方施工阶段：在土石方施工期间使用打桩机、挖掘机、装载机、夯土机、运土方建材的车辆等，在施工现场工作时间较短，所产生的噪声影响时间较短。②主体结构施工阶段：主体工程施工期间在现场搅拌混凝土，梁柱浇灌混凝土时使用的混凝土振捣器时间长，成为对外界影响的主要噪声源。③装修施工阶段：在装修施工阶段，所用的施工机械主要有吊车、升降机；此外室内施工还可能使用喷灰机、混凝土抹光机、磨光机、刨光机、冲击电钻、切割机等。其产生的噪声的特点是不定时和短暂的。高噪声机械或电动工具工作时，对周围环境的影响很大，故在夜间不允许进行施工。10.1.2.2施工期声环境保护的对策措施施工期的噪声影响是短期的，项目建成后，施工期噪声的影响也就此结束。但是由于施工机械均为强噪声源，施工期间噪声影响范围较大，因此必须采取以下措施，严格管理：①合理安排高噪声施工作业的时间，每天22点至次日凌晨6点禁止打桩、风镐等高噪声机械作业，并减少用哨音调度指挥，尽可能减少对周围地区的影响。②严格执行《建筑施工场界噪声限值》（GB12523-90），该标准对不同施工阶段作业噪声限值列于表10-3。表10-3建筑施工场界噪声限值施工阶段主要噪声源噪声限值Leq(dB(A))昼间夜间土石方推土机、挖掘机、装载机等7555打桩各种打桩机等85禁止施工结构70557-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书混凝土搅拌机、振捣棒、电锯等装修吊车、升降机等6555注：表中所列噪声值是指与敏感区域相应的建筑施工场地边界线处的限值。如有几个施工阶段同时进行，以高噪声阶段的限值为准。③工地周围设立围护屏障，同时也可在高噪声设备附近加设可移动的简易隔声屏，尽可能减少设备噪声对环境的影响。④在工地布置时应考虑搅拌机等高噪声设备安置在离敏感点相对较远的一侧，运输车辆的进出口也建议安排在该侧，并规定进、出路线，使行驶道路保持平坦，减少车辆的颠簸噪声和产生振动。⑤加强施工区附近交通管理，避免交通堵塞而增加的车辆鸣号。10.1.3施工期固体废物处置及管理施工期间，产生的固体废物主要有：基础工程挖土方量大于回填土方量产生的工程渣土，主体工程施工和装饰工程施工产生的废弃物料等建筑垃圾，施工人员产生的生活垃圾等。施工单位应按照国家和成都市有关建筑垃圾和工程渣土处置管理的规定，及时清运至指定的堆放场所。在施工期固体废物的处置过程中，采取如下管理措施：①根据需要设置容量足够的、有围栏和覆盖措施的堆放场地和设施，分类存放，加强管理。②渣土尽量在场内周转，就地用于绿化、道路等生态景观建设，必须外运的弃土以及建筑废料应运至专门的建筑垃圾堆放场。生活垃圾应及时交环卫局清运统一处置。③施工单位与接纳单位签订环境卫生责任书，确保运输过程中保持路面整洁，施工单位应有专人负责，对渣土垃圾的处置实施现场管理。④在工程竣工以后，施工单位应同时拆除各种临时施工设施，并负责将工地的剩余建筑垃圾、工程渣土处理干净，做到“工完、料尽、场地清”。建设单位应负责督促施工单位的固体废物处置清理工作。10.1.4施工期污水排放及控制措施7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书施工建设期的正常排水及雨天产生的地面径流，将携带大量污染物和悬浮固体，随意排放将对环境造成污染。建议建设单位督促施工单位在施工中重视这一问题，并采取下列措施：①在施工区建排水明沟，利用施工过程中的部分坑、沟作沉淀后排放或再利用于堆场、料场喷淋防尘、道路冲洗、出入施工区的车辆轮胎冲洗等。②施工中抽取地下水或坑沟内的积水时，在不妨碍施工车辆或道路交通的前提下，尽量用软管接到排放点，避免使施工区或行车道路泥泞路滑，造成污染及人身事故。③施工区内的喷淋渗出水、清洗水、雨水等排水应排入事先设计的排水明沟。④施工人员生活污水应经简易化粪池预处理后，再进入城市污水管网统一处理排放。⑤施工区应建有排水明沟，工地废水可以利用施工过程中的部分坑、沟作沉淀后排入城市下水道。⑥散料堆场四周用石块或水泥砌块围出高0.5m的防冲墙，防止散料被雨水冲刷流失等。10.1.5施工期环境影响分析小结施工期对周围环境质量的影响是短期的、也是多方面的，主要有：(1)废气：主要污染源是施工工地扬尘、施工机械燃烧柴油排放的废气及大型运输的汽车尾气等；(2)噪声、振动：主要污染源来自高噪声、高振动的施工机械及大型建材运输车辆；(3)废水：主要污染源是泥浆水、地面径流及机械设备和车辆的冲洗水，以及生活污水，主要污染物是悬浮固体、油类及其它污染物；(4)废渣：主要是工程渣土和建筑垃圾以及生活垃圾。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书施工期的环境管理是控制施工期环境影响的关键。施工单位必须认真贯彻执行《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》、《中华人民共和国水污染防治法》、《中华人民共和国环境噪声污染防治法》、《中华人民共和国大气污染防治法》等法规中的有关规定；建议建设单位在同施工单位签订合同时，以国家和成都市有关施工管理的文件法规为指导，将有关内容作为合同内容明确要求，以控制建设期施工作业对环境的影响。10.2生态环境影响分析拟建项目厂址附近土地前身为荒芜土地，现经土地平整作为信息产业区工业用地，生态环境不敏感。施工期：在平整土地时，按设计同时建设厂内雨水管沟系统，与厂外城市污水管网联网，防止水土流失。尽量保留原有植被，减少对地形地貌的破坏。营运期：加强厂内的绿化和管理，结合当地植被特点和生长条件，选取适宜的物种对产生噪声的工序周围建成密集型、多层次绿化隔离带，起到降噪的作用，且能够防止水土流失，尽可能提高绿化率。10.3土壤环境质量现状监测评价10.3.1监测布点在项目厂址中心设1个监测点。监测布点见表10-4图4-1。表10-4土壤现状监测点一览表测点名称功能1#厂址中间拟建项目区土地现状10.3.2监测项目监测项目确定为：砷、镉、氟、汞、铜、铅、铬、锌、镍共9项。监测一天，采样一次。10.3.3监测时间监测日期2006年3月16日。10.3.4监测方法监测分析方法见表10-5。表10-5土壤监测分析方法项目分析方法方法来源最低检出限（mg/kg）砷GB/T17134—19970.57-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书二乙氨基二硫代氨基甲酸银分光光度法镉火焰原子吸收分光光度法GB/T17140-19970.05氟离子选择电极法《环境监测分析方法》40汞冷原子吸收分光光度法GB/T17136—19970.005铜火焰原子吸收分光光度法GB/T17138-19970.2铅火焰原子吸收分光光度法GB/T17140-19970.2铬二苯碳酰二肼分光光度法《环境监测分析方法》0.8锌火焰原子吸收分光光度法GB/T17140-19970.2镍火焰原子吸收分光光度法《土壤元素的近代分析方法》2.510.3.5监测结果监测结果见表10-6。表10-6土壤环境现状监测结果（单位：mg/kg）监测点位监测项目厂址中间厂址东南侧厂址西北侧0-20cm20-40cm0-20cm20-40cm0-20cm20-40cm砷8.144.715.835.894.394.18镉1.040.901.151.050.660.78氟412385369373363417汞0.0250.0200.0180.0220.0110.034铜14.614.421.830.712.913.5铅10.212.612.413.010.814.3铬45.844.644.553.037.534.0锌28.935.343.534.227.130.6镍未检出未检出未检出未检出未检出未检出10.3.6评价标准项目所在地土壤执行《土壤环境质量标准》（GB15618-1995）一级标准要求。见表10-7。表10-7土壤环境质量标准单位mg/kg项目砷镉汞铜铅铬锌镍标准150.200.15353590100407-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书10.3.7评价结果采用单因子指数法对各监测点位、各污染物进行评价。评价结果见表10-8。表10-8土壤环境现状评价结果监测点位监测项目厂址中间厂址东南侧厂址西北侧0-20cm20-40cm0-20cm20-40cm0-20cm20-40cm砷0.5430.3140.3890.3930.2930.279镉5.24.55.755.253.33.9汞0.1670.1330.1200.1470.0730.227铜0.4170.4100.6320.8770.3690.386铅0.2910.3600.3540.3710.3090.409铬0.5090.4960.4940.5890.4170.378锌0.2890.3530.4350.3420.2710.306镍0.0310.0310.0310.0310.0310.031由表10-7可以看出项目厂址土壤环境现状中镉超标，其他砷、氟、汞、铜、铅、铬、锌、镍均能满足《土壤环境质量标准》（GB15618-1995）一级标准要求。第1章第十一章　环境保护措施分析本项目根据工程排污特点以及外环境的要求，拟采取的环境保护措施主要有：生产废水治理、废气治理、动力设备噪声控制、固体废物及废液处置、厂区绿化等，其环保投资总额为7295万元人民币。1.111.1废水治理措施分析11.1.1废水治理方案简述工程分析的结果表明：本项目产生的废水总量为3301t/d，其中生产废水排放量为3178t/d，锅炉运行5天时排放量3316t/d，生产废水排放量为3193t/d，生活污水123t/d7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书。拟建的生产废水处理站，设有5套废水处理系统，即含氟废水处理系统、含氨废水处理系统、研磨废水处理系统、有机废水处理系统和酸碱废水中和处理系统，废水处理方案（简图）见图11-1：含氟废水处理高浓度含氟废水低浓度含氟废水调节槽废气洗涤塔废水定量加入图11-1废水处理流程图研磨废水絮凝沉淀工艺酸碱废水收集槽中和处理生产废水总排口餐厅污水卫生间污水隔油槽化粪槽含氨废水含氨废水处理生活污水总排口套子湾污水处理厂深海排放酸碱废水处理有机废水有机废水处理废水处理方案主要考虑了以下几个方面：(1)根据生产废水的种类，采取清污分流，即将含氟废水、含氨废水、研磨废水、有机废水和酸碱废水等分流后进入各自处理系统进行处理。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书(2)废气洗涤塔排水的碱性废水并入含氨废水处理系统，酸性废水并入含氟废水处理系统。(3)含氟废水的处理，在采用氯化钙沉淀法或石灰沉淀法的同时，使用高分子絮凝剂，能加速凝聚沉淀，起到了良好的除氟作用，同时可以去除大部分的磷。(4)对研磨废水，采用絮凝沉淀法处理后再排至酸碱废水处理系统进一步处理。(5)为了确保废水处理系统正常运行，拟采取在生产废水总排放口前设置监控槽,安装在线监控设备（SS、COD、pH、氟离子、氨氮）；设立计算机控制系统；整个废水处理系统均由微机控制；以实现pH、氟离子、氨氮以及废水流量自动控制和监测，处理后达标的废水排放；不达标的排水自动返回各自处理系统，以确保处理后的废水达标排放。11.1.2含氟废水处理方案在集成电路芯片制造工厂排放的含氟废水处理方法中，最常用的是石灰或者氯化钙絮凝沉淀法，目前，国内外的多数集成电路芯片制造厂均采用这一方法。本项目含氟生产废水处理流程见图11-2。含氟废水采用投药、絮凝和沉淀的方法进行处理。高浓氢氟酸废液（49HFD）经管道收集，重力流入废水处理站的氢氟酸废液收7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书集槽；低浓度氟化氢的酸废水（HFD）经管道收集，重力流入废水处理站的氢氟酸废水收集槽，再由泵打到含氟废水处理系统进行处理。高浓度含氟废液经管道收集，流入废水处理站的高浓度含氟废水收集罐，再定量缓慢地加入低浓度的含氟废水中进行处理。低浓度含氟废水经管道收集，重力流入废水处理站的低浓度含氟废水收集罐，再用泵送入含氟废水处理系统进行处理。含氟废水从车间重力流至废水处理站的含氟废水槽，再由泵打至含氟废水处理系统进行处理。在反应槽中加入NaOH及H2SO4以调整酸碱度(PH值)，并添加氯化钙(CaCl2)产生无害的氟化钙(CaF2)沉淀，经投加混凝剂(PAC)、絮凝剂(PAM)进行混凝沉降，总除氟效率达到96%。洗涤塔废水浓HF废液浓HF废液Ca（OH）2、H2SO4混凝剂CaCl2预处理一级反应槽储槽收集槽含氟废水Ca（OH）2、H2SO4事故水箱絮凝剂混凝剂CaCl2一级澄清槽三级反应槽处理后水箱二级澄清槽二级反应槽NaOH、H2SO4、NaHSO3、混凝剂最终PH值调节槽污泥槽板框压滤机排放外运图11-2含氟废水处理流程示意图7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书石灰、石灰石、电石渣、氯化钙等均可以作为含氟废水的沉淀剂。采用石灰、石灰石、消石灰的石灰沉淀法处理含氟废水，其优点是价格低廉，适应性较强，缺点是处理后产生较多的石灰沉淀，处置起来很不方便。根据国内半导体厂处理含氟废水处理的情况，使用石灰和氯化钙两种沉淀剂处理含氟废水的处理成本估算：（1）石灰-絮凝沉淀法：单位直接处理成本1.57元/m3废水;单位处理成本1.92元/m3废水;（2）氯化钙-絮凝沉淀法：单位直接处理成本4.47元/m3废水;单位处理成本4.82元/m3废水。无论是使用石灰还是使用氯化钙作沉淀剂，其废水处理费用的差别主要是在处理药剂上。使用氯化钙的单位直接处理成本比使用石灰高2.90元/m3废水，其药剂费大约是用石灰的4倍。显然，使用石灰的处理成本较氯化钙低得多。采用氯化钙代替石灰作沉淀剂。氯化钙易溶于水，与石灰、电石渣等相比不存在石灰残渣的处置问题，运输、保管和存放都较方便，很大程度上降低了二次污染。因此，根据同类工厂的经验，本项目拟采用氯化钙作沉淀剂处理含氟废水。11.1.3含氨废水处理方案本项目产生的废水中的氨氮主要为NH4+7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书。氨氮处理技术的选择与浓度有着密切的关系，大致可分为：(1)高浓度（氨氮浓度>500mg/L）：常用吹脱法、吹脱+石灰+蒸气法、中和折点氯化法等；(2)中浓度（氨氮浓度50～500mg/L）：常用蒸气吹脱法、离子交换法、氧化塘等。(3)低浓度（氨氮浓度<50mg/L）：折点氯化法、空气吹脱法、生物法等，以生物处理法应用较多。微电子生产企业排放的含氨废水，属高浓度含氨废水。通常采用的处理方法有：化学混凝法、折点加氯法、硝化-反硝化生物法、电氯化-吸附法等。结合本项目的具体情况，拟选用以下废水处理方案。1、热交换和脱洗方法概述本项目含氨废水，属高浓度的含氨废水，根据废水中氨氮的含量，处理出水排放的要求，可选择不同的方法控制废水中氨氮的含量，通常处理方法有：空气或蒸汽吹脱法、离子交换法、活性炭吸附法、电氯化-吸附法、折点氯化法和生物硝化法等。在采用含氨废水的处理方案中，若先采用吹脱法去除废水中大部分的氨氮，以降低后续硝化处理的负荷，提高生化处理效率，降低废水处理的运行成本。氨的吹脱法基于：废水中的氨氮一般以氨离子（NH+4）和游离氨（NH3）两种形式保持平衡的状态存在。其平衡关系如下式所示：NH3＋H2ONH+4+OH7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书这一平衡关系受pH值的影响，当pH值高时，平衡向左移动，游离氨（NH3）占的比例较大，氨易逸出。此时让污水通过吹脱塔，便可使氨从废水中逸出，达到脱氮的目的。氨的吹脱过程是：将废水中的离子态氨通过调节pH值转化为分子态的氨，随后被通入废水中的空气或蒸汽吹出。通入的蒸汽升高了废水中的温度，从而也提高了一定的pH值时被吹脱的分子态氨的比率。2、废水处理流程本项目含氨废水处理流程见图11-3。含氨废水热交换吹脱(NH4)2SO4污泥处理系统活性炭过滤器NaOHH2SO4洗涤塔废水硝化槽脱氮槽曝气槽澄清槽最终pH调节槽NaOHH2SO4外运图11-3含氨废水处理流程示意图含氨废水主要是生产过程中的清洗腐蚀工序产生。含氨废水进入废水处理站，在反应槽中添加25%NaOH7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书，采用热交换和吹脱方法进行预处理，加入H2SO4以产生(NH4)2SO4由有资质的单位回收处理，再经过硝化脱氮方式处理，废水则进入中和处理系统，氨的总去除率95%。3、氨吹脱的处理效果高浓度的含氨废水常在室温下用空气吹脱，其去除率为75%以上；对于大于500mg/L含氨废水，出水在氨氮浓度小于125mg/L，对于较低浓度的含氨废水，吹脱后去除率可达到98%。采用空气吹脱法吹出氨气，采用氨气吸收塔吸收吹出的氨气，水或酸作吸收液吸收，吸收效率为93%，吸收塔排出的尾气量为0.86kg/h，再经排气管道接入碱性废气处理系统，进一步处理后排放。经吹脱回收的氨，可用做农肥。4、氨硝化脱氮的处理效果生物硝化脱氮技术是比较成熟、稳定的处理方法，其脱氮效率一般在80％以上。本项目含氨废水，属高浓度的含氨废水，经空气吹脱处理后，氨氮浓度小于125mg/L，再经硝化脱氮后，出水氨氮浓度小于30mg/L。11.1.4研磨废水处理方案一、概述背面减薄（BG）/化学机械抛光（CMP）是集成电路芯片生产的主要工序。背面减薄（BG）是在芯片的生产过程中，在芯片生产结束后，用细纱轮将芯片的背面进行研削，使芯片减至一定的厚度。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书化学机械抛光（CMP）是类似机械抛光的一种方式，一般用于具有三层或更多层金属的集成电路芯片制造生产。CMP是在已形成图案的晶片上进行化学机械抛光，使之形成整体平面，以减轻多层结构造成的严重不平的表面形态。在抛光时，采用KOH溶液加SiO2微粒对芯片表面进行平坦化，溶液中的KOH对芯片表面进行腐蚀，在机械作用下SiO2微粒对芯片表面进行研磨。BG/CMP研磨废水含有SiO2粉末，主要污染物为SS，约300～1000mg/L，其特点是水量不大，以及含有极少量的油类和洗涤剂等。处理研磨废水常采用絮凝沉淀法和膜过滤法：1、絮凝沉淀法：BG/CMP研磨废水经收集，调整pH值后，加入PAC，充分混和后排入絮凝槽，投加絮凝剂，废水进入澄清槽，处理后的澄清废水进入酸碱废水处理系统进行再中和，产生的污泥经浓缩脱水后外运。2、膜过滤法：研磨废水排入研磨废水收集槽，用泵提升到研磨废水反应槽，投加高分子絮凝剂，进行凝聚反应，以形成较大的悬浮颗粒。然后将反应后的废水用泵以较高的流速通过管状膜组件，在操作压力下，水分子通过膜，而悬浮颗粒物则被截留在循环的水流中，回流到沉淀槽。二、处理流程本项目研磨废水，拟采用絮凝沉淀法处理，处理流程见图11-4。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书图11-4研磨废水处理流程图废水收集槽二级反应絮凝污泥脱水H2SO4NaOHPAC上清液一级反应H2SO4NaOHPACPOLYMER酸碱中和系统澄清槽废水经收集槽水泵提升至第一反应槽，调整PH值后重力流向第二反应槽，加入PAC，充分混和后废水重力流向絮凝槽，投加絮凝剂后，废水进入斜板澄清槽，处理后澄清废水进入酸碱废水处理系统进行再中和，产生的污泥进入污泥槽，经污泥脱水形成泥饼，外运。四、BG/CMP研磨废水处理方案分析膜过滤法主要去除废水中粒径较大于0.2微米的微粒，并定期进行反冲洗，冲走附在膜上的微粒，保证一定的流速。膜滤出水排至酸碱废水中和处理系统进一步处理；沉淀槽中的槽底污泥，定期由污泥泵抽到污泥浓缩槽。此过程自动化程度较高，但需要较为昂贵的膜处理设备，增加了处理成本。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书絮凝沉淀法与膜过滤法的区别主要在于CMP废水经加入絮凝剂凝聚后排入沉淀槽进行沉淀，上清液排入中和处理系统进一步中和处理，省去了膜过滤步骤。因而处理过程相对简单，而处理成本较低。目前，国内多数半导体企业均采用此法处理BG/CMP研磨废水。11.1.5有机废水处理方案一、概述在集成电路芯片的加工生产中，均胶、光刻等工艺使用的显影液、光刻胶等有机溶剂，经清洗后进入废水，形成有机废水。废水中有机物浓度不是很高，COD浓度在500mg/L以内，水量不大，采用生化法处理。废水经过pH调节，生物接触氧化，澄清沉淀后排放，该方法为国内外同行业应用非常成熟的方案之一。对本工程而言，完全可达到工厂排放口达标排放的要求。二、有机废水处理流程图11-5有机废水处理流程图废水收集槽澄清槽水箱污泥处理氧化槽酸碱中和系统有机废水处理流程见图11-5：H2SO4NaOHPAC三、处理效果7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书采用生物接触氧化法处理有机废水，其处理技术成熟、稳定、可靠，能达到很好的处理效果，COD去处率在85％以上，可确保处理后的废水达标排放。11.1.6酸碱废水处理方案一、概述在集成电路芯片的加工生产中，酸碱废水主要有工艺酸碱废水、纯水制造排水和废气洗涤塔排水。酸碱废水（氢氟酸废水分流另行处理），通常采用酸碱中和法处理。由于需要处理的酸碱废水的量较大，pH值高时达12～13，低时pH值1～2，若在中和过程中搅拌不均匀，投药量不足或过量，均可能造成超标排放。为克服这一弊端，根据国内集成电路芯片公司对工艺酸碱废水进行中和处理的经验：在设计中应设置三级中和槽，同时采用高质量的控制仪表和传感器，以及药剂投加装置等，整个中和处理系统采用计算机进行自动控制。此时处理系统的中和反应十分灵敏，若高于或低于设定的pH值，自动加酸或加碱，经三级中和处理后的处理出水，再进入最终pH调节槽，在槽设置pH监控装置进行自动记录和控制，处理合格的出水排放，不合格的废水自动回流到收集槽进行再处理。采用上述措施后，完全能达标排放的要求。二、酸碱废水处理流程中和法处理酸碱废水处理流程见图11-6：7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书酸碱废水合格排放酸碱废水收集罐一级中和槽二级中和槽三级中和槽不合格最终pH调节槽图11-6酸碱废水处理流程酸碱废水经管道收集后流入废水处理站的酸碱废水收集罐；依次进入一级中和槽、二级中和槽和三级中和槽，并投加适量药剂；反应槽内设pH测量和酸碱投药装置，可以根据反应槽内的废水中和情况，自动控制投加药剂。经中和处理后的废水进入最终pH调节槽，经检测合格后（pH值达到6~9范围内）排入公司生产废水排水管道，再经公司总排放口排放，不合格的废水返回废水收集罐进行再处理。三、处理效果采用三级中和法处理酸碱废水，其处理系统自动化程度高，操作简便，系统稳定可靠，能达到很好的处理效果，可确保处理后的废水达标排放。11.1.7生活污水处理措施本项目采用化粪池和隔油池分别对生活污水进行预处理后排入开发区市政污水管网，经套子湾污水处理厂进一步处理后排入大海。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书11.1.8废水污染防治措施可靠性分析拟建工程的水污染治理措施有两大达标保证体系：一是生产废水处理系统，二是生活污水通过隔油、化粪池处理系统。公司所产生的废水，通过五类生产废水系统的运行，使废水处理达到排放标准。一、含氟废水防治措施可靠性含氟废水添加氯化钙(CaCl2)以产生无害的氟化钙(CaF2)，再添加混凝剂、絮凝剂通过混凝沉淀的工艺，该技术工艺是常规的处理工艺，工艺除氟效率高，技术可靠，能达到排放标准。二、酸碱废水防治措施可靠性通过加入液碱(NaOH)及硫酸(H2SO4)，进行酸碱中和法的水处理，工艺简单，也是极常规的水处理工艺，但是整个废水处理过程采用自动化控制是达到排放标准的重要条件。三、研磨废水防治措施可靠性工艺中产生的研磨废水，采用混凝沉淀的物化处理工艺，其关键是控制水中的悬浮物SS达到有效的处理条件，使处理水达到可循环回用的要求，从技术上讲是可能的。四、含氨废水防治措施可靠性工艺中产生的含氨废水采用热交换和脱洗方法后，再经过生物硝化脱氮工艺，其工艺处理是常规的，能达到排放标准。五、有机废水防治措施可靠性有机废水采用生化法处理。废水经过pH调节，生物接触氧化，澄清沉淀后排放，该方法完全可达到工厂排放口达标排放的要求。六、生活污水防治措施可靠性生活污水中的含油污水先经隔油池除油后，排入室外生活污水管网，与粪便污水和盥洗污水一起进入7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书楼外的化粪池，将其处理后排往市政下水管线。这处理方法是通用的，也是可靠的方法。1.111.2废气治理措施分析11.2.1酸性/碱性废气处理对于酸性废气和碱性废气的处理，大多是用水或酸液、碱液等吸收液和所排废气进行气液接触、吸收、中和、洗涤有害物质的吸收法。在无机废气排放系统中，如果将氨气和酸性废气一起混合处理，则形成铵盐的白色烟雾，往往使废气处理更为困难。因此，有必要把氨气和酸性废气分开排放，分别进行处理。1、酸性废气来源于工艺流程中使用各种酸液对芯片的腐蚀、清洗过程以及扩散等工序，主要污染物为氟化物、氯化氢、氮氧化物、硫酸雾等。2、碱性废气来源于刻蚀工序等使用氨水、氨气等过程，主要污染物为NH3。处理系统由酸性（或碱性废气）吸收塔、排风机、喷淋装置、碱吸收液或酸吸收液供给装置和排风管等组成，酸性（碱性）废气在洗涤塔内经碱吸收液（或酸吸收液）喷淋处理，达标后再排入大气。图11-7酸性（碱性）废气处理流程图酸性/碱性废气碱液（或酸液）喷淋吸收塔风机排入大气吸收液配制泵洗涤塔废水排入含氟或含氨废水处理系统排气筒酸性（碱性）废气处理流程见图11-7。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书11.2.2有机溶剂废气处理本项目有机溶剂废气来源于涂胶、显影工序和各工序使用有机溶剂清洗过程，主要成份为丙酮、异丙醇等有机物，通常采取浓缩燃烧法或吸附法进行处理。拟采用吸附法进行处理。使用吸附法净化治理有机溶剂废气（VOC）是一种成熟的治理技术。通常的吸附剂有活性炭、沸石等种类。将废气收集后，经由特殊的沸石浓缩转轮将有机溶剂废气浓缩后燃烧处理，总处理效率为90%以上。一、概述有机溶剂废气的处理技术主要包括非破坏性（冷凝法、吸附法、吸收法）与破坏性（直燃式/触媒式焚化法、生物法）处理技术等二类，结合彩色滤光片生产企业的情况，适用的处理方法有：1.吸附法吸附法主要利用高孔隙率、高比表面积之吸附剂，藉由物理性吸附（可逆反应）或化学性键结（不可逆反应）作用，将有机气体分子自废气中分离，以达成净化废气之目的。由于一般多采用物理性吸附，故随操作时间之增加，吸附剂将逐渐趋于饱和现象，此时则须进行脱附再生或吸附剂更换工作。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书吸附剂之再生可利用热空气或热蒸汽进行，经脱附产生的含有机溶剂气体或废液，须进一步处理，以免形成二次污染问题。设计良好的吸附处理系统效率可达95%以上。目前已发展的主要替代性吸附材质包括活性碳纤维、及疏水性沸石(HydrophobicZeolite)等。国内研制的SAC—R型吸附器适用于低浓度有机废气(VOC)吸附处理，采用活性炭纤维作为吸附剂，回转式结构同时吸附和解吸，可不停机连续在线运行，解吸气体可进一步回收或焚烧处理。活性碳纤维具有回收溶剂品质高、碳床不易着火及可避免腐蚀等优点；而疏水性沸石则除前述优点外，又因沸石具有特定的孔洞粒径，可進行VOC选择性吸附，且饱和后又可经过由简单脱附处理程序予以循环使用。目前欧美日各国半导体有以活性碳纤维固定床及沸石浓缩转轮来取代传统活性碳吸附塔的趋势。2.吸收法利用污染物在水中之溶解度特性，将有机溶剂废气自排气中分离去除的方法称为吸收法，吸收法可分为物理吸收（溶解度）与化学吸收（化学反应）二类，由于常见的有机成份除少数醛类、酮类、胺类或醇类之溶解度较高外，其余物质之水溶性不高，故如欲采用此技术，通常须添加过锰酸钾、次氯酸或过氧化氢等氧化剂，造成废气处理成本增加。因此，在针对有机溶剂废气选用处理方法，吸收法并不普遍。3.焚化法（燃烧法）焚化法系利用氧化过程将有机废气转换成无害之CO2与H2O，依照废气的破坏温度可分为直燃式焚化（750～850℃）与触媒焚化（350～450℃7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书）二类。由于焚化处理的主要费用来自操作时消耗之燃料，故为降低燃料之耗用，一般均将燃烧后废气用于预热进流废气，以达到废热回收之目的。4.生物处理法藉由微生物的分解、氧化、转化等机制，将污染物完全分解氧化成CO2、H2O、NO3-、SO42-等无害物质。根据微生物之型态，生物处理技术可分为生物滤床、生物滴滤塔与生物洗涤塔等三种。采用本技术生物处理技术所需的处理费用最低，但通常须占地面积较大，处理条件要求较严，实际应用较少。由于有机溶剂多数难溶于水，所以，对有机溶剂废气的处理，通常采取燃烧法、吸附法进行处理，在国内，一般采用吸附法。二、有机废气处理方案本项目拟采用特殊的沸石浓缩转轮将有机溶剂废气浓缩后通入天然气燃烧处理。1、工作原理沸石浓缩转轮处理原理为：含有VOC废气进入沸石转轮，此時废气中VOC大部份均被转轮上的沸石吸附，而使废气中VOC的含量大幅低降低而成为较干净的空气，一部份干净的气体排放至大气中，而另一部份干净的气体则进入再生区(RegenerationZone)，此区主要功能是将经由高溫再生空气加以脫附(Desorption)再生。经再生区后的废气则含有高浓度的VOC气体，可降低后续处理程序的操作成本。利用沸石浓缩转轮将大风量低浓度的废气浓缩为小风量高浓，再以直热式(燃气式)焚化的方式，将有机组份转化为无害的C02和水，以7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书达到去除VOC的目的。2、吸附材料废气浓缩转轮的主要目的是为了减少后续处理的废气量,同时提高废气中VOC的浓度，常用的吸附材料包括活性炭与沸石。一般浓缩转轮所使用的吸附材质包括活性碳(activatedcarbon)及沸石(zeolite)两种。一般而言，技术发展以活性碳较为成熟，但由于一般颗粒狀活性碳对于酮类废气成份于脱附时，有活性碳床着火的危险。而沸石虽然在成本及吸附量方面不能与活性碳相比，但沸石具有高度的热稳定性，可在较高温度下進行吸附，较不致有脱附累积效应的产生。从安全性方面考虑，一般浓缩转轮装置多以沸石作为吸附材料。典型的VOC转轮可分为圆盘式和圆柱式两种，转轮以每分钟数转的速度缓慢转动，并区分为吸附区、脱附区与冷却区三部分，由于系列利用少量的热空气（蒸汽）将吸附的VOC脱附携出。经吸附浓缩后的VOC浓度可达10倍以上，故可大幅降低后续处理的规模，有助于节省后续处理的成本。3、处理效果及应用虽然目前国外发展出許多成熟VOC之处理技术，但对于浓度大风量的VOC处理仍无良策。目前较新的方法是利用浓縮的方法将浓缩后，再行处理以降低处理成本及增加处理效益。在国外部份半导体厂商包括IBM、AT&T、NEC、MOTOROLA等企业已相续采用沸石浓缩转轮的方式来解決VOC7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书排放问题。台湾新竹科学园区也已有沸石转轮吸附浓缩装置在运转中，经实厂测试结果显示，适当的调整转轮的转速，再生温度、风量等，可得相当良好的效果，对于VOC的去除率在90%左右，浓缩倍数可达5～20。参比《台湾地区半导体制造业空气污染物管制及排放标准（1999年）》中，有关挥发性有机物（VOC）的“排放削减率应大于90％或工厂总排放量应小于0.6kg/h（以甲烷为计算基准）”的规定，本项目有机废气VOC排放削减率大于90％，达到达标排放，是可行的。11.2.3工艺尾气处理系统芯片加工过程中扩散、离子注入和CVD等工序使用的特殊气体，如硅烷、磷烷等，其中绝大部分（98～99%）在工艺中反应消耗外，其余1～2%以尾气的形式排放。半导体芯片生产线的工艺设备一般附有这类气体的净化装置，采用燃烧法进行燃烧处理后，再通过酸液吸收塔作进一步处理。特殊气体的燃烧机理为：燃烧后产生的副产物SiO2、P2O5等颗粒物沉淀，燃烧产生的尾气纳入酸性废气处理系统，可被碱液喷淋吸收。经过上述处理，本项目最终外排工艺尾气中特殊污染物的排放浓度和排放速率均远低于《荷兰排放导则》NER中相应排放控制的要求。上述特殊气体的处理方法是目前半导体工厂普遍采用的方法，在国内天津、上海等地的芯片厂均用此法。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书11.2.4废气污染防治措施可靠性分析本项目废气污染物的防治保证体系有三个净化系统，通过它们的运行，使废气净化后达到排放标准。对比国内外的废气处理技术，其处理效率比较高，技术是成熟的。酸性废气防治措施可靠性酸性和特殊性废气形成一个处理系统，这两种废气（特殊性废气先经过区域性净化预处理）合并后经由20%NaOH为吸收剂的湿式洗涤塔处理，再排到大气，这两类废气净化工艺是成熟的，它是控制废气污染的技术保证系统。碱性废气防治措施可靠性碱性废气采用湿式洗涤塔（以硫酸为吸收剂）处理后排至大气，这是沿用多年的技术。排气洗涤净化措施是控制气态污染物排放的重要废气治理技术之一，在化工生产中应用相当普遍，具有运行稳定，处理效果好，投资少，处理费用低等优点。以上酸碱性废气防治措施在中芯国际集成电路制造（上海）有限公司等同类工厂都得到应用，技术成熟有效。挥发有机废气（VOC）防治措施可靠性分析有机废气组分主要是异丙醇、丙酮、丙二醇、乳酸等。由C、H、O组成，不含硫、氯等元素，通入天然气燃烧温度约750-850度，燃烧停留时间约1秒钟，有机废气进入沸石浓缩转轮装置浓缩后，在高温下有机物分解完全，燃烧生成CO2和H2O，排放气体可达标。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书有机废气采用由特殊的沸石浓缩转轮将有机溶剂废气浓缩后燃烧处理，再排入大气，这种净化技术有一定先进性，技术是成熟的，其净化效率可达到90%，在中芯国际集成电路制造（上海）有限公司也采用该种净化技术。目前在国内同行业中很少有采用此种技术的企业，此种防治技术是随项目生产装置一起引进的，是提高VOC防治技术的保障。1.111.3噪声污染防治对策分析11.3.1噪声控制措施本工程的噪声污染源主要来自动力设备，如冷冻机组、空压机、真空泵、应急发电机、通风机、水泵等。本项目在工程设计上采取以下措施：1、合理布置噪声源：冷冻机组、应急发电机、空压机、真空泵、水泵等强噪声源均布置在密闭厂房内；冷却塔布置在动力厂房楼顶部；应急发电机布置在配电站室内。2、选择低噪声设备：冷冻站、空压站、水泵等动力设备选用满足国际标准的低噪声、低振动设备，设备都设有减振基础并采用消声措施。3、在建筑采取隔声措施，设备与管道之间的连接采用柔性连接，以减少噪声和振动的传递。4、在资金方面，噪声治理重点是动力厂房设备噪声的控制，对发电机房、空压机房、冷冻机房和废气处理装置、冷却塔噪声等进行控制，尽可能降低生产设备噪声对周围环境的影响。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书本项目动力设备的噪声治理措施分述如下：一、通风机噪声控制1、生产区空调净化、通风系统及动力站空调通风系统本项目生产过程所用通风机主要设置在净化生产厂房和动力厂房，用作厂房内空气净化、空调和通风。在降噪措施方面，采取：所有空调器、风机选用符合国家噪声标准的设备；空调器的风机带减振底座。本项目在设计上拟采用风机减振台基础，空调净化排风系统的主排风管设消声器，排风管道进出口加柔性软接头；门窗均采用隔声门或隔声窗等，以降低风机噪声的影响。2、生产区及生产支持区通风系统生产区及生产支持区一般废气（废热）排风和工艺排风。工艺排风分为酸性废气、碱性废气、有机废气净化系统，处理装置布设在净化生产厂房（FAB11）的屋顶，净化后的工艺废气经排气筒排入大气。在工程设计上除采用风机减振台基础，通风机的进风和出风口均加设消声器，接头处采用柔性软接头；门窗均采用隔声门、隔声窗。对于设置在屋顶的风机，必要时可加设风机隔声罩，以降低风机噪声对周围环境的影响。二、空压机、冷冻机和真空泵噪声控制空压机、水泵、冷冻机和真空泵等动力设备大部分安装在密闭的房间内，对噪声较大的设备，房间内壁铺设吸声材料，采取隔声门、隔声窗等措施，使房间内的噪声控制在85dB(A)以下。三、冷却塔噪声控制7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书冷却塔的噪声与其他的动力设备装置相比，噪声并不突出，但是多数单位的冷却塔由于布设在临近厂界的厂房顶，其噪声对外界的影响不可忽视。采取以下噪声控制措施：(1)选用振动、噪声符合国家标准的水泵设备与冷却塔。(2)控制冷却塔的淋水噪声，在受水盘水面铺设聚胺脂多孔泡沫塑料垫，该材料专门用于冷却塔降噪用的材料，它既有一般塑料的柔软性，又有多孔漏水的通水性，可减小淋水噪声；一般可降低淋水噪声5~7dB(A)。五、柴油发电机噪声控制首先选用噪声符合国家标准的柴油发电机，安装于密闭的发电机房内，并在发电机房的进风道与排风道、排烟系统加装消声器，柴油发电机组基座加装防振垫圈。六、变配电设备1、选用低噪声变压器及低噪声开关2、对变压器加装保护外壳七、水泵水泵基础设橡胶隔振垫，以减振降噪；水泵吸水管和出水管上均加设可曲绕橡胶接头以减振。11.3.2噪声控制措施分析7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书本项目噪声控制措施的关键在于将强噪声源----空压机、冷冻机、真空泵、应急柴油发电机等均布置在密闭的厂房内，如将水泵房布置在动力厂房的一层；空压机冷冻机、真空泵等布置在二层内，并采取了较严密的降噪措施；对于设置在屋顶的冷却塔、通风机等，均采取了相应的减振、消声措施。在厂区建筑的总体布置上，工程设计上将主要噪声源----动力厂房布置在主厂房的南侧，距离厂界大于40m，并在厂房四周植树绿化，与所采取的降噪措施相结合，为确保厂界噪声达标创造了主要条件，抓住了本项目降噪的主体，又未忽视局部，厂房布局是合理的。1.111.4固体废物污染防治对策分析半导体生产企业在生产过程中产生的废物，根据我们对国内数家集成电路芯片企业的调查和统计，通常包括固体废物和废液两大类：1、固体废物：主要有废水处理污泥、废活性炭、含砷废物、含汞废物、废化学试剂空瓶、废包装材料、废五金等一般事业性废物以及办公生活垃圾等。2、废液：主要有废光刻胶、废显影液、有机溶剂废液、废酸、废硫酸铵、含氟废液等。对本项目所产生的废弃物，拟采取的处置方案见工程分析表2-19。本项目所产生的固体废物，除一般废物外，还有部分危险废物，如废有机溶剂、废光刻胶等，其主要成分为易燃的有机化合物；废硫酸、磷酸、含氟废液等，具有强烈的腐蚀性、毒性。如处置不当，会造成对环境的污染。对废物的处置的原则是：采用废物由专人负责，分类收集、存放，按废物类型和性质分别处置。1、一般废物废包装材料、氟化钙污泥等，废包装材料由废品回收商收购；7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书氟化钙污泥送具有危险废物处理资质的单位进行处置。2、危险废物(1)废容器、废试剂瓶、废抹布等送具有危险废物处理资质的单位进行处置；(2)废酸、废有机溶剂和废显影液、废光刻胶、含氟废液等，一般有两种处置方式：一是将废酸、废有机溶剂与低浓度废水混合后排入相应的废水处理系统进行处理，但这将增加处理系统的投资和运行费用。二是单独收集后回收利用或者移送有资质的废物处理站处置。因此，从经济性和安全性方面考虑，其处理以第二种处理方式为宜。本项目对废酸和废有机废液的处置，拟采取第二种方式：将废液分类设置管道收集系统和专用收集罐收集存放，再由废液输送泵转入废液运输车送危险废物处理站处置，这样，整个过程基本上可以杜绝废酸、废有机溶剂的滴漏现象。综合上述，本项目拟采取的固体废物的方案，较为全面，安全，处置去向明确，基本上可消除对环境的二次污染。1.111.5绿化实践表明：栽花种草植树，搞好绿化，具有减噪、防尘、美化环境等作用。根据可行性方案，本工程除新建厂房和道路占地外，其余用地均进行绿化，种植草坪和树木，本工程拟投入绿化资金165万元，以营造半导体生产所需的良好环境。1.211.6环保投资统计本项目环保设施投资情况见表17-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书1-1。根据以上环保投资项目及设施的内容，估算出本项目的环保投资额为5090万元人民币，占本项目总投资的4.0%。表11-1环保设施投资统计表序号项目名称和内容处理方案、工艺处理效果投资额（万元）1废水处理系统4530(1)酸碱废水中和处理系统酸碱中和生产废水排放达到GB8978-1996三级标准1500(2)含氟废水处理系统氟化钙絮凝沉淀氟化物去除率96%，生产废水排放达到GB8978-1996三级标准600(3)CMP废水处理系统絮凝沉淀法SS去除率94%180(4)含氨废水处理系统吹脱法＋硝化法氨氮去除率95%270(5)有机废水处理系统生化法COD去除率85%150(6)废酸、有机废液收集系统收集贮槽+收集管线全部收集外运处置9007-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书(7)规范废水排放口建设包括排污井、标志牌20(8)排污口在线监测装置35(9)清洗水回收系统离子交换+活性碳吸附回收率52%850(10)生活污水处理系统化粪槽、隔油槽生活污水排放达到GB8978-1996三级标准252废气处理系统2000(1)酸性、碱性废气处理系统碱液喷淋吸收，排气筒高度30米处理效率85~95%，达到GB16297-1996二级标准810(2)有机溶剂废气处理系统沸石转轮＋燃烧处理效率>90%，达到台湾《半导体制造业空气污染管制及排放标准》GB16297-1996二级标准5007-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书(3)工艺尾气处理系统POU在线处理装置+碱液喷淋吸收达到荷兰排放导则NER和GB16297-1996二级标准6903噪声控制厂界噪声达到GB12348-90Ⅲ类标准3004固体废物处置300危险废物包括贮存、运转、处置避免流失200一般固体废物包括贮存、运转、处置避免流失1005厂区绿化1651～5总计72951.111.7小结对本项目拟采取的环境保护对策措施进行技术经济论证的结果表明：本项目拟采取的废水处理方法技术较为先进、处理效率高，系统运行稳定、处理费用适中、可行；废气、噪声治理方案采用的都是一些通用、成熟和有效的方法；固体废物和废液去向明确，能得到妥善处置。从国内外同类企业多年来的运行经验和实测数据来看，本项目环境保护措施选择适当，能够产生较好的效果。12清洁生产7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书12.1清洁生产介绍清洁生产是一种新的创造性的思想，该思想将整体预防的环境战略持续应用于生产过程、产品和服务中，以增加生态效率和减少人类及环境的风险。对于生产过程，要求节约原材料和能源，淘汰有毒原材料，减降所有废弃物的数量和毒性；对产品，要求减少从原材料提炼到产品最终处置的全生命周期的不利影响；对服务，要求将环境因素纳入设计和所提供的服务中。简言之，清洁生产就是使用更清洁的原料，采用更清洁的生产过程，生产更清洁的产品或提供更清洁的服务。《建设项目环境保护管理条例》规定：“工业建设项目应当采用能耗小、污染物产生量小的清洁生产工艺，合理利用自然资源，防止环境污染和生态破坏”；国家环保局[环控（1997）232号]《关于印发国家环保局关于推行清洁生产若干意见的通知》中，明确提出建设项目的环境影响评价应包括清洁生产的内容，具体要求：（1）项目建议书阶段，要对工艺和产品是否符合清洁生产要求提出初评。（2）项目可行性研究阶段，要对重点原料选用、生产工艺和技术改进、产品等方案进行评价，最大限度地减少技术和产品的环境风险。（3）对于使用限期淘汰的落后工艺和设备，不符合清洁生产要求的建设项目，环境保护行政主管部门不得批准其项目环境影响报告书。（4）所提出的清洁生产措施要与主体工程“同时设计、同时施工、同时投产”。12.2本项目清洁生产方案拟建项目建成投产后，公司将环保、健康和安全放在其经营的首位，重点从以下四个方面开展清洁生产工作：(1)7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书强化清洁生产的管理，包括完善生产工艺和生产过程的控制能力，优化操作，尽量减少“三废”的产生；(2)建立和健全相应的规章制度及奖惩原则，提高员工的环境保护意识；(3)技术改造和开发方案，包括生产工艺和设备的改良、新型无废或少废技术和环境友好设备与材料的应用；将清洁生产的概念和工艺设计贯穿到技术改造中，力图在生产工艺设计中考虑将对环境的影响降到最低。(4)产业方案，包括突破工艺界限的全流程综合环境设计等。根据国内同类企业开展清洁生产的经验，清洁生产的方案应体现生产全过程以及采取预防污染的综合措施。本项目清洁生产的方案见图12-1。图12-1清洁生产方案示意图芯片设计体现预防污染的宗旨调整原材料和能源结构1.选择无毒或低毒原材料2.采用清洁能源强化企业管理建立健全企业质量管理体系目标：节能、降耗、减污工艺管理设备管理原材料管理生产组织管理环境管理贯彻各项环境管理制度落实污染治理措施生产调度管理生产组织形式包装物管理储运管理回收利用处置定额管理技术革新维修保养操作规程工艺标准参数清洁生产工艺生产过程控制少量污染物末端治理达标排放，不产生二次污染12.3清洁生产方案分析12.3.1建立企业内部质量管理体系，强化企业管理7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书企业管理措施是推行清洁生产的重要手段。由于管理措施一般不涉及生产的工艺过程，花费较少，却可以取得较大的效果。清洁生产要贯穿生产的全过程，落实到公司的各个层次，分解到生产过程的各个环节，并与企业管理紧密地结合起来。实践表明，切实可行的企业管理措施可能削减约40%的污染物，并使生产成本大为降低。12.3.2优化生产工艺在生产工艺、技术和设备的使用上，注重清洁生产意识，努力提高产品的质量、生产效率和合格率，不仅能降低生产成本，取得很好的经济效益，也减少了污染物的产生和排放，具体体现清洁生产的宗旨。根据集成电路芯片生产用水量大的特点，在生产的各个环节进行节水，如冷冻系统、空调系统、工艺设备冷却水系统，采用循环冷却，尽量减少冷却水的损耗，努力提高水的重复利用率，使水的重复利用率达到95%以上。公司整个化学品的配制流程封闭化，对使用的高纯化学试剂、工艺气体，在化学品库采用统一配置，采用密闭管道输送，杜绝了料液的跑、冒、滴、漏，提高了物料的利用率，也相应减少了污染物的排放，从而降低了废水、废气的处理费用，是实施清洁生产的良好举措。在噪声控制方面，公司的辅助动力设备在设计选型时，注意选用进口的低噪声设备，很大程度上减轻了动力设备的噪声对周围环境的影响。12.3.3合理选用、严格管理原辅材料对于生产上所用的原辅材料，在满足生产工艺要求的前提下，应尽量选用价格适中、毒性较小的材料替代毒性较大材料。这样，能从源头上减轻可能产生污染物的毒性，从而实现清洁生产的宗旨。12.3.4建立先进的生产工艺配送系统为适应集成电路芯片生产高性能化、高集成化生产的需要，化学品和工艺气体保质保量的配送和供应，成为清洁生产中至关重要的一环。一、工艺气体供应系统7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书由于集成电路芯片生产使用的气体种类较多，其中许多是危险性大的有害气体。所以，向使用点稳定而连续地供应高质量气体，在安全、防泄漏、防火等方面的措施显得犹为重要。本项目工艺用气供应系统分为：1、大宗气体供应系统：包括工艺氮气（PN2）、工艺氧气（PO2）、工艺氢气（PH2）、工艺氩气（PAr2）、工艺氦气（PHe2）等。GN2、PN2、PO2、PH2、PAr及PHe的气源设在厂区内的气体站，由选定的气体供应商为其供给管道气体。所有大宗气体管道均经过管桥配送到主厂房。主厂房的气体分配系统由主配管系统及分支管系统组成。工艺气体经气体预过滤器、纯化器、后过滤器均由管道输送至设备使用点。2、特种气体供应系统：集成电路生产的掺杂、刻蚀等使用的特殊气体，分为惰性气体类、腐蚀性气体类/有毒气体/易燃气体系统类、硅烷系统类等。特殊气体在生产区的独立的气体间里，设置特殊气体输送气柜；易燃和有毒气体柜存放在有毒易燃气体间；惰性气体和腐蚀性气体柜存放在惰性气体和腐蚀性气体间。采用的安全防范措施：(1)所有的气柜配备有自动喷淋系统和控制盒；(2)在所有有害气体散发处设置了一般排风系统和紧急排风系统；(3)设置有害气体探测和报警系统，并在工艺设备和有毒气体排放口设置监测点；(4)自燃/易燃、腐蚀性/毒性特气钢瓶柜均采用两瓶柜，除惰性气体间外其余类别的特气钢瓶柜间均设置专用检漏工艺氮气钢瓶架和工艺氮气吹扫系统及动力氮气抽真空系统。除惰性气体外所有房间安装氮气吹扫盘。二、化学药品配送控制系统本项目生产所使用的化学药品可分为酸性、碱性、有机溶剂类。工艺化学品及浆料输送系统由化学品及浆料输送模块，混合罐，日用罐，分配管道系统，坑槽与输送泵，控制和监测系统。管道系统的前端设有取样点，共设置有19套化学品管道输送系统。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书化学品系统及其相关供应与混合站位于厂房一楼，化学品通过分配管道由CDM至位于生产车间洁净下夹层的阀门箱，再至工艺设备。输送将由输送系统完成，除浆料管道系统采用循环管网外，其余分配管道系统采用枝状管网。化学品配送系统由化学药剂分配装置、混合罐、日用罐、分配管道和一个监控系统所组成；通过分配管道为各工艺设备使用点提供高纯度化学品。为杜绝药品输送中的跑、冒、滴、漏现象，保证系统的安全运行，采取了以下措施：1、根据化学品的性质，采用不同材质的储罐和管材；分别考虑防火、防爆、耐腐蚀和排风要求，同时采用高纯氮气充填容器，以保证化学品的纯度和洁净度。2、利用双管道输送至使用，输送过程中很容易检测管道的泄漏情况，以保证化学品系统安全可靠地运行。3、对于挥发性的化学试剂(HCI、HF49%和NH4OH29%)，其分配阀门箱设计排风管道，以便一旦发生泄漏将及时排除挥发性酸性气体。4、对输送系统安装排风探头、溶剂分配间热探头、隔膜泵和阀门箱中安装渗漏探头；过滤器上安装压力显示器等；5、药剂/浆剂间均设液体溢出围堰，所有分配间均设带FRP格栅罩管沟和集水坑；每个分配间均设计废液收集坑和泵系统。发生事故时，药剂分配设备和罐的废液自然排至相关区域/房间的废液集水坑内，并被泵抽到适当的场所处理。当集水坑发生溢流时，室外灯光被激活报警。6、在药剂房间内提供水龙头接口、安装洗眼器和安全淋浴装置。化学药品配送系统示意图见图11-2。废液回收槽N2贮槽使用点供给管废液回收系统使用点使用点洁净室过滤器7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书图11-2化学药品配送系统示意图化学品自动配送系统基本上杜绝了在洁净室内由操作人员从瓶中量取或称取药品时可能导致容器的污染，操作人员本身产生的灰尘污染，以及药瓶倾倒、破裂而造成操作人员受伤的危险性。具有如下优点：1、避免操作者与危险化学品直接接触，保证员工健康；2、能够降低药液的微尘污染；3、容易进行药液的纯度、洁净度、混合比等质量控制；4、能最大效率地利用药品和减少污染物的排放，稳定产品质量；5、将控制系统应用于一些价格昂贵的药品时，其环境效益和经济效益更加显著。如美国的一家集成电路芯片生产企业建立光刻胶自动分配系统后，减少了35%的药品浪费，从而降低了产品成本。公司通过这些回收措施，既提高资源的再利用率，也减少了向环境排放的污染物负荷量，具有一定的环境效益和社会效益。12.3.5加强污染治理，推行清洁生产清洁生产的一个重要措施之一，主要着眼于过程控制和源头削减。采取积极的污染治理，使废水、废气等污染物的排放均能达到国家和地方环保标准，是清洁生产不可缺少的重要一环。(1)废水治理：清污分流，做到生产废水和生活污水、含氟废水和酸碱废水、高浓度含氟废水和低浓度含氟废水分开，各类废水分别经厂区不同的下水管道收集，各行其道，分类治理。同时，在废水处理系统中安装了自动监控系统、自动控制阀等，避免造成因人工操作不当而造成的浪费和污染环境，确保废水处理系统长期不间断地正常运行，防止废水事故排放可能产生的危害。(2)废气治理：工程上设置有碱/酸液喷淋吸收系统对生产过程中产生的酸/碱性废气进行处理。废气洗涤塔排水为喷淋塔中多次循环使用的浓缩水，洗涤水的多次循环使用节约了用水，也降低了处理费用。(3)7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书噪声控制：对工程上动力设备等噪声源，在工程设计上采取隔声、吸声和降噪等措施，可有效地控制噪声对周围环境的影响。12.4项目生产工艺技术及生产能力分析20世纪末期，我国集成电路芯片制造厂主要采用5～6英寸硅片、0.8～1微米技术。到2001年底，我国内地集成电路芯片最高的生产技术是8英寸、0.25微米。我国主要集成电路芯片制造企业生产技术与生产能力统计，见表12-1。表12-1我国部分芯片制造企业的技术与生产能力统计表企业名称生产技术硅片尺寸（英寸）生产能力（片/月）华润集团公司2~5微米（双极）0.5~3微米(MOS)1~1.5微米(MOS)0.6微米(MOS)4~55561500010000200010000上华半导体公司0.5微米(MOS)440000华越微电子有限公司5微米(双极)2微米(双极)3~551500010000上海贝岭股份有限公司1.0~2微米(MOS)4140007-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书上海先进半导体制造有限公司2~3微米(双极)0.6微米(MOS)0.25微米568300001500030000首钢NEC电子有限公司0.5~1.2微米68000杭州友旺电子有限公司2~3微米(双极)418000杭州士兰0.5微米515000南科微电子公司1~3微米(CMOS)620000乐山－菲尼克斯半导体有限公司0.25微米637400苏州和舰科技0.25微米832000Motorola天津0.35微米82000～5000上海中芯国际0.25~0.18微米810000～20000上海华虹NEC电子有限公司0.25~0.35微米(MOS)825000天津中芯国际0.35微米8100007-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书在集成电路技术发展水平上，一直以其集成度和特征尺寸来衡量其先进性的，其发展规律30年来与著名的摩尔定律一致：“每隔三年，集成度增加4倍，特征尺寸缩小√2倍”，这一趋势预计仍将维持到未来的10年。从线宽来看，集成电路的发展已真正达到深亚微米时代。2002年，DRAM和CPU主流工艺是0.18-0.15微米，DSP等复合工艺产品主流工艺是0.25微米，模拟电路主流工艺是0.35、0.5微米。目前，集成电路的规模生产和技术水平已由0.35微米特征尺寸转向0.25微米，并正向0.18微米和0.13微米过渡。泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司的8英寸集成电路芯片生产线技术计划从美国引进。该项目采用国际流行的CMOS工艺，该生产技术是规模经济的大生产技术，线宽水平为0.13～0.25μm。工艺技术由美国的有关公司提供。此外，公司将不断进行新工艺开发与工艺优化工作，保持工艺技术的领先与工艺技术的多样性，拓宽加工产品种类，发展客户，占领更大的市场份额。12.5清洁生产指标先进性分析目前，国家公布的清洁生产名录，尚无集成电路芯片生产工艺的相关内容。我们根据国内正在建设的8寸片集成电路芯片生产线的有关资料，统计本项目与国内82寸内某芯片厂单位（片）产品物耗、能耗指标。12.5.1本项目8英寸晶圆片成本优势分析泷芯宇通公司工艺技术定位在0.13～0.25µm，工艺设备以8英寸0.13～0.25µm设备为主，适应加工精度的要求。该公司生产设备以全新设备为主，采取分阶段采购方式，节约了投资。同时生产设备全套购自国外全新成熟设备，具有较好的可靠性。12.5.2物耗、能耗、水耗分析（1）原料的清洁性本项目采用国际环保原材料，不采用以往落后工艺所使用的化学品：1、含氯的有机溶剂；2、会破坏大气臭氧的物质，如氟利昂；7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书3、以低毒性化学品替代高毒性化学品，如丙二醇醚取代乙二醇醚；4、没有采用高毒材料砷烷；（2）能源选用的合理性烟台市福山区市政配套设施完善，有充足的天然气、电力供应，项目所在地出于规划中确定的工业用地，已建好城市自来水管网及雨水排放和污水排放管网。根据福山区的能源供给情况，采用专业化协作原则。（3）单位产品物耗、能耗和节能措施分析本项目建成投产后，生产中使用的化学品、工艺气体等，采用工艺气体供应系统、化学品配送系统配置，采用密闭管道输送，杜绝跑、冒、滴、漏现象。一、物耗指标本项目主要原材料消耗，采用类比的方法，与国内某8英寸芯片厂单位产品（消耗量/片）的主要原材料消耗对比分别见表12-3。从表中可见，在单位产品主要原材料耗量上，磷酸、氢氟酸、氢氧化铵和光刻胶、异丙醇等的单位产品消耗量均低于国内8英寸厂；而硫酸、盐酸、和显影剂则高于国内8英寸厂。表12-38″芯片生产线单位产品主要原辅材料用量对比序号名称单位用量国内某8″厂本项目1磷酸Kg/片0.270.0682硝酸kg/片0.050.0283硫酸kg/片1.962.0424盐酸Kg/片—0.035氢氟酸kg/片2.740.2047-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书6氢氧化铵kg/片0.740.0957过氧化氢(30%)kg/片0.713.0428光刻胶L/片0.230.109显影剂L/片1.212.20210丙酮Kg/片—0.01311异丙醇Kg/片0.660.568二、能耗指标本项目所需单位产品能源动力消耗与采用类比的方法，与国内某12英寸芯片厂单位产品（消耗量/片）的主要能源消耗对比分别见表12-4。表12-48″芯片生产线单位产品主要能源动力消耗对比序号名称单位用量国内某8″厂本项目1自来水m3/片11.74.322高纯水m3/片5.65.513电KW·h/片864537.94大宗工艺气体m3/片—55.75压缩空气m3/片136.459.97-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书6冷量KW1271837蒸汽Kg/片379.6539.3从表12-4可见：本项目投产后，除冷量、蒸汽外，其他主要能源动力消耗均低于国内某8英寸芯片厂。本项目单位产品水耗量与国际先进水平对比见表12-5。表12-5扩产前后水耗量与先进水平比较项目自来水耗量（吨/天）月产量（万片）单位水耗量（吨/片）国际8”晶圆厂先进运行经验全厂水回收率本项目8”芯片400034.08.0吨/片63.80%12.5.3节能措施分析本项目主要耗能设备为生产设备、冷水机组、空调机、水泵等，均为电能消耗设备。生产中蒸汽采用开发区集中供应的方式。本项目耗能较大的是维持生产现场环境恒温恒湿和洁净度的空调通风系统及工艺生产设备及使用的物质。在设计中采用了以下的措施以节约能源，降低生产成本：1、合理性选用能源本项目根据园区的能源供给情况，主要能源采用电能和蒸汽，园区均能供给。生产所用大宗气体由专业气体公司采用管道供应；特种气体由专业气体公司负责进口、运输、存储、更换气瓶及管理，并按计划供给生产使用。尽量采用节能新工艺、新设备，以充分利用能源。在设备选型上采用具有国际或国内先进水平的高效低耗的设备，以降低能耗7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书2、合理布置工艺平面工艺流畅，动力设施尽量靠近生产线，减少管道输送能量损失，以确保最经济的洁净室面积达到较高的单位洁净室能力。3．建筑物绝热措施（1）FAB筑(生产厂房)、CUB(动力厂房)、办公楼等主要建筑均采用外墙围护结构，采用保温措施，减少能量散失。（2）采用双层门的设计，减少能量损失。（3）外窗都采用密封条密封。（4）净化间的门采用密封条密封，减少净化空气的损失。4、通风、空调节能（1）采用带热回收器的冷冻机组，冬季回收冷凝器余热供新风空调器和UPW加热用。（2）新风空调器和工艺排风机均设置了变频驱动装置，以降低运行能耗。（3）废气系统采用变频控制电机的速度及风速。（4）生产区采用安装带风机的过滤器(FFU)的洁净室形式，比传统式的洁净室可节约运行费用。（5）所有的空调器、风机等均为高效率节能设备（6）空调及净化空调系统风管、水管均保温，减少热量损失（7）洁净室空调净化系统采用温湿度自动控制，使空调机组及动力设施严格按照环境参数运行，以节省能耗，减少能量损失，（8）冷却塔的喷淋水由电导度计控制。5、给排水节能（1）所有设备冷却水全部循环利用（2）制冷系统的冷冻水二次泵，采用变频调节。（3）选用的卫生厕具都为节水型。（4）选用国际上先进的节能型水泵、生产生活加压泵组，生产给水加压泵组、生活给水加压泵组生产废水加压泵组均为变频调速驱动。（5）冷却塔风机均为变频调速驱动。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书（6）所有设备冷却水循环使用；对洁净厂房内部份清洗后的高纯清洗水进行回收，节约能源及水资源。（7）采用雨水回收系统，设置雨水收集池，收集雨水用于绿化等用途。（7）项目投产后,拟对洁净厂房内硅片部分清洗后的工艺清洗水进行回收，纯水回收率达到70.0%以上。（9）冷却塔在冬天可设置自冷却的模式。（10）主要动力设备引进耗能指标低的设备，并采用计算机控制，能按照负荷变化动调节达到最佳运行状态，以降低能耗（11）国产配套机电设备选用国家推荐的节能型产品（12）超纯水的反渗(UPWRO)浓缩水经脱盐处理后作冷却塔补充水使用。6、电器节能（1）电力系统尽量采用高压配电，减小回路输电电流降低能耗（2）变电站靠近负荷中心，终端配变电站按照用电负荷合理分布，以减少线路损耗。（3）合理布置配电设备，减小配电级数，减少设备能耗（4）合理选择配电线路，减小线路损耗（5）无功就地补偿，减小无功损耗（6）节电节能设备（7）选择高效日光灯，采用电子镇流器12.6水资源利用清洁性分析拟建项目投产后，公司水资源综合利用情况，见表12-6。表12-6水资源综合利用情况序号废水名称回用方式回用量(m3/d)7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书1纯水站RO浓缩废水回到超纯水系统，作为再生树脂反洗水650纯水站超滤浓缩废水冷却塔补水2502空调冷凝水冷却塔补水1003空调循环水和冷冻水的不定期排水冷却塔补水6004研磨废水处理回收冷却塔补水2405研磨制程清洗水冷却塔补水1626低浓度工艺清洗废水纯水站补充水（回初纯水系统）59007冷却塔排水回用冲厕、绿化、清洗道路、外墙清洗282总计818412.7清洁生产措施建议废水的资源化对于缓解区域性水资源短缺和节约用水具有积极的意义。目前，国外芯片厂水的回收率可达70～75%甚至更高。公司采取了多项节水措施，对洁净厂房内硅片部分清洗后的清洗水进行回收，从整体上分析可知水的回收率为96.7%，已经处于先进水平，建议在今后的发展过程中，按照质量管理体系（ISO9002/QS-9000/ISO14001）的要求，持续采取世界先进的清洁生产工艺，切实贯彻落实各项清洁生产措施，保障清洁生产的推行，不断进步。12.8小结清洁生产是以环境与经济协调发展为目标，以“7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书节能、降耗、减污”为宗旨，以良好的企业管理、优化合理的工艺、有效的原材料和废物的综合利用为手段，将污染物消除或削减在生产过程中，使生产末端处于无废或少废状态，实现工业生产全过程控制的一种全新工艺。它将产品生产和污染治理有机结合起来，取得资源、能源配置利用的最大效率和环境成本的最小量化，是深化工业污染防治、实现可持续发展的根本途径。本项目生产工艺的特点为：“高精技术，超洁净度”，也将通过在内部管理、生产工艺与设备选择、原辅材料选用和管理、废物回收利用、污染治理等几方面采取合理可行的清洁生产措施，有效地控制污染，较好地贯彻清洁生产。本项目在建成投产后，认真贯彻落实各项清洁生产措施，保障清洁生产的推行；同时，不断采取与世界先进水平同步的先进清洁生产工艺，持续进步，成为国内半导体生产行业中各方面的领先企业。13污染物总量控制分析13.1总量控制原则、对象13.1.1总量控制原则国家提出的“总量控制”实际上是区域性的，也就是说，当局部不可避免地增加污染物排放时，应对同行业或区域内进行污染物排放量削减，使区域内污染源的污染物排放负荷控制在一定数量内，使污染物的受纳水体、空气等的环境质量可达到规定的环境目标。13.1.2总量控制对象近年来，随着我国环境保护力度的不断加强，“十五”期末，废水中的石油类、六价铬、氰化物、汞、镉、铅、砷等有毒污染源已经得到了较好地控制，“十五”期间，国家及时对总量控制规划进行了调整，由原来的13种总量控制污染物缩减为仅对二氧化硫、烟尘、工业粉尘、化学需氧量、氨氮和工业固体废物等6种主要污染物实行排放总量控制计划管理。CODcr、烟尘、SO2、工业粉尘为我省总量控制计划的重点项目。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书本项目所排污染物中应实行总量控制的有：废水中的CODcr。本评价在工程分析的基础上，计算出本项目的废水、废气、固体废物年污染物排放总量，提供给环保管理部门，作为制定该公司总量控制指标时的参考。13.2水污染物总量控制指标项目生产废水和生活污水经分别处理后均能达到《污水综合排放标准》GB8978-1996三级标准，主要污染物年排放量见表12-1。表12-1废水污染物总量控制建议指标（kg/a）类别排放总量污染物名称产生量处理削减量排放量备注生产废水114.416万t/a氟化物(以F计)57167.154863.12304NH3-N46116438122304磷酸盐(以P计)2156.41792.8363.6CODCr16318826568136620TOC80899.212571.268328SS67755.629631.638124生活废水4.428万t/aNH3-N1116216900CODCr15516435611160TOC644414764968SS975625207236对本项目排入烟台市套子湾污水处理厂建议的废水污染物总量控制指标见表12-2。表12-2废水污染物总量控制建议指标污染物名称单位年排放量建议控制指标CODCrt/a136.62140.0NH3-Nt/a2.3042.413.2废气污染物总量控制指标7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书本项目经处理的酸、碱废气和锅炉烟气中的主要污染物排放指标均能分别满足相应的排放标准，废气中主要污染物年排放量统计见表12-3。表12-3废气中主要污染物年排放量统计废气类别废气排放量(万m3/a)污染物年排放量(t/a)F-HCl硫酸雾NH3NO2SO2烟尘酸性废气4300000.600.281.21—0.095——碱性废气76000———0.73———锅炉烟气24006————44.19.50.86合计5300060.600.281.210.7344.29.50.86因此，建议本项目废气以满足排放标准的污染物排放量，作为该公司的总量控制指标，见表12-4。表12-4废气污染物总量控制建议指标污染物名称单位年排放量建议控制指标SO2t/a9.510.0烟尘t/a0.861.0013.3固体废物总量控制指标公司产生的废弃物主要有固体废物、有机废液两类，公司建成投产后全厂产生废弃物处置情况见表13-5。从表中可见，公司将废弃物全部转交给具有危险废物处理资质的单位、废品回收商以及环卫部门处置、处理或回收，无固体废物直接外排。表13-5全厂固体废物排放统计表类别废弃物名称年排放情况(t/a)处置去向产生量转移量回收量废光刻胶、废显影液142.5142.5/7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书废液具有危险废物处理资质的单位进行收集处置混合有机溶剂废液70.570.5/硫酸铵废液237.6237.6/异丙醇废液560560/废酸、废硫酸铵（废硫酸、磷酸等）928.8928.8/浓废光阻液115.2115.2/含氟废液128.5128.5/小计2183.12183.1/固体废物废芯片5.6/5.6生产厂家回收电子混合废料15/15含砷废物33/具有危险废物处理资质的单位进行收集处置含汞废物0.40.4/废化学试剂瓶7575/废水处理污泥1164.61164.6/废包装材料等一般事业废弃物97.5/97.5废品回收商办公及生活垃圾540540/城市垃圾处理场小计1901.11783118.1合计4084.23966.1118.113.4小结本项目拟采取有效的废水、废气、固体废物处理、处置措施，可大大削减外排污染物量，建成投产后，污染物总量控制指标建议为：1、废水：CODCr140.0t/a，氨氮2.4t/a；2、废气：SO210.0t/a，烟尘1.00t/a。14环境经济损益分析14.1项目环保投资分析泷芯宇通（烟台）集成电路有限公司8英寸集成电路芯片建设项目，其生产工艺特点为：“高新技术，超洁净度”。所用原辅材料纯度高，用量较少，产生的“三废”量少，浓度低。主要污染源有：生产废水和废气、动力设备噪声以及固体废物等。本项目工程总投资12.6亿美元（约合人民币100亿元），环保投资6600万美元，约占工程总投资的5.2%。各项环保投资见表14-1。表14-1环保设施投资比例7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书序号污染项目污染治理装置投资（万美元）1废气治理酸性废气（包括特殊废气处理装置）1450（20.0%）碱性废气600（9.1%）有机废气400（6.1%）2废水治理废水回收2800（42.4%）废水处理500（7.6%）3噪声预防设备配备减振基础，墙面采用吸声材料，进口的低噪声动力设备等350（5.3%）4固体废物处理废液分类收集350（5.3%）5其他绿化等150（2.3%）合计6600（100%）14.2环境效益分析本项目建成投产后，各项环保设施投入运行，废水、废气、噪声治理效果列表于15-2～15-4。表14-2废水治理效果统计废水处理系统废水处理量t/d主要污染物处理前处理后处理效率(%)产生量kg/d浓度mg/L排放量kg/d排放浓度mg/L含氨废水处理系统（包括含氨废水、废气洗涤塔废水）228NH3-N128.1561.86.428.195含氟废水574pH*1～66～9－7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书处理系统（包括含氢氟酸、磷酸废水、废气洗涤塔废水）F-158.8276.76.411.196磷酸盐（以P计）5.69.80.621.189CODCr84.9147.949.285.842TOC42.574.025.544.440SS60.3105.030.252.550研磨废水处理系统120pH*7～126～9/SS48.2402.02.924.194有机废水处理系统120pH*5～66～9CODCr44.8373.36.756.085TOC22.4186.74.4837.380SS7.68640.776.490最终pH调节（包括含氟废水、含氨废水、研磨废水、酸碱废水和纯水站离子交换再生酸碱废水）2272pH*1.5～106～9F-6.42.86.42.8－NH3-N6.42.86.42.8－磷酸盐（以P计）1.010.441.010.44－CODCr379.5167.0379.5167.0－TOC189.883.5189.883.5SS105.946.6105.946.6－生活污水123pH*6.5～9.06.5～9.0－CODCr43.135031.025228BOD525.821018.6151.228TOC17.9145.513.8112.023SS27.122020.1162.826NH3-N3.125.32.520.718*——pH无单位。表14-3废气处理效果统计废气种类排放参数污染物名称处理前处理后处理效率评价标准达标情况排气筒数量高度(m)排气总量(m3/h)排放速率(kg/h)排放浓度(mg/m3)排放速率(kg/h)排放浓度(mg/m3)排放速率(kg/h)排放浓度(mg/m3)酸性废气430430000氟化物0.741.720.070.1790%0.599.0达标HCl0.330.770.0330.07790%1.4100达标硫酸雾1.353.10.140.3190%8.845达标NOX0.110.260.0110.02690%4.4240达标7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书碱性废气13076000NH30.8611.30.0861.1390%20/达标有机废气13094000异丙醇2.8029.80.141.4995%/320/表14-4主要噪声设备及降噪措施序号噪声源名称数量(台)数量(台)来源源强(dBA)备注治理前治理后1通风机5酸性废气处理系统（包括特殊性废气）≤95752通风机2碱性废气处理系统≤95753通风机2有机废气处理系统≤95754冷冻机组12冷冻站85左右75～802台备用冷冻水一次泵12建筑物外1m处冷冻水二次泵6循环冷却水泵125冷却塔6冷却塔75左右70冷却塔风机6冷却塔90左右856生活/生产加压泵4生活/生产给水系统78左右707热水泵5锅炉房70左右705台备用8真空泵3工艺真空系统80左右701台备用9真空泵2清扫真空系统80左右70701台备用旋风式分离器210新风机组14生产厂房化学品库80～85752台备用空调器机组665～757011风机1065～757012空气压缩机6～7大宗气体供应站（BulkGasYard）≤10075～80建筑物外1m处为75～80膨胀机2～3≤10075～807-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书13柴油发电机6柴油发电机房＜9075～8014主变压器2主变压器室＜70从表14-2~15-4中可见，本项目废水、废气作为重点处理对象，效果明显。本项目废水、废气经处理后，排入环境的主要污染物很少；动力设备产生的噪声采取降噪措施后，对周围环境造成的影响很小。此外，生产中产生的固体废弃物得到了妥善处置，去向明确。这些都有效地减轻了本建设项目对周围环境的影响，取得较好的环境效益。14.3经济效益分析本项目的经济效益是符合实际的，泷芯宇通（烟台）集成电路有限公司8英寸集成电路芯片项目的投资总额及达纲生产后的成本效益见表14-5。表14-5拟建项目主要技术经济指标一览表序号项目名称单位数量备注1生产能力万片/月38英寸0.13～0.25μm2所需人数人15003生产线主要设备仪器台（套）365套4用地面积m21332935总建筑面积m21299146项目总投资万美元126000（1）建设投资万美元100000（2）流动资金万美元260007正常生产年年销售收入万美元1200008正常生产年所得税后利润万美元329039所得税前内部收益率%28.2610所得税后内部收益率%24.4711税后静态投资回收期年5.01含建设期1.5年12税后动态投资回收期年6.15含建设期1.5年7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书由上表可见，本工程税后全部投资内部收益率为24.47%，高于行业基准收益率，6.15年后即可收回全部投资，达年产利润总额32903万美元，说明本项目有较好的盈利能力。总之，本项目有明显的经济效益。14.4社会效益分析1、泷芯宇通（烟台）集成电路有限公司8英寸集成电路芯片项目进一步加速推动国外集成电路产业向我国转移，使我国尽快成为世界集成电路生产制造基地之一。其8″先进制程线，0.13～0.25μm的CMOS工艺技术水平，投产后达3万片，将成为国内先进的芯片生产企业。2、本项目扩产后，员工为1500人左右，公司实行员工本地化，对缓解该地区的就业压力，增加社会安定因素起到了积极作用。公司经济效益良好，在生产过程中产生的污染物能得到有效控制，不会对周围居民及社会环境造成不良影响。公司投入大量资金，采用先进的处理系统对废水、废气和噪声的治理，表明了公司对环境保护的重视程度，这与合资公司高新技术产业的形象是吻合的，对于全面落实国家的环境保护政策，起到了积极的作用。公司属高技术、轻污染企业，符合国家的产业政策和当地总体发展规划，生产过程中产生的污染物能得到有效控制，具有良好的社会效益。14.5小结泷芯宇通（烟台）集成电路有限公司8英寸集成电路芯片项目，拟投入环保投资为6600万美元，占总投资的5.2%，主要用于废水、废气、噪声的治理和厂区的绿化。环境影响经济损益分析结果表明：公司采取的环保措施能够取得很好的治理效果，能很好地保护周围环境，做到了以较少的环保投资取得较大的环境效益，其社会、环境、经济效益较为显著。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书第15章环境管理与监测计划环境管理是环境保护的重要组成部分。通过严格的环境管理可以有效地预防和控制生态破坏和环境污染，保护人们的生产和生活能健康、有序地进行，保障社会经济可持续发展。环境管理的基本任务是以保护环境为目标，清洁生产为手段，发展生产与提高经济效益为目的。环境监测是工业污染源监督管理的重要组成部分，是国家和行业了解并掌握排污状况和排污趋势的手段。监测数据是执行环境保护法规、标准，进行环境管理和污染防治的依据。因此，应建立并完善环境监测制度。15.1环境管理15.1.1环境保护管理体系为做好环境管理工作，公司应建立环境管理体系，将环境管理工作自上而下的贯穿到公司的生产管理中，现就建立环境管理体系提出如下建议：①公司的环境管理工作实行公司主要负责人负责制，以便在制定环保方针、制度、规划，协调人力、物力和财力等方面，将环境管理和生产管理结合起来。②建立专职环境管理机构，配备专职环保管理人员3～5名，兼职管理人员若干名，具体制定环境管理方案并实施运行；负责与政府环保主管部门的联系与协调工作。③以水、气、声等环境要素的保护和改善作为推动企业环境保护工作的基础，并在生产工作中检查环境管理的成效。④按照所制定的环保方针和环境管理方案，将环境管理目标和指标层层分解，落实到各生产部门和人，签订责任书，定期考核。⑤按照环境管理的要求，将计划实现的目标和过程编制成文件，有关指标制成目标管理图表，标明工作内容和进度，以便与目标对比，及时掌握环保工作的进展情况。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书环保管理机构的管理层次见图15-1。公司主要负责人环境管理机构环境管理方针环境管理方案环境管理规章制度生产管理设备管理原材料管理工艺管理环境监测实施运行检查纠正管理考核、评审图15-1项目完成后，环保管理体系图15.1.2环保管理规章制度建立和完善环境管理制度，是公司环境管理体系的重要组成部分，需建立的环境管理制度主要有：①环境管理岗位责任制；②环保设施运行和管理制度；③环境污染物排放和监测制度；④原材料的管理和使用、节约制度；⑤环境污染事故应急和处理制度；7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书⑥生产环境管理制度；⑦厂区绿化和管理制度。15.1.3环保管理机构的职责①贯彻执行中华人民共和国的环境保护法规和标准，接受环保主管部门的检查监督，定期上报各项管理工作的执行情况。②接受环境保护主管部门的检查，定期上报各项管理工作的执行情况；③如实向环保主管部门申报公司使用的各种化学品，如有变更，事先征得主管部门许可，培训并让每个员工掌握这些化学品的危险性、毒性、腐蚀性物质的特征及防护措施。④组织制定工厂内各部门的环保管理规章制度，并监督执行。⑤司内部环保治理设备的运转以及日常维护保养，保证其正常运转；⑥组织参加环境监测工作。⑦定期进行审计，检查环境管理计划实施情况，使环境污染的治理、管理和控制不断得到改善，使企业对环境的影响降到最低程度。15.1.4环境保护管理建议针对本项目的建设和投入营运，提出如下环境保护管理要求和建议①所有与本项目直接相关的污染防治设施的建设必须与项目主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用。②项目竣工投入试运营后，应按照国家环保总局的有关要求申请进行建设项目环保竣工验收。③7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书建议本项目在落实各项环境保护设施时，采用环保主管部门认证合格单位的污染治理技术或设施。15.2环境监测15.2.1环境监测的主要任务公司环境监测以厂区污染源源强排放监测为重点，环境监测的主要任务是：①定期对废水处理站处理设施的废水进口和处理水出口进行监测；②定期对废气处理装置的废气排放口进行监测；③定期对厂界噪声、主要噪声源进行监测；④对环保治理设施的运行情况进行监测，以便及时对设施的设计和处理效果进行比较；发现问题及时报告公司有关部门；⑤当发生污染事故时，进行应急监测，为采取处理措施提供第一手资料；⑥编制环境监测季报或年报，及时上报区、市环保主管部门。15.2.2环境监测计划本项目排放的主要污染源是：排放含氟废水和酸碱废水、排放酸碱废气、辅助动力设备产生的噪声等。为切实控制本工程治理设施的有效地运行和“达标排放”，落实排污总量控制制度，根据《建设项目环境保护管理条例》第八条的规定，本环评对建设项目实施环境监测建议。环境监测计划建议见表15-1。表15-1环境监测计划建议类别监测位置测点数监测项目监测频率生产废水含氟废水处理系统排口1pH、氟化物、CODCr、SSr1次/日含氨废水处理系统排口1pH、氨氮1次/日研磨废水1pH、SS1次/日有机废水1pH、CODCr、SS1次/日酸碱废水中和处理系统排口1pH、SS1次/日生产废水总排口1pH、SS、CODCr连续7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书、氟化物、氨氮、磷酸盐生活污水生活污水总排口1pH、SS、CODCr、BOD5、氨氮、磷酸盐2次/年废气酸性废气排气筒13氟化物、HCl、H2SO4雾、NOX2次/年碱性废气排气筒6NH32次/年有机溶剂废气排气筒8非甲烷总烃、异丙醇、丙酮2次/年噪声厂界外1米9厂界噪声1次/季公司应当做好排污口的规范化建设，在废水总排口安装流量计和主要水质指标如CODCr的在线监测装置，确保连续有效控制废水达标排放。公司内废水监测室仪器设备基本能满足内部废水处理监控计划要求，对于废水总排口、废气、噪声可委托当地有资质的环境监测站测试。环境监测机构应将监测结果记录整理存档，并按规定编制表格或报告，报送环保管理部门和主管部门。第16章公众参与本次项目根据《中华人民共和国环境影响评价法》及《环境影响评价公众参与暂行办法》的规定，进行了本次项目环评的公众参与。15.1公众参与的过程及方式15.1.1公众公告内容15.1.1.1建设单位于2006年3月6向公众公告了下列信息：①建设项目的名称及概要；7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书②建设项目的建设单位的名称和联系方式；③承担评价工作的环境影响评价机构的名称和联系方式；④环境影响评价的工作程序和主要工作内容；⑤征求公众意见的主要事项；⑥公众提出意见的主要方式。15.1.1.2建设单位于2006年3月19向公众公告如下内容：①建设项目情况简述；②建设项目对环境可能造成影响的概述；③预防或者减轻不良环境影响的对策和措施的要点；④环境影响报告书提出的环境影响评价结论的要点；⑤公众查阅环境影响报告书简本的方式和期限，以及公众认为必要时向建设单位或者其委托的环境影响评价机构索取补充信息的方式和期限；⑥征求公众意见的范围和主要事项；⑦征求公众意见的具体形式；⑧公众提出意见的起止时间。15.1.2公众公告发布方式建设单位采取在建设项目所在地的公开免费发放包含有关公告信息的印刷品方式发布信息公告。15.1.3环境影响报告书的简本公示方式　　本次建设单位制作包含环境影响报告书的简本的专题网页，在网上公示。第17章厂址选择的环保可行性论证17.1项目选址符合城市发展规划本次项目位于烟台市福山区工业用地内，处于福桃路与五区连环路交叉口的西南角。烟台市城市性质是：以高新技术产业、商业、旅游为主导的现代化、国际性港口城市。城市发展要7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书加快芝罘、福山、开发区的融合和牟平区及蓬莱市相关区域的市区一体化协调发展进程，促进中心城市发展；建立空间充裕、规划到位、发展有序、超前灵活的城市用地控制体系，增强规划弹性，适应超常规发展的需要。根据总体规划福山规划的工业用地位于福山区南部，距离莱山机场7km；与主城区联系便捷。该地区也是烟台的西南门户，站立在烟台对外开放的最前沿；并位于绕城高速北侧，有着极其优越的区位条件。南部规划的工业用地功能分区“一核、一带、四大功能片区”。以公共服务片区为中心，以滨水休闲带、成龙线和福桃路为基本骨架，形成轴带结合、梯度推进的细胞组团式集合布局结构，并将该布局结构融入土地利用的自然生态规划中。福山规划的业用地确定了通过优质生态化与经营自然环境资本带动社会经济全面发展的生态型、服务性现代化之路。本项目位于福山规划的南部工业用地其中四个“功能社区”的“硅谷社区”。总体看来本集成电路芯片项目厂址选择和建设内容符合烟台市城市发展规划及福山区城市规划。17.2厂址周围土地利用现状拟建项目厂址所在位置距离城市中心较远，厂址周围较为空旷，附近土地前身为荒芜土地，基本无植被覆盖。现经土地平整作为烟台市城市总体规划的工业用地。厂址周围1公里范围内村庄仅前埠村居民点一处，距离约150m。该居民点21户居民将于2007年上半年完成整体搬迁工作，这部分居民将被统一安置在福山区集中建设的芝阳小区和城市新建居民小区内，福山区人民政府已经做出搬迁工作说明（见附件）。可见，厂址周围土地利用现状等适合项目建设。17.3交通情况项目厂址位于烟台市福山区，距离莱山机场7km，至烟台火车站7km，至八角港码头15km。交通运输十分便利，适合项目建设。17.4区域环境现状经过环境质量现状监测，可以看出厂址区域环境质量现状良好，适合项目的建设。17.5公用设施配套7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响报告书根据烟台市水资源规划，可供福山区（包括福山高新区）利用的水资源总量为11891万m3/d，目前全区总用水量5370万m3/d，其中工业用水量为905万m3/d，现状供水余量为6521万m3/d，根据福山区发展规划，生活用水量需增加20万m3/d，规划建设项目需增加水量150万m3/d，供水余量为6351万m3/d。本次项目用水为6800m3/d，根据烟台市水资源规划，能够满足项目用水。项目厂址供水管网已经铺设，可以满足用水需求。城市市政污水管网已经铺设到厂址附近，项目排水可以直接进入污水管网进入套子湾污水处理厂处理。厂址区域电力、通讯条件良好。热电进区便利。17.6对周围环境影响经过工程分析，本次项目产生的污染物主要有生产废水、生产废气、生活污水、动力设备噪声以及固体废物和有机废液等。采用先进的生产工艺，“三废”排放量小，污染物浓度低，与之配套的环保措施可行，治理方案合理，各项污染物指标均能达到标排放。对周围环境影响不大。17.7小结综上所述，项目选址从环保方面可行。7-89山东大学 泷芯宇通（烟台）集成电路有限责任公司8英寸集成电路芯片工程环境影响评价报告书1-90山东大学'