静电对策实施手册ptd

'全公司生产技术规定标题登记编号ZES-B054-O静电对策实施手册制定日期2004年02月27日实施日期2004年04月01日改正日期年月日1.参考事项2.修改事项一览符号修改日期修改内容的要点担当承认作成起草照查承认要素作业分科会生产技术部会宮沢堀口釣谷嘉藤Pioneer 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　1/99静电对策实施手册１．目　的　本手册通过明确搭载半导体的半完成品、产品操作地点的静电对策实施方法，防止半导体等遭静电破坏或劣化，使生产工程、市场质量得到提高。２．适用范围こ适用于先锋株式会社、以及日本海内外各生产工场的半导体部品、光头、基板UNIT、半完成品、进行产品操作的所有部门。本本规定根据需要可以运用于其他相关公司。３．运用方法对本静电对策管理规定进行修改和废除，以及运用于本规定以外的事项时，应由要素作业标准化委员会（以下简称委员会）进行讨论、商议后决定。本委员会由生产技术部门的委员和从生产先锋品牌商品的有关公司的生产技术部门选出的人员构成。　本规定由全公司生产技术规定类管理事务局（生产支持部生产技术中心）负责。４．构成和内容本手册由下述部分构成。静电对策的意义1．地线效果、电源供给侧（ＡＣ插座）的确认2．接地确认3．除电对策的实施4．人体的除电对策、静电环的佩戴5．人体的除电对策、利用导电鞋及导电地板的除电方法6．机器、设备接地对策は焊锡烙铁、电动螺丝刀的接地7．治工具、周辺环境的除电对策8．标识的实施9．对策的维持管理10．关于ＩＥＣ６１３４０11．对策现场的监查、报告、继续相关规定（全社生产技术规定）ZES-A004静电对策管理规定５．　生效与改定本规定从２００４年４月１日开始生效。本本规定根据需要进行改定。改修改的内容由分科会同有关部门商议后决定。今本次参加制定的人员和分科会在解说中说明。６．其它本次制定的经过及要点在解说中进行说明。(04.02.27)静电对策实施手册 目次页项目及内容3静电对策的意义4１．地线效果、电源供给侧（ＡＣ插头）的确认5２．接地确认7３．除电对策的实施9导电垫的接地方法连接导电垫的电极、接地方法15作业台、作业架的导电垫、导电地板等的电阻测量18４．人体的除电对策,静电环的佩戴20静电环的确认21静电环使用上的注意点23错误的静电环连接例关于静电环的连结部24５．人体的除电对策,通过利用静电鞋与导电地板的除电方法25穿静电鞋时的人体接地状态29实际操作现场的导电状态的确认方法30系统合成电阻值的维持34作业服（着装）的带电防止44６．通过机器、设备接地的静电对策连结机器的线材端子53接地的区别54接地线的配线例56接地状态的确认（焊锡烙铁）60接地状态的确认（电动螺丝刀）64７．治工具、周边环境的除电对策70带电压的测量作业现场的除电对策72利用除电器除去静电73除电器的性能评价（使用chargeplatemonitor）75除电器的简易动作确认80带电防止剂（涂布、吹风型）的使用关于指套、手套的使用81８．标识的实施静电对策责任者的任命与表示ＥＳＤ保护区域（ＥＳＤprotectedareaＥＰＡ）的表示　旧称静電对策区域82ＥＳＤ保护区域　（ＥＳＤprotectedarea　　＝ＥＰＡ）的表示标签实施例ＥＳＤ管理电压值的表示静电对策品与未对策品的表示対策品的表示例(备品、治工具）84９．对策的维持管理戴电压管理对策管理项目87注记88１０．IEC6134089参考TECHNICAL61340-5-1　一般要求事项90参考TECHNICAL61340-5-2　　使用指南91１１．对策现场的监查、报告、继续使用方法与计算方法静电监查确认表静电监查结果报告书不合格事项　／　是正处置 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　2/99静电对策的意义进行并维持静电对策的目的是维持先锋产品质量的一个手段，。因半导体、产品、生产现场的状况经常发生变化，所以必须建立能对应其变化的EPA。静电实施前要做的工作基本就是以前所说的『５Ｓ』１．整理２．整顿３．清洁４．清扫５．教养　５Ｓ的目的并不只是进行现场的清扫◎最大的目的提高公司员工的自主性形成良好的团队工作作风养成领导人的领导◎直接目的提高企业形象提高能率　缩短LEADTIME，确保纳期削减在库提高质量消除故障确保安全减低原价提高组织的活性化及干劲◎最终目的提高管理能力建立能着实推进所有管理改善活动的组织。引用于日刊工业新闻社中部产业联盟编5S展开大辞典有必要再次理解5S的重要性并进行实施。可以说没有5S的实施，就不能进行静电对策。静电对策的实施此手册中只记述了基本的最低限的静电对策内容，有的对策内容能够满足现场水平，但有的对策并不充分，需要进行更高层次的对策。在操作先锋产品的现场，不断地进行改善、对策、提高管理技术并水平展开是很重要的。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　3/991.地线效果、电源供给侧（ＡＣ插头）的确认使用测量仪　　　ＡＣ电压计（电压计）1.1电源插头部的动作确认在连结电源插头前须确认下图所示的测量点的电位。测量场所-１插座部插座部的例测量场所-３-１测量场所-２－端子＋端子地线端子1.2地线部的效果确认　(利用ＡＣ部的确认方法）生产现场进行的地线部的效果确认（接续状态）方法如下所示确认ＡＣ插头与下图所示的测量点的电位。插座部测量场所-３-１＋端子－端子测量场所-２测量场所-３-２地线端子地线地线干线1.3测量结果的判断测量点　　　测量内容测量值、容许范围a)测量场所---1确认电源供给确认AC100V(容许范围＋7～－5%)＋端子――端子间的电压电源供给、电压、极性、及b)测量场所---2地线效果的确认AC100V(容许范围＋7～－5%)＋端子―地线端子间的电压电源供给、电压、极性及c)测量场所-3-1,2地线效果的确认AC0V(容许范围　5V以下)－端子―地线端子间的电压在容许范围外时的对应对于不能满足上述测定项目的位置，立即进行纠正。原因有排线错误、忘记连接等。要重视防止机器的动作异常和破损的发生，并重视保护人体，尽快采取对策。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　4/992.接地确认所谓接地，简而言之，就是以低电阻将电力设备、通信设备等与大地进行电气连接。概括起来，可以说是出于如下的目的进行接地工程。a）防止触电b）使电位均等c）防止静电障害d）避雷e）利用大地回路f）抑制通信障害这些接地项目在接地时，起着与大地连接的电气端子作用的是接地极。2.１.关于采用静电对策的接地工程接地电阻：100Ω以下2使用线材：绿色软铜接地线，截面积2mm以上，（单线φ1.6mm以上）接地方法：D种接地或电力线（从建筑接地）。也可通过避雷设备、建筑基准法所规定的雷設钢筋混凝土建筑接地。2.2.关于制造车间等的接地电阻值管理a)一般而言，在必须采取静电对策的制造车间，所谓设备等的接地，是将设置于生产线的设备与接地线相连接。对其连接状态的管理就是管理制造部门的接地电阻值。确认连接状态的方法可参照1.项的接地效果、确认电源供给（AC插座）。接地极的维持管理由设备部门来进行。b)一般而言，制造部门以及其它大部分部门的接地线多如以下的例子所示。例：MEC川越事务所的构成管理责任部门（制造、各部门）（设备部门）分　配电　电盘　盘保安接地・制造线内的地线・地线干线（地线干线）接地极①制造部门和各部门的接地线要与分电盘内的接地干线相连接。。②设备、夹具和各有关机器要与接地线（接地干线）相连接。上述二个项目的管理就是接地电阻的管理。换而言之，只要进行插座部的极性确认、地线效果确认就可以了。注意根据接地目的不同，接地种类也分为多种，上图的地线是以安全保障为目的进行的。以防止发生与电气设备相关的触电、火灾为主要目的，因此该地线可以理解为并不是用于静电对策，但在本阶段使用是没问题的。２００Ｖ的线材作成的地线使用的话有可能会带有噪音，请使用100V的线材。在使用耐性较差的半导体设备时，推荐重新埋设静电接地极，且接地电阻值最好在10Ω以下。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　5/992.3ＥＳＤ对策用接地极的效果（接地电阻值）确认ＥＳＤ对策用接地极的电阻值一般要进行D种接地工程（100Ω以下）。半导体设备的耐压电压值较低时，最好进行A种接地工程（10Ω以下）进行接地效果的判断必须使用专用的测量仪器，就是接地电阻测量仪。各测量仪器厂家有多种接地电阻测量仪，现举一些代表例：　◇３电极式接地电阻测量仪测量范围　０～１０００Ω（对应A～D种接地工程）测量精度好，可以作为基准，但在实际测量时有些困难。※a）除要测量的接地极之外，还需在地面打入2根辅助电极。最近由于城市化发展，有时不能将辅助接地极打入大地，以至不能测量。(因大地表面铺盖了柏油，水泥等）b)在进行打入作业、测量后还需花时间进行整理收拾等辅助电极EPC被接地极Ｅ：侧量对象接地极Ｐ：电压电极Ｃ：电流电极PEC接地电阻测量仪外观照制造公司YOKOKAWA横川ＭC株式会社型号3235◇简易型接地电阻测量仪　下记测量仪不用打入辅助电极，能够简单、快速地测量出D种接地工程的电阻值。测量范围　２０～５００Ω　　(可以测量除ＥＳＤ对策所需要的电阻值）ReturnLead线　２０ｍ被接地极制造公司HIOKI日置电机株式会社接地电阻测量仪外观照型番3143特徴　测量用旋钮优点只能从右向左转动，向最小值调整　：只要连结2根LEAD线就可以进行测量　：测量简单，一个地方大约只需花10分钟时间就可以测量出接地电阻值。　　１．地线端子与被接地极的连接。　　２．RETURN端子与RETURNlEAD线的连接。附属的LEAD线不能从地面浮起，要成直线形延伸(约20m)。2.4实施定期检查各生产工厂必须定期实施检查。由接地工程的责任部门实施，并保证有静电对策所需要的接地电阻值。确认频率1次/年。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　6/99３．除电对策的实施材料的保管场所、作业台、作业现场要实施以下的除电对策，实施方法就是使表面部分导电，进行静电对策。3.1方法材料保管架、作业台、作业者的步行范围应使用导电垫、导电性涂料、导电地板等导电材来除电。3.2実施例a)地板在作业范围和步行范围内铺设导电性垫子。导电垫子垫子与垫子连接时，要在低电阻导电层侧安装电极，进行电气连接。用带电防止胶带固定，使其设置状态稳定。（为防止脱落）导电垫子使用例ACHILLESＳＦ５０（宽５０ｍｍ）　　　　　　ＳＴ－８（宽５０ｍｍ）注意※如果防止脱落用的普通胶带在管理电压值以下，　就没必要再用带电防止（低带电性）胶带覆盖。（测量表面电位后判断）Esdgroundb)边桌・在各层铺设导电垫，安装连接用电极，使其接地。導電マット・还要与机体的金属部分连接，使其接地。金属部也会带电。注意接地线为绿色。Esdgroundc)作业台-1导垫垫・在各作业台的表面铺设导电垫，安装连接用电极，使其与地线连接。・作业台的金属部分也要连接接地。左图所用的连接电极的线色为黑色，因为是市贩品，故也可使用。Esdground(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　7/993.3实施例d)作业台-2（单元生产用）・在各层铺设导电垫，连接地线接地。导电垫・作业台的金属部分也要连接，使其接地。导电垫注意地线的线色为绿色。e)高度补正台的例子正确使用的例子错误使用的例子NG导电垫导电垫导电垫导电垫表面铺设导电垫，并装有接地线，表面用导电垫覆盖。完成接地。或表面仅与高电阻导电层接触，无除电效果f)材料架・在各层铺设导电垫，连接地线接地。导电垫子・架子的金属部分连接地线接地。g)用导电涂料使地面导电化的例子作为今后推荐的实例而演示・对作业范围内的地面，用导电涂料进行处理。·对于作业台，用导电管和导电轮使其导电，　并在台子的表面铺设导电垫。注意某些导电轮不能满足规定的电阻值，定位置时，导电涂装面要用接地线进行接地。为了对金属部分除电，也要接地。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　8/993.4导电垫的接地方法通过将导电垫接地，使其发挥除电效果，各垫之间必须要安装连接用电极，并与接地线连接。安装于导电垫的电极，必须要与反面的低电阻导电层（1MΩ以下）连接。表面侧保护面高电阻导电层（100MΩ以下）黒色低电阻导电层（1MΩ以下）裏面側注意若从高电阻导电层接地，电阻值高，将没有除电效果。3.5导电垫的电极间隔垫子种类不同，与地线的连接也会有所不同，若无特别指示，一般以5米间隔安装连接用电极，并与接地线连接。　　间隔5m低电阻导电层3.6连接刀导电垫上地电极，及其方法a)按扣（3M产品）连接用电极导电垫子电极（俯视）电极（反面）将其钩爪穿过垫子反面的低电阻导电层，将其弯曲后接合。ｂ)AKIRESU连接用电极ＳＵＳ制电极引线安装用的两面胶带。剥掉保护膜，贴于低电阻导电层一侧。c)利用普通小五金在垫子反面的低电阻导电层一侧安装电极。ＳＵＳ制电极用铆钉固定（用于连接线）在线头安装压着端子。用铆钉固定（与垫子连接，要2个以上）(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　9/99使用通用小五金的连接板的安装方法。□表面（保护层侧）□反面（导电材低电阻值层侧）安装两个以上的固定针通常推荐安装3个□部品一套：地线用线材（带圆形压着端子）　１根：铆接针L=9凸凹4＊1組：带内齿的小五金2枚（也可以使用弹簧垫片）：SUS制　Ｔ字小五金　　　1枚―---------------------------作　成　手　順-------------------------------１）准备地线、圆形压着端子2)端子铆接3)安装到连接板上铆接针、垫片铆接针、垫片　※垫片为1个以上就可以。4)使用锤子使之接合5)安装孔的定位6)将安装孔位置做好标记7)打孔8)在孔里装上铆针9)将垫子翻过来与连接板组合打孔机10)初步装上反面的铆针11)使两边铆针接合（使用锤子）12)将垫子转过来、外观检查注意：垫子侧的铆针至少要订2个，推荐订3个。：确认铆针无松动。：为防止松动，最好能加垫片。（垫片可以只加一侧）(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　10/99d)垫子与垫子连接时垫子②垫子①左图铺了3张垫子实施方法垫子①的低电阻导电层安装了专用电极，与地线连接。垫子②、③的低电阻导电层上连接了垫子连接用电极，与电极连接。垫子③电极每隔5m安装一个，与地线连接。e)垫子、垫子连接用端子（3M制）。用连接端子将垫子与垫子导通。连接用端子垫子-2注意垫子每隔5m接地。垫子-1f)垫子、垫子连接用端子（ACHILLES制）连接板单体（仍留有保护膜)贴到垫子低电阻导电层上导电垫-1安装导电垫-2已剥掉保护膜的粘着部已贴好垫子安装前的状态g)垫子、垫子连接用电极SUS带材导电垫用长带状的、SUS制电极与低电阻导电层接触导通。导电垫低电阻导电层注意使用时要注意接触不良。推荐使用铆针接合(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　11/993.6.1导电垫子的配线方法如果配线方法正确就能发挥导电垫子的效果，即使发生断线也可以将损害减少到最小程度。　□连接全长为5米以下的垫子的场合正确例分支后的线材5m以下2：绕线　1.25mm以上5m以下导电垫导电垫导电垫使用的线材注意：单线　　　Φ１．６mm以上各电极已经接到反２面的导电层上：绕线２０mm以上◎各垫子都接有独立的线与接地极相连接，能发挥垫子的能力。◎即使一部分线断线也会由于接线是独立的，能使事故减少到最小程度。错误例NGNG导电垫导电垫导电垫★连接垫子的线是串联的，垫子也是串联的，使电阻值叠加的能力降低。★中间的线如果断线就会增大损失。　□连接全长10米以下的垫子的场合进行理想的配线比较困难，而且问题点也多当铺设了多个垫子时，地线接线如下图所示，各个垫子进行独立的接线，但实际接线时，因要进行多处连接，所以花的时间较多如果连接点较多，就会容易发生作业错误，会增加不稳定因素，综合考虑，　不推荐这种方法。◇虽然这是理想的配线，但因线较多，容易发生新问题长10m以下的垫子５ｍ以下５ｍ以下★线材的接合部分多，作业时间增长。★连接点多，可能会发生新的问题。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　12/99◇现实的地线配线方法（推荐）如果不能进行理想的电极配置及配线，应优先安全性考虑，变更配置方法。线虽然是串联的，但能保证安全性能。理由　　5m以下的范围内存在多个电极，能够起后备作用，　『为确保安全性，考虑在各垫子上安装多个电极』配线例－1长度在１０ｍ以下的垫子注意电极要连结在反面地导电层上。SUS制的带宽30mm以上５ｍ以下５ｍ以下地线接地极：中央部的线很难安装，可以用SUS制造的宽30mm以上的带插入到导电垫反面的低电阻值侧，这样能够进行电气连接。长为１０ｍ以下的垫子配线例－２SUS制的垫子宽30mm以上５ｍ以下５ｍ以下注意电极连接在反面的导电层上。地线接地极：在导电垫里面的低电阻值侧插入SUS制宽30mm以上的带子进行电气导通，这样不会因垫子的重量产生偏移、脱落的危险。：地线应装到SUS制的带子上，或通过端子板进行安装。：应用压着端子、铆针、电片等保持机械连接强度、保持电气导通性。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　13/993.7导电垫子、导电地板等的使用上的注意导电垫子必须与地线连接。要定期清扫垫子的表面、清除异物，保持导通性。而且，如果要涂蜡，不能使用一般的地板蜡，必须使用静电对策用蜡（参照注记）。连接用电极必须使用机械连接与电气连接（导通性）的机能｡注记导电垫子与连接用电极未连通的例【地板、导电垫用的腊】推荐品NGJONSON.PROFESSIONAL（株）浮起有空隙　　名称　　　　　ELEX导电垫　　　　　　　　　　（带电防止剂）2　使用面积：18L约1,200m（涂１次）　净含量：18L电极未与地线连通的例例　-1　显微镜上面铺的垫子例　-2　导电垫多处铺垫NGNG导电垫导电垫导电垫未连接地线与地线未接通导电垫高电阻导电层的表面上用小型端子连接地线。NG因电阻值高，所以除电效果低下。反面为导电层＝连接板安装侧对策在低电阻导电层反面用连接板进行导通。※因作业台为木制，使用木螺丝拧紧端子的导电垫重大缺陷是会因经年使用后会发生导电垫变化而松动、脱落。在作业现场的入口处设置了粘纸，用于粘掉鞋底、台车轮子上附着的异物。使用前使用后使用后８小时使用后剥掉用脏了的粘纸。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　14/993.8作业台、架子等的导电垫子、导电地板等的电阻值测量为进行静电对策、保护人体，要保证在管理值之内。新增设置及变更时，要用以下方法实施定期检查。为适用于静电对策基准（IEC613404-1、5-1、5-2），及照顾到半导体设备的耐性低下、人体的安全性等方面，对测量基准进行了变更，而且由于以前的以500V为基准测量电阻值无法检查出劣化了的导电电阻，这也是进行变更的一个原因。3.8.1按国际规格IEC613404-1、5-1、5-2进行测量的方法5a)使用测量仪电阻值不到1×10Ω时，加１０[V]可以进行测量的仪器。5电阻值在1×10Ω以上时，加１００[V]可以进行测量的仪器。代表例　　　・表面电阻计SufaceResistanceTestKit推荐品　ＤＥＳＣＯ制MODEL19780（附带电极）・专用电极　美国标准５磅电极５磅电极（120h×φ64mm)本体这里带有导电性垫子与接电极连接3.8.2沿用一部分旧基准的测量仪器进行测量的方法有效利用原来的测量仪，得到误差少的测量结果的方法a)使用测量仪代表例　・电阻计　　印加电压为１２５[V]的绝缘电阻计制造公司YOKOKAWA・专用电极型号MY-40JIS标准条件的电极（２Ｋg　φ60mm)这里带有导电性的垫子b)使用测量仪代表例　・电阻计　　印加电压为１００[V]的绝缘电阻计制造公司YOKOKAWA・专用电极型号2426A　美国标准的5磅电极（120h×φ64mm)　2.3Kg这里带有导电性的垫子现在停止销售◇在有效利用以前的测量仪时的注意点将测量结果与国际规格的IEC61340方式进行比较，如果值很相近，则判断为同一值。对测量值有疑义时，按3.8.1项IEC61340基准a)方法进行判断。◇测量时的注意点测量现状很重要，在测量前应用有机溶剂洗净，禁止用水檫，如果有少量尘埃等，可以用柔软的刷子除去。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　15/993.8.3　测量地面、作业台表面、架子表面与接地极间的绝缘电阻时的接线图。a)测量方法专用电极绝缘电阻计表面电阻计导电橡胶垫低电阻值导电层侧导电地板、作业台上面、架子上面等接地极3.8.4　绝缘电阻的管理值◇变更前--------JIS测量基准与绝缘电阻值测量方式　电压[V]　电极[mm]　重量绝缘电阻值[MΩ]：以前的方式500　φ６０2Kg　0.1～100以内问题点　　有时会因测量电压高造成测量物的绝缘被破坏，这样显示的绝缘电阻值就会偏低。◇变更后--------IEC61340,ESDS4-1测量基准与绝缘电阻值。　测量方式　電圧[V]电极[mm]　重量绝缘电阻值[MΩ]：国际规格方式100　　φ６４　5lb　　0.1～100以内：使用原来的测量仪a)125　　φ６０　2Kg　　0.1～100以内：使用原来的测量仪b)100　　φ６４5lb　0.1～100以内优点　　因这种方法不会发生使绝缘破坏，所以能得到正确的测量结果。１．地板、桌子、架子等的绝缘电阻值（推荐值）最好在0.75～10MΩ以下。２．如果通过所穿的鞋子将人体的电位引到地板接地极，系统的合成（人体、鞋子、导电鞋、地板）电阻值最好在0.75～35MΩ以下。3.同样，使用静电环接地时，使用的系统合成电阻值最好在0.75~10MΩ以下。如果为10~35MΩ就会有些异常。等级2（50V)以下须佩戴静电环，因为如果电阻值低（10MΩ以下），人体的带电压就能控制在50V以下。人体带电压与电阻的关系图10080電60圧40Ｖ20005101520253035抵抗値（ＭΩ）上图　　引用IEC613405-1(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　16/993.9导电电阻的性能测量导电垫的目的是作成没有电位的『０V』等电位面，以防止半导体装置静电放电造成的损伤。：作成能够操作半导体、搭载了半导体的PCB、半完成品的面。：遮断电界：起接地作用，构筑穿导电靴、在导电地板上铺垫垫子的接地系统。在选择导电垫时，不仅要看资料目录，而且还要实际进行评价，知道其性能和现有的垫子情况。参考　可以只测量市贩品的导电垫的电阻值来作为评价。◇Achilles制　SCMAT的电阻值的测量a)测量绝缘电阻值(500V)　ｂ)测量绝缘电阻值(125V)4.68ＭΩ/500V7.71MΩ/125V５００Ｖ１２５Ｖ确认结果：如果只用５００V进行测量，电阻值低。：１２５V/５００V　时的电阻值变化　　　７．７１/４．６８＝１．６５　倍的変化。：满足所定的电阻值。◇矢崎製　测量导电垫子的电阻值a)测量绝缘电阻值(500V)　ｂ)测量绝缘电阻值(125V)36.8MΩ/125V8.96ＭΩ/500V５００Ｖ１２５Ｖ确认结果：如果只用５００V进行测量，电阻值低。：１２５V/５００V　时的电阻值变化　　３６．８/８．９６＝４．１倍的变化。：１２５V时，显示的电阻值要比ACHILLES制品高５倍。：在规格值内◆结果判断上述2种导电垫虽然都满足单体规格，但将人体通过静电鞋及地板接地时，两种导电垫有很大的差别。人体带电如果要在100V以下，系统合成电阻则要在35MΩ以下，如果用矢崎制（同等）品的话不能达到推荐值。现在的规格值虽然能满足１００MΩ以下，但除电效果不明显，如果静电要求在３０V以下就更不理想了。（接地的除电效果）在选择导电垫时，要选择10MΩ以下的导电垫。今后除电系统的构筑方法：地面导电地板（耐久性、导电性能好）较稳定，保持１MΩ左右的电阻值：作業台面　导电垫（柔软、容易设置）(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　17/994.人体的除电对策、戴用静电环由于人是移动的带电体，故有必要采取完全的对策并进行管理。铺设导电性地板、穿导电鞋、戴静电环等都是静电对策，但只采用其中的一、二种方法则不能说是完全，有时会发生危险。例如，即使穿上导电鞋，脚也有离地的时候，静电环有时会断线、或未完全与皮肤接触，故同时采用上述三种方法才是最为理想的。4.1戴静电环以除电a)静电环例-1・制造厂商：住友3M・名称：可调型静电环・型号2314例-2・制造厂商：ACHILLES公司・名称简便静电环、彩色静电环・型号D-051D-050b)戴用方法GOOD将带套上作业者的手腕，然后戴紧至无空隙。必须要使其与皮肤直接接触，若有空隙则无除电效果。参照左图c)静电环线与地线的连接方法通常是将静电环的头部与接地线连接而接地。但是，要在生产中稳定地使用，尚有许多问题。问题点例1　问题点例2若用单线的ф1.6，则咬合不牢固，若用软铜线，则夹子会损伤线材，接触不完全，且易脱开。导致断线。NGNG容易脱落即将断线夹子的脱落和接地线的断线会使其无法发挥对于人体的除电效果。为此规定了下页后的对策例子，可根据现场的状况选择实施。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　18/99改善对策的例子改善对策例-1（接地线的变更）2GOOD地线左图的例子使用了3.5mm的硬铜多股线。a）线种变更：单线→多股线2b）线径变更：ф1.6→3.5mmc）硬度变更：软铜线→硬铜线防止断线，并强化和改善了接合强度。夹子改善对策例-2（增加有端子的接地线）GOOD线夹地线头部的圆形压着端子·在线安装圆形压着端子后与地线连接。为防止断线，用邦带扣住。·将圆形压着端子与夹子连接起来。改善对策例-3（增加香蕉插口）GOODa）可直接与静电环的香蕉插口相连接b）由于使用了导电性垫子用的接地线，因此能同时与垫子连接。改善对策例-4(改用夹子)与φ1.6mm的接地线相连接的状态2推荐使用3.5mm以上的硬铜多股线。改变夹子，提高连接强度。由于夹子有纵向和横向的齿，故即使使用线径较细的φ1.6mm，也能保持强度。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　19/994.2检查静电环a)戴好后确认其是否导通（在生产线的检查场所等处确认的方法）作业者将静电环戴上手腕，将其引线与检测器的指定部位连接，用指尖按住检测部，检查其装着状态以及是否导通。静电环检测器的例-1·制造厂商：ACHILLES公司·名称：静电环检测器·型号：D-001用指尖按压静电环检测器的例-2·制造厂商：Semtronicscorporation用指尖按压·名称：系统分析器·型号：EN425电阻值设定为10MΩ进行判断。静电环易断线，故要以1次以上/天的频率进行检查。注意点上述方法并未确认实际作业状态，不能发现忘了夹子等的情况，故要以实际作业状态的检查为准。b)使用静电环时的系统合成电阻作业条件下的导通确认方法（实际作业状态的确认=系统合成电阻/静电环）在已确认过接地效果的作业现场，将静电环和系统分析器的夹子相连接，以实际作业状态进行导通确认。R6R5接地干线将静电环的夹子与接地线相连接。连接地线R2R3地线R4R13用系统分析器检查系统合成电阻值/静电环就是佩戴静电环时的合成电阻值。Ｒ１：１MΩ±５％的保护电阻Ｒ２：静电环与作业者的接触电阻（约１MΩ）Ｒ３：作业者的人体电阻　　　（约１ＫΩ）Ｒ４：系统分析仪按键与手指的接触电阻。（500ＫΩ以上）Ｒ５：系统分析仪与地线间的接触电阻（为低电阻值）Ｒ６：接触电阻（为低电阻值）清除接触部的脏污、锈斑、异物、松动等情况。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　20/99c)在作业条件下确认导通（实际作业状态中不间断地进行监视的方法）在作业状态中，将时常监视型的检测器安装在接地和静电环之间，监视接地状态，随时检测导通不良。目前，尚无比此更好的方法，若无费用上的问题，应立即导入。4.3使用静电环时的注意点使用静电环时要注意下述各点，特别时仅用静电环实施对人体的除电时，要保持电流的导通状态。1将静电环戴上手腕时，要与皮肤直接接触a)不要戴在作业服上。b)不要戴在手套上。c)戴静电环时，其带子不能松弛。2经常监测静电环的接地状态（参照上面）。使用时，要经常监视，使其无断线、无夹子的脱落。3以实际作业状态用系统分析器进行检测、使用。4每天要检查1次以上5要尽量用2个静电环，并要结合其它方法，经常保持接地。使用低压装置时，为保险起见，双手都要戴静电环。6由于脱落时不易察觉，故不要将静电环戴在脚上（脱落发现不及时）。要将静电环戴在脚上时，必须得到管理人员的许可。静电环误戴的例子戴在手套上戴在静电对策手套上。纠正点1与皮肤直接接触。要紧密接触2不在与检查静电环时不同的条件下进行作业。NG静电环3彻底贯彻戴用指导和指示。为保护人体，需要严格遵守的事项通过静电环进行人体接地，即使与到活电部不小心接触，由于有保护电阻，电流被限制在０．５mA以下,所以对人体不会有危险。静电环的环部不能为金属制，同时，为保护人体，作业中禁止戴用金属表（含金属的东西）。而且作业时，不允许戴作业需要之外的物品。NG禁止带手表NG不准戴私人物品(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　21/994.4静电环确认时的注意事项a)取消所有静电环之外的静电接地线路穿导电鞋站在导电地板上时，人体（手腕以外）如果还有别的接地线路就会引起误判断。◇人体通过导电鞋与地板面接地时，即使静电环处于断线（未连接）状态也无法检查出来。　导电鞋、地板面的系统合成电阻在10ＭΩ以下时不能检查出来。◇对应方法如果在静电环的确认场所的地面铺上绝缘物（带电防止性），就可以让人处于非接地状态。只留下静电环侧的接地回路。９１１使用有带电防止性能（１×１０～１×１０Ω）的产品b)静电环检查仪的动作确认为防止事故的发生，要确认检查仪是否有故障、效果。◇确认方法使人体处于非接地状态，进行确认，确认判定结果为”ALERT”，说明检查仪的基本动作正常。◇机器动作的确认频率最好是作业所有的人都进行确认，管理者应该在开始作业时至少确认一次以上。4.5静电环的连接场所人体的接地手段主要为静电环、导电靴＋导电地板。将静电环与人体直接接触，能够有效地除去静电，但前提是使用方法要正确，最重要的是消除连接静电环的接地线路侧的不稳定因素。静电环应连接到地线干线上如果线不够长，应接一根中转地线进行连接。地线干线中转地线线材导电性桌垫NG接地极连接点NG　垫子的电阻值GOOD会增加导电性地板垫　为同一电位，没有电位差（人体、机器、地板面、桌子上面）注意１．接地点到地线干线为止的电阻值要在２Ω以下。　　因接地极与人体电位相等，要尽量使线路的电阻值降低。２．用中转线代替导电垫的低电阻层会导致电阻值上升，不允许这样做。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　22/994.6错误连接静电环的例子戴在人体上的静电环，只有与地线连接才能发挥效果。以下是连接夹子使用方法错误的例子。a)未咬合。ＮＧ导通不完问题点１．环状的接地线钩住了夹子。未直接与接地线咬合２.由于夹子的连接齿是横排的，　故不能与线材连接。b)与接地线的咬合不牢固。ＮＧ断线问题点夹子咬住了环状接地线，但由于只有一根，故机械强度不够，有脱落的危险。对软铜线进行焊接处理，使其形成连接部，但由于强度不够，故有断线的危险。c)接地线将断，未咬合。ＮＧ　断线问题点虽然股线有夹子夹住进行了焊锡处理过的地线，但还是即将断线。断線寸前禁止使用软铜线。d)压着端子与引线的修理不完全。在压着端子的根部有断线过的痕迹。再次进行焊接处理，使其导通。ＮＧ　強度不够问题点由于压着端子平坦，故即使夹子咬住，仍有脱落的危险。4.7静电环连接部如果有上述的错误连接方法，会导致机械强度、电气导通性不稳定，因此禁止按上述方法进行连接。齿口形物直接连接到线上时也是同样。◇推荐方法a）使用香蕉接口时的连接方法３MACHILLES制　b）在中转地线的头部安装圆形压着端子，使用夹子进行连接。实施费用少，效果大。2c)在3.5mm的硬铜线上使用夹子进行连接这样能够保持连接强度(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　23/995.人体的除电对策、采用导电鞋和导电地面材料的方法在使用半导体装置的工程，必须穿导电鞋、采用导电地面，以除去人体的静电。与使用静电环相同，为发挥其正常功能，要采用正确的使用方法并进行日常的维护管理。座着时，由于人体的体重不够，故接触电阻增大，无法达到所规定的绝缘电阻。座着作业时，应同时采用静电环，以便除电。在步行和站立作业时，导电鞋、导电地面能够完全地发挥其除电功能。5.1导电鞋的结构鞋垫8高电阻导电纤维（１×１０Ω以下）6高电阻导电橡胶（１×１０Ω以下）鞋底鞋底和鞋垫肮脏、穿较厚的袜子时，电阻会增加。相反，若有金属物刺入，电阻则下降，可能会有危险。发生漏电等事故时，人体就有危险，很难进行保护。5.2穿导电鞋除电（作业前的确认）a)导电鞋的例子例-1·制造厂商：绿色安全·名称：导电鞋·型号：No21001014例-2·制造厂商：ACHILLES公司·名称：IC鞋·型号：ICM-2100（男）ICL-2101（女）b)导电鞋的穿用状态及其检查（作业前的确认）与普通鞋子一样穿用。注意点若穿袜子，则不穿会因流汗而导通静电的厚袜，不穿多层袜。此外，材料也会引起性能的变化，使用时必须注意。（以纯毛→尼龙→纯棉的顺序降低）建议作业时使用纯棉产品。导电鞋检测器的例子·制造厂商：HAKKO·名称：防止带电鞋检测器操作部·型号：MODEL441操作方法见本体仕样书(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　24/99c)检查仪的动作确认（基本动作的确认）确认频率　　管理者、代表者一次以上/天实施实施方法：使人体处于非接地状态让人体处于非接地状态的方法是如左图所示在鞋底面铺带电防止性的材料，或用其他方法进行绝缘。９１１例　使用带电防止（１×１０～１×１０Ω）产品：让检查仪动作，进行判断　◇白光製　４４１◇SEMITRONICS製　EN-425电阻值高判断为ＮＧ电阻值高判断为ＮＧ：判断正常动作中时，若超出上限值，判断为NG。5.3穿导电靴的人体接地状态。前项所讲的鞋子的确认方法就是一般的方法，也就是测量人体与鞋单品的方法。实际在现场使用时，包括人体电阻＋鞋侧电阻＋地板面电阻在各要素的电阻值不恶化的情况下进行运用、管理时，人体就会被接地，人体电位为零。电阻要因预测电阻值或规格值上限：人体侧的电阻预测为５００KΩ左右：鞋侧的电阻１～１００ＭΩ以内推荐　１０ＭΩ以下：地板侧的电阻１～１００ＭΩ以内推荐　１０ＭΩ以下人体侧的电阻鞋侧的电阻地板侧的电阻电阻值变化要因：人体侧人体的电阻、皮肤的接触电阻、鞋底等的电阻、其他接触电阻等：靴侧鞋垫的电阻、鞋底的电阻、异物附着产生的接触电阻、其它接触电阻等：地板侧地板材的电阻、异物附着产生的接触电阻、其它接触电阻等电阻还会因湿度产生变化。人体与接地极间（人体侧＋靴侧＋地板侧＋各连接部）的电阻用系统合成电阻/鞋、地板来表示，这是实际用时的电阻。推荐电阻值在３５ＭΩ以下，实际上，鞋与地板间的电阻值上限都为１００ＭΩ以下，抛开测量方法的差异不管，单将鞋侧与地板侧的电阻累计计算就达到了２００ＭΩ，这在运用时会发生问题。在现阶段，有必要设定系统合成电阻/鞋、地板的管理值，以它为目标进行运用。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　25/99今后进一步改善导电鞋、导电地板的性能，稳定系统合成电阻，达到35M以下。在这之前，为防止混乱，先暂定下规格值，为保护人体，下限值跟以前不变，为470KΩ以上。　◇运用方法　系统合成电阻：推荐值　３５ＭΩ以下暂定运用：目标值（作为将来的规格）１００ＭΩ以下：暂定规格值１５０ＭΩ以下5.3.1系统合成电阻/导电靴、地板的测量方法　　使用推荐品的场合・表面电阻计SufaceResistanceTestKit・专用电极　ＤＥＳＣＯ製MODEL19780（带电极）a)测量仪器的准备　美国标准的5磅电极（120h×φ64mm)５磅电极本体这里有导电性垫子系统合成电阻值因含有保护电阻，通常为1M以上。在测量１Ｍ以下的电阻值时可以用１０V的电压进行测量，本测量的电压从电阻值来判断，需要１００Ｖ左右的电压。如果连人体也一起测量，如果加１００V的电压有可能就会触电，因此使用上述仪器进行测量时，如果有极少的触电感觉，可以加1ＭΩ的保护电阻进行测量，只要比测量结果小就没有问题。　　b)测量准备：与接地极（地线干线）连接接地极：站在测量场所可以使用刷子除去地板、鞋底上附着的异物，但不能使用湿抹布等进行清扫，必须在接近实际使用状态的状态下进行测量。：人体与电极的连接导电垫、导电地板的测量时使用的专用电极由于底部有导电橡胶，因此接触性能好，能够比较稳定的进行测量。因重量约为2.3Kg，所以给测量带来的负担很少。在测量人体电阻值时，要将手掌清洗干净放到电极上。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　26/99　　c)测量按中央的红色按健(PRESSANDHOLDTOTEST)开始进行测量。等待１０秒左右，读取稳定的数据x下部的EXPONENT显示部的数字为１０１０/１００Ⅴ切换开关设定为１００Ⅴ记录测量结果5.3.2系统合成电阻/导电鞋/地板的测量方法沿用一般测量仪的场合a)准备测量用的仪器・绝缘电阻计SufaceResistance　YOKOＫAWA製MODEL　ＭＹ－４０※使用上的注意点　这种绝缘电阻计有产生２５０Ⅴ以上高电压进行测量的机能，为防止人体被电击，要采取防御措施。：本体：在ＧＮＤ上追加保护电阻　：保护电阻设定为１２５Ⅴ・保护电阻　１ＭΩ　沿用静电环的GND线・为保护人体，可以在不切换到１２５Ⅴ以上的情况下也有效。【测量时使用的专用电极、防雷击的线的作成例】　：绝缘电阻计与用具：香蕉插口附属的连接线保护电阻　追加了１ＭΩ接地极保护电阻１ＭΩ：金属制电极（不锈钢制轴　Φ１２）　人体侧用手握住连接用的孔(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　27/99：站在测量场所可以使用刷子除去地板、鞋底上附着的异物，但不能使用湿抹布等进行清扫，必须在接近实际使用状态的状态下进行测量。：人体与电极的连接人体连接用的电极作业性改善例将绝缘电阻计与带有保护电阻的线相连接，头部为香蕉插口。在连接时手要干净。　　c)测量：设定测量电压切换到１２５Ⅴ的位置：测量开始：按此键：读取显示部的数据　単位为ＭΩ记录测量结果　　d)测量作业完成完成后要切断绝缘电阻的电源从１２５Ⅴ切换到ＯＦＦ的位置(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　28/995.3.3使用系统分析仪（ＥＮ－４２５）进行简易确认的例a)在实际作业现场确认导通状态的方法（系统合成电阻/导电鞋、地板）及注意点使用测量仪系统分析仪　　EN-425设定电阻值设定为１００ＭΩ使用方法参照本体的仕样书。确认方法地线干线部应事先与接地极连接，完成效果的确认。R5地线干线R6接地极连接系统分析仪的地线R3R4R2站在进行过导电处理的地板上R1(导电垫子､导电涂层等）◇确认顺序　①如果戴有静电环，请取下佩戴的静电环。　②将系统分析仪的地线与地线干线相连接。　③测量开始按下系统分析仪的按键。　④确认测量结果：系统合成电阻比１ＭΩ低时，红色的LED(CAUTION）灯亮。异常，不能进行作业。：如果在测量范围内（１～１００MΩ），绿色的LED(SAFE）就会灯亮。　无异常，可以进行作业。：系统合成电阻比１００ＭΩ高或低时，黄色的LED(ALERT）会亮。异常，不能进行作业。：红色、黄色的LED同时灯亮时，表示电池量低。　要及时更换电池。　⑤记录确认结果　⑥确认开始前如果佩戴了静电环，要重新佩戴。系统和成电阻/导电鞋、地板为穿导电鞋与导电地板的合成电阻值Ｒ１：导电鞋的电阻值（保护电阻）包括鞋底脏污，地板脏污产生的电阻以及地板的电阻。Ｒ２：导电鞋、袜子与作业者的接触电阻穿厚的袜子会使电阻值增大，禁止使用。Ｒ３：作业者的人体电阻　　　　（约500ＫΩ以下）Ｒ４：分析仪按键与手指的接触电阻（约500ＫΩ以上）Ｒ５：分析仪与电阻间的电阻（为低电阻）　Ｒ６：接触电阻（为低电阻）应除去连接部的脏污、锈斑、异物附着、松动等　　注意点上述的分析仪可以考虑成简易测量仪，发生了疑义时，请用5.3.1及5.3.2项所指定的仪器重新测量。在测量１Ｍ以上的电阻值时，人体会被保护，加１００Ⅴ电压就可以进行正确的测量。本系统分析仪的测量电压为8V，比实际值大，有时会判断为ＮＧ（ＡＬＥＲＴ）.(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　29/995.3.4系统合成电阻值的维持使用导电鞋进行接地的方法可以弥补静电环接地带来的作业、精神约束的弱点。与静电环不同的是它不能进行１ＭΩ左右的低电阻接地，但它可以弥补静电环的缺陷，使人体有效地接地，除去静电。　　◇地板面a)地板垫子（制电垫子）　一般垫子的使用寿命为5年左右，但会因铺设垫子的房间的环境条件、使用方法　等情况发生变化，温度高、湿度高的情况会促进劣化。对应方法为了延长使用寿命、减低电阻值，推荐使用能进行维持管理的蜡。【地板、导电垫子用的腊】的推荐品JONSON・PROFESIONAL(株）　　名称　　　　　ELEX　　　　　　　　　　（带电防止涂抹剂）2　　使用面积：18L约1,200m（涂１次）　　净含量：18L　平时管理时，要注意除去异物、脏污、并考虑防止措施。如果由于使用有机溶剂、水等原因，蜡被除去了的话，应重新涂蜡恢复现状。由于涂蜡，即使进行了维持管理，其寿命也是有限的，有必要定期进行电阻值的定期测量，把握其变化。垫子单品的电阻值为３５ＭΩ以上时，就要认识到其性能开始变化，需要考虑交换了。b)导电涂层（制电涂层）　特别是要在涂装完成后明确其电阻值。：目标值。推荐１～２ＭΩ：下限値４７０ＫΩ（保证人体安全所需要）实际上在作业现场都穿鞋子，即使在４７０ＫΩ以下也不会有危险。下限值是能够能够保证安全底限的电阻值。由于是涂层，会因地下的状况会发生变化，特别是涂到水泥面上，因受水分的影　响有时可能会脱落。　由于铺设涂层的弱点，所以在铺设时有必要进行地下处理，如果无法回避其弱　点，请换用其它地板材。：为维持初期性能，要进行与垫子同样的日常管理及维持管理作业（定期涂腊）。c)导电地板（制电地板）2５在ＩＥＣ６１３４０中，导电性被规定为表面电阻值的范围在１０～１０Ω内，但本公司有的产品不能用ＩＥＣ６１３４０所规定的导电性○○○，仍旧了　以前的对策方法，使理解更容易、更顺利地进行。在新铺设时，与垫子、涂层同样应用电阻值来表现。：目标值。推荐１～３ＭΩ：下限值４７０ＫΩ（保护人体所需的电阻值）实际上在作业现场都穿鞋子，即使在４７０ＫΩ以下也不会有危险。下限值是能够能够保证安全底限的电阻值。：为维持初期性能，要进行与垫子同样的日常管理及维持管理作业（定期涂腊）。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　30/99　　◇关于鞋子在测量鞋的电阻值时，如下图所示，与实际的使用状态不同，站在钢制板上进行测量。这种方法考虑了检查的再现性。穿鞋子进行测量时的确认例人体鞋子测量板金属板（钢板）与地面绝缘确认的是电气特性的一部分。由于鞋子的劣化电阻值上升除鞋底附有异物之外有多种其它原因，要测量生产线上所使用的物品，把握住原因，来考虑选择什么样的鞋子。新鞋长期使用后的导电鞋绿色安全制绿色安全性制　普通带脚跟型　无脚跟拖鞋型外观很明显的脏污底面底面扩大接触面大脏物不会脱落外观形状新导电鞋长期使用的导电鞋1接触面的形状面积达成锲子状面积小2脏污新鞋没有不能出去(使用有机溶剂、水)3材质柔软感觉比新鞋要硬4形状脚跟部是关闭的脚跟的部分是开放的系统集成电阻新导电鞋长时间使用的静电鞋测量用地板　左脚时右脚时　两脚时　左脚时右脚时　两脚时1钢板5.76.35.348.558.241.82导电涂层14.510.49.9102.619399.43导电垫子30.138.726.460.863.540.54导电地板75.281.051.2135.7380.4320.7测量时的环境　　温度　21.1℃(70.8°F）　　　相对湿度　23.1％RH：在低温环境中合成电阻值上升。：合成电阻值会因地板材料、表面状态，发生变化。：在选择鞋的时候有必要测量鞋与地板的合成电阻值，根据其结果进行判断。：初期电阻值为５ＭΩ左右：有必要以合成电阻为主体进行选择及维持管理。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　31/995.4注意点、错误使用例a)导电鞋下面放置气泡纸b)只穿静电鞋时坐着作业NGNG只穿鞋子因为放置了带电放置的气泡纸，因为处于坐的状态，给静电鞋所加的重处于绝缘状态，不能除去人体静电。量不够，电阻值增大，不能达到除电效果。5.4.1◇绝缘电阻的性能的叫法电阻值性能、例12　：絶绝缘性（1×10Ω～）完全没有电流例一般的有机材911　：带电防止性（1×10～10Ω）电流很少或没有电流例防止带电的气泡纸58：导电性（1×10～10Ω)有电流例导电垫子、ESD对策品上述的电阻值的分类沿用了以前所使用的叫法。因基准不同分类也会有变化，所以在这里还是使用了以前的叫法。【基准、叫法改变，对策的目的也不会改变】实际上我们经常使用‘导电垫’、‘导电鞋’这种叫法，如果将其改称为“静电扩散性垫”，这个词的本质没有被改变，或词语上并没有质量上的变化，更改表达方式时要以不会引起不良为条件。◇暂定对策　　本来应该变更为IEC61340新基准的叫法，但目前可以继续使用　5.4.1项的叫法，如果频繁发生不良，则要立即变更。◇防止混乱在与其它公司的人谈论时，要讲出基准，用基准的叫法来表达。为避免误解及防止解释错误，应明确地讲出电阻值，5.5各标准的不同叫法材料分類比較5.5.1ＥＮ１０００１５（以前的标准）带电特性Ⅰ．带电防止材料（低帯电性）能抑制同一材料或不同材料在磨镲/剥离时产生的电荷的材料。电阻特性Ⅱ-1有减弱静电能力的材料4截断静电表面抵抗率：不到10Ω/sq．3体积电阻率：不到10Ω・ｃｍ（相当与1ｍｍ材料）Ⅱ-236导电表面电阻率：10～10Ω/sq．静电体积导电性材料Ⅱ-3～412静电表面抵抗率：10～10Ω/sq．311扩散性体积电阻率：10～10Ω・ｃｍⅡ-412绝缘性表面抵抗率：10Ω/sq．以上11体积电阻率：10Ω・ｃｍ以上上述内容引用于ＲＣＪ　静电管理技术的基础　IEC613405-1,5-2的解说。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　32/995.5.2ＩＥＣ613405-1、5-2（新标准）带电特性Ⅰ．低垫为性（带电防止性）能使电荷的发生控制在最小的材料（注解1）电阻特性Ⅱ-1能通过静电放电使电能衰减阻断静电能限制电流的隔离材料Ⅱ-225导电表面电阻：10～10Ω（注解2）Ⅱ-3511使静电表面电阻：10～10Ω扩散（注解2）Ⅱ-411绝缘性表面电阻：10Ω以上（注解2）注釈１：astatic,antistatic的意思不一样，因此被限制使用，在此篇章中使用lowcharging这个词。注解２：不使用表面电阻率，用测量电阻的Ω来表示，或删除以前的体积电阻率的定义上述内容引自ＲＣＪ　静电管理技术的基础　IEC613405-1,5-2的解说作为参考进行了材料的分类比较，基准不同叫法也不一样。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　33/995.6作业服（着装）的带电防止由于静电使半导体造破坏的原因有多种，有时是因为人体直接接触半导体时发生的，如果要将人体自身接地，只要戴静电环就可以接地。作业服（着装）除导电性的纤维作业服外，没有明显的接地除电效果，所以使用低电位的纤维制成的作业服就成为必要。在操作搭载半导体的PCB、半完成品时，人体及作业服要满足所定的管理值。而且，作业服的袖子外面不能露出自己的服装。有时会因为作业服里面的衣服使所带的电位上升，因此，在管理值低的区域有必要对里面的服装也进行管理。◇作业服的正确着装状态a)穿长袖作业服时b)穿短袖作业服的时候GOODGOOD：不将袖子卷起：不带手表◇作业服的错误着装状态　★戴手表NGNG手表手表作业时要取下　★长袖里面的衣服露出NGNG里面的衣服露出里面的衣服露出：放下卷起的袖子，使衣服不外露：不穿长袖的衣服：将露出的衣服放进去：换成长袖的作业服◇实例　作业浮地不良着装状态★将长袖的袖子卷起★短袖里面的衣服露出NGNG手环露出里面的衣服露出卷起袖子里面的衣服露出化学纤维毛衣露出戴了手环不将私人物品带入(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　34/995.6.1作业服的带电管理如果要正确测量绝缘物（作业服）等的带电状态，可以使用法拉利来测量电量，而且对测量环境也有严格规定。在操作半完成品的生产工程如果要进行正规的测量，需要花一些测量时间。因此测量作业服表面的带电压是比较现实的，这样比较容易实施。在低湿度环境下和高湿环境下的带电压会变化，特别是冬季干燥时期衣服的管理频度要增加，以防止事故的发生。如果不能满足作业服的带电压，需采取一些措施来防止。◇带电压的测量方法参照本书第7项治工具、周边、环境的除电对策。可以按以下进行操作，穿上作业服，用另外准备的布檫作业服数次。因磨檫会带电，测量此时作业服的表面电位。a)磨檫带电用的布：化学纤维物---------聚酯物或同等物如果材料相同也可以使用作业手套：棉１００％的东西--------手绢、檫手用的毛巾准备了2种布的理由是因为材料中都存在带电列，极性、带电状态也不同，为防止判断错误，应用不同性质的材料进行评价。如果把握住了作业服的性质，也可以只使用一种布进行评价。b)使用的测量仪-------表面电位计：因作业服大，没有必要使用测量距离短的表面电位计，一般的表面电位计也能够进行评价。代表例管理电压　测量２００Ⅴ以下的表面电位计制造公司SSD静电气名称静电电位测量仪（表面电位计）型号STATIRONDZ3测量最小单位　　　１０Ⅴ測定距離　　　　　　５０ｍｍ管理电压　测量５０Ⅴ以下的表面电位计制造公司春日电机名称低电位表面电位计型号ＫＳＤ０２０２（２００３年　０３０３）测量最小单位　　　１Ⅴ测量距离　　　　　　１０ｍｍ详细使用方法请参照操作说明书。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　35/99C)表面电位的测量穿作业服进行实际的测量后用磨檫用的布檫数次，在磨檫带电的电位扩散前（２秒以内）测量带电的电位，测量部位要３处以上。*手腕的部分*胸的部分*衣尾部：带电防止作业服带电防止作业服必须是在用固定的实验方法测量出的电荷量为0.60uC以下的衣服。左图为PEP（PIONEERTECHNLOGYPORTUGAL)所使用的衣服，带电压为１０Ⅴ以下，结果OK。：与带电防止作业服同等物应使用不会积累电荷的低电位性纤维制服。左图是MEC夏天（半袖）作业服。带电压-50Ｖ相对湿度31.4ＲＨ％温度25.5℃左图为MEC作业裤带电压-50Ｖ相对湿度31.4ＲＨ％温度25.5℃与带电防止作业服具有同等性能。棉　１００％棉(允许穿棉制品的场合）相対湿度为４０％以上时带电较少。显示低带电性。带电压60Ⅴ相对湿度35.7ＲＨ％因半导体装置、搭载了半导体装置的半完成品的耐性不同，判断值也会发生变化，有必要使用不会产生损害的作业服。管理电压在２００Ⅴ以下的环境与３０Ⅴ以下的要求内容是不一样的，应根据要求内容选择恰当的物品，这样才能抑制静电的发生，防止半导体被破坏。：带电防止作业服之外的服装在进行作业时，使用规定的作业服（禁止穿自己的服装或指定外的服装）在使用时，带电状态会发生变化，即使在使用当初是低电位的物品，也会因使用状态而发生变化，应进行定期管理或将危险防范于未然。帯电压610Ⅴ相対湿度32.4ＲＨ％温度25.7材质聚酯在相对湿度低的环境下容易带电。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　36/99d)带电作业服的对应方法简单的方法就是使用带电防止剂（STATISIDE）进行喷雾。将STATISIDE的浓缩液稀释为100倍后使用，稀释剂推荐使用纯水、或ＩＰＡ（异丙基酒精），ＩＰＡ有速干的特点，但由于是有机溶剂，所以有臭味，而且是可燃性的物品，注意不要引起火灾。用纯水进行稀释时，虽然需要干燥时间，但感觉不到臭味，抑制效果与IPA没有差别。虽然对人体无害，但应当将吸入量减少到最低程度，消除对人体的影响。◇实施例－１带电状态的裤子帯电压相対湿度32.1ＲＨ％温度25.0℃材质聚酯　65％棉35％带电防止作业服防止剂的喷雾器附着在纤维表面，发挥带电防止效果。最好用喷细雾的喷雾器　带电防止剂涂布后带电防止剂（STATICIDE）喷雾后带电压　２１０Ｖ→４０Ⅴ没有带电防止效果的恒久性，檫洗过后会脱落。能够发挥暂时的抑制效果。考虑恒久对策如果是带电的纤维，即使喷带电防止剂也不会有恒久的效果。：从初期状态开始，使用低带电性的纤维。：为抑制带电增加湿度，如果湿度达到４０％以上就会降低静电的发生。　保持作业场所整体的湿度，抑制静电发生。：使用低帯电性纤维或加湿，抑制静电的发生。要实施恒久的对策有一定的困难，但应该按顺序来解决。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页37/995.７人体的除电（接地化）与静电腕带使人体的帯电压低下的有効手段是佩戴静电腕带、若正确使用能得到很低的接地电阻、并且人体的帯电压能控制在４０Ⅴ以下。佩戴静电腕带的理由：为使人体除电而佩戴、特别是取用耐性低的ＥＳＤＳ部品时更必要。５０V以下的管理値工程内为使人体的帯电除去有佩戴的义务。：通常佩戴静电腕带后、人体系统的合成电阻能确保在２ＭΩ以下。在取用耐性低的ＥＳＤＳ部品时是一个有効手段。：静电腕带的佩戴义务只是除电対策的一个手段。若有其他手段能确保同等性能的话也可以变更。佩戴静电腕带的問題点：最大的問題是对佩戴的人增加肉体的、精神的負担。还有静电腕带佩戴后歩行範囲受到限制使作业性低下。关于地板的电阻值静电腕带的代替手段有导电鞋＋导电地面等的方法，因为有注意点不能単純实施。：导电胶皮的电阻值电阻値在10MΩ以上的东西占多数，另外因为橡胶会劣化导致电阻有上升可能。：导电塗装的电阻值电阻値根据要求有调整可能，出于人体保护考虑在0.5～２ＭΩ时系统合成电阻有达到１３ＭΩ以下电阻的可能性。：导电地板的电阻值与导电塗装同様可以根据要求达到规定值。5.7.1导电靴,人体の电阻値：导电鞋的电阻值测定电阻时，能认识到导电鞋的电阻值有多高、及包含人体在实际使用上的电阻上升。a)测量器的准备表面电阻計DESCOMODEL19781能根据电阻値自动切换施加电压１ＭΩ不到的场合１０Ⅴ１ＭΩ以上的场合切换到１００Ⅴ即使施加100V电压，也没有电击等现象，人体能无影响地安全使用静电鞋测量用电极静电鞋电阻值的测量场合要使用金属板，一般用不锈钢板，（使用表面没有涂装的东西）５磅电极测定导电胶皮，导电地板的专用电极，底部用导电性橡胶来稳定接触性故能安定地进行测量，重量約2.3Ｋg，测量時的負担也很少。测定人体的电阻値时请将手掌清洁后握住电极。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页38/99b)人体电阻值的测量脱鞋后站到测量用电极板上考虑测量時的实际条件，请穿綿袜测量。由于人体出汗袜子会变成导电体为不使电阻值増加穿袜子是很重要的。请不要穿厚袜。测量接触条件电阻值[Ω]4两脚接触时1.32×104右脚单独时2.03×104左脚单独时2.13×10测量结果电阻値很低、在双脚接触时为13ＫΩ。所以人体是低电阻的导电体，接触活电部会有电流通过，所以腕带和地板的的保护电阻能保护人体生命。ｃ）测量导电鞋的电阻值穿好静电鞋、站在测量用电极板人体的电阻値比其他物体要低可以忽略不计仅考虑实际使用時的静电鞋单体的电阻値。电阻值的测量接触条件电阻値[Ω]6两脚接触时5.3×106右脚单独时5.7×106左脚单独时6.3×10结果判断测量時使用的鞋子是新品（初期性能测量）、在这种状态下两脚接触有5.3ＭΩ的低电阻值。但在实际作业中使用电阻值会上昇而抵消余量，达到13ＭΩ以下的目标值就困难了。所以，其不能达到与静电腕带同等的低电阻値（13ＭΩ以下），只能维持在100ＭΩ以下的水平才是其真实实力的判断。结论：可以判断用静电鞋接地方法不能代替静电腕带。5.7.2解決对策的研讨一般情况下使用静电鞋很难达到与静电腕带同程度的电阻值。另外鞋（底面）的脏污、及包含导电地板的电阻值后更增加了难度。：作为腕带和静电鞋以外的方法，有脚部接地带的这样的东西。这个东西区别与静电鞋是作为暂定対策来使用的，理由是其耐久性和穿着时的強度等会劣化、使用的场合在管理方面有必要注意。后来又考虑了克服上面的脚部接地带弱点并能达到与腕带同等电气性能、机械強度、及耐久性的方法。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页39/99ａ）脚部接地带：单品：戴在左脚：戴在右脚为保护人体接了１ＭΩ电阻（每个都接了）上图中为了防止人体受到电击接了１ＭΩ的保护电阻。与人体连接（接触）的部分是导电性的引出纽扣、从袜子的内侧伸出接触到脚的里侧、能保证人体的电气连接。b)脚部接地带使用時的电阻値与静电鞋使用時同様站在金属板（不锈钢製）上测量：两脚同时戴：戴在左脚：戴在右脚电阻测量结果接触条件电阻値[Ω]6两脚接触時1.20×106右脚单独時1.69×106左脚单独時2.32×10由此可知，与静电鞋不同，能确保３ＭΩ以下的电阻值c)一般未対策鞋穿着时同様的测量：两脚同时戴：两脚同时戴：戴在右脚◇电阻测量结果接触条件电阻値[Ω]6两脚接触時0.72×106右脚单独時1.24×10左脚单独時1.55×106两脚戴上時为１ＭΩ以下、因为使用的保护１ＭΩ２个并联了的缘故。比b)项的电阻値低的理由是因为推测鞋底（带子部）的硬度导致接触圧的上升、鞋子侧面部的圧力也增加了所以全体电气连接性改善了。d)脚部接地带的电气性能与遗留問題的対応策使用初期状態从以上的测量結果来看是好的，对应点是：：防止机械的磨损。：防止因地板的脏污导致电阻值的上升。：为确保地面的电阻值变更为其他材质的地板材。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页40/995.7.3问题点的解決为了使脚部接地带＋导电地面的方法能得到低的电阻值、作为改善方案考虑将地面改为与测定板（不锈钢板）同様的物质。不锈钢板的优点：比导电地板更能得到低的电阻值。：耐久性高、无経時変化、付着的脏污能很簡単地除去。：因为表面平面性高、脚部接地带的磨损、勾挂脱落的危険性就能减少。a)脚部接地带专用地面（不锈钢板）的设置为去除导电地板和静电腕带的弱点，脚部接地带要设置专用地板（不锈钢板）。注意点：在电阻値低的１ＭΩ以下导电地板追加不锈钢板更能使电阻減少。理由是接触面积増加了、有时不能满脚电阻值的下限値。人体直接接触不锈钢板状態下再接触活电部时会发生触电事故、当然通常作业下是不可能发生的，在设置时要考虑去除危険性来実施。：地面的接地电阻在３ＭΩ以上时即使追加不锈钢板、也不能确保低的系统合成电阻，对策是在不锈钢板侧连接加入了人体保护电阻(1ＭΩ)的接地线后接地（与接地幹线连接）。事实上脚部接地带的接地线使用，有保护电阻的接地线使用等、因为費用、作业都很容易，为了对人体保护有必要実施。◇使用的钢板不锈钢板表面电阻值0.24Ω为了与导电地面的接触性向上使用表面电阻値低的东西。无表面处理，涂装的东西可以使用。左図的物品使用的是研磨品、表面只要光滑就可以了（磨损较少）◇导电地板的接地电阻値在３ＭΩ以下的场合导电地面注意地面铺设的不锈钢板没必要连接与接地极的地线、为了确保接触性使用了金属板。不锈钢板不锈钢板的固定在反面一部分贴了双面胶带固定。（以确保电阻值）设置后、接地电阻値的下限値不能確保时脚部接地带的保护电阻已经确保了无危险性、即使与活电部接触也能保护人体的安全。◇与导电地板的接地电阻在３ＭΩ以上时在不锈钢板中使用加入了保护电阻的接地线接地。不锈钢板中追加（１ＭΩ）保护电阻并接地不锈钢板１ＭΩ追加的保护电阻部要注意确认有无断线、把它作为日常的管理项目実施。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页41/995.7.4设置后的确认脚部接地带的対策工事実施的场合要实施確認作业、事故在有変化点時発生頻度非常高所以必须实施。ａ）两脚接触時的电阻値测量测定脚部接地带着用時、人体与接地极間的系统合成电阻値：与人体的连接（放在手掌上）：双脚踩上6合成电阻値显示为1.73×10Ω（良好状态）电阻値１Ｍ以上场合施加电压为100Ⅴ用腕带测试仪测试时因不能进行数値判定故余裕度无法把握、数值的变化也不能测定，必须用新規的能进行数値判定的机器进行测定并把握变化状态。b）单脚接触時(单脚提起)的电阻値测量脚部接地带相比静电鞋其机械的強度、电气的接触性有劣势并没有改变。弥补使用方法、管理面的弱点，防止事故发生是最重要的。确认导通状态时，必须左侧、右侧分别测量、单脚時有５ＭΩ以下的电阻値时余量就增加了，即使单侧脱落也能确保人体的接地。：与人体的连接（放在手掌上）：单脚左脚踩上：单脚右脚踩上左脚、右脚分别测量确认连接状态。这是脚部接地带使用時的严守事项６没有问题时约在３×１０Ω以下。注意脚部接地带使用時必须两脚着用.构造上、机械強度比静电鞋子差、有脱落的危险性、故要回避脱落时的危险性。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页42/995.7.5腕带测试仪的使用腕带测试仪虽然不是数値的評価機器、但作为ESD対策还是一个有效的机器。日常使用的场合有作业性的优越性、使用方法正确理解的话是很有效的。单脚测量时”SAFE”的LED点灯时判定有１３ＭΩ的电阻値左脚侧、右脚侧都”SAFE”时电阻値約减半所以判定是有余量的、脚部接地带使用时也必须实施上述内容。5.7.6接触电阻増加防止増加原因很多是由于異物付着◇脚部接地带上付着的異物除去定期去除脏污使接触性向上、去除异物、防止接触电阻的増加◇专用地面（不锈钢板）的脏污、异物除去定期的清扫保持电气接触性。金属板场合、污物容易看见和除去。5.7.7MEC（先锋川越事业所）的实际使用例作业歩行范围内铺设不锈钢板很干净地在使用。周辺部使用了导电性的周转箱从而构筑了EPA的环境。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页43/996.机器、设备的接地对策只要没有特别的指示，以保护人体、保护半导体元器件为目的，所有的机器都要接地。包括搭载马达的机器，由于它也要防止发生杂波，所以也要实施。6.1使用的线材.使用单线的铜线的场合φ1.6mm以上线色是绿色2.使用铜制的绞线的场合1.25mm以上线色是绿色为使它具有电的导通性、机械的强度，并将它连接在机器和地线之间，所以要在线材的线头装上压线端子类的连接品来使用。6.2在机器侧装上线材的端子a)圆形压线端子的使用例□使用的场所.接在筐体等的螺钉部的场合.与各种端子板相连接□使用圆形端子的好处安装后不易脱落b)Y型压线端子的使用例-1.NG□使用场所接在筐体等的螺钉部的场合□使用Y形端子的好处有为防止脱落的固定端c)Y型压线端子的使用例-2□使用场所.接在没有负荷的部分、没有移动的筐体等的螺钉部■Y型端子的注意点.由于有脱落的危险性、机械的强度不足，要极力避免使用。很容易脱落□使用场所（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页44/996.3接在地线干线侧的方法、端子与机器侧同样要立足于确实可行性来连接a)直接进行焊接的例子□实施场所・在移动少的机器上接地□焊接的好处・如果有导体部分的话就能简单地进行连接・电气导通性良好■焊接的弱点・很难搬迁设备b)使用夹子的例子・要重新焊接NG□实施场所接在搬迁频繁的机器上□使用夹子的好处便于搬设备★夹子的弱点由于外力很容易脱落，一般禁止使用c)在线材的中间追加转接连接器的例子转接连接器的例子□实施场所在搬迁设备很多的机器上接地在经常设置的机器上接地□转接连接器的好处便于搬迁在地线干线上焊接的例子·要在地线干线等上经常装上线材（附有连接器）·搬设备时，只要拆下连接器就能进行为防止断线，用扎带固定的接地作业d)在电源插座的地线部连接的例子在附有地线的电源插座的地线端子上连接（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页45/99e)将地线和作业台连接起来的例子·在各线的线头装上压线端子后，在作业台上加工螺钉孔来锁螺钉。·机械性的强度、电的导通性良好注意静电对策用的接地地线的线材的颜色使用绿色不过，胶皮垫子的连接板的线材色是黑色，但是因为是市场上销售的标准品所以可以使用f)利用咬住型的连接板来连接的例子导电管·机械性的强度、电的导通性良好连接部·地线的线材的颜色使用绿色另外在线材的线头使用压线端子地线干线6．4错误的地线连接工程事例a)只卷住线材而没有进行焊接NG未焊接NG未焊接纠正方法由于将来会发生导通不良，所以要进行焊接工程b)只卷住插在地线用的平网线里的线材，而没有进行焊接NG未焊接纠正方法焊接或者用安装板来连接c)在转接地线时没有焊接的例子NG未焊接纠正方法焊接或者用连接部品来连接（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页46/99d)用胶布将治具的地线接着的例子问题点NG由于没有机械性的强度，所以容易脱落纠正方法在线头装上压线端子后，在治具上用锁紧螺钉完全连接上用胶布固定e)用导电胶布接着地线的线头的例子问题点NG由于没有机械性的强度，所以易脱落，线材与胶布有一半以上没有接触纠正方法使用连接板等连接地线接地静电对策用接地f)用纸胶布接着地线线头的例子与前项同样NG由于没有机械性的强度，所以易脱落纠正方法使用连接板等连接地线接地静电对策用接地问题点-1g)地线绕得过长，无连接端子的实例由于用治具筐体部的螺钉来锁紧地线的端子NG易从螺钉头上脱落时没有使用连接端子，所以由于外力的作用会造成脱落在左图的状态中，它露出了直径的1/2纠正方法由于要避免危险所以要将端子装在线材上，连接在其它治具上的线将连接用的端子设在机器侧。问题点-2错误连接地线绕得过长各地线支线串联，断线时会增加损害，电阻值增加。地线干线正确连接各机器的地线支线连接到地线干线上。地线支线好处即使发生支线的断线也能将损害控制到最小限度（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页47/996.5机器等接地·电源线使用（附有地线3P）如果没有接地机器是没有特别限定追加地线接地，人体保护（防止触电事故）及防止破坏电涌.没有接续的情况-------信号系的接地，在仕样书等上面有指示的情况下没接续（成为动作不良）a)DC电源电源线是2P的时候，地线没有接续，必须用专用的地线接续、接地。没有接地时的状态·筐体部，DC输出端子里有出现AC电压接地表示·因为电源部的过滤器没有动作，所以会发生电涌破坏。接地b)测定器没有特定指示时地线端子要接地。注意：没有接地的场合接地表示·信号系的地线有指示的时候，不接地。·测定筐体对地间电压有出现异常电压时，要与静电对策管理者联络且做对策.接地c)搬送用传送带-1皮带表面框架部接续地线接地，本例是有表示但接地表示没有接续。传送带表面和框架部（接地部）间的绝缘电阻值必须在0.1~100MΩ以内搬送用传送带-2接地保安接地极马达框体部接续地线接地。传送带表面和框架部（接地部）间的绝缘电阻值是0.1~100MΩ以内接地保安接地极（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页48/99d)检查机，治具的接地AC电源线部是2P机器的情况是没有接地线。必须用专用地线接地。接地保安接地极a)电源插口2P-3P变换座的接地纠正方法导线和地线连接接地今后的对策，推荐：·插口部将变更为附有地线的3P插座，撤去变换座。接地保安接地极b)机器等（荧光灯用电源部）的接地有表示安装地线的地方一定要安装地线接地接地表示保安用接地c)作业台的接地防静电胶皮的地线，在作业台的地线上接地。与静电对策用接地极接续（没有出现巽常时使用保安接地极）静电対策用接地d)焊锡烙铁头、电源部接地从本体筐体部的地线或者是附有地线的电源线开始确切的接地。螺丝松掉问题点·左图的状态是有安装地线，但是没有安装完好。纠正方法：保安用接地·安装螺丝必须拧到底，确实锁紧、导通。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页49/996.6台车的接地搬运时使用台车、侧桌等接地。作为接地方法有的是用导电脚轮、链接等方法，但很少有满足必要的绝缘电阻值接地的情况，考虑到今后静电对策的持续进行，以实施例表示出来。6.61导电地板和导电脚轮—使用例导电性台车的必要条件8接地极和台车的表面电阻值在1×10Ω以下，满足这个条件时可以拿取半成品（与作业台相同）参考6a）导电地板大约在1×10Ω时，很多能满足１×１０8Ω以下上记条件。(测量电压１００Ｖ)b）长时间使用的防静电胶皮表面电阻值会上升，结果不能满足电阻值的情况有很多。注意·使用导电脚轮也很难取得永久性、稳定性的与接地极间电阻值；原因是地面太脏、劣化、脚轮粘有异物而导致电阻值发生变化。考虑方法9·接地极与台车表面之间的电阻值是1×10Ω时可以认为有除电效果。短时间的除电有时会能力不足，但是对于防止发生ESD事故会有补助效果，搬运时也被认为有显著保护效果。8·在一定位置拿取半成品时使用地线等进行完全接地（1×10Ω以下）6.6.2通电地板和未对策台车的使用例未对策的通用台车即使在导电性板上也没有什么效果，与未对策板材相同。移动时的对应·移动中不能接触到导电性部品箱内部的设备、基板、半成品，不能打开盖子。使用时要从绝缘状态的台车上放到导电地板上，并进行人体除电（戴静电手环，穿静电鞋）6.6.3未对策地面和未对策台车的使用例在未对策状态保管元器件、基板、半成品的情况，会增加危险性因此禁止使用（不能接触PCB、半成品等）导电性地板、已实施过人体的除电对策的埸所可以开始操作（作业）（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页50/996.7实行机器等的接地确认在生产现埸确认使用的治工具、检查机、组立，检查机等的接地状态要确认。没有接地的情况下，会发生触电事故给人体施加危害，另外对于半导体元器件会出现电涌破坏等的危险性，实行确认作业后再使用。从机器的接地部和地线接地干线间的导通及测定对地电压来判定良否。（接地极是使用保安用接地极）确认项目接地状态①对地电压的确认②确认导通检查（设定AC电压范围））（设定电阻范围）1机器是已接地的情况显示０Ｖ约０Ω＝导通状態(合格)(合格）2机器未接地的情况没电涌时是OV不导通电涌时出现电压（不适合）（不适合）注意·确认接地部的效果后实施，使用无效果的地线测定即使有异常也检证不出来，会得出错误的判定。6.7.1机器、治工具等接地状态的确认a)DC电源例测量场所设定①对地电压检查②导通检查设定AC电压范围设定电阻范围保安接地极电源使用机器的接地状态，确认漏电电压时测定端子，是测定保安用接地极和机器之间的接地端子（没有时是在没有被覆盖的筐体部测定）b)检查治具的例NG101.4V①对地电压检查②导通检查AC电压范围设定电阻范围设定保安接地极触电事故的发生例·作业员碰到治具就会触电，安装筐体部的外盖测定螺丝和地线对地间电压，如上图所示为101.4V。纠正点的措施·因治具不良所以须即时采取措施·治具不良纠正后(必须进行正确处理后)要进行接地.（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页51/99c)检查机、治具的接地NG①对地电压检查②导通检查AC电压范围设定电阻范围设定d)焊接烙铁的例保安用接地极①对地电压检查②导通检查AC电压范围设定电阻范围设定保安用接地极焊接烙铁检查用的是从各公司所购入的专用机，测定方法也有相应规定，代表的例有：详细的，在实施手册的焊锡烙铁项目中有写到，请参照其事项。代表例名称SOLDERINGTESTER型号192定价￥99,000（日本円）制造会社ＨＡＫＫＯ销售特征等焊接烙铁头温度测定焊接烙铁头电位测定焊接烙铁头接地电阻测定e)焊接吸取器的例测定是与焊接烙铁头同样进行。与d)项的焊接烙铁同样的方法进行确认。使用目的，使用方法也是规定同样的，测定规定值也必须统一管理。注意·电源线是2P的制品时候，认为是静电未对策处理品，应确认地线的接续状态。·有的静电对策未处理的焊接吸取器，使用时要点检与保安地线的接续状态，实行电涌电压检测，回避危险并在无巽常的状态下使用。有带电部分时要适当的防止带电对策。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页52/996.7.2.从接地部开始进行目视确认NG在确认电气连接状态的同时，目视确认其连接部螺丝松掉左图的状态是螺丝没有完全锁住实施目的如同上记所示用测定器等可能不能检出，作为对应用目视确认能早期发现巽常，有时要测定器和目视并用。6.8接地的区别接地根据其目的来陈述种类，这次用接地的主要有2个。□保安用接地关于电气设备防止触电及火灾等的电路或与非充电金属部分的接地。接地极附有插口与使用电源机器的接地要区别3P作为手段电源插口用3P接地极。另外在3P未对应的情况下用专用线材接续。接地极※将静电气对策用接地与保安用接地部共用，使用时请一定要注意。重型机械的保安接地有尖峰脉冲噪声因此禁止使用。附有接地极插座使用可能的是100V插座的接地极，确认后开始使用。2P接地极静电气敏感性元器件electrostaticdischagesensitivedevicse(ESDS)使用时是推崇下记静电对策用接地极的使用。□静电气对策用接地静电气安全放流接地。不使用电源物做静电对策时接地实施例将人体、导电台板，导电地板、作业台、金属治具等与大地同电位为目的接地。注意保安用接地和静电气对策接地存在接续有误的话就没有效果。根据接地目的种类用导线颜色的标记来区别进行防止。各生产地点是使用同一方法，来防止混乱及误用。由于关导体搭载制品的使用环境的变化，使用静电气对策用的接地极困难的状况有所增加，作为对策使用保安接地极，所幸没发生重大事故。考虑到以后半导做设备的耐性会更低，根据必要度、要求度来做必要的对策。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页53/996.9接地线的配线例下记所表示的是接地时的概念图。◇包含人体全部物体与大地同电位的话，就不出现ESD，以其作为手段进行接地。◇一定要根据物体、机器等来选择接地方法。a）保安用接地使用AC电源的接续机器b）ESD对策用接地接续人体、导电物、金属体静電気対策用接地保安用接地1.静电手环◇使用AC电源的机器是优先保安接地2.导电胶皮使用电源插口接地极(3P)和AC电缆(3P)作业台板地面底板3.焊接线底座也相同焊接烙铁电动螺丝刀示波器DC电源4.电烙铁台5.金属治具6.作业台7.非接地的金属体不使用AC电源物使用ESD接续极接续.静电手环检查机＋ＧＮDＧＮDＧＮD作业台垫板作业台金属部接地金属制治具◇接地端子盘为提高接续的作业性确实性设置专用端子盘.静电气对策用地线干线静电气对策用接地极◇ESC保护底板导电瓦管、底板、涂装接地端子盘为除去电位差使用端子盘(在同一点接续)：作业性改善接续作业变得简单：管理性改善接续状态根据测定器进行数值管理和通过目视来日常管理就更容易，另外点检部可以集约化。3P插座机器的接地是通过带接地极的附属物进行，在接地点能实施漏电对策。在2P上追加地线接地时，会增大危险成为发生事故的原因。推荐废撤2P做变更。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页54/996.10接地线的配线例——线焊接台、焊接供给机进行焊接作业的大多数是PCB，PCB有搭载很多半导体元件故一定要做对策。因为线焊接是金属的被误解为[不带电]，使用EMI探测器可知在线焊接接触PCB的瞬间有放电现象。确切采取接地对策是可能的。6.10.1线焊接台已接地例a)非接地状态的焊接丝b)非接地时的电位测定（AC.V）对地间电压NGNG1.148Ⅴ万用表黑棒（一）接续接地极侧c)引导部追加接续地线d)加强电气的接续性NGOK追加圆型压着端子（弯折加工）追加圆型压着端子仅接触（有间隙）着导通静电对策用接地极6.10.2线焊接用V切割机的接地例下记例是使用未接地的AC变压的DC驱动器的线焊接用V切割机，因未接地所以出现漏电在焊接作业时频繁出现EMI杂音、从漏电的原因来看由于是高频度故对半导体有损害，机器的设置变更时一定要确认。a)焊接时正有发出EMI杂音b)使用线焊接V切割机NGNGGND指示上部的螺丝部有指示未接地电源是由DC座供给（没有接地极）c)看焊接线对地间电压d)接地方法参照使用说明书OKNG保安用接地极４０V用螺丝在筐体上的GND端子上接地※按照接地体目的，选择接地极可以加强安全性。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页55/996.1接地状态的确认（电烙铁）在生产工序上使用的治具、工具、生产设备如果没有特别指示就要接地，没有接地的要接地后才能使用。确认方法可以看与地线间的导通情况和电位。１．关于焊锡头的接地因为焊锡头直接与电路连接，因此烙铁头尖端不可有过大电位。按照MIL-STD-2000的規格判断应在２mV以下、未接地品不能满足此規格在进行焊锡头的选定、维持管理时要注意温度以外的重要项目２．使用的测量仪代表性的例子是使用市场上销售的电烙铁测试仪。以下是按MIL-STD-2000規格作成的焊锡头检测仪。名称SOLDERINGTESTER型号192定价￥99,000（日本円）制造会社ＨＡＫＫＯ销售特征等1.能测定烙铁头的温度2.能测定烙铁头的电位值3.能测定接地电阻值３.确认--在确认接地了的烙铁头时（即进行了对策的情况）能从外观判断已经进行了接地对策，(因为电源插头已经接了地线3P插头）GND3.1測定漏电压确认上述对策品GOOD顺序1.使焊锡烙铁头通电。放到达到最高温度时2.切换到测量漏电压的档（ｍV）3.接触测量部位。4.读显示值。左图为AC0.2mV◇规格値５mＶ以下详细情况请参照使用说明书备注１．規格値本来为２ｍＶ、这为制造烙铁头的保障值。再加上使用中的磨损、測定误差，运用规格值为”５ｍⅤ以下”。２．測定時希望设定在最高温度状态，实际上通常使用的温度也能够进行測定。只要不发生疑义，可以在通常使用的温度下确认。如果有疑义发生时，应该在最高的温度条件下进行确认。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页56/993.2电阻值的测量顺序GOOD1.使焊锡烙铁头通电。放置到达到最高温度时2.将烙铁头的测定切换到电阻值(OHM)3.接触測定部位。4.读显示部值。左图显示1.2Ω本来应为０Ω，但是因各部分接触不良数值会増加。◇规格值１０Ω以下(很容易判定是否接地)测量结果合格注意烙铁头与地线间通常不插入保护电阻、但为了延长放电时间等故意插了１ＭΩ电阻的也有、通常这是禁止的。除此之外为１０Ω以下。４.确认没有接地的烙铁头时（即未对策时）代表例----非接地的烙锡焊铁头NG从外观可以推测烙铁头是否接地。因为电源插头未接地线，没有地线无法接地，所以烙铁头也就未接地。无接地极4.1测量漏电压确认上述的未接地品顺序1.使焊锡烙铁头通电。NG放置到通常使用状态2.将烙铁头的测定切换到漏电压3.接触測定部位。4.读表示部的值左图显示AC－１mＶ表示不在测定范围（９０mＶ以下）判断为在规格外4.2测量电阻值NG顺序1.使焊锡烙铁头通电。放到达到最高温度时2.将烙铁头的测定切换到电阻(OHM)3.接触測定部位。4.读表示部的值左图显示-1Ω表示不在测定范围（０～９０Ω以内）判断为在规格外（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页57/99５．在使用一般的测定仪时（使用万用表）上记为使用专用工具进行确认的情况、一般也可以用万用表进行确认。除严密测量以外，用万用表进行测量在使用上有精度高的特点、所以推荐使用此方法。烙铁头接地后无漏电压，电阻值易处于导通状态，所以很容易推断出来。价格便宜且使用方便。5.1测量工具的准备测量工具4①万用表(数码)3输入阻抗10MΩ以上②测量部电极（ＳＵＳ製）（防锈、确保机械强度）③电极线1④地线⑤测试棒＋62⑥测试棒－5准备1.②电极上接③电极线。2.接③接线与测试棒＋。3.测试棒－与④地线。4.确认电源的地线部接上④的接地线。5.确认烙铁头电源通电６.确认--烙铁头尖端部被接地后的情况（为对应品时）6.1测量漏电压GOOD顺序1.使焊锡烙铁头处于通电状态。放置到达到最高温度2.切换到漏电压测定档。用AC电压挡测定3.使之与测定部电极接触。4.读显示部的值。左图显示为AC１mＶ6.2电阻值的测定顺序GOOD1.使焊锡烙铁头处于通电状态。放置到达到最高温度2.切换到漏电压测定档。(OHM)3.使之与测定部电极接触。4.读显示部的值。左图显示为1.3Ω本来应为０Ω、但因各部分接触不良数值增加。但可以明确导通与绝缘。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页58/997.确认没有接地的烙铁头时（即未对策时）7.1漏电压的測定顺序NG1.使焊锡烙铁头通电。放置到通常使用状态2.将测定从电阻切换到电压(ACV)3.接触測定部电极。4.读表示部的值左图显示AC10.99Ｖ.判定为无接地注意：如果电压超出了规格值要实施对策后才能使用7.2测量电阻值顺序NG1.使焊锡烙铁头通电。放置到最高温度的状态2.将测定切换到电阻（OHM）3.接触測定部电极。4.读表示部的值左图中显示O.LΩ处于绝缘状态，没有接地。注意１．如果处于接地状态，就不会发生漏电压。即使不发生漏电压，没有接地的金属带通常为ESD的发生原因，因此要接地，避免ESD发生。２．其他治具、设备也同样要接地，使其不发生漏电压、并处于无电荷状态。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页59/996.2接地状态的确认（电动螺丝刀）生产工程中使用的治具、工具、生産设备如果没有特别指示请接地。如果没有接地，请纠正。关于电动螺丝刀使用电动螺丝刀的目的是为了提高作业速度，确保质量。但它有时会损伤、破坏半导体，所以有必要象烙铁一样进行选定、维持管理，管理状态下进行使用。１．电动螺丝刀的接地状态的推测（外观推测）是否接了地线不发生漏电压、能抑制ESD的发生可以从外观推测出来。至少要确认接了地线。1.1看电源插头进行判断a)対策品－－电源插头带地线b)未对策品－－电源插头未接地线GOOD３ＰNG２Ｐ有接地端子无接地端子1.2看电源部的表示进行判断a)対策品－－接地线b)未対策品－－未接地线GOODNG有接地端子无接地端子２．通过外观有时可以也能推测接地状态，但是要进行准确判断的话就必须用测定仪进行测定。代表性地例子是烙铁头接地检测仪名称SOLDERINGTESTER型号192定价￥99,000（日本円）制造会社ＨＡＫＫＯ销售2.1漏电压的测定（使用SOLDERINGTESTER時）■本例为已接地的螺丝刀顺序1.将电动螺丝刀通电2.将测定键切换到漏电压（mV）处3.使它与测定部位接触GOOD4.转动电动螺丝刀5.读显示值左图显示AC0.4mＶ◇规格值３０mＶ以下测量結果合格详细情况参照说明书（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页60/992.2电阻值的测定(使用solderingtester時)■下例为接地品＝ＯＫ品顺序1.将电动螺丝刀通电GOOD2.将测定键切换到mV处（OHM）3.使它与测定部位接触4.转动电动螺丝刀5.读显示值左图显示2.2Ω◇規格値10Ω以下測定結果合格2.3漏电压的测定（使用solderingtester時）□下例为非接地品＝ＮＧ品NG顺序1.将电动螺丝刀通电2.将测定键切换到mV处3.使它与测定部位接触4.转动电动螺丝刀5.读显示值左图显示为－1mＶ測定范围外＝９０mV以上测量结果不合格使用时要进行对策2.4电阻值的测量（使用焊锡测量仪时）□非接地品的例=NG品时顺序1.将电动螺丝刀通电NG2.将测定键切换到电阻处（OHM）3.使它与测定部位接触4.转动电动螺丝刀5.读显示值左图显示为－1Ω在测量范围外测量结果不合格使用时要进行对策备注使用烙铁头测量仪的原因是，没有专用的测量仪。因此，可能会发生下面的问题，有必要进行对策１．在电动螺丝刀转动时，容易使测定部的测定板划伤。２．因为划伤，所以原来的焊锡头在使用时可能发生接触不良。３．造成损伤针对上述原因推荐以下简单正确方法使用一般的万用表的电阻测定机能、电压测定机能能达到同样的测定效果。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页61/99３．在使用一般的测定仪时（使用万用表）上记为延用烙铁头测量工具进行确认的情况、在耐用、费用上需要进行改善。考虑到使用方法、费用、管理等，推荐使用万用表。除严密测量以外用万用表进行测量在使用上还有精度高的特点。电动螺丝刀接地后无漏电压，电阻值易处于导通状态所以容易判断。因价格便宜所以推荐使用此方法。3.1测量工具的准备4测量用具3①测量仪（数码显示）②測定部电极（ＳＵＳ製）（防锈、确保机械强度）1③电极用接线④地线用接线6⑤检测棒＋2⑥检测棒–5准备１．在②的电极上接③的电极用接线。２．将接线③与测试棒+相连接３．将测试棒–⑥与接地用接线④连接。４．将电烙铁电源的接地部与接线④连接。５．供给电烙铁电源（通电）４.确认电动螺丝刀尖端接地时（进行了对策时）4.1漏电压的测量顺序1.将电动螺丝刀通电。2.换到电压档测定用AC电压3.与测定部电极接触。4.电动螺丝刀5.读取表示部数值6.判断6.判定。4.2电阻值的测量GOOD顺序1.将电动螺丝刀通电。2.从电压测定切换到电阻测定。3.使它与测定部电机接触。4.转动电动螺丝刀5.读显示值6.判定。本来应为０Ω但由于各部分接触不良，电阻值会增加。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页62/99５．非接地电动螺丝刀的对应方法将尖端部接地，可以抑制漏电压的发生、ESD的发生。作为对策的实施例，对照效果。5.1非接地品的状态确认NG使用非接地品，从左图可以看出是处于非导通的状态。表示为OL5.2通过对电动螺丝刀的改造，改变接地方法在尖端部位接了地线并与电动螺丝刀的安装螺丝一起拧紧a)改造前b)改造后（追加地线）NGGOOD安装螺丝追加的地线追加了的线材与地线干线相连接5.3改造效果的确认通过追加地线，可以看出其效果。按照上述的确认方法进行漏电压、电阻值的确认a)漏电压的确认b)电阻值的确认GOODGOOD结果：１mV没问题结果：１．１Ω没问题（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页63/997.治工具、周边、环境的除电对策全部的物质都有出现静电气带电，如果有金属部的话可以接地除电。10导电性塑胶制品也能通过接地除电，电阻值高的物体（10Ω以上）即使接地也不能除静电，电阻值高的物体一定要做出适当的对策，现陈述其手法。7.1实施带电压的测定电阻值高的物体是根据使用方法、环境条件会带电，而且带电压也发生变化。作为测定电位的机器有表面电位计，根据测定物必要选择适当的表面电位计，选择出测定界限外机器时，不能测出有效的电位。7.1.1一般用表面电位测定器的例测定器必须要根据对象物来选定，下面的表面电位计是不使用测定探针，只是简单的测出来，测定距离也是50mm制造公司SSD静电名称静电电位测量仪(表面电位计)型号STATIRONDZ３使用方法是参照本体附属的仕样书特征可以通过安装带电板来测定除电器的离子平衡。注意点a)因测定距离是50mm测定小物体（50mm以下）时，会出现误差，对象物即使有电位，受到周边部的影响也会表示出低电位而出现误判定的情况。对象物是面向100mm以上的物体。b)表示出的电位是10V单位，不面向30V的现埸管理，管理电压现埸是100V的话还是有测定意义的。7.1.2低电位用表面电位测定器的例上记的测定器是与对象物的距离长50mm,不针对小型物体的测定。选择出距离短的仪器对测定对象物的范围就会扩大,另外检出部成为探针型,很难受到周围的影响能提高精度.检出部是不能经受冲击的,落下的话会出现破损的危险.制造公司春日电机名称低电位表面电位计型号KSD0202（2003年则为0303）使用方法是参照附属的仕样书10mm特征测量距离为10ｍｍ显示电压为１Ｖ单位注意点a)测定距离是10mm受到周围影响有所改善。但是测定时一定要注意.因为会受测定者人体,衣着,周围物体的影响所以请注意.b)表面电位计一定要接地,基准电位是大地(接地极)管理电压适合30V的现埸有其测定意义.c)定期进行动作确认,精度的维持管理.使用充电板显示器更容易确认出来.（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页64/997.1.3用表面电位測定器对帯电状態进行確認的方法（実例表示）静电发生的物体会因为剥離、摩擦等发生変化、所以在静止状態下可能静电発生量较小，但推想在实际使用状態下的摩擦帯电、就能对表面电位的帯电状態进行確認，用表面电位計对低电位的表面进行测定7.1.3.1測定准备◇作業台------在铺设有導电胶皮（接地完毕）的作業台上进行測定。如果測定用的作業台表面帯电的话就不能进行正確的測定进行半导体操作的作業台表面必须铺设有導电胶皮、为在同一条件下进行操作和测定，必须制作无誤差的具有再現性的測定作業台。◇表面电位计的准备a)表面电位计的接地低电位表面电位计接地用连线若没有接地时，会产生测定误差GND端子b)与GND连接接在効果进行確認的GND部接地电阻１００Ω以下GND部c)表面电为计的误差确认为减少測定誤差、表面电位计要进行『０调整』：对接地的地面或接地的胶皮表面的电位进行测定，确认误差：超过容许范围时要调整。同时，为除去人体带电，人体要带腕带及穿防静电鞋和防静电衣。7.1.3.2准备摩擦帯电用的布◇关于帯电用布因为要推定实际的使用条件来測定、所以想定摩擦帯电并准备好布。想象帯电情况后准备两种材質的物品使测定更可靠：化学纤维的物品和棉１００％的物品准备a)化学纤维的例b)棉１００％の例作业用手套搽手用毛巾7.1.4表面电位测量的实例◇被测量物（有机玻璃板的例子＝治具、检查仪等的材料）的表面电位测量a)一般品有机玻璃（因为EＳD対策未実施所以很容易帯电）★不摩擦在静止状態下也有-1975V所以，未処理的话非常容易发生高电圧★用化学纤维、棉等擦几次、因摩擦帯电用KSD-0202测量会超出2000V表示为0要注意（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页65/99b)带电防止有机玻璃（住友AS）的表面电位测量（为一般的静电対策品以防止异物附着为目的）静止時的带电状态◇静止状态=不作任何变化的状态静止状态显示13V,表示低带电性。※住友AS是将带电防止剂添加到有机玻璃材料后的东西用化学纤维布摩擦帯电后观察变化★化学纤维布摩擦数回后，显示为823V。所以在作業的场合就不是低帯电性而是带电★作为静电对策品其対策度较低、不充分。如果不进行处理就很危险。用綿１００％の布摩擦帯电后观察変化★与化学纤维的显示值同样为813V可以得知对策度低如果不进行处理就很危险。★所以住友AS材是带电防止性的材料、不进行处理的话带电会在２００Ｖ以上。故在使用时有必要进行除电对策。c)带电防止有机玻璃（SEKISUIＤＣ板）的表面电位测量◇不摩擦时，显示为1V＝误差所以判定为低帯电性物质。※ＤＣ板是在有机玻璃材表面形成导电性的膜，在切断面并未处理所以会带电。用化学纤维布摩擦带电后观察変化★化学纤维摩擦数回后仍显示为0V所以是低帯电性、不会产生ESD。适用于低耐性的ESDS用棉１００％的布摩擦帯电后观察变化★棉１００％布摩擦数回后，显示为：1V＝误差显示低带电性d)涂一般帯电性有机玻璃板用带电防止剂（STATICIDE）后的变化静止状态看表面电位◇显示1V＝误差可以得知变成了低带电性。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页66/99用化学纤维布摩擦帯电后观察变化◇因摩擦帯电电位上升到69V，所以帯电防止剂能使其呈现低帯电性的変化因采用帯电防止剤而呈现的低电位性不是恒久性的需要定期的塗布、管理才能維持性能。但塗布的作業性好、且有費用面的优越性。用棉１００％的布摩擦带电后观察变化◇因摩擦帯电电位上升到-79V，因材料的差异导致极性的差异所致(帯电列的差)。带电防止剂的效果不是恒久的只是呈现低带电性的变化管理电圧在２００Ⅴ以下的工程能使用，但需要定期的涂布、管理使其维持性能。【测量带电状态时的注意点】：不是对静止状态进行评价、要考虑实际使用状態、使其変化帯电后测定。：使其帯电的方法用摩擦帯电的方法很容易。：摩擦帯场合、用不同材料进行、能消除因帯电列的差导致的誤判断、用化学纤维和棉１００％的物体。：摩擦回数３～４回程度就能帯电。【带电防止剂的效果】：对带电状态大的物体进行塗布，也不能使电位达到０Ⅴ。：没有恒久的効果、在効果低下前必须再度塗布就能达到抑制効果。7.1.5表面电位测量例生産工程中使用的治工具大多为树脂制、所以很容易带电，很危险。在使用（导入）前必须充分确认，不符合要求时要采取适当措施。作为治工具的确认例，以下以电动螺丝刀的帯电压（表面电位）的测量为例进行说明。◇低帯电性的电动螺丝刀表面电位测量及对应方法a)静止状态下确认HISO制电动螺丝刀4500◇静止状态下测量表面电位计的显示1V＝误差范围内为低带电性b)摩擦帯电时的确认◇摩擦帯电时的测量用化学纤维、綿布使其帯电后表面电位仍无变化，帯电圧表示为２V呈现低帯电性状态◇没有进行処理等的必要性可以这样使用、但要定期的管理注意：因为春日电机制的低电位表面电位計的測定距离只有很短的１０mm、故即使圆筒状的物体也能进行较小误差的测量。SSD静电气制表面电位计ＤＺ－３的测量距离有５０mm、所以受被测物体以外的部分影响，使测量电位数值平均化而表示为低电位性，所以有误判断的可能。被测量物的测量距离（５０mm以上）时测量値没有有効性。 生产技术标准ZES-B054-0页67/99◇帯电性电动螺丝刀的表面电位测量例日本电气精器株式会社制delvoＤＬＶ７３２３a)静止状态下的确认★不施加摩擦等静止状态下显示为18V推测摩擦带电后电为会上升b)摩擦带电时的确认：用化学纤维布摩擦带电后观察変化★用化学纤维布数回摩擦后显示为663V在作业场合下是帯电物。★未经过处理时不得使用。：用綿１００％布摩擦带电后观察変化★１００％的棉布数回摩擦后显示为318V在作业场合下是帯电物。因为帯电列的差异，棉制品呈现低帯电性★未经过处理时不得使用。◇帯电性电动螺丝刀低帯电性対策后的効果确认对应方法------手握部用導电胶带貼付、屏蔽。◇ACHILLES製ＳＴ－８表面贴导电胶带因屏蔽効果呈现低帯电性（胶带部分没有必要接地）★由于涂带电防止剂耐久性不够，所以不推荐：静止、摩擦帯电状态下表面电位的确认◇静止時、摩擦帯电时的表面电位确认测量值显示为２Ⅴ＝低电位性※本对策手握部分为低带电性在铁头头部如果有漏电压，有必要另行对策。注意：作为使帯电物呈现低帯电性化的手段、采用ACHILLES制导电胶带。其他的胶带等应该能发挥同样的効果。铝制的胶带也有効果、但若胶带的一部分脱落混入制品内时，将发生重大质量问题，所以要绝对避免使用、另外，劣化的导电胶带要及时交換。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页68/997.2有关作业现埸的环境静电气敏感性元件（ESDS）安全地使用环境条件（electrostaticdischagesensitivedevices)相对湿度的设定范围50±10（40~60）%RH温度的设定范围推荐23±2（21~25）℃根据上记环境条件控制静电气的发生，控制ESDS受危险性障害。9表面抵抗值是10Ω以上的物体，根据环境条件会受到显著变化，干燥时表面电阻值会上升，材料会带电障害的危险性也上升，湿度上升时，电阻值会下降呈现低带电性，用湿度控制能低减ESD障害的危险性。a)温度,湿度的测定例特征:因为没有使用水等,所以对制品没有危险性.製造会社佐藤計量器名称記録計型番SK-L200THb)可能调整湿度加湿器的例吹出口组装型空调装置吹出部追加湿度排出口设置湿度发生器上记装置是作业现埸组装型空调装置中追加湿度发生器,作业中设定最适当条件进行常时运转。加湿器使用上的注意事项·以上必要加湿时的话就会出现（漏电障害、腐食障害、不舒适障害）。·不使用超音波加湿器。有效范围窄，只有在雾状水分下降的范围才有效果，淋湿了制品的情况下会关联到制品信赖性的低下。c)最近加湿机的例以前方式的水沸腾加湿方法，对于近些年要求来说，有其薄弱的部分◇给作业员施加负担由于温度、湿度的上升，增加不快感作业性恶化。◇因为使用电热机产生湿度所以要消费电力。近年很难对应省能源化。最近的物质根据[http://kirinoikeuchi.com]的网页，有不用担心水雾淋湿的干雾发生器在此网页有出售，以尖嘴型的为中心的整个加湿系统。为控制静电气的出现解决上记2点问题，在优越的环境中作业。导入新生产埸地。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页69/997.3作业现埸的除电对策静电(除电)对策有除去带电品或对其进行抑制,下记所表示的是对策方法的代表例。7.3.1防止发生静电气（护罩实行）a)贴附胶纸来做除电对策导电垫子例ACHILLESSF50防带电胶防带电胶GOODGOOD导电垫子的贴付处理防止使用一般胶纸，使用防带电胶带，一般不使用带电材料的胶纸。b)树脂制品的静点护罩—1用上记防带电胶纸覆上治工具对策b)-1.静电护罩例―１b)-2.静电护罩例―２萤光灯伞焊接用水GOODGOODb)-3.静电护罩例―３b)-4.静电护罩例―4控制板的护盖焊接吸烟器GOODGOODc)树脂制品的静电护罩—2树脂制品的表面粘贴铝箔也有可能，但是怕有脱离的危险性因此不使用。实施例-1实施例-2螺丝推出处理焊接吸烟器处理注意注意从导入开始有静电对策的话，就不需要上记对策，今后推荐使用对策品。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页70/99d)用防静电片的静电护罩例d)-1.保管用台的对策在基板等保管台上安装防静电片，从外部开始遮断静电气的影响。d)-2.保管用台的对策实施例净化室的设置时用于与其他生产现埸遮断。因为导电部是网状，能防止从贴片处出现静电气和从外部来的静电气的影响。d)-3.生产用治具的对策例在生产工程等使用治具带电时用防带电胶带处理，或者涂上防带电剂。防带电剂涂布时请遵守以下几点：·注意不要付在制品上。·因为没有永久性的效果，所以要定期涂布。使用美国产指定品（或者是同等品）7.3.2生产用治具、检查机等的除电对策例a)检查治具的除电处理方法低带电有机玻璃生产现场做处理的同时作成也要实施对策使用已做静电对策的材料。·例用防静电有机玻璃。·使用金属不使其带电。对应品的表示已实对施策的治具表示已对策。可动部金属导电橡胶b)显示器除电NG测定显示器的带电压，在规定值以上时请做下记对策帯电圧2.24KV·追加显示器的过滤膜。·移动到到不受影响的距离。或者不使其接触制品而进行防护。·与其他物料交换。·表示并标识危险性。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页71/997.4.由除电实带器来施防电永久分极树脂制的部材（面板、护盖等）在规定值以上带电时，作为对策，使用除电器中和电荷，实电施除对策。因为有存在各种除电器所以推荐是交流电压印加式除电器。理由·生成正极及负极的离子，带电物体的极性无关照样使用。·除电能力高,所销售机种丰富，能根据带电物来选择使用。7.4.1除电气的例物体垂直向上的吹出位置7.4.2除电器使用时的注意点a)一定要地线接地（电源线是3P接地时不要接地）否则无除电效果，因出现高压电压，有漏电危险b)注意有效距离设置安装位置是从垂直向上吹出就能发挥能力。c)进行定期维护维持性能·发射端子的清洁至少清洁1次/3个月，消耗时要进行交换。·清洁过滤器过滤器上如果有残留污垢的话，风量低下离子出现量就会下降，至少1次/月进行清扫。d)离子平衡的确认（简易式）·测定带电物的带电压，靠近离子时，确认数秒带电压接近OV附近，检查是否有除电效果。·用带电压测定器测定离子平衡作为实施例由SHISHIDO制DZ3上装着带电板显示离子平衡的测定方法。（实施方法请参照本体的仕样书）带电板在DZ3上装带电板简易测量注意：离子平衡，除电效果有不良的情况，要联络管理者、静电对策管理者做对策。：上记的DZ3（或者是同等品）处理方法是简易的方法，定期的定量性能评价中是能力不足的，需使用正式专用机（充电板显示器）（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页72/997.4.3除电器的定量评价、管理全部的机器如果不进行维护管理，初期性能就不能维持，除电机的性能评价是使用充电板显示器。其主要的性能评价项目为：a）静电气减衰时间测定让充电板（带电板）带电1000V，测定其减衰到100V的能力；正负两极都要测。b）离子平衡（补充电压）测定将带电板放到离子化空气流中，测定出现的平衡电压。7.4.4代表例充电板显示器a)门罗产（美国公司）离子风扇性能性能测试仪IPA287标准特征·带电板在本体上使用性良好·带电板传感是中型的适合本公司产品主要在针对相当PCB，面板装配件的大小。(带电板的标准尺寸是150×150mm)b)春日电机产大气离子控制器静电容量20pfNK7001特征：带电板是与本体分离的其他探针型：带电板是小型的适合于小型部品的使用工程。：因为带电板是小型的所以很容易检出离子化空气流变化。7.4.5除电机的性能评价（根据上记充电板显示器）有关使用方法请参照本体上附上的使用说明书。◇除电机单体评价条件1、表面的条件测定桌上面要铺上导电垫子2、测定位置放在吹出部中心开始600mm的位置。3、高度从桌面开始150mm高起（因为不要受桌面影响）4、除电机的位置是在除电机中央部和充电板的中心位置。◇实际使用时的除电机评价条件因为是实际的使用状态下测定所以状态不会改变1、测定位置在除电对象物的位置附近放上带电板。2、除电机的位置在同一位置。◇评价项目和规格值工程的管理电压项目30Ｖ以下30～50Ｖ50～200Ｖ１．衰减时间两极性（＋、－）７秒以下２．离子平衡15V以下20V以下30V以下※不满足上记判值的时候进行时采取措施。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页73/99◇测定位置图除电机单体评价时将除电机的离子化空气流暴露到充电控制板上测定。+1+2300判断基准的位置150（中央部）离子风扇a1230150-1-2300mm150300450600750900mm比桌面高离子风扇中心150mm通底电板测量位置◇测定位置图实际使用时的评价将除电机的离子化空气流暴露在充电控制器上测定。离子风扇帯电板充电控制器通电底板除电物除电物测量位置測定位置上图可想象出除电机按一定高度来安装的状态从此图可以判断出除电对象物可容易受到离子化空气流的状态理想的除电器：减少除电对象物的电位，理想的除电器是以很宽的范围，缩短除电时间，离子平衡是很宽的范围以OV同等物。性能的维持管理：经过使用一段时间性能会低下，为维持性能一定要维护，定期的清洁空气过滤器，进行电极清洁、电极的交换、最适当的设置位置。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页74/997.4.6除电器的简易动作确认标准上，在生産工程中，必须用上面的放电板用对其除电能力进行定量評価和管理。如果只是确认除电機的基本動作、用现在的表面电位計也可以。由于不能进行定量的判断，只能通过对帯电物的表面电位変化来看除电機的基本動作。◇需要准备的机器（实施例）：被除电器例SSD静电气制TYPEBF―２Ｈ：表面电位计春日电机制KSD－０２０２：帯电物：泡沫塑料能带１０００Ⅴ程度的电压、有一定表面积的东西：秒表能测定0.1ＳＥＣ的东西（能测定时间最好）◇測定位置测量用桌子必须同作业现场同样铺设导电胶皮，在同一条件下消除误差。除电器与动作确认用的帯电物距離为６００㎜。为再现实使用时的条件风量等按通常使用时的状态进行设定。除电器传感器帯电物导电胶皮０300ｍm600mm测量台上铺设导电胶皮(与作业现场同一条件）动作确认确认顺序和实例a)准备：除电器的电源ＯＦＦ（离子发生停止）：将衰减时间测量用的帯电物放到所定的位置基本距离为６００ｍｍ。如果现场设置完毕、在实际使用位置处放置：表面电位計的传感部放到所定位置。b)测量－１使帯电物带电約１０００Ⅴ：表面电位计电源ＯＮ：摩擦测量用帯电物使其帯电约带电1000V用放电板评价的场合，是测量１０００Ⅴ→→１００Ｖ的衰减时间，所以，简易方法也希望达到同等的电位。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页75/99ｃ）测量－２测量帯电物的衰减时间：除电器的电源ON除电开始：同时秒表ON测量开始◇测定表面电位达到100Ⅴ時的时间（与衰减时间相当）因除电効果帯电物的电位会达到低于100Ⅴ、测定这个時間降低到100Ⅴ時的時間被认为是衰减时间判断値与放电板使用時同様的，必须在７秒以下帯电物的表面电位有时与除电器的运转没有关系会出现変化、所以帯电后要即時对电位进行动作确认。ｄ）测量－３测量帯电物的表面电位带电压-937V除电至10V◇测量表面电位除电机继续，观察其除电能力，约２０秒后看表面电位计的数值是否降低在上图的场合显示为１０Ⅴ这个表示出来的电位可以认为是除电器的最大除电能力、另外这个数值与离子平衡的数值相当。判断値：因为是简易方法目标是３０Ⅴ以下。e）参考必须理解以上内容的簡易方法只是動作的確認手段，正規的衰减能力评价场合还是需要用放电板来管理。帯电板使其带电1000V离子平衡11V衰减时间6.9秒ｆ）测量用的帯电物能反复使用、外形尺寸要为１００×１００以上例有机玻璃板泡沫塑料塑料袋等带电多的物质使用。g)用简易动作确认方法确认发生疑义时，要立即中止并用标准的测量方法进行确认。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页76/997.4.7代表性的台式除电器制造会社HUGLE电机型号２０/２０AC方式交流电晕放电方式价格￥１３８，０００特征：自动离子平衡调整（吹出部有检出部）：除电时间短：离子平衡良好：管理电压面向30V以下的工程.制造会社SIMCO型号XC方式交流电晕放电方式价格￥８９，０００特征：本体侧付有电极清扫的刷子(性能的维持管理为优位)：除电时间短：离子平衡良好面向：一般组立工程管理电压200V制造会社高柳研究所型号TAS－１８３方式直流电晕放电方式价格￥４９,８００特征小型除电时间短,效果小制造会社KEYENCE型号ＳＪ-Ｒ系列多种方式脉冲直流方式价格特征棒型吹出口的正面部有效果离子平衡±２００変化制造会社SIMCO型号TG－３方式直流电晕放电方式价格￥１３０，０００特征因为很细所以使用性良好※除电时会发出脉冲性噪音搭载耐脉冲性低的设备是禁止用面向面板部除去异物制造会社高柳研究所型番TAS－２０G方式直流电晕放电方式価格￥８５，０００特徴DC型离子风扇上付属的气枪面向面板部除去异物（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页77/99制造厂家：SSD静电气型号：AGZⅡ方式：交流电晕放电式价格：￥75,000特征：压电方式，气枪型，离子平衡良好；无EMI噪音发生面向面板部的异物除去7.5除去带电物,导电材的使用避免使用带电品、使用防带电材或者导电材、金属制7.5.1导电性部品箱的使用例a)未对策品b)导电性的部品箱带电性的部品箱NG低帯电性部品箱7.5.2使用金属制部品缸的使用例与半导体搭载制品接触有危险性的情况下要接地。原因与电容同样的机能，会贮存电荷。接地后将失去电荷8与接地局的电阻值是规定值以下（1×10以下）时不必要用线材接续。7.5.3使用金属制垃圾箱因为不带电所以不需要用地线。（与半导体搭载制品接触没有危险性。）即使内部有带电物，因为有静电屏蔽的效果所以可以减少危险性。7.5.4箱的导电化未对策的带电性箱的例NG使用未对策品的条件·没有搭载半导体的情况·附近没有搭载半导体的制品，不存在静电诱导今后对策·使用条件少，尽量避免使用、撤去，使之从作业现埸消失。对策品导电性箱的例·被使用搭载半导体的半成品，制品。·因箱子本身导电所以周边没受影响。使用导性的电箱子（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页78/997.5.5根据作业台、辅助桌、等的导电化实施除电对策的例a)静电对策前的作业台b)静电对策后的作业台導电性部品箱金属製治具ＳＵＳ製部品皿ＳＵＳ製網对策方法问题点1.已变更为导电性的部品箱。1.使用带电性的部品箱。2.放制品治具已变更为金属制。2.放制品治具没与地线连接。3.因巽物落下用的网线是树脂涂层处理3.网线已变更为SUS制。品所以不导通。4.作业台的功能阀已变更为导电性。4.作业台的功能阀是使用未对策品。导电化不带电排除危险要素进行作业。有多数危险要素7.5.6根据地板的导电化（涂料）、作业台、架子的导电化实施静电对策例導电塗装面导电脚轮判別表示静点对策实施时的有利点1.因为使用了地面的导电涂料涂布，没有使用垫子时的那种接缝。2.由于使用导电脚轮移动时与地线常时处于导通状态故有除电效果，若脚轮的使用再加地线接续能得到2系统的安全性。3.从使用导电性功能阀来看，作业台不带电。导电脚轮使用时的注意点1.专用的地线接续进行接地，脚轮是作为补助效果来使用。2.为区别通常品的脚轮，推崇用判别的标识。7.5.7通用胶带类的除电对策的实施例·将带电材的表示用胶带贴在地面的物体受到摩檫等变化时，带电的情况下，要进行防电对策。例贴上导电性胶带，防带电性胶带防带电材的涂布（耐久性不好）·本例是黄色的胶带上贴上蓝色的胶带，对策方法是用低带电性（防带电性）胶在表面覆上一层以除电。注记贴付的胶带的带电压在管理电压以下时，没有必要覆上低带电性的胶纸。7.6带电防止剂（涂布，喷涂型）的使用（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页79/997.6带电防止剂（涂布，喷涂型）的使用简单地使用也能发挥效果，但是沾上制品的电气回路的话会出现绝缘不良，另外附在金属的切断面等情况会生锈，没有永久性的效果，必须有定期性的涂布。◇带电防止剂的指定由美国Staticide社或者是推荐同等品推奨没有生锈可以使用，与其他物质比较，耐久性及防带电效果更强，有用水、IPA稀释的，用少量涂布擦拭方法能简单地处理。◇使用时注意定期的涂布（喷雾）不要附在制品上是带电防止剂的注意点。7.7有关指套、手套的使用为防止部品及制品上附上指纹或者汗的盐分等为目的，使用表题的东西，但是如果使用错误的话会出现静电气的问题，使带电防止对策效果低下。7.7.1指套推荐带电防止性的指套，使用时有实施人体的除电对策（静电手环、静电鞋和地板）后再使用。已存在导电型有导电橡胶的落下混入到电气回路的危险性，请尽量避免使用。a)帯电防止性指套b)导电性指套推荐限制使用品91158电阻値(１×１０～１０)电阻値(１×１０～１０)推荐品限定使用品实施人体的除电对策后使用因为导电性的橡胶有落下危险c)有关未对策品的指套在半导体元件使用工程中不使用。注意由于指套会使静电对策失去效果所以禁止使用。d)带手套时的条件戴导电性的手套时一定要戴静电手环接地。导电性手套注意·导电性的化纤手套用导性纤维做的，从性能来看是防止带电。·使用时一定要戴静电手环除人体电。带电防止性指套戴静电手环在管理值以内时可以戴绵制手套，但是使用精密部品时容易拉线，使用时请注意！推荐并用防止性带电指套进行防止。.（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页80/998.实施表示半导载体或者是搭半导体制品及使用半成品的时请候，一定要在静电对设策的备完备的埸所（ESD保区域护=EPA）使用。在ESD保护实区域要施统一表示，以提高视觉性的管理状态。8.1静电对策责任者的任命和表示各生产实地点要任命施静电对策者，代表者（静电气管理责现任者）和各埸的责任者（静电对责策任者）（可兼任），在静电对策区域的各现记埸清姓名，表示静电对责策任者。表示例ＥＳＤ対策責任者地点□□□□名字□□□□◇ESD对策责任者的表示例a)实例MEC制造1課日语表示b)实例PIC英语表示加强手记标识的认识性8.2ＥＳＤ保护区域（ＥＳＤprotectedareaＥＰＡ）的表示旧称静电対策区域在选择保护区域内，因为要做识别，所以在地面和作业工程上作下记表示。8.2.1地面上区域的表示在地面上贴胶纸，贴付位置是区域的最外周部下记例子表示一般工程(未対策区域）ＥＳＤ保護区域(EPA）包含作业者的步行范围注意点胶纸的颜色是静电对策责任者担任表示用胶纸上摩擦等到受到变化带电的情况下，（管理电压以上）要覆上保护用防带电胶纸，或导电性物质（低带电性物）防止带电。※管理电压以下的情况不需要覆上保护用胶纸。表示例区域外区域内導电性塗料面（導电性床面）表示、保护胶8.2.2在作业工程上表示保护区域。为明确区域用ESD保护区域（EPA）来表示，揭示位置在该当区域内。下面代表例有附加EPA标识，揭示下图的标识能更明确地认识。背景色是黄色作为追加情报也可，但是只能说不阻害基本的警告之方法。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页81/998.2.3ＥＳＤ保护区域（ＥＳＤprotectedarea＝ＥＰＡ）的表示标识的实施例a)日语表示例注意ＥＳＤ保護区域静电気敏感性约１５０ｍｍ以上デバイスの取り扱いを守る事约３００ｍｍ以上b)英语表示例ATTENTIONESDPROTECTEDAREAOBSERVEPRECAUTIONSFORHANDLINGELECTROSTATICDISCHARGESENSITIVEDEVICES※有关大小IEC61340在300×150mm以上的为标准，但是实际运用A4以上的纸表示，考虑到要达到充分的目的，能够更容易的认识，揭示板的高度为2m以上的高。8.3ESD管理电压值的表示a)表示例日本語表示ｂ)表示例PIC英語表示ＥＳＤ管理电圧５０Ｖ以下电圧表示２００Ｖ※必要的项目１．ＥＳＤ管理电圧２．电圧値以下标识的严守事项：为更容易的认识，标识的高度为2m以上。：有关大小，作成容易认识的物体。：EPA表示，对策责任者表示，ESD管理电压表示的标识上与其他的情报并记也可以。但是不能降低认识。：标识的色推荐以黄色为基调。有关EPA的表示，IEC61340也被决定为黄色。：ESD相关的表示是推荐左图所示手动标识。IEC60417标记番号（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页82/998.4静电气对策品和未对策品的表示ESD保护区域内基本禁止带入的带电物，未对策品，为使对策彻底化，为做识别以下图表示。8.4.1对策品的表示例(治具、設備)・静电対策品表示銘板a)等级-1的对策品以下所示等级－１静电対策品Rank-1ESDprotectedEquipmentPioneerKawagoeProductionEng.Dept.b)等级-4的对策品以下所示等级－４静电対策品Rank-4ESDprotectedEquipmentPioneerKawagoeProductionEng.Dept.1、4等级的区分参照9项9.2带电压管理上记表示例是川越事业所生产技术部作成治具、设备，上面有明确表示对策品，另外责任部门要明确化。8.4.2对策品的表示例（备品、治工具）・静电对策品表示铭板上记以外的备品，即使是治工具也要表示对策品，表示参考例a)等级-1(30V以下)对应品时1b)等级-2(50Ｖ以下)对应品时2c)等级-4（200V以下）对应品时4※为明确对策标签在该当等级品上框“○”标签(ESD-01-A)使用例对策处理品的树脂制胶带切断机※用“○”来表示等级48.4接地部的表示静电对策的基本是与地线接续，接续场所为使能让第三个人能确认出来帖上下记表示标签。标签(EARTH-01)使用例导线底板的接续板处（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页83/999.对策的维持管理此项与静电対策管理規定(ZES-A004)的4.1～4.4項中规定的内容相同、因为規定会根据必要情况随时改正、所以请经常保持規定的最新版。9.1行动基准1.本手册所指定的设备不完备的情况下,不能使用半导体或者是搭载在半导体的制品,光PU、搭载光PU上的制品及半成品。2.使用半导体或者是搭载半导体的制品,光PU,搭载光PU的机芯、制品及半成品，各部门必须以本规定为基础，对担当范围的设备、治工具、作业员等实施对策内容。3.管理分为形态管理及计测值管理。个别作业仕样书有必须个别管理的，按仕样书为准。4.静电对策管理重点要表示出来采用眼睛能看到的管理，如EPA(EsdProtectedArea)「ESD保護区域」表示、管理电圧値、静电気対策点的表示。（頁８０、８１，８２表示例参照）9.2带电压管理分類定義人体・・・・・・・针对接触管理対象品的全部的人。周边・・・・・・・是指有接触対象品可能或临近的物品、场所及設備。半完成品・・・指装入了対象部品的完成品以外的所有物品。（完成品、是指最終出荷状態时的製品）对应带电压的管理值进行分级级别分类管理值对象品（表中的静电耐电压指MM机种的值）·光头部品30V以下1人体及周边·耐静电能力30V以下的半导体（部品）。·搭载以上部品的PCBASSY和半完成品·搭载光头的机芯·搭载光头机芯的后续工程2人体及周边50V以下·搭载光头的半成品（DVD，CDR及业务用机芯）·耐静电能力50V以下的半导体（部品）·搭载以上部品的PCBASSY和半完成品4人体100V以下·30V，50V对象品以外的半导体（标准）·搭载以上部品的PCBASSY和半完成品周边200V以下·有可能接触或靠近30V，50V对象品以外的物品，场所及设备。※所谓靠近是指与对象品的空间距离在50CM以内。9.3对策管理项目9.3.1形态管理：形态管理是要进行常时确认a)人体项目确认内容管理值是30V以下一定要戴静电手环。7戴静电手环管理值在30V至50V之间的，若能采取同等手段确保体系合成电阻在（1.3×10(坐下时一定要戴)Ω）以下时不戴静电手环也可以。8管理值在50V以上时，如果站着作业能保证系统合成电阻在1×10Ω以下时，可以不带。(用人体导电鞋、导电地面接地极接续方法接续。)导电鞋的穿着在对策区域内一定要穿管理值30V，50V以下时一定要戴,但穿静电服时不需戴导电袖套能确保管理值的情况下也可不戴导电围裙管理值30V，50V以下时一定要戴,但穿静电服时不需戴能确保管理值的情况下也可不戴护膝、座垫低带电性以外禁止使用头巾低带电性以外禁止使用(能确保管理值东西使用)（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页84/99形态管理项目确认内容帽子低带电性以外禁止使用(能确保管理值东西使用)头发对策范围内可能会接触到对象物,或到肩长的时候一定要扎起头发.低带电性以外使用禁止。（使用能确保管理值的东西）静电对策指套，手套推荐使用带电防止品,因为导电性品的导电材会脱落所以禁止使用.使用时要确认磨损，损伤等，若有异常立即交换或变更b)周边、设备项目管理内容电源插座确认极性(使用3口时)地线干线设置状态的确认接地工事确认分电盘上接续的地线干线地面通电垫子的设置；或导电涂料回路设置确认地线接续板、安装状态.确认地线和接地状态.确认垫子和垫子之间接续状态通电垫子的设置.作业台、侧面桌、材料确认地线接地板、安装状态.架、踏台等确认地线及接地状态.焊接烙铁静电对策品的使用或进行静电对策物的使用.焊接吸取器焊接烙铁头部接地,确认漏电电压是在规格值内使用低带电性的东西或经过处理过的部品箱使用低带电性的东西垃圾箱未处理品禁止使用.使用低带电性(防带电性的)处理品.周转箱，基板架使用低带电性（防带电性）的周转箱．如果要将东西通过周转箱以外的方法拿出时，使用能进行静电遮蔽的导电性袋PCBAssy捆包子等．每个管理值进行静电对策治工具、检查机的使用低带电性材料除电化有无低带电性（防带电性）胶纸.防带电剂的涂布．（固定部及可动部涂布）运转状态的确认除电器设置位置、风量、电极脏污，过滤器脏污等．CRT显示器每个管理值进行静电对策.使用CRT过滤片并接地机器、生产设备地线的接续状态、方法的确认计测器接地线（线径、线种、外表的颜色等）与接续状态（连接端子，焊锡等）的确自动焊接装置认使用电源的机器要进行保安接地组立装置金属治具也要实施接地电源（直流、交流）等传送带使用导电、防带电的传送带。确认筐体部分的接地。使用静电对策品或实施对策后的东西电动螺丝刀将头部接地，防止发生漏电电压。使用低带电性的物品、处理品使用对策品台车未对策仅再搬运时使用。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页85/99形态管理项目确认内容静电对策责任者表示在对策区域内对策区域表示在地面和作业工程。管理电压表示在对策区域内用电压值表示。对策品未对策品的表示静电对策的表示有关对策品贴上标签标识。地线点的表示接地干线的接地处（分电盘）地线干线地线接续点标上标签区别。9.3.2计测值管理项目级别项目管理内容确认频度124接地工事接地电阻１００Ω以下1回以上/年○○○制造部门要确认接地干线是否接在分电1回以上/6个月盘内或设置移动时电源插座的极性极性确认，电压确认1回以上/6个月○○○注1接地效果的确认或设置移动时※静电腕带戴上时包含人体的电阻值1回以上/日○○○57规格值：4.7×10～１.3×10Ω※系统合成电阻作业场所包括人体，接地线的电阻值1回以上/3个月○○○注257/静电腕带规格值：4.7×10～１.3×10Ω或设置移动时※导电鞋穿着时人体与测定板之间的电阻1回以上/日○○○58规格值：1.0×10～１.0×10Ω※系统合成电阻作业场所中包含人体，导电鞋，导电地1回以上/3个月○○○注3/导电鞋面及接地线的电阻值或设置移动时58目标：1.0×10～１.0×10Ω58暂定：1.0×10～１.5×10Ω系统合成电阻作业场所中包含人体，指套，手套，接1回以上/3个月○○注4/手套，指套地线在内的电阻值或设置移动时59规格值：1.0×10～１.0×10Ω注710电阻值在10Ω以上时，将该品摩擦带电后测定其带电电压规格值：在管理值以下静电服穿着时人体带电压和静电服的带电压1回以上/6个月○规格值：30V以下导电地面接地点（干线和接地极）与导电地板之1回以上/6个月○○○注5间的电阻值或设置移动时58规格：1.0×10～１.0×10Ω防静电胶皮，薄膜，作接地点（干线和接地极）与导电胶皮，1回以上/6个月○○○业台，辅位凳，材料架，薄膜之间的电阻值或设置移动时58踏板等规格：1.0×10～１.0×10Ω机器，生产设备的接与接地点（干线和接地极）之间电阻1回以上/6个月○○○地；检查机，计测器，（导通状态时仅是线材的电阻）或设置移动时自动焊锡装置，组立装置，除电器电源(直流，规格值：10Ω以下交流)等机器类（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页86/99项目管理内容确认频度等级124除电器衰减时间（1000V→100V）1回以上/3个月○○○（使用带放电板的测规格值±共7sec以下或设置移动时试仪）离子平衡的确认：规格值：管理级别115V以下管理级别220V以下管理级别430V以下除电器带电物的带电电压衰减时间：7秒以下1回以上/3个月○（使用其他仪器的简带电物的带电电压（与离子平衡相当）或设置移动时易法）规格值：30V以下流水线传送带在传送带的折弯部测定1回以上/6个月○○○注7规格值：带电电压在管理值以下或设置移动时流水线用周转板周转板的带电压，但导电性周转板除外1回以上/6个月○○○注7规格值：带电电压在管理值以下或设置移动时注7治具，检测装置带电电压的确认1回以上/6个月○○○规格值：带电电压在管理值以下或设置移动时电烙铁漏电电压确认（即确认接地状态）1回以上/3个月○○○注6规格值：5mV以下或设置移动时焊锡除去装置漏电电压确认（即确认接地状态）1回以上/3个月○○○注6规格值：5mV以下或设置移动时电动螺丝刀（头部）漏电电压确认（即确认接地状态）1回以上/3个月○○○注6规格值：30mV以下或设置移动时带电防止剂涂抹的效带电电压的确认1回以上/2周○○○果确认规格值：带电电压在管理值以下或设置移动时※计测值管理值出现有疑问的情况需立刻处理。※计测值原则上用专用计测器进行测定，但※项目的管理值在没有异议时可用万用表等测定。但用一般计测器时，应对判定治具进行校正并每月一次以上确认动作。设置/移动的定义设置：新设置或保养后，或闲置设备的再利用。移动：布局变更或电源线的移动，变更时。注1：使用数字式万用表测定。注2：确认人体和接地极（地线干线）间的合成电阻值。选3人以上代表者检测并记录。注3：确认人体和接地极（地线干线）间合成电阻值。因为是新增检测项目，考虑到要调查现状及导入时的准备所以定了暂定规格，所以尽量58向目标管理值(1×10～1×１０Ω)努力。选3人以上代表者检测并记录。注4：确认人体和接地极（地线干线）之间合成电阻值。59电阻值低的场合（1.0×10～1.0×１０Ω）：用电阻值判定；10电阻值高的场合（1.0×10Ω以上）：将手套。指套摩擦带电后测定带电电压。选3人以上代表者检测并记录。注5：推荐用专用测定器或者是绝缘电阻测定机(SOLDERTESTER)测定或判定。注6：用电烙铁专用的测定器和万用表加测定板的方法，能得到同样的结果。注7：若所定帯电电圧不能満足的場合、要进行除电対策（离子风机使用、加湿処置）。即使使用静电対策品、効果也不是永久性的，需要实施日常的点検来防止問題的发生。这里记载的管理値、管理頻度是最低限的必须遵守的水平，应该根据製品、工程的不同情况进行更高水平的管理，这时应遵照各工厂的静电对策管理者的指示来执行。（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页87/9910.有关IEC61340本公司的静电对策基准是选定运用ZES004。『ZES-A004』是以先锋社内的基准，规定本公司产品的使用范围。不仅是本公司的基准，而且作为参考介绍将来还可能为国际规格的标准.这是一般的基准『IEC1340-5-1、5-2』我想以后也将会普及。其他公司(半导体搭载部品的厂家、部品厂家、静电对策部品厂家)等已经在导入。有关『IEC1340-5-1、5-2』的内容是用HBM100V以上电压的耐性,根据静电气现象静电气敏感性设备.设计出损伤风险最小的使用保护领域,使用规定管理。内容是HBM规定在100V以上的内容,我们所使用静电气敏感性设备多数是在100V以下有些项目不能满足要求。内容是HBM主体不能想定在100V以下,另外不含其他损伤原因的CDM、MM.因为有些不足的部分所以我们为了统一将适用于全部的内容。不足的部分适用于本公司基准以补足形式的话我想可能会加强效果.有些差的部分,为保证品质以本公司『ZES-A004』为优先用.有关一般事务所有必要掌握『IEC61340-5-1、5-2』的一般的基准。■IEC61340-5-1由静电气现象来而对电子元器件的保护--一般要求事项■IEC61340-5-2由静电气现象来而对电子元器件的保护--用户指导发行所财团法人日本规格协会详细的请参照上记基准书（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页88/99让电子设备远离静电－第1部一般要求事项（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页89/99让电子设备远离静电－第2部一般要求事项（04/02/27）静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　頁　90/99　１１．对策现场的监查、报告、继续实施静电对策并进行持续活动，维持提高。顺序１．对策的实施　　参照１项～１０项２．确认对策状况　　在进行监查时，应使用记载了标准的对策项目、管理项目的确认表进行确认。在监查时，确认方法、评价方法都会因人而异，所以实施监查的人有必要充分　　理解并掌握第１项的对策的实施方法及监查方法。对于监查中查出的不符合事项，要尽可能的提出符合被监查部门的改善案，以顺利地进行纠正。另外添附确认表，内容被区分为5个项目，进行评价。　◇确认表的区分项目数1管理、记录162人体关系143设备关系134治工具、作业台类、其他185对策的推进、维持活动15合计76注意不符合项目必须在确认表中记载。　　■使用方法与计算方法判断与得分○规定、方法都没问题，都符合时５点△有一部分不符合３点×有多处不符合的地方０点注意确认表中只是标准项目的精选部分，有些可能并不完全符合现场。如果有这种情况，则需要删除、变更，如果有需要补充的则补充进去。对策度与得分○项目数×５＋△项目数×３×１００＝得点评价项目数×５　　■作成静电监查报告书应将监查内容项被监查部门、监查部门进行汇报。明确并记录问题点作为参考例添附标准用纸。３．不符合事项／是正处置　　监查时原则上应与现场的人（ESD対策責任者）一起进行，因为可以当场讲述问题点及理由，推进对策尽快进行。不符合项目由ESD对策责任者进行改善与纠　　正，为使对策顺利进行，必须提出与现场相符合的最好的方法。被监查部门应记载不符合项目，决定对策方法，进行汇报。　　作为参考例，添附标准用纸。４．做成静电监查指摘事项的纠正处置报告书被监查部门应计划、实施纠正处置，并汇报其内容。　作为参考例，添附标准用纸。５．建议监查时的得分贴到被监查场所，使被监查场所有所认识。要进行日常管理，早期监查出异常，将半导体的破损事故防范于未然。６．监查的频度　　建议实施频率为３次以上/年，因为产品与现场都会经常发生变化，要以维持与　　改善现状为目的。７．报告实施的内容与相关人员联络。(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0页91/99静电审核检查表审核场所被审核部门　　　　　　　　　　　　　审核员所属部门审核日被审核人员　　　　　　　　　　　　　审核员管理・记录关系结果检查项目问题点○△×1.有否任命静电管理负责人其责任与权限是否明确2.有否任命静电对策负责人其职责与权限是否明确3.有没有标明静电对策负责人4.静电环的导电检查有没有记录5.防静电鞋的导电检查有没有记录6.对防静电地板的静电检查有没有记录7.防静电垫、防静电板的检查有没有记录8.对除电器的效果确认有没有记录(衰减时间、离子平衡)9.对传送带的带电检查有没有记录10.对夹具、检验仪器的带电检查有没有记录11.对静电服的带电检查有没有记录（只以管理值为３０Ｖ以下的为对象）12.有没有标明防静电区域（必须在地板和操作区域中标明）13.有没有标明是静电对策品（防静电品）14.有没有接地点的标识15.系统合成阻抗/静电环导电鞋/导电地板有没保留记录16.焊烙铁、吸锡器、电动螺丝刀的漏电压是否保留记录件数静电对策实施手册（04.02.27) 生产技术标准ZES-B054-0页92/99静电审核检查表关于人体结果检查项目问题点○△×1.静电环的戴法以及方法是否有问题（控制值为３０，５０Ｖ以下以及坐着时一定要戴。在上述的控制值以外且可以确保控制值时则不需要戴）2.是否实施了静电环的导电检查并且,检查设备是否有问题3.护膝、坐垫是否为防静电品4.在防静电区域是否穿上防静电鞋进行操作5.有否检查防静电鞋并且,检查设备是否有问题6.是否穿着防静电服操作（控制值为３０，５０Ｖ以下必须穿着。在上述的控制值以外且可以确保控制值时则不需要穿着）7.是否戴防静电护臂（控制值为３０，５０Ｖ以下时必须戴，穿着静电服时不需要戴。在上述的控制值以外且可以确保控制值时则不需要穿着）8.是否穿防静电围裙（管理値为３０，５０Ｖ以下时必须戴，穿着静电服时不需要戴。在上述的控制值以外且可以确保控制值时则不需要穿着）9.如果头发在防静电区域内有接触到ESDS（静电敏感性器件）的可能，是否扎起来了10.头巾是否采用防静电品（但是如果可确保控制值时则可以使用）11.帽子是否采用了防静电品（但是如果可确保控制值时则可以使用）12.指套是否采用带电防止品13.手套是否采用防静电品（但是如果可确保控制值时则可以使用）14.系统合成阻抗/静电环导电鞋/导电地板的检查是否在做件数静电对策实施手册（04.02.27) 生产技术标准ZES-B054-0页93/99静电审核检查表关于设备结果检查项目问题点○△×1.是否检查接地施工,是否在规定范围内2.配电盘的接地线和分电盘的接地是否连接在一起是否实施效果确认3.生产线上接地线是否接地在分电盘上了4.电源插座的极性是否适合5.电源插座（３眼型)是否接地6.防静电生产线的地面是否实施防静电7.防静电生产线的地面的阻抗是否在规定值内8.防静电板是否接地（接地设置间隔在５ｍ以内）9.自动焊接装置是否接地10.传动带是使用导电传送带还是使用带电防止传送带11.测试仪器的ＧＮＤ端子是否接地12.组装用工装、设备是否接地13.除电器（离子风机）是否接地,或者,是否有除电效果件数静电对策实施手册（04.02.27) 生产技术标准ZES-B054-0页94/99静电审核检查表工夹具・操作台类・其他结果检查项目问题点○△×1.操作台、踏板等是否设置防静电板、是否接地2.放置台、材料架是否设置防静电板、是否接地3.修理工位是否设置防静电板、是否接地4.工夹具是否采用防静电措施,是否能除电5.焊烙铁是否是高绝缘型,或是否采用防静电措施6.螺丝是否采用防静电措施7.电动螺丝刀是否采用防静电措施（另外,能确保控制值时不需要接地）8.切带机是否采用防静电措施9.润滑油容器是否采用防静电措施10.零件箱是否采用防静电品11.周转箱和隔板是否采用防静电措施12.ＰＣＢ组件的装箱是否使用防静电纸13.检查用的显示装置是否采取防静电措施14.测试光盘・磁带的托盘是否采取防静电措施15.垃圾箱是否有导电性,或者是否采取防静电措施17.平板车是否采用防静电措施（未采取防静电措施的平板车只能用于搬运）18.使用带电防止喷剂时是否实施效果确认和再处理件数静电对策实施手册（04.02.27) 生产技术标准ZES-B054-0页95/99静电审核检查表对策的推进、维持活动结果检查项目问题点○△×1ＥＳＤ委员会是否有最新版组织图、并明确其职责2ＥＳＤ委员会是否有年度活动计划、并在执行（检查计划表和活动结果）3ＥＳＤ审核是否在自公司以及协作公司也实施此计划（检查计划表和实施记录）4审核后的纠正措施是否有计划地实施（检查纠正措施报告书和现场）5是否明确控制审核结果（对策度）的推移。（检查管理表､图表等）6是否有培训组织（检查组织图）7是否有培训实施规定(是否明确各个层次必须实施的内容)8是否实施培训（操作工、对策者、审核员)9培训时是否实施对理解度的测试（检查记录）10对培训理解度测试不合格者是否进行再培训（检查记录）11ＥＳＤ审核员是否有资格（是否接受培训并认定）12ＥＳＤ不合格项是否进行水平展开（检查记录和实施）13ＥＳＤ不合格项是否进行再发防止（检查记录和实施）14静电环、静电鞋检查ＮＧ是否有处置规定（检查规定和实施）15工作服（静电服）是否有带电防止控制规定（检查规定和实施）件数静电对策实施手册（04.02.27) 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　96/99　参考例静电监查结果报告书发行　年　　　月　　　日　　部　　　　　　课承认照査担当监查场所综合评价　Ａ　・　Ｂ　・　Ｃ　・　Ｄ综合评价分分监查实施日　　　年　　月　　日生产机种◇监查结果概要以上不符合项目的是正处置报告书提出期限　　　年　　月　　日监查员所属评价得分综合评价综合评价分　　　　○：５点Ａ：１００～９０点△：３点Ｂ：　８９～７５点综合得分×：０点Ｃ：　７４～５０点×１００＝%Ｄ：　４９～　０点评价对象项目×５【配布地】(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　97/99不符合事项　／　是正处置　（　页　1/　　）　　　　　　　　　　　被监查部门监查员监查日　　　　年　　月　日监查地点机种名No.不良事项是正处置担当部门担当者实施日确认(04/02/27)静电对策实施手册 生产技术标准ZES-B054-0　　　页98/99　参考例先锋（株）　　　　　　　　　　　部御中静电监查指摘事项的是正处置报告书发行　　　　　　　　年　　　　月　　　　日社名　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　.（生产线名）承认照査担当接收　　　　　　　　年　　　　月　　　　日　　　　　　　　　　　部　　　　　　　　　课承认照査担当配布(04/02/27)静电对策实施手册(KQR-A-007　付表４） 生产技术标准ZES-B054-0　　　页　99/99解说关于本次制定此静电对策实施手册原来只是作为静电对策管理规定（ZES-A004）参考资料附带在生产技术标准中，因此在实施静电对策时，生产现场只将其当作参考资料来看待，在实施时不象实施规定时那样认真，为纠正这种现象，将这一部分从静电对策管理规定中分离出来，明确作为生产技术标准。为确实能够进行静电对策，并继续实施，在原来的内容中追加了「对策的维持管理」、「对策现场的监查、报告、继续」等项目，这样，静电对策实施的手册就集大成了。因不明确静电对策管理是以什么为基准进行的，所以这次制定时以「IEC61340」为准绳，对静电对策实施管理规定（ZES-004)进行了修改。因此，本手册生效与静电管理规定（ZES-A004）的修改为同期。这样，全社的静电对策内容得到了统一，因此能够使静电对策的实施得到强化，能维持并提高质量。此次制定要点１．明确了作为全社生产技术基准的位置，使各事务所都能在同一基准上进行运用。２．在实施静电对策的同时，明确了具体的方法，并作为手册进行定位。制定机关与管理机关１．制定机关　由作为生产技术部会的小分科会的要素作业标准化分科会进行了制作。生产技术部会所沢事业所HEC生产技术部長澤正裕CBC生产技术部増永由文（副部会長）川越事业所MEC生产技术部釣谷郁夫（部会長）高橋明　（事務局）DPC静岡DISPLAY生产技术部伊奈岡孝技術生産統括部生产技术中心土屋富治（副部会長）企画小组高木仁史（連結事務局）要素作业标准化分科会所沢事业所HEC生产技术部鈴木孝雄（５８期）CBC生产技术部堀口透（LEADER）ﾊｲ島健治（事務局）川越事业所MEC生产技术部助川幸郎存弘也DPC静岡DISPLAY生产技术部堀田幸男技術生産統括部企画小组高木仁史（规定类管理事务局）原本作成者川越事业所MEC生产技术部宮沢輝夫(04.02.27)静电对策实施手册'