GB51076-2015电子工业防微振工程技术规范.pdf

'UDC中华人民共和国国家标准((;BpGB51076-2015电子工业防微振工程技术规范Technicalcodeforanti-microvibrationengineeringofelectronicsindustry2014-12-31发布20150901实施中华人民共和国住房和城乡建设部联合发布中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中华人民共和国国家标准电子工业防微振工程技术规范Technicalcodeforanti-microvibrationengineeringofelectronicsindustryGB51076-2015主编部门z中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：2015年9月1日中国计划出版社2015北京 学兔兔www.xuetutu.com中华人民共和国住房和城乡建设部公告第703号住房城乡建设部关于发布国家标准《电子工业防微振工程技术规范》的公告现批准《电子工业防微振工程技术规范》为国家标准，编号为GB51076-20日，自2015年9月1日起实施。其中，第3.0.6、5.1.1、7.1.7条为强制性条文，必须严格执行。本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。中华人民共和国住房和城乡建设部2014年12月31日 学兔兔www.xuetutu.com前言本规范是根据原建设部《关于印发（2006年工程建设标准规范制订、修订计划（第二批）〉的通知》（建标〔2006〕136号）的要求，由工业和信息化部电子工业标准化研究院电子工程标准定额站和中国电子工程设计院会同有关单位编制完成的。本规范在编制过程中，编制组结合工程调查，经过多次反复讨论研究，并在广泛征求意见的基础上，最后经审查定稿。本规范共分8章和2个附录，主要技术内容包括：总则、术语、基本规定、精密设备及仪器容许振动标准、规划设计、建筑结构防微振设计、隔振设计、防微振工程施工质量验收等。本规范中以黑体字标志的为强制性条文，必须严格执行。本规范由住房城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业和信息化部负责日常管理，由中国电子工程设计院负责具体技术内容的解释。在执行本规范过程中，请各单位结合工程实践，认真总结经验，如发现需要修改和补充之处，请将意见和建议寄至中国电子工程设计院科技质量部（地址：北京307信箱，邮政编码：100840），以供今后修订时参考。本规范主编单位、参编单位、主要起草人和主要审查人：主编单位：工业和信息化部电子工业标准化研究院电子工程标准定额站中国电子工程设计院参编单位：信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司兵器工业北方设计研究院上海电子工程设计研究院有限公司•1• 学兔兔www.xuetutu.com中船第九设计研究院工程有限公司世源科技工程有限公司中国中元国际工程公司中国航空规划建设发展有限公司南京工业大学东南大学主要起草人：陈驷委宇俞渭雄黄以庄｜茅玉泉｜韩方俊杨毅萌玉立刘传春杜宝强赵广鹏邹宏张同亿夏艳窦硕胡明桔黄健玉曙光黄镇主要审查人：任庆英高广运陈龙珠杨宜谦吴成元苏经宇薛长立邵庆良万叶青•2• 学兔兔www.xuetutu.com目次1总则…………………………………………………（1)2术语…………………………………………………（2)3基本规定…………………………………………………(4)4精密设备及仪器容许振动标准…………………………(6)4.1一般规定………………………………………………(6)4.2精密设备及仪器容许振动值……………………………(6)5规划设计…………………………………………………门ω5.1一般规定………………………………………………(10)5.2防振距离………………………………………………(10)5.3厂区布置………………………………………………(12)6建筑结构防微振设计……………………………………（13)6.1一般规定………………………………………………(13)6.2防微振措施……………………………………………(14)6.3微振动验算……………………………………………(16)7隔振设计…………………………………………………(20)7.1一般规定………………………………………………ωω7.2主动隔振………………………………………………(21)7.3被动隔振………………………………………………(22)8防微振工程施工质量验收………………………………(2日8.1一般规定………………………………………………(25)8.2防微振工程地基处理施工质量验收………………………（26)8.3块体式混凝土防微振基础施工质量验收…………………（26)8.4防微振工程结构施工质量验收……………………………门7)8.5精密设备及仪器隔振工程施工质量验收…………………（27)•1• 学兔兔www.xuetutu.com8.6动力设备及管道隔振工程施工质量验收…………………（30)8.7防微振工程施工质量验收附录A微振动测试分析……·附录B多振源振动响应叠加计算··本规范用词说明…引用标准名录·附：条文说明•2• 学兔兔www.xuetutu.comContents1Generalprovisions………………………………………(1)2Terms……………………………………………………(2)3Basicrequirements………………………………··…….(4)4Allowablevalueofvibrationofprecisioninstrumentandequipment……………………………………………(6)4.1Generalrequirements……………………………………(6)4.2Allowancevalueofvibration……………………………(6)5Planninganddesign………………………………………(10)5.1Generalrequirements……………………………………(10)5.2Antimicrovibariondistance………………………………(10)5.3Plantlayout……………………………………………(12)6Anti-microvibrationofbuildingsturctures……………(13)6.1Generalreqmrements……………………………………(13)6.2Antimicroivrationmeatures……………………………(14)6.3M1crov1brationcheckmgcalculat10n………………………(16)7Isolationdesign…………………………………………(20)7.1Generalrequirements……………………………………(20)7.2Activeisolation…………………………………………(21)7.3Passiveisolation…………………………………………(22)8Acceptanceofconstructionalqualityofantim1crovibrat10nengineering………………………………(25)8.1Generalreqmrements……………………………………(25)8.2Acceptanceofconstructionalqualityoffoundationtreatment………………………………………………(26)•3• 学兔兔www.xuetutu.com8.3Acceptanceofconstructionalqualityofcubageconcreteantimicrovibrationfoundation……………………………(26)8.4Acceptanceofconstructionalqualityofstructureofanti-microvibrat1onengineering…………………………(27)8.5Acceptanceofconstructionalqualityofisolationengineeringofprecisioninstrumentandequipment………(27)8.6Acceptanceofconstructionalqualityofisolationengineeringofpowerequipmentandpipe…………………(30)8.7Acceptanceofconstructionalqualityofanti-microvibrationengineering……………………………………………(32)AppendixAMicrovibrationtestinganalysis……………(34)AppendixBSuperpositioncalculationofdifferentandmultiplesourcesvibration…………………(40)Explanationofwordinginthiscode………………………(42)Listofquotedstandards……………………………………(43)Addition:Explanationofprovisions………………………(45)•4• 学兔兔www.xuetutu.com1总则1.o.1为规范电子工业防微振工程的勘察、设计及施工质量验收，确保满足精密设备及仪器所容许的微振动环境要求，并做到技术先进、经济适用、运行可靠及节约能源，制定本规范。1.o.2本规范适用于新建、改建的电子工业厂房、测试站（台）等工程的防微振设计、施工及质量验收。1.0.3防微振工程设计、施工及质量验收，除应符合本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定。•1• 学兔兔www.xuetutu.com2术语2.0.1微振动micro-vibration影响精密设备及仪器正常运行的振动幅值较低的环境振动。2.0.2容许振动值allowablevalueofvibration保证精密设备及仪器能正常运行的支承结构处的最大振动量值。2.0.3建筑结构防微振体系structuralmicrovibrationcon-trolsystem为保证精密设备及仪器正常运行，对建筑结构采取减弱环境振动影响的综合措施。2.0.4主动隔振activevibrationisolation为减小动力设备产生的振动对外界环境的影响而对其采取的隔振措施。2.0.5被动隔振passivevibrationisolation为减小环境振动对精密设备及仪器的影响而对其采取的隔振措施。2.0.6主动控制隔振装置activevibrationisolatingdevice具有预先设置并通过自身反馈系统获取信号，使隔振装置实时施加反向作用而降低环境振动影响，保证设备正常工作的装置。2.0.7隔振器vibrationisolator具有衰减振动功能的支承元件。2.0.8隔振装置vibrationisolationmounting由隔振器、阻尼器、调节阅、控制器及信号处理器等组成的隔振组合体。•2• 学兔兔www.xuetutu.com2.0.9隔振系统vibrationisolationsystem由被隔振对象、台板、隔振器或隔振装置组成的系统。2.0.10振动响应vibrationresponse建筑结构或隔振系统受振动作用时，其输出的振动位移、振动速度、振动加速度等。2.0.11环境振动environmentvibration建筑场地或建筑物在内外各种振源影响下的振动。2.0.12常时微动usualenvironmentalmicrovibration无明确振源的场地或建筑物的微弱振动。2.0.13防微振墙microvibrationisolationwall在建筑结构中设置的减弱振动影响的墙体。2.0.14华夫板waffleslab垂直单向流洁净室生产层现浇钢筋混凝土多孔楼板。2.0.15防微振设计anti-microvibrationdesign为将环境振动影响控制在精密设备及仪器容许振动值范围内，在工程设计规划、建筑结构设计与隔振设计等方面采取的综合措施。2.0.16防微振基台anti-microvibrationtable由台板和支承结构组成的有隔振作用的结构体系，支承结构可为建筑结构或独立设置的梁、板、柱及基础，在台板和支承结构之间可安装隔振器或隔振装置。•3• 学兔兔www.xuetutu.com3基本规定3.0.1本规范所定义的微振动应为幅值不大于表3.0.1规定的限值的振动。表3.0.1微振动限值微振动物理量振动位移（µm)｜振动速度（µm/s)I振动加速度（m/s2)频域振动幅值三二o.soI对应频段（Hz)－古民·”“tmd1.5×105400~1000－卡－速为均方根值HH。•9• 学兔兔www.xuetutu.com5规划设计S.1一般规定S.1.1电子工业区域规划布局和厂区布置，不得选择在强振源、强噪声、强凤沙、强电磁辐射、有害气体等不利区域。S.1.2厂区选择宜符合下列规定z1宜选择在地基土较坚硬或基岩埋藏较浅的地区，不宜选择在软土及填土等不良地质区域z2宜避开江河湖泊、海岸沙滩、常年冰冻等地区z3宜选择抗震设防烈度不大于8度的地区，避开地震活动断裂带等不利地段，宜避开液化砂土层等区域，并应符合现行国家标准《建筑抗震设计规范》GB50011的有关规定z4元法避开时应采取相应处理措施。S.1.3厂区位置选择时，应根据场地环境微振动测试和自然条件，经论证比较、综合评估后确定；当不具备环境振动测试条件时，振源防振距离可按本规范第5.2节确定。S.2肪振距离S.2.1对各类振源在不同土体内的防振距离，可按下式计算zL=K1K2L。(5.2.1)式中：L一一无任何防振措施时的防振距离（m);Ki－不同土体的调整系数，按表5.2.1-2取值sKz一一不同类汽车的调整系数，按表5.2.1-3取值，其他振源Kz=l;L。一一土体为蒙古土类的防振距离（m）＇按表5.2.1-1取值。•10• 学兔兔www.xuetutu.com表s.2.1-1防振距离L0(m)卢笃笃0.0030.0050.010.020.030.050.100.200.30.5空气中型25015010065523826171410压缩机大型100826450423528211815冷冻机中型80655037322619151210稳态小型5040302219551187655~46~33~28~25~20~16~12~9~7~中型风机6556443430252015119砂轮机352922171512107.56.55水泵3025181412106.55.554lt9007005003603002301601209565锻锤0.4t~0.75t700520360250200150100746046<0.25t50038027018015011580554635315t7005504002802101601301008265瞬态160t5003802701901601208862504063t300220160110886546322620冲床50t2401801308870523625201530t22016011074604430201612<15t20015010065523826181410铁路200016001150850700560420300250200列车城市轨道80056036026017510280503828交通地下线公路50038025016513010065433430随机厂区道路1801308052402618118.56汽车（柔性地面）厂区道路2501701106850382415118（刚性地面〉注：1表中容许振动值为时域值p2容许振动速度中间值可按表中数值线性插值确定$3其他动力设备的防振距离宜测试确定。•11• 学兔兔www.xuetutu.com褒s.2.1-2不同地基及基础调整系敛K1土体|淤泥质土事由土陆生5桩基K1I2~30.8,注g坚硬土为基岩时取小值。表s.2.1-3不同类汽车调整系鲸Kz旅游车、车型｜》8t车I4t车｜｜中型卡车｜面包车｜小型卡车｜小轿车轿车、大轿车K2I1.30.80.70.50.4o.3S.2.2当本规范表5.2.1-1中振源采取隔振时，隔振后防振距离应由测试确定。S.2.3结合规划区、厂区内外的不同振源，对有防微振动要求的建筑物，宜按综合振动叠加后的最大振动影响确定相应的防振距离。多振源振动响应的综合叠加计算可按本规范附录B计算。S.3厂区布置S.3.1厂区内有振动影响的站房布置应符合下列要求：1锻压车间应布置在厂区边缘，并应远离有防微振要求的建筑；2空压机、冷冻机、水泵等动力站房和其他振掠宜单独布置；3精密设备及仪器应布置在振动影响最小的区域。5.3.2厂区内外的道路设置应符合下列要求z1有防微振要求的建筑应远离厂区主干道，并应远离铁路、公路和城市轨道交通线；2有防微振要求的建筑物周边道路应加固路基，并宜选用柔性路面；3有防微振要求的建筑物周围道路宜限制车辆载重、行驶车速及行驶时间。S.3.3厂区内有防微振要求的建筑物周围绿化宜种植常青灌木和草皮，不宜种植乔木。•12• 学兔兔www.xuetutu.com6建筑结构防微振设计6.1一般规定6.1.1建筑结构防微振设计应采取下列综合措施z1建筑物地基基础的防微振措施；2地面结构的防微振措施；3主体结构的防微振措施z4精密设备及仪器的独立基础的防微振措施。6.1.2建筑结构防微振设计应具备下列资料z1精密设备及仪器容许振动值F2工程地质及水文地质勘察报告：3地基动力特性测试报告，当不具条件时可按现行国家标准《动力机器基础设计规范》GB50040的有关规定取值；4场地环境振动测试及分析报告。6.1.3建筑结构防微振设计宜具备下列资料z1精密设备及仪器在建筑物内的工艺布置、外形尺寸、重量及工作方式；2动力设备在建筑物内的位置、外形尺寸、重量、转速及运行方式：3管道在建筑物内的空间位置、单位长度重量及输送介质。6.1.4建筑物内设备布置应符合下列规定：1精密设备及仪器与动力设备的布置较靠近时，宜采用隔振缝隔开；2当楼层布置精密设备或仪器时，动力设备应布置于底层或楼层边跨，并应在楼层设隔振缝与精密设备或仪器所在区域隔离p3精密设备及仪器不宜布置于受电梯振动影响的范围内p•13• 学兔兔www.xuetutu.com4当楼层布置精密设备及仪器时，其位置宜位于梁、墙、柱等结构刚度较大的部位或附近。6.1.s多层厂房内不宜设置起重设备。设置起重设备时，宜采用悬臂式起重设备或其他振动影响较小的运输工具。6.1.6建筑物内的动力设备及产生振动的管道进入防微振区域时，应采取隔振措施。6.1.7建筑物内应采用低速送风，空气密度变化率宜控制在10%以内。当布置有自循环高效过滤器（FFU）装置时，应采取隔振措施。6.1.8防微振区域内的门应采用柔性缓冲装置。6.2防微振措施6.2.1建筑物地基基础的防微振设计应符合下列要求：1抗震设防烈度为7度、8度的地区，建筑物基础持力层范围内存在承载力特征值分别小于80kPa、lOOkPa的软弱秸土层时，应采用桩基或人工处理复合地基。采用复舍地基时，应按国家现行标准《建筑地基基础设计规范》GB50007和《建筑地基处理技术规范》JGJ79的有关规定进行载荷试验和地基变形验算；2防微振厂房同一结构单元的基础不宜埋置在不同类别的地基土上。6.2.2地面结构或底板结构的防微振设计应符合下列要求：1集成电路制造厂房前工序、液晶显示器制造厂房、纳米科技建筑及实验室应按防微振要求设置厚板式钢筋混凝土地面。当采用天然地基时，地面结构厚度不宜小于500mm，地基土应穷压密实，压实系数不得小于0.95。当采用桩基支承的结构地面时，地面结构厚度不宜小于400mm，对于软弱土地区，不宜小于500mm;对于欠固结土，宜采取防止桩间土与地面结构底部脱开的措施；2当地面为超长混凝土结构时，不宜设置伸缩缝，可采用超长混凝土结构元缝设计措施。•14• 学兔兔www.xuetutu.com6.2.3主体结构的防微振设计应符合下列要求：I集成电路制造厂房前工序、液晶显示器件制造厂房、光伏太阳能制造厂房、纳米科技建筑及各类实验室等建筑宜采用小跨度柱网，工艺设备层平台宜采用钢筋泪凝土结构。平台与周围结构之间宜设隔振缝。2防微振工艺设备层平台的设计应符合下列要求：1)平台下的柱网尺寸应以0.6m为模数，跨度不宜大于6m;2）平台宜采用现浇钢筋混凝土梁板式或井式楼盖结构，亦可采用钢框架组合楼板结构；3）混凝土平台的现浇梁、板、柱截面的最小尺寸宜符合表6.2.3-1的规定；表6.2.3-1梁、板、桂截面的最小尺寸柱截面梁板式楼盖井式楼盖主梁商跨比(mm×mm)板高跨比｜次梁高跨比｜板厚（mm)I次梁高跨比600×6001/81/201/121501/154）防微振工艺设备平台现浇华夫板次梁的间距为1.2m时，截面最小尺寸宜符合表6.2.3-2的规定；表6.2.3-2华夫板截面的最小尺寸次梁高跨比主梁商跨比板厚（mm)板开洞直径d(mm)1/101/81803005）采用钢框架一组合楼板结构的防微振工艺设备层平台，次。梁间距不宜大于3.2m，钢梁、组合楼板截面的最小尺寸宜符合表6.2.3-3的规定；表6.2.3-3钢梁、组合楼板截面的最小尺寸次梁高跨比主梁商跨比板厚（mm)1/181/122506）防微振工艺设备层平台华夫板的开孔率应满足洁净设计 学兔兔www.xuetutu.com要求，不宜大于30%。3当采用混凝土结构的建筑物超长时，不宜设置伸缩缝，而应采用超长棍凝土结构无缝设计技术，并应采取降低温度伸缩应力的措施。4根据防微振需要，可在平台下的部分柱间设置钢筋混凝土防微振墙，墙体宜纵横向对称布置，厚度不宜小于250mm，墙体不宜开设孔洞。5当屋盖多跨结构的中柱与工艺设备层平台之间设缝时，在非地震区，缝宽不应小于50mm；在地震区，缝宽不应小于lOOmm，且应符合现行国家标准《建筑抗震设计规范》GB50011中防震缝的有关规定。6.2.4精密设备及仪器的独立基础设计应符合下列要求：1地面上设置的精密设备及仪器，基础底面应置于坚硬土层或基岩上。其他地质情况下，应采用桩基础或人工处理复合地基；2精密设备及仪器受中低频振动影响敏感时，基础周围可不设隔振沟；3精密设备及仪器的基台采用框架式支承时，宜采用钢筋提凝土框架，台板宜采用型钢混凝土结构，其周边应设隔振缝；4工艺设备层平台上设置的精密设备或仪器宜采用防微振基台，台板宜采用型钢混凝土结构，厚度不宜小于200mm。6.3微振动验算6.3.1微振动验算应符合下列规定：1有防微振要求的厂房及实验室的下列部位宜进行防微振验算：1)地面结构；2）工艺层楼盖；3）独立基础。2微振动验算应针对下列振动影响分阶段进行：•16• 学兔兔www.xuetutu.com1）环境振动；2）动力及工艺设备振动。3微振动验算应符合下列规定：1)需进行微振动验算的结构应整体实体建模。2）天然地基、桩基及人工复合地基的地基动力特性参数应现场试验确定；当无条件时，可按现行国家标准《动力机器基础设计规范》GB50040的有关规定采用；当无条件测试时，阻尼比可按本款第4项取值。3）地面结构周边回填士对地基刚度的影响可按现行国家标准《动力机器基础设计规范》GB50040的有关规定采用。4）地基土的阻尼比宜取0.15～0.35，钢筋棍凝土结构的阻尼比宜取0.05，钢结构的阻尼比宜取0.02，钢与混凝土组合结构的阻尼比宜取0.035。5）基础影响深度范围内的土层应作为计算深度。6）计算活荷载的影响。7）对结构进行模态计算和响应计算，其中模态分析有效振型数量宜按结构总体振型质量参与系数不小于95%进行取值。8）环境振动影响的验算以实测最不利的振动记录作为计算的输入荷载，样本时间长度不宜少于60so4分析模型的建立应符合下列要求：1)明确防微振设计方案，对地面结构和工艺层结构进行计算模型简化。当工艺设备层与建筑物主体结构有连接时，结构计算模型应包含主体结构；2）根据设计方案设置几何参数；3）合理选择物理参数；4）根据工程地质勘察报告确定带弹性边界约束条件。5振动影响验算的响应值应符合下式要求：R三三［R](6.3.1)•17• 学兔兔www.xuetutu.com式中：R结构中心点或特征点的振动响应值；[R］一一精密设备及仪器的容许振动值。6.3.2受环境振动影响的微振动应符合下列公式要求：Rhv，，；：二Kv[Rv](6.3.21)RhH三三KH〔RH](6.3.2-2)式中：Rhv－一结构中心点的竖直向振动响应；RhH－一一结构中心点的水平向振动响应；Kv－一－竖直向的动态影响系数。Kv=O.4~o.6。该系数与动力设备数量和布置有关。当设备数量较多或距特征点位置较近时，Kv取小值，反之取大值；KH－水平向的动态影响系数。KH=O.3~0.5。该系数与动力设备数量和布置有关。当设备数量较多或距特征点位置较近时，KH取小值，反之取大值；〔Rv］一一精密设备及仪器竖直向的容许振动值；〔RH］一一精密设备及仪器水平向的容许振动值。6.3.3动力设备及工艺设备产生影响的微振动验算应符合下列规定：1应在所建立的实体模型上选取特征点，并应在单位荷载为lkN作用下计算其动力响应谱Rd;2特征点的振动响应按下列公式验算：Rv＝币αvRdv(6.3.3-1)RH＝平αHRdH(6.3.3-2)Rvsαv==于主－－(6.3.33)A、VdRHsαH==于王一一(6.3.34)..、Hd式中：Rv一一一结构特征点的竖直向振动响应；RH－一结构特征点的水平向振动响应；αv－一竖直向已建同类工程的特征点动力响应系数；•18• 学兔兔www.xuetutu.comRvs一一已建同类工程特征点振动记录进行频域分析得到特征点的竖直向振动响应曲线；Rvd一一建立已建同类工程有限元实体模型，在特征点上竖直向施加单位荷载P=lkN，计算动力响应谱曲线；αH一一水平向已建同类工程的特征点动力响应系数；Rtts－一已建同类工程特征点振动记录进行频域分析得到特征点的水平向振动响应曲线；RHd建立已建同类工程有限元实体模型，在特征点上水平向施加单位荷载P=lkN，计算动力响应谱曲线；矿一一己建同类工程和新建工程相似比系数，可按o.9~1.2取值；Rdv一一结构特征点竖直向在单位荷载为lkN作用下的振动响应ERdH一一结构特征点水平向在单位荷载为lkN作用下的振动响应。6.3.4防微振工程各阶段振动验算的实测及评估应符合下列规定：1场地环境振动实测时，应通过测试获取拟建场地受周围环境振动影响的数据，作为输入荷载对微振动初步设计方案进行验算；2建筑物主体结构竣工实测及评估时，应通过对建筑物主体结构进行振动测试，对主体结构防微振体系进行评估，并应和计算结果进行对比分析，确认其有效性，为动力设备及工艺设备整体隔振方案提供设计依据；3动力设备及工艺设备运行实测及评估时，应通过对动力设备及工艺设备运行时的结构进行振动测试，对最终建成的结构防微振体系进行评估，并应和计算结果进行对比分析，确认其有效性，为动力设备及工艺设备局部隔振方案提供设计依据。•19• 学兔兔www.xuetutu.com7隔振设计7.1一般规定7.1.1动力设备应选用振动影响小的产品，旋转型设备应选用中、高转速的产品。7.1.2动力设备对精密设备及仪器有振动影响时，应采取隔振措施。7.1.3当建筑结构采取防微振措施及动力设备采取隔振措施后仍不能满足要求时，应对精密设备及仪器采取隔振措施。7.1.4隔振设计除应遵守本规范外，尚应符合现行国家标准《隔振设计规范》GB50463的有关规定。7.1.5选用隔振器应具备下列资料：1外形尺寸、重量及安装要求52承载范围；3刚度值及变化范围；4阻尼值及变化范围；5荷载－压缩量－频率关系图表；6使用环境条件。7.1.6选用空气弹簧隔振装置时，除应符合本规范第7.1.5条的要求外，尚应具备下列资料：1工作压力及容许最大压力；2工作高度；3充气时间54自动调平时间及调平精度。7.1.7隔振系统不得与外围结构刚性连接。•20• 学兔兔www.xuetutu.com7.2主动隔振7.2.1动力设备隔振宜采用支承式（图7.2.1)。(a）普通支承式(b）下挂支承式图7.2.1隔振方案1动力设备；2台板；3隔振器7.2.2动力设备隔振应符合下列要求：1安装于地面及地下室的动力设备，可采用钢筋混凝土台板或型钢台板；2安装于楼层及屋面的动力设备宜采用型钢台板，对于较集中安装于楼层的动力设备宜采用浮筑板隔振方式；3与声学实验室相关的动力设备，宜采用钢筋混凝土台板，且台板质量与设备质量之比宜大于3。7.2.3管道隔振宜符合下列要求：1水平向管道宜采用悬挂式，坚直向管道宜采用支承式（图7.2.31);2管道穿墙宜采用支承式（图7.2.32);3管道与动力设备之间应采用柔性连接；4隔振器应按隔振要求、管道荷载及相关专业的规定布置。7.2.4隔振器选用宜符合下列要求：1室内动力设备及管道宜采用橡胶隔振垫、橡胶隔振器、金属阻尼弹簧隔振器及空气弹簧隔振器；2室外动力设备及管道宜采用金属弹簧隔振器。•21• 学兔兔www.xuetutu.com喃w内持川u(a）悬挂式(a）支承式图7.2.31隔振方案1一管道；2一隔振器2~2图7.2.3-2支承式隔振方案1一管道；2一隔振托架7.2.5带隔振器的动力设备应提供隔振性能检测报告。7.2.6当动力设备采用一级隔振方案不能满足要求时，可采用二级或多级隔振方案。7.2.7动力设备隔振传递率不宜大于0.1。7.3被动隔振7.3.1精密设备及仪器隔振设计应根据其容许振动值、i；作特性、支承条件及安装要求确定隔振方案，并做隔振计算，选用隔振器或隔振装置。7.3.2精密设备及仪器的隔振型式宜符合下列规定：1支承式隔振，隔振器设置在隔振台板下，与隔振台板组合 学兔兔www.xuetutu.com成隔振系统（图7.3.2-1);一一－~I「一－－-i---1「干1句I~#rl~」4二百巴~3图7.3.2-1支承式隔振方案I精密设备及仪器；2一台板；3一隔振器2悬挂式隔振，隔振器与刚性吊杆串联井和隔振台板组合成隔振系统（图7.3.2-2）。3厂一→干11~4||||2//////////////////////////////图7.3.2-2悬挂式隔振方案1一精密设备及仪器；2一台板儿一隔振器；4→刚性吊抨7.3.3对于运行中重量及重心位置发生变化的精密设备及仪器，应选用带有倾斜校正机构的隔振装置。7.3.4隔振计算应包括下列内容：1隔振系统固有振动频率计算；2隔振系统外部振源作用下振动响应计算；3隔振系统内部振源作用下振动响应计算。7.3.5大型或超大型隔振系统的计算宜包括台板的弹性变形影响。•23• 学兔兔www.xuetutu.com7.3.6振动计算不应包括精密设备及仪器自带隔振器的隔振作用。7.3.7当采用被动隔振措施仍不能满足使用要求时，应采用主动控制隔振装置。7.3.8隔振系统各向阻尼比不宜小于0.08.•24• 学兔兔www.xuetutu.com8防微振工程施工质量验收8.1一般规定8.1.1防微振工程的质量验收应由建设单位负责组织施工、设计、监理等单位共同进行，合格后应办理竣工验收手续。8.1.2防微振工程施工应按被批准的设计文件实施。当修改设计时，应由原设计单位确认，并应经建设单位同意。8.1.3防微振工程施工过程中涉及的专业工种及防微振设备专业调试人员等，应按相关要求持证上岗。8.1.4防微振工程施工过程中使用的各类工器具，应检定合格，并应在有效期内。8.1.5主要设备、材料、成品和半成品进场应检验，除应符合国家现行标准规定外，尚应符合下列规定：1主要设备、材料、成品和半成品应有质量合格证明文件；2主要设备、材料、成品和半成品应有进场检验合格记录；3当有质量异议时，应由具备相关资质的机构进行检测，在出具合格检测报告后，可在工程中使用；4进口防微振设备、器具和材料的进场验收，除应符合本条第1款～第3款规定外，尚应提供商检证明和中文版质量合格证明文件，还应提供技术规格书及安装使用于册等相关技术文件。8.1.6防微振工程的施工质量验收除应符合本规范外，尚应符合现行国家标准《建筑工程施工质量验收统一标准》GB50300的有关规定。8.1.7防微振基台隔振工程和动力设备及管道隔振工程所用隔振器和隔振装置的材料、型号、规格、数量应符合下列规定：1提供合格证、性能检测报告、安装及使用说明书等技术 学兔兔www.xuetutu.com文件；2包装完好，外观完整，元缺损，元裂纹，涂层完整。8.2防微振工程地基处理施工质量验收8.2.1防微振工程地基处理的施工质量检验标准应符合表8.2.1的规定。表8.2.1防微振工程地基处理的施工质量检验标准名称序号检验项目容许偏差或容许值检验方法按现行国家标准《建筑地1地基承载力和变形按设计要求主控基基础工程施工质量验收项目规范》GB50202规定的2地基动力特性参数按设计要求方法8.2.2防微振工程地基处理所采用的方法除应符合本规范外，尚应符合现行国家标准《建筑地基基础工程施工质量验收规范》GB50202的有关规定。8.3块体式混凝土防微振基础施工质量验收8.3.1基础施工质量验收应包括动力设备混凝土基础和精密设备及仪器混凝土基础的施工质量验收。8.3.2块体式混凝土防微振基础的施工质量检验标准应符合表8.3.2的规定。表8.3.2块体式混凝土防微振基础的施工质量检验标准名称序号检验类别检验项目容许偏差或容许值检验方法按现行国家标准《建筑地基基础工程施工质1基础承载力按设计要求量验收规范》GB50202主控动力设备规定的方法项目•------按本规范附录A规2基础外周边振动值按设计要求定的方法•26• 学兔兔www.xuetutu.com续表8.3.2名称序号检验类别检验项目容许偏差或容许值检验方法按现行国家标准《建筑地基基础工程施工质3基础承载力按设计要求量验收规范》GB50202主控精密设备规定的方法项目及仪器按本规范附录A规4基础顶面振动值按设计要求定的方法一5基础顶面平整度按设计要求用水平尺检测8.4防微振工程结构施工质量验收8.4.1防微振工程中的结构工程施工质量验收应包括有微振动要求的精密设备厂房的基础（底板）、梁、板、柱等结构体系的施工质量验收。8.4.2防微振工程结构的施工质量检验标准应符合表8.4.2的规定。表8.4.2防微振工程结构的施工质量检验标准名称｜序号｜检验项目｜容许偏差或容许值｜检验方法主控l1｜安放精密设备位置结构振动值｜按设计要求|按本规范附录项目l2结构动力特性参数按设计要求1A规定的方法8.5精密设备及仪器隔振工程施工质量验收8.5.1隔振工程施工质量验收应包括防微振基台、空气弹簧隔振装置及主动控制隔振装置的工程施工质量验收。8.s.2洁净厂房精密设备防微振基台的施工质量应符合下列规定：1应结合厂房结构的土建误差安装防微振基台；•27• 学兔兔www.xuetutu.com2应在防微振基台周围设置隔振缝，缝宽宜为lOmm～15mm;3防微振基台台板下设置隔振器时，应计算工艺设备安装后隔振器的压缩量，安装完成后的台板顶面标高应满足工艺设备的使用要求；4防微振基台台板下无隔振器时，台板应与支撑系统刚性连接。8.5.3防微振基台工程的施工质量检验标准应符合表8.5.3的规定。表8.5.3防微振基台工程的施工质量检验标准名称序号检验项目容许偏差或容许值检验方法1基台承载力按设计要求现场载荷试验主控2基台顶面振动值按设计要求按本规范附录A规定的方法项目3顶面平整度1/1000用水平尺检测4顶面标高土2mm用水准仪、高精度塔尺检测8.5.4空气弹簧隔振装置的质量检验标准应符合表8.5.4的规定。表8.5.4空气弹簧隔振装置的质量检验标准名称序号检验项目容许偏差或容许值检验方法按实时显示气1空气弹簧隔振装置承载力按设计要求压值换算2空气弹簧隔振装置固有振动频率按设计要求按本规范附录A3台板顶面振动值拨设计要求规定的方法主控项目4台板顶面平整度1/1000用水平尺检测5台板顶面标高土2mm用水准仪、高精60.05mm/m度塔尺检测高度调平精度一7控制阀调平时间小于15s用秒表检测•28• 学兔兔www.xuetutu.com续表8.5.4名称序号检验项目容许偏差或容许值检验方法8外观外观平整光滑底座、顶盖与底座、顶盖与观察9支承面支承面之间无缝隙1-----空气弹簧24h压力降不大于10隔振器泄漏量用压力表检测0.02MPa一用水准仪、高精主控11相邻隔振器高差士lmm度塔尺检测项目12接头密封性元泄漏皂液检测1-----气路管道13管道敷设及固定可靠固定观察大于使用压力14压力用压力表检测0.2MPa气源•--------用粒子计数器15洁净度不低于环境要求检测8.5.5主动控制隔振装置的质量检验标准应符合表8.5.5的规定。褒8.s.s主动控制隔振装置的质量检验标准名称序号检验项目容许偏差或容许值检验方法主动控制隔振装置承按实时显示气1按设计要求载力压值换算主控主动控制隔振装置台2按设计要求项目板顶面振动值按本规范附录A规定的方法主动控制隔振系统振3按设计要求动衰减曲线•29• 学兔兔www.xuetutu.com续表8.5.5名称序号检验项目容许偏差或容许值检验方法4台板顶面平整度1/1000用水平尺检测用水准仪、高精5台板顶面标高土2mm度塔尺检测6台板平面定位±5mm用钢尺检测用水准仪、高精7调平精度0.05mm/m控制单元度塔尺检测1--<-8调平时间小于5s用秒表检测9外观外观平整光滑一底座、顶盖底座、顶盖与支承面10观察主控与支承面之间无缝隙主动隔振项目一11装置安装方向设计要求如－一－相邻隔振用水准仪、高精12士lmm装置高差度培尺检测13接头密封性元泄漏皂液检测一气路管道管道敷设14可靠固定观察及固定15压力大于使用压力o.2MPa用压力表检测←一一一－气源用粒子计数器16洁净度不低于环境要求检测注：主动隔振装置安装精度应符合主动控制隔振装置供应商在技术规格书中的具体要求，但不应低于本规范要求。8.6动力设备及管道隔振工程施工质量验收8.6.1动力设备隔振工程施工质量验收宜包括浮筑板、动力设备隔振基础的施工质量验收。•30• 学兔兔www.xuetutu.com8.6.2动力设备隔振工程的施工质量检验标准应符合表8.6.2的规定。表8.6.2动力设备隔摄工程的施工质量撞验标准名称序号检验项目容许偏差或容许值检验方法1浮筑板顶面振动值按设计要求浑筑板下支承结构振2按设计要求按本规范附录A动值规定的方法动力设备隔振基础的3按设计要求支承结构振动值4平面定位士5mm用钢尺检测橡胶•---------主控相邻隔振用水准仪、高精度5隔振器士lmm项目祷高差塔尺检测6平面定位士5mm用钢尺检测金属弹簧相邻隔振用水准仪、高精度7隔振器±2mm器高差塔尺检测表面平整用2m靠尺和模8±3mm型钢钢架度形塞尺检测一9平面定位±5mm用钢尺检测8.6.3动力设备的管道隔振工程的施工质量检验标准应符合表8.6.3的规定。表8.6.3管道隔摄工程的施工质量检验标准名称序号检验项目容许偏差或容许值检验方法主控按本规范附录1管道支承结构振动值按设计要求项目A规定的方法2变形量按设计要求用钢尺检测1---一般隔振按照变形量3荷载按设计要求项目支吊架推算一4平丽定位土20mm用钢尺检测•31• 8.7防微振工程施工质量验收8.7.1防微振工程的施工质量验收应符合下列规定：1防微振工程外观与性能验收的检查率应为100%，且应符合验收标准，发现问题应立即处理，直至符合要求；2防微振工程的施工质量验收应符合表8.7.1的规定。表8.7.1防微振工程的施工质量验收项目验收内容验收阶段动力特性和振动地基基础施工前地基基础响应地基基础完成后大块式混凝土隔动力特性和振动隔振基础施工前振基础响应隔振地基基础完成后防微振工程建筑结构动力特性结构工程完成后结构结构微振动响应动力设备运行后基台动力特性基台完成，工艺设备禾安装防微振基台基台完成，工艺设备未安装基台隔振性能工艺设备安装，动力设备运行后隔振装置的隔振隔振系统完成，工艺设备未安装空气弹簧隔振性能工艺设备安装后，设备未运行隔振装置的隔振隔振系统完成，工艺设备未安装主动控制隔振性能工艺设备安装运行后动力设备隔振传递率、通过共振性能动力设备运行后管道隔振隔振性能动力设备运行后8.7.2防微振工程位于洁净厂房内时，其验收尚应符合现行国家标准《洁净室施工及验收规范》GB50591的有关规定。8.7.3防微振工程施工质量验收除应提供相关规范要求的资料外，尚应提供下列资料：•32• 1防微振工程设计施工图、设计变更文件及竣工图；2主要材料、设备、成品半成品及仪表的出厂合格证明及进场检验报告；3防微振工程隐蔽工程检查记录；4防微振工程系统调试记录；5防微振工程性能检测报告；6防微振工程验收报告；7防微振工程使用说明书。•33• 附录A微振动测试分析A.I－般规定A.1.1场地环境微振动测试应具备下列资料：1精密设备及仪器的容许振动值；2建筑场地工程地质勘察资料；3邻近现有建筑物及地下管道、电缆等有关资料；4场地及周围道路布置图，道路行车状况；5拟建场地及邻近的振源位置及运行状况；6拟建场地建筑物布置规划。A.1.2建筑物微振动测试应具备下列资料：1精密设备及仪器的容许振动值；2建筑物的建筑、结构设计图；3安装精密设备及仪器的基础、台板设计图；4建筑物内振源位置及运行状况；5建筑物外邻近振源位置及运行状况。A.1.3防微振基台微振动测试应具备下列资料：1精密设备及仪器的容许振动值；2防微振基台设计图：3隔振装置参数34隔振计算资料；5防微振基台内振游、位置及运行状况；6防微振基台外邻近振源位置及运行状况。A.1.4测试前，应对现场进行实地踏勘，制订测试方案。测试方案应包括下列内容：1测试目的及要求；•34• 2测试内容及方法；3测点布置方案；4测试仪器配置；5数据分析处理方法。A.1.5室外测试时，应对测试仪器采取保护措施。A.1.6测试过程中应采取措施避免强电磁及交流电源对测试仪器产生干扰。A.2测试设备及仪器A.2.1测试系统宜包括振动传感器、滤波器、放大器、信号采集分析仪及激振装置。A.2.2传感器应根据测试需要，选用高灵敏度三向一体传感器，或采用单轴向传感器组成三向测量传感器。A.2.3传感器频响范围应根据测试要求选定，宜为0.5Hz~120Hz，消声水池和消声室宜为0.5Hz～lOOOHz。A.2.4放大器宜采用具有抗混滤波功能的多通道放大器，各通道在最大放大倍数时幅值一致性偏差应小于2%，相位一致性偏差应小于0.lms。放大器应具有积分、微分等功能。A.2.5数据采集应采用带有模／数转换的数据采集仪，其模／数转换器的精度不宜小于16位，动态范围不宜小于80dB。数据采集系统的幅值畸变应小于ldB。A.2.6数据采集及分析软件应具有时域、频域多通道显示功能和FFT频谱分析等功能。A.2.7激振装置可采用电磁式或机械式。电磁式激振器推力不宜小于2kN，工作频率宜为0.05Hz～lOOOHz。机械式激振器激振力不宜小于5kN，工作频率宜为3Hz～60Hz。A.2.8振动测试系统应在国家认定的计量单位进行校准，并应在校准的有效期内使用。•35• A.3测试设备及仪器安装A.3.1传感器安装应符合下列要求：1每1测点应安装3只同型号的单轴向传感器或三向一体传感器，测试方向应互相垂直，分别采集竖直向及水平向振动数据；23只单轴向压电型加速度传感器可固定在大于传感器质量20倍且不小于lkg的金属块上，可用螺栓、胶粘或磁性吸附方法固定于测试点；3天然地基土场地应挖测试坑，去除虚土井旁实，测试坑底部应浇注薄层混凝土；4测试坑上应有防护设施，防护设施不得干扰正常的振动数据采集。A.3.2电磁式激振器安装应符合下列要求：1竖直向安装时应采用坚固的支架，将激振器用柔性橡胶带悬吊于支架上，其固有振动频率应低于测试最低频率4倍；2水平向安装时应采用坚固的型钢支架，激振器应呈水平向固定；3激振器与被测体之间应用推力杆连接。A.3.3机械式激振器应用螺栓与被测体进行连接。A.3.4仪器安装应采取接地措施。A.4振动数据采集A.4.1数据采集前，同型号传感器应进行试采样及比对分析。A.4.2采样频率应大于数据分析截止频率的2倍，每个样本数据不应少于1024个。A.4.3采样时间和次数应符合下列要求：’1随机振动不应小于20min;2稳态振动不应小于5min; 3同类移动振源不应少于振源通过5次；4同类冲击振动不应少于5次。A.4.4每次采样除规定的振源及振源组合外，其余振源应停止运行。A.4.5采用激振器激振时，应待激振频率及扰力幅值稳定时采样。A.5场地环境振动测试A.5.1场地环境振动测试应根据工程规模、建筑场地面积、有防微振要求的建筑物位置、周边道路及邻近干扰振源等因素确定测点位置。在一个场地上不宜少于5个测点，测点间距不宜大于40m。A.5.2环境振动工况分类及组合应包括常时微动、固定干扰振源及移动干扰振源的分别作用及组合，采样时间和次数应符合本附录A.4.3的规定。A.5.3传感器周围15m范围内应避免人员行走影响。A.5.4测试应采取多测点同时采样，当传感器数量不足或不能使所有测点同时采样时，可分批采样，但应保持振动工况一致。A.5.5当场地内外道路无车辆行驶时，可采用车辆模拟移动干扰振源运行，车辆数量、载重量、行驶方向、行驶速度应根据测试方案要求确定。A.6建筑物振动测试A.6.1精密设备及仪器的独立基础动力特性测试应符合下列要求：1可采用冲击法或共振法测试基础固有振动频率及阻尼比，传感器应布置于基础顶面的质心技影点位置；2动力特性测试的重复测试次数不应少于3次。A.6.2建筑物动力特性测试应符合下列要求：•37• 1建筑物楼层结构应测试竖直向和水平向动力特性z2传感器应布置于梁板结构的主梁、次梁及板跨中，无梁楼板结构应布置于板跨中。A.6.3环境微振动测试应符合下列要求：1环境微振动工况分类及组合应包括常时微振动、本建筑以外的固定干扰振源、移动干扰振源，本建筑内的固定干扰振源、移动干扰振源的分别作用及组合z2传感器布置应符合下列要求z1)对于精密设备或仪器的独立基础，传感器应布置于基础顶面质心处及基础长边及短边方面两端p2）对于楼层结构，传感器应布置于精密设备或仪器的安装位置处，或布置于结构主梁、次梁及跨板中。A.7防微振基台振动测试A.7.1动力特性测试应符合下列要求：1测试前，隔振系统应经过调试，确认正常工作状态$2动力特性测试应符合本附录A.6.1第1款的规定33对于超宽、超长台座，宜进行基台结构模态测试。A.7.2微振动测试应符合下列要求：1环境微振动工况分类及组合应符合本附录A.6.3第1款的规定F2传感器布置应符合下列要求z1）应位于台板顶面隔振系统的质心处及长边、短边方面两端FD应位于台板顶面隔振系统的质心处及支承结构对应位置处。A.8振动数据分析A.8.1振动数据的预处理应符合下列要求：•38• 1微振动测试所采集的样本应与测试原始记录核对，应选择有效样本进行排序整理；2应对每一样本进行检查，并应除去零点漂移及干扰。A.8.2振动数据的时域分析应符合下列要求z1对于时域振动位移、速度及加速度均方根值，采用平均方法求得，平均次数根据数据采样长度决定z2对于时域振动位移、速度及加速度峰值，显示时域曲线可直接判读。A.8.3振动数据的频域分析应符合下列要求z1应做频域1/3倍频程谱，线性谱或功率谱分析；2窗函数宜采用汉宁（Hanning）窗；3应根据需要设定截止分析频率F4频域分析对样本信号的平均次数应根据数据采样长度决定zs稳态或随机振动信号应采用线性平均或峰值保持平均进行频域分析：6对于移动振源或冲击振动信号，宜采用峰值保持平均进行频域分析。•39• 附录B多振源振动响应叠加计算B.1一般规定B.1.1多振源振动响应叠加可由测试确定，在无测试条件时，可按本附录第B.2.1条～第B.2.5条进行计算。B.1.2多振源振动传递衰减至距振源距离r处时，振动响应叠加应按稳态振源、瞬态振掘和随机振源叠加组合进行计算。B.2多振源振动晌应叠加计算B.2.1多个不同振源振动响应的叠加可按式（B.2.2-1)～式Ds,max时，D,=Dw,max+Ds,max(B.2.3-1)当D..ρD…时，D,=Ds,max+~互(B.2.叫式中zDw,max一一多个稳态振源中距指定点处振动响应最大的一个；Ds,max一一多个瞬态振源中距指定点处振动响应最大的一个B.2.4火车、汽车、机床等随机振源的振动响应叠加按下式计算zD，＝屉豆(B.2.4)B.2.S瞬态振源应按其中振动响应最大的一个进行计算。•41• 本规范用词说明1为便于在执行本规范条文时区别对待，对要求严格程度不同的用词说明如下：1)表示很严格，非这样做不可的：正面词采用“必须”，反面词采用“严禁”；2）表示严格，在正常情况下均应这样做的：正面词采用“应”，反面词采用“不应”或“不得”；3）表示允许稍有选择，在条件许可时首先应这样做的：正面词采用“宜”，反面词采用“不宜’气4）表示有选择，在一定条件下可以这样做的，采用“可”。2条文中指明应按其他有关标准执行的写法为：“应符合......的规定”或“应按……执行”。•42• 引用标准名录《建筑地基基础设计规范》GB50007《建筑抗震设计规范》GB50011《动力机器基础设计规范》GB50040《建筑地基基础工程施工质量验收规范》GB50202《建筑工程施工质量验收统一标准》GB50300《隔振设计规范》GB50463《洁净室施工及验收规范》GB50591《建筑地基处理技术规范》JGJ79•43• 中华人民共和国国家标准电子工业防微振工程技术规范GB51076-2015条文说明 制订说明《电子工业防微振工程技术规范》GB51076-2015，经住房和城乡建设部2014年12月31日以第703号公告批准发布。随着工业及电子信息产业的不断发展，工业及电子科技产品质量和精度的不断提高，对产品的生产及检测所需的环境要求也越来越高，其中环境微振动控制是众多微污染控制中非常关键的一项工作。为满足产品生产和检测的要求，无论是生产厂房还是实验室的设计和建造都需要考虑防微振措施。我国从20世纪50年代开始建造电子厂房和实验室至今，已有很多的防微振技术应用于厂房和实验室的设计和建设中，但至今我国还没有完整应用于电子工业的防微振工程技术规范，因此制定《电子工业防微振工程技术规范》十分必要。为便于广大设计、施工、科研、教学等单位有关人员在使用本规范时能正确理解和执行条文规定，《电子工业防微振工程技术规范》编制组按章、节、条顺序编制了本规范的条文说明，对条文规定的目的、依据以及执行中需要注意的有关事项进行了说明，还着重对强制性条文的强制性理由作了解释。但是，本条文说明不具备与规范正文同等的法律效力，仅供使用者作为理解和把握规范规定的参考。•47• 目次1总则…………………………………………………（51)2术语.....….......…………………..................…（52)3基本规定…………………........……………………….(54)4精密设备及仪器容许振动标准…………………………(5们4.1一般规定………………………………………………(58)ι2精密设备及仪器容许振动值……………………………(58)5规划设计…………………………………………………ωυ5.1一般规定………………………………………………（们）5.2防振距离………………………………………………(61)5.3厂区布置………………………………………………(63)6建筑结构防微振设计……………………………………（64)6.1一般规定………………………………………………(64)6.2防微振措施……………………………………………(65)6.3微振动验算……………………………………………刊7)7隔振设计7.1一般规定………………………………………………(73)7.2主动隔振………………………………………………(74)7.3被动隔振………………………………………………(74)8防微振工程施工质量验收………………………………（77)8.1一般规定………………………………………………(77)8.2防微振工程地基处理施工质量验收………………………（77)8.3块体式混凝土防微振基础施工质量验收…………………（77)8.4防微振工程结构施工质量验收……………………………（78)8.5精密设备及仪器隔振工程施工质量验收…………………（78) 8.6动力设备及管道隔振工程施工质量验收…………………（78)8.7防微振工程施工质量验收………………………………(78)附录A微振动测试分析……………………………………（80)•50• 1总则1.0.1本条阐述了本规范的指导思想，根据电子工业防微振工程对微振动控制的要求进行工程设计及施工，以求使工程做到技术先进、经济适用及节约能源的效果。1.o.2本条明确了本规范的适用范围。由于现代工业及科技创新的迅速发展，电子行业与其他行业常融为一体，因此，凡有防微振要求的其他类似行业也可参照本规范进行设计及施工。•51• 2术语2.0.1人类的生产活动绝大多数是在地球上进行的，而在地球上找不到一个地方是没有振动的，但经常强烈的振动是极少的，大量的是微小的振动，其振幅大多数在几微米以下。这些微小的振动足以影响精密设备及仪器的正常运行，因而研究与控制地球表面的环境振动极为重要。地球表面的环境振动分为两大类，即地面脉动和人类活动的近距离干扰振动。地球脉动是一种随机振动波，具有较低的振动频率，按其形成的因素，又可分为自然因素形成的第一类地面脉动和人为因素形成的第二类地面脉动。第一类地面脉动主要由风暴、台风、海浪击岸、高压气流及冷热空气团交汇所形成。其振动频率为0.1Hz~o.5Hz，甚至更低，振幅为0.lµm～lOµm，且随季节不同而变化（冬季振幅较大，夏季较小）。第二类地面脉动主要由位于较远端的交通运输、厂矿机械及人员活动造成。其振动频率一般大于2Hz，振幅为0.001µm～lOµm.第二类地面脉动的振动频率及振幅不仅与振源有关，而且与地质有密切关系。在坚硬的岩层上，振动频率较高，振幅较小，而在一般的土壤层上则相反。人类活动的干扰振动分线振源振动及点振源振动两种。线振源振动如火车、汽车、拖拉机在道路上行驶及飞机在跑道上起降产生的振动E点振源振动如锻锤、压缩机、冲床、通风机、风动工具等机械运动时产生的振动等。这类振动有较宽的振动频率及较大的振幅，对近距离的影响远较地面脉动值大。本条定义的微振动是由上述两大类振动对特定地点的影响，即该特定地点的环境振动是由多个振源影响的叠加，其振动幅值•52• 较低，但可能影响精密设备及仪器的正常运行。2.0.日本条定义防微振墙的结构形式按本规范第6.2.3条的防微振工艺设备层平台的结构而定，一般为钢筋混凝土墙体，也有采用约束砌体墙或型钢混凝土墙的。但约束砌体墙的刚度受构造设计及施工质量因素的影响，较难准确确定。•53• 3基本规定3.0.1本条微振动限值是根据我国电子工业生产、科研及其相关领域提出的对精密设备及仪器的容许振动值，并经过大量的工程实践总结后提出的微振动数值，同时也参考了国外有关文献对微振动幅值范围的描述，使微振动在本规范中有→个量级上的描述。由于精密设备及仪器的容许振动值越来越倾向于频域表述方式，但某些精密设备及仪器的容许振动值还是采用时域表述方式，因此本条文对微振动幅值采用频域、时域分别表述。应当指出的是，表3.0.1中各振动限值间不存在换算关系，各振动限值只是一个包络值。3.0.2本条提出的防微振工程勘察、设计、施工及安装宜遵守的程序是多年来国内防微振工程实践的总结，已被证明是行之有效的。国际上有关防微振工程的工作程序也基本类同。微振动是物体的微观运动，量值微小，可变因素多，难以用理论公式来描述不同场地、不同环境的振动。因此特别强调依靠在工程各阶段的工程实测取得的真实数据来指导各阶段的防微振设计。有防微振要求的工厂的建设阶段，环境振动测试一般分为如下四个阶段：第一次微振动测试，即场地环境的振动测试，主要调查拟建场地的环境振动参数，厂区周围公路、铁路等交通运输及附近厂矿生产所产生的振动影响，为场地选择及对其综合评估提供依据。并根据实测参数选择合理的厂房结构形式，保证场地的环境振动在结构上不致增大。第二次微振动测试，即工程主体建筑竣工，厂房内各类设备尚未安装前的环境振动对主体结构影响的测试，主要测试建筑主体•54• 结构的动力特性（固有振动频率、阻尼比等）及主体结构在环境振功作用下的防微振性能，验证结构方案的合理性。必要时，可对现有结构进行部分改进，提高其防微振能力。并可作为厂房内各种振动设备的隔振设计技术依据。第三次微振动测试，即厂房内除精密设备及仪器外其他空调、动力系统等设备和工艺附属设备联机调试或试运转时，在精密设备及仪器安装位置处的环境振动测试，以考核外界环境振动对该处的综合影响，评价是否满足精密设备及仪器的安装条件，为精密设备及仪器是否需进一步采取隔振措施提供依据。并对动力设备的振动影响进行评价，必要时可采取进一步减弱振动影响的措施。第四次微振动测试，即精密设备及仪器安装完毕，工艺设备试生产时在精密设备及仪器安装位置处的环境振动测试，以考核外界环境及工艺设备振动对这些位置的综合影响，这也是工程投产前的最终测试。测试分析结果可作为防微振工程验收的依据，亦可作为企业制订生产、运行、厂区环境管理规定的依据。防微振工程的勘察、设计、施工、安装程序可按图1所示框图进行。对于大型复杂、防微振要求较高的工程，可适当增加测试次数，如地面结构或底板完成时的微振动测试。对于一般性的防微振工程实施，程序可适当简化。3.0.3本条规定了区域规划及厂区规划时振源位置的布置原则。振动大的振惊引起的振动值远大于精密设备及仪器的容许振动值，将其布置在区域边缘或远离有防微振要求的建筑物，利用振动沿地基土传递衰减的效应，减弱振动对有防微振要求的建筑物的影响。3.o.4本条规定了建筑物内的振源与精密设备及仪器的布置原则。振源与精密设备及仪器分类集中、分区布置，便于振源振动的隔离与精密设备及仪器的隔振。振源与精密设备及仪器相互远离，利用振动沿建筑物地基及结构构件传递衰减的效应，减弱振动对精密设备及仪器的影响。•55• 场地环境振动测试（第l次）精密设备及厂址选择仪器容许振动值工程地质勘察地基动力特性测试厂区总平面布置确定厂区动力确定有防微振设备建筑位置要求厂房位置强振源建筑内动有防微振要求厂房力设备隔振设计建筑结构防微振设计厂房建造有防微振要求厂房主体结构竣工后振动测试厂房主体结构竣工（第2次）有防微振要求厂房内动力设备试运行时环境振动力设备安装及试运行动测试（第3次）精密设备及仪器隔振设计有防微振要求厂房内工程竣工环境振动测试有防微振要求厂房试生产（第4次）图1防微振工程勘察、设计、施工、安装程序框图3.0.5本条规定了防微振工程设计应包括：建筑结构的防微振设计、动力设备及管道的隔振设计、精密设备及仪器的隔振设计。防微振工程是一项系统工程，涉及建筑、结构、机电、设备等专业，因此需要各专业人员的协作配合。 3.0.6通常有防微振要求的厂房或实验室投资巨大，其中的精密设备及仪器价值昂贵，一般处于生产工艺及科学实验的关键核心地位，振动影响直接决定其能否正常运行，进而关系到生产或实验的成败，所以，防微振工程是整个工程建设中一个非常重要的环节。根据微振动的特点及目前的科学技术发展水平，防微振工程设计必须以精密设备及仪器的振动容许值为振动控制目标，以初步设计和详细设计为依据，以工程各阶段的振动测试数据为指导，以质量可靠的施工过程为保障，通过对各种有害振动源及其不利影响进行控制和处理，最终确保精密设备及仪器正常运行。因此，本条规定，防微振工程的设计与施工质量必须满足精密设备及仪器的容许振动标准。本条作为强制性条文，必须严格执行。•57• 4精密设备及仪器容许振动标准4.1一般规定4.1.1精密设备及仪器容许振动值，是指保证精密设备及仪器正常工作或生产条件下，位于设备及仪器底部的容许的环境振动值。精密设备及仪器的容许振动值可通过三种途径确定。1制造商或供应商提供的精密设备及仪器的容许振动值。2使用方根据工艺要求及实践经验提出的设备及仪器对环境振动的限值。3本规范或国内其他规范提供的精密设备及仪器容许振动值。应优先采用制造商或产品供应商或使用方提供的有关精密设备及仪器的容许振动值，当不具此种条件时，则应采用本规范或国内其他规范提供的数值。4.1.2由于电子工业发展迅速，工艺生产及科研技术进步较快，工艺设备更新迅速，由此产生的对精密设备及仪器容许振动限值会更为严格，因此，在工程设计中，宜考虑未来周围环境振动变化及设备更新所引起的防微振需求。4.2精密设备及仪器容许振动值4.2.1电子工业、纳米实验室及理化实验室等所用精密设备及仪器的容许振值，即表4.2.1所规定的微振动标准，是一个与国际常用标准接轨的容许振动标准。该标准于1983年由美国BBN公司提出，即所谓的vc曲线，1993年，美国环境科学技术协会