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cmm尺寸测量不确定度模型与评定方法

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'?;■评..359密级:公开单位代码;10tTH72009010002:学号;分类号么?ssaaasB、^VV博±学位论文??.CMM尺寸测量不确定度模型.与评定方法UncertaintyModelsanditsEvaluationMe化odsofDimensionMeasurementResultsforCMM化者姓名;李红莉朝瞧名:陈晚坏教授巧左工学巧±位:合赃工业大学織专业:測賦irhl技术及仪器观度黨与义励駭日期:20巧年10月嚮賴;2015年12月洁志华教授、博导答辩委员会主席评俩人匿名匿名匿名2015年10月 单位代码;10359密级:公开学号:2009010002分类号:TH7HefeiUniversitofTechnoloygy博±学位论文DOCTORALDISSERTATIONpiie?VV’论文题目:CMM尺寸测量不确定度模型与评定方法学科专业:测试计量技术及仪器李红莉作者姓名::陈晓怀教授导师姓名<完成时间:2015年10月 :10359:公巧单位代码密级学号:2009010002分类号:TH7博±学位论文CMM尺寸测量不确定度模型与评定方法UncertaintyModelsanditsEvaluationMethodsofDimensionMeasurementResuKsfbrCMM作者姓名:李红莉导师姓名:陈晓你教授申请学位:工学博±培养单位:合肥工业大学学科专业:测试计景巧术及仪器研究方向:测景误差与化器精确度理论及应用提交日期:2015年10月答辩日期:2015年12月答辩蚕员会主席:沼志华教巧、博导评阅人:匿名匿名匿名2015年10月 合肥工业大学博±学位论文CMM尺寸测量不确定度模型与评定方法作者姓名:李红莉:工学博±申请学位研究方向:测量误差与化器精确度理论及应用学科专业:测试计量技术及仪器指导教师:陈晓杯教授2015年10月 ADissertationSubmitedto;HefeiUniversityofTechnologyinaccordmancewi化化ereuirementqfortheDegreeofDoctorofPhilosophyUncertaintyModelsancHtsEva山ationMe化odlsofDimensionMeasurementResistsforCMMByLiHonligHefeiUniversitofTechnoloygyHe拓i,Anhui,P.民.ChinaOctober2015, 同行评议专家名单冯志华中国科学技术大学教授、博导金美峰安徽省计量科学研究院教授级高王、硕导卢荣胜合肥工业大学教授、博导黄强先合肥工业大学教授、博导胡鹏浩合肥工业大学教授、博导同行评巧专家名单匿名教授、博导匿名教授、博导匿名教授、博导答辩委员会名单主席、;巧志华中国科学技术大学教授博导、委员:金美峰安徽省计量科学研究院教授级高工硕导卢荣胜合肥工业大学教授、博导黄强先合肥工业大学教授、博导胡鹏浩合肥工业大学教授、博导 合肥工业大学本论文经答辩委员会全体委员审查,确认符合合肥工业大学博±学位论文质量要求。答辩委员会签名主席:中国科学技术大学,教授、博导,委员:、安徽省计量科学研究院,教授级高工硕导合肥工业大学,教授、博导,^合肥王业大学、,教授博导,合肥工业大学,教授、博导,或、^;合肥工业大学、博导,导师,教授 学位论文独创性黄明本人郑重声明:所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行独立研究工作所取得的成果。据我所知,除了文中特别加W标注和致谢的内容外,论文中不包含其他人己经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得合肥工业大举或其佈.教育机构的学位或证书而使用过的材料。对本文成果做出贡献的个人和集体,本人已在论文中作了明确的说明。,并表示谢意学位论文中表达的观点纯属作者本人观点,与合肥工业大学无关。学位论文作者签名|>:签名日期:年月r日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解合肥工业大学有关俱留、使用学位论文的规定,即:除保密期内的涉密学位论文外,学校有权保存并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和电子光盘,允许论文被畜阅或借阅。本人授权合肥工业大学可将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库,允许采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。(保密的学位论文在解密后适用本授权书)学位论文作者签名:^指导教师签名:心如也朽)/:签名曰期签名曰期年,巧y曰:?年抑J方护I巧f曰论文作者毕业去向工作单位:合肥工业大学联系电话-:Email;:通讯地址邮政编码; 致谢本论文是在导师陈晓怀教授的悉也指导下完成的。从论文的选题和研究方向的确定,论文的审,研究方法及创新性的讨论,到每次定期阶段性的总结分析核修改,,都倾注了陈老师大量的精力和也血。老师引导我们学会如何去发现问题。坚定研究方向,挖掘和解决研究过程中的科学问题,开创新的方法陈老师渊博的学识、严谨的治学态度,宽阔的购怀,高尚的品德,都深深地打动和感染着我,是我终生学习的榜样。感谢测控中也实验室主任王宏涛老师在课题实验方面给予的指导和大力支!持!感谢黄强先、胡鹏浩教授的指导和帮助感谢胡毅老师、李瑞君老师、吴畔老师帮我分担教学任务W及给予的学业上的帮助,为我专也完成论文提供了有力支持!感谢邓华夏老师在英文方面的指导!感谢杨桥、王没斌、程银宝、姜瑞、徐磊、曹雪梅、李高峰、刘芳芳、程真英、杨蕾、张莉、田合雷、陈丽娟、樊宏、巩惠玲、宋琪、徐君等同事和朋友的一!起学习、讨论、实验、成长大力支持和大家,是我人生中的宝贵经历。感谢家人默默的支持和巨大鼓励!他们的理解和爱护为我完成学业提供了可靠保障。感谢所有同事和朋友们对我的支持和鼓励!作者:李红莉2015年10月I 摘要H坐标测量机(CMM)由于其测量任务的多样性和误差的复杂性,使得合理评定测量结果的不确定度非常困难,限制了测量机的应用,面向任务的不确定度评定已成为坐标测量机应用中亟待解决的难题。论文WCMM尺寸测量为对象,针对CMM面向任务的不确定度分析、不确定度模型、不确定度估计方法等问题进行了较为系统深入的研究。主要研究工作和创新点如下:(1)系统研究了测量不确定度分析方法。指出通常的误差源分析方法不适合CMM面向任务的不确定度分析一,提出了种基于测量系统量值特性的不确定度分析法一,该方法将测量系统统计分析与不确定度分析融为体,使不确定度分析简单有效,且更具可操作性,适用于各种测量模型、测量方法和测量仪器,对测量不确定度的应用和推广具有重要意义。(2)建立了CMM面向任务的不确定度模型。给出了具体的不确定度透明箱一和黑箱建模方法,提出了种简单实用的虚拟坐标测量机评定方法(SVCMM)。分析了基于测量模型的不确定度透明箱模型的适用性和局限性,重点研究了基于量值特性的不确定度黑箱模型在CMM面向任务不确定度评定中的应用。(3)系统研究不确定度估计方法,比较了灵敏度分析方法、蒙特卡罗方法(MCM)及SVCMMH种方法的适用性,提出了采用量值特性不确定度分析法、不确定度黑箱模型、MCM随机仿真与统计参数估计的优化组合,进行CMM面向任务的测量不确定度评定,对科学合理评定测量不确定度发挥重要作用。(4)基于上述不确定度理论与方法,研究了CMMH种典型尺寸测量方案的■不确定度评定,根据各种测量方案的不确定度评定结果,分析讨论了测量方案与测量精度的关系,为提升CMM的应用价值提供可靠的理论依据。(5)编制了CMM面向尺寸测量任务的测量不确定度离线评定软件,对测量不确定度进行自动评定,并给出符合产品几何技术规范(GPS)的测量结果报告,为实现CMM测量不确定度的智能化评定奠定了基础。一(6)通过评定实例,讨论了不同评定方法的致性和差异性,总结了不同评定方法的特点及适用性,验证了采用量值分析建立不确定度黑箱模型,并结合MCM应用于测量结果评定,是解决CMM面向任务的测量不确定度评定的最优方。案,为提升CMM应用价值提供参考关键词;CMM;尺寸测量;量值特性分析;不确定度模型;MCMII ABSTRACTEvaluatingtheuncertaintiesofthemeasurementresultsproperlyforCoordinateMeasuringMachine(CMM)isdificultbecausethemeasurementtasksofCMMarevariedandthemeasurementerrorsarecomplex,whichhaslimitedtheapplicationofCMM-.Taskorienteduncertaintyevaluationhasbecometheurge凸troblemneededtopbesolvedinhealicationofCMM.tppInthethesistheCMMdimensionmeasurementistakenasanobectTheuncertaint,jymode-analysesuncertaintlsuncertaintestimationmethodsofCMMtaskoriented,y,ymeasurementarestudiedsystematically.Themotivationandinnovationoftheresearchworksareasfollows.1Themeasiirementuncertaintanalsesarestudiedsstemattrad()yyyically.Theitionalerror-sourceanalysismethodisnotsuitablefortheuncertaintyanalysisofCMMtak-orsientedmeasurementAnuncertaintyanalysismethodbasedonthevaluepropertiesofthemeasurementsystemispresented.Theuncertaintyanalysisisintegratedwiththestatisticalanalysisforthemeasurementsystemintheproposedmethod.Themethodissuitableforallkindsofmeasureraentmodelsmeasurin,gmethodsandmeasuringinstruments.Thisuncertaintyanalsismethodissimlevalidyp,andracticalwhichisimortantfor化eacationandoularizationofmeasurementp,pppKppuncertaint.y2Theuncer-taintmodelsofCMMkorientedmeasuremenareesabshedhe()ytasttli.Tconcretemodelingmethodsabouttheuncertaintmodelsoftransarentboxandblackypboxarerovided.Basedonvirtualcoordinatemeasurinmachine过simleandpg,practicaluncertaintyevaluationme也odSVCMMisroosed.Theuncertaintmodelp,,ppyoftransparentboxisbasedonmeasxirementmodelandtheuncertaintmodelofblack,yboxsbasedonvaueanasseacabandmtaransarent-illyi?孔ppliilityliitionoftpboxuncerainzedand-ttmodelareanalthestudyisfocusedonthealicationofblackboxyy,ppuncer-taintymodelforCMMtaskorienteduncertaintyevaluation.(3)Theuncertaintyestimationmethodsarestudiedsystematically.Thesensitivityanalysismethod,MonteCarloMethod(MCM)andSVCMMarecompared,Amethodbasedon-theotimalcombinationofuncertaintyvalueanalsisblackboxuncertaintpy,ymodelMCMsimulationandstatisticalarameterestimationisroosed化evaluate,ppp-whtaskorienteduncertaintiesofCMMmeasurementresultsichisimortantfor,p打I evaluatingtheuncertaintiesofmeasurementresultsscientificallyandreasonably.4Basedontheabovexmcertaheoriesandmethodtheuncertaintevaluationofintts)y,y(threetypicaldimensionmeasurementschemesofCMMisstudied.Therelationshipbetweenthemeasurementschemeandthemeasuringaccuracyisanalyzedaccordingtotheuncertainnresulsofhethr说measurementschemes.Itrovides泣tyevaluatiottp^MMtvinthealicationvalueofC.ieKableheoreticalbasisforiinprogpp5AnoflineuncertaintevaluationsoftwareforCMMdimensionmeasurementis()ydeveloped.Thesoftwarecanrealizeautomaticevaluation,andgiveouttheevaluationwi化Geomecec技cationsGPS."rovides泣latformreportsaccordingtricalProdutSpi()ppforevaluatintheuncertaintiesintellientlofCMMmeasurementresults.ggy6Basedontheevaluationexamlestheconsistencanddiversitofthedifferent()p,yyevaluationmethodsarediscussedandthecharacteristicsandapplicabilityofthe,methodsaresummarized.Theevaluationschemeofusingvzducanalysismethodto-boxlicationinherocessestablishblackuncertaintymodelandcombininMGMapptpgofevaluationisroved化beoptimal.TheiresearchworkcanprovideareferenceforpimprovingthealicationvalueofCMM.ppKEYWORDS:CoordinateMeasurementMachine(CMM);DimensionMeasurement;ValueAnalysis;UncertaintyModel;MonteCarloMethod(MCM)IV 目录第一章绪论11.1不确定度评定在CMM应用中的重要意义11.2CMM面向任务的不确定度评定概述31.2.1CMM面向任务的不确定度评定含义31.2.2不确定度评定难点31.3CMM测量不确定度评定的研究现状31.3.1相关规范和标准412国内外.3.研究现状41.4课题来源与研究任务51.4.1课题来源51.4.2研究[^容6第二章CMM面向任务的不确定度分析方法72.1测量系统误差源分析方法72.2因果分析方法92.2.1测量环境102.2.2汲I量设备11!2.2.3测量对象112.2.4测量方法122.2.5D量人员142.3量值特性分析方法142.4本章小结17第H章CMM面向任务的不确定度数学建模193.1透明箱评定19一3丄1不确定度评定般模型193丄2工件端面距离测量不确定度透明箱模型评定203丄3孔径测量不确定度透明箱模型评定283丄4透明箱评定的局限性333.2黑箱评定33一般模型3.2.1不确定度评定343.2.2CMM面向尺寸测量任务的不确定度黑箱模型343.2.3黑箱巧定的优势37V 3.2.4MCM应用于黑箱评定的讨论373巧.3虚拟坐标测量机评定3.3.1虚紙坐标测量机的概念及发展现状393.3.2简化虚拟坐标测量机(SVCMM)评定413.3.3SVCMM评定特点4543.4本章小结5第四章不同测量方法下的CMM尺寸测量不确定度评定464.1常规测量下的不确定度评定464丄1测量原理、方法、条件及程序464丄2测量不确定度分析484丄3测量不确定度模型494.2替代测量下的不确定度评定514.2.1测量原理、方法、条件及程序524.2.2测量不确定度分析534.2.3测量不确定度模型544.3补偿测量下的不确定度评定564.3.1测量原理、方法、条件及程序564.3.2测量不确定度分析594.3.3测量不确定度模型604.4常规测量结合MCM的不确定度评定664.5本章小结68第五章CMM面向尺寸测量任务的不确定度评定软件开发695.1软件开发平台简介695.2不确定度评定软件构架及特色705.3透明箱端面距离测量评定模块755.4透明箱孔径测量评定模块805.5常规测量评定模块845.6替代测量评定模块885.7补偿测量评定模块895.8SVCMM端面距离测量评定模块9459SVCMM孔.径测量评定模块985.10常规测量结合MCM评定模块1015.11本章小结102第六章典型CMM尺寸测量不确定度评定实例103VI 6.1测量对象及测量任务1036.2不同评定方法下的工件厚度测量评定实例1046.2.1透明箱方法评定1056.2.2黑箱常规测量评定1126.2.3常规测量结合MCM评定1146.2.4SVCMM评定1166.3不同测量方法下的工件孔径测量评定实例1186.3.1常规测量评定1196.3.2替代测量评定1216.3.3补偿测量评定123知3.4常规测量结合MCM评定1266口8.4CMM尺寸测量不确定度评定最优方案探讨一6.4.1不同评定方法致性1286.4.2方和根法与代数和法之比较1316.4.3不确定度评定最优方案1316.5本章小结135第屯章总结与展望1367.1论文工作总结1367.2论文工作创新点13771.3工作展望37参考文献138攻读博±学位期间的学术活动及成果情况146VII 插图清单图2.1测量中的不确定度贡献因素7图2.2影响测量结果因素的(SWIP巧因果关系简图9图2.3CMM面向任务的不确定度来源10图2.4坐标测量机的几何误差12图2.5复现性与重复性17图341.1SVCMM评定程序图452.1替代测量过程图458.2量块与平板的组合图5.1CMM典型尺寸测量任务测量不确定度评定软件总流程图72图5.2欢迎界面73图5.3主界面73图5.4用户信息录入窗口74图574.5测量不确定度评定数据库中记录表示例图575.6透明箱端面距离测量评定模块流程图图5.7GUM评定模块流程图76图5.8MCM评定模块流程图77图5.9测量不确定度的判定规则77图5.10透明箱距离测量评定模块中信息输入标签项78""图5.11透明箱距离测量评定模块中GUM评定标签项78""图5.12透明箱距离测量评定模块中MCM评定标签项79"报"图5.13透明箱距离测量评定模块中告生成标签项79""图5.14透明箱距离测量评定模块中退出标签项79图580.15透明箱距离测量评定模块中获取Pk测量点数据应用窗口图5.16透明箱距离测量评定模块中获取Pi测量点数据应用窗口80图5.17透明箱孔径测量评定模块流程图81图5.18透明箱孔径测量评定模块中信息输入标签项82""图5.19透明箱孔径测量评定模块中GUM评定标签项82""图5.20透明箱孔径测量评定模块中MCM评定标签项83""5报告生成83图.21透明箱孔径测量评定模块中标签项""图5.22透明箱孔径测量评定模块中退出标签项83图5.23常规测量评定模块流程图84vm 85图5.24常规测量评定模块的应用界面图5.25应用测量数据评价重复性误差应用窗口86图526重复性误差标定应用窗口86图5.27应用历史数据评价复现性误差应用窗口87图5.28复现性误差标定应用窗口8788图5.29替代测量评定模块流程图89图5.30替代测量评定模块的应用界面90图5.31补偿测量评定模块流程图""图5工件测量91.32补偿测量评定模块中标签项""91图5.33补偿测量评定模块中长度测量误差补偿标签项""5标签项92图.34补偿测量评定模块中测球直径误差补偿""5温度因素92图.35补偿测量评定模块中标签项""593图.%补偿测量评定模块中测量不确定度评定标签项94图5.巧SVCMM端面距离测量评定模块流程图595图.38SVCMM距离测量评定模块中信息输入标签项""595图.巧SVCMM距离测量评定模块中分析评定标签项""5%图.40SVCMM距离测量评定模块中报告生成标签项""图5退出96.41SVCMM距离测量评定模块中标签项图5.42SVCMM距离测量评定模块中获取Pk点测量信息窗口97图5.43SVCMM距离测量巧定模块中获取Pi点测量信息窗口97图5.44SVCMM孔径测量W定模块流程图98图5.45SVCMM孔径测量评定模块中信息输入标签项99""图5.46SVCMM孔径测量f定模块中分析评定标签项99""100图5.47SVCMM孔径测量评定模块中报告生成标签项""1005图.48SVCMM孔径测量评定模块中退出标签项5MCM评定101图.49常规测量结合模块流程图图550MCM评定模块的应用界面102.常规测量结合103图6.1汽车空调压缩机缸体实物图2104图6.汽车空调压缩机缸体图样示意112图6.3工件厚度透明箱评定结果114图6.4工件厚度黑箱常规测量评定结果工件厚度常规测量结合MCM评定结果116图6.5118图6.6工件厚度SVCMM评定结果工件厚度评定数据记录表118图6.7IX 图工件化径常规测量评定结果121图知9王件孔径替代测量评定结果口3图tlO工件测量实验照片124图6126.11工件孔径补偿测量评定结果图6口.12王件孔径常规测量结合MCM评定结果8图6.13工件孔径评定数据记录表128图6.14工件厚度测量结果的概率密度分布130图6.15工件孔径测量结果的概率密度分布133X 表格清单51表4.1常规测量的不确定度概算表453.2替代测量的实验数据表4.3替代测量的不确定度概算5557表4.4工件的测量数据巧表4.5长度禄准量的测量数据表4.6内直径标准器的测量数据巧巧表4.7外直餐标准器的测量数据表465.8补偿测量法的不确定度概算表5.1测量不确定度评定数据库中的表结构71051P标数据1表6.i点重复测量坐6106表.2Pk点重复测量坐标数据二乘计算结果I的各不确定度分量107表6.3最小/的各不确定度分量108表6.4测量结果109表6.5MCM不确定度模型中输入参数特征109表6.6MCM不确定度模型中测量点输入量特征110表6.7MCM不确定度模型中测量点仿真区间8H个测量人员的多组测量结果112表片一一1表136.9任取某测量人员的组测量结果表6.10温度补偿引起的测量不确定度概算H3114表6.11工件厚度常规测量下的不确定度概算MCM的不确定度模型中输入参数特征115表6.12常规测量结合116表6.13测得Pi点坐标数据及其方向余弦117表6.14测得Pk点坐标数据及其方向余弦表6117.15SVCMM不确定度模型中输入參数特征表6119.16各测量人员的测量结果表6.17某个测量人员的测量数据120120表68.1工件孔径常规测量下的不确定度预算表1216.19工件孔径替代测量的实验数据122表6.20工件孔径替代测量下的不确定度预算124表6.21工件孔径的测量数据125表6.22标准量块的测量数据XI .23标准环规的测量数据表6125表6.24工件孔径补偿测量下的不确定度预算125表6.25常规测量结合MCM不确定度模型中输入参数特征127.26不同评定方法得到的工件厚度测量结果比较表6129表6.27不同评定方法对不确定度来源的考虑130表6.28不同测量方法下得到的工件中也孔径测量评定结果比较132XII 第一章绪论第一章绪论1.1不确定度评定在CMM应用中的重要意义测量不确定度是评定测量结果质量的指标,表示了测量结果的可信程度,是一个重要参数测量结果中应当包含的,只有包含测量不确定度的测量结果才是完[U]整、可靠的、有实用价值的。测量不确定度如测量值一样重要,是计量科学的重要部分,广泛应用于计量测试领域,还用作对比不同方法的重要参数,还可W用于验证新方法。研究H坐标测量机(CMM)面向任务的测量不确定度的评定方法和评定技术具有重要价值:,主要体现在W下H大方面一(1)研究测量不确定度评定技术是新代GPS发展的要求一一新代产品几何技术规范(GPS)是针对产品几何定义和精度控制而建立的、,包括套完整的技术标准体系,覆盖了从宏观到微观的产品几何特征尺寸公差形位公差和表面结构等需要在技术图样上表示的各种几何精度设计要求、标注方法、测量原理、验收规则,1^^及升量器具的校准、测量不确定度评定等,涉及产3[】品设汁、制造、验收、使用等产品生命周期的全过程。该系列标准不仅是产品信息描述与交换的基础标准,也是产品市场流通领域中合格评定的依据。,是工程领域必须依据的技术规范和交流沟通的重要王具新的GPS是信息时代产品几何设计制造和计量检验综合为一体的新型国际标准体系。一随着新世纪知识的快速扩张和经济全球化的推进,新代GPS系列标准的重一一要作用日益为国际社会所认同,其水平不但影响个国家的经济发展,而且对_个国家的科学技术和制造业水平提升有重要作用。一GPS标准体系利用不确定度的传递关系新代,将标准与计量联系起来,将不确定度评定与几何产品的设计规范、生产制造和检验认证贯穿于整个生产过程。一不确定度理论是新代GPS标准体系的重要基础理论。完善不确定度评定规范及一GPS一工程应用技术,是当前新代标准应用研究的重点之。(2)应用测量不确定度是产品质量控制的要求自从1987年IS09000系列标准问世W来,为了加强品质管理,适应品质竞争的需要,企业家们纷纷采用IS09000系列标准在企业内部建立品质管理体系,申一请品质体系认证,很快形成了个世界性的潮流。全世界己有100多个国家和地区正在积极推行IS09000国际标准。我国加入WTO后,工业体系和质量管理体系IS09000都在和世界接轨,认证在中国有了飞速发展。目前流行的参考手册是1 合肥工业大学博±研究生学位论文QS9000测量系统分析手册。如今,测量系统分析(MSA)已逐渐成为企业质量改一项重要工作进中的,企业界和学术界都对测量系统分析给予了足够的重视。在质量认证体系标准中,要求对每台检验、测量和试验设备必须了解其不确定度的情况,根据测量能力的要求,判断设备是否能够提供合乎要求的测量结果W。可见,测量不确定度在质量管理控制中有重要应用,要考察测量设备是否符合测量要求,必须借助测量系统的不确定度评价。(3)提升CMM使用价值关键在于测量不确定度的智能评定、随着科学技术的迅速发展,在高端制造产品检验与质量评定的过程中,对精密测量仪器在智能化和精度方面的要求越来越髙。测量仪器的最终精度体现在执行测量任务时被测量参数的测量不确定度。没有不确定度的测量结果,其可靠性和应用价值大为降低。CMM是一种典型的面向产品对象的测量设备,是现代制造过程、工业检测、质量控制和产品检验中不可或缺的大型高精度、高效率、万能性测量仪器,广泛地应用于机电工业、航空航天和国防军工等领域。它不仅能完成各种零件尺寸、、形状、轮廓的测量,还加工中也等设备组成联机集成系统可W和数控机床,实一现设计、制造和检测的体化。但在目前的H坐标测量机应用中,通常只能给出被测参量的估计值,导致坐标测量机难W作为校准和检验设各,严重影响了其应有的使用价值,面向任务的不确定度评定成为制约坐标测量机合理应用的瓶颈。随着三坐标测量机的发展和广泛应用,其测量结果不确定度的评价技术受到业内的广泛关注。""2009年和2013年,海峡两岸现代精度理论及应用学术研讨会分别在台湾新竹市和台北市召开。与会期间,两岸学者对精密测量和精密化械领域相关的测量误差与精度理论及应用研究进行了广泛交流,并对当前该领域亟待解决的新问题及热点技术展开了深入的讨论,其中现有测量不确定度原理及方法在实际应用中的局限性受到了普遍关注一,尤其是台湾量测技术中也及些企业迫切需求面向任"务的坐惊测量不确定度评定技术及应用成果。2010年由合肥工业大学提交的建立坐标测量机面"向任务的测量不确定度模型与传递链画数被仪器科学与技术学""科组选为10000个科学难题。随着测量不确定度表示指南(GUM)和GPS的颁布实施,产品检验、实验室^[1认可都要求给出规范的不确定度报告。市场经济的全球化使得愈来愈多坐标测一量机的生产企业和用户努力追求与ISO保持致,产品的公差设计、合格判定都^9要求更加准确的不确定度评定[。因此,迫切需要科学、实用、经济的坐标测量机面向任务的不确定度评定及应用技术。2 第一章绪论1.2CMM面向任务的不确定度评定概述CMM具有通用性和多功能性‘,但由于其本身的复杂性,要同时给出测量产品的不确定度非常困难。11CMM.2.面向任务的不确定度评定含义H坐标测量机面向任务的测量不确定度,是指特定测量任务下所得结果具有的不确定度,其大小不仅取决于坐标测量系统本身的精度,还取决于测量的对象是什么、怎么测量、在什么条件下测量等多种因素1.22.不确定度评定难点一H坐标测量机是一种复杂的几何量测量系统,相比于功能单的测量仪器,一方面要评价H坐标测量化面向测量任务的不确定度更加困难。,由于坐标测量机结构复杂,存在21项几何误差、探测系统误差等影响,在测量过程中影响测量结果不确定度的误差来源繁多,分析困难,且误差源之间关系复杂,使得各误差"一。H坐标测量机是源对测量结果的影响难W量化和进行误差传递另方面,万"能的测量仪器,能够测量各种各样的对象,完成复杂的测量任务,测量方法也具有很大的选择空间,影响测量结果的主要测量不确定度来源或贡献因素往往不。:同,或者影响大小不同其影响体现在(1)测量对象不同,测量结果的不确定度可能不同。(2)测量对象相同,测量任务不同(被测参数不同),测量结果的不确定度一可能不同。例如坐标测量机在其测量空间内的任测量点位置,其X、y、Z三轴坐标值的测量不确定度都可能不同。一(3)测量对象相同,测量任务也相同,但任影响测量结果的不确定度来源或贡献因素发生变化,测量结果的不碑定度也会发生改变。例如测量环境条件发生变化,测量结果的不确定度都会出现相应变化。在面向任务的测量不确定度评定中,不同测量任务或不同测量方法,往往具有不同的测量不确定度来源和评定模型,必须具体任务具体分析,确定影响测量结果的主要不确定度来源或贡献因素,建立相应的测量不确定度模型,执行测量结果评定。总之一,坐标测量机功能多样,且在测量过程中误差来源复杂,对般测量人员而言,评定CMM面向任务的测量不确定度具有很大难度。1.3CMM测量不确定度评定的研究现状现代先进制造技术的发展对H坐标测量机不断提出新的、更高的要求,测量、机用户也愈来愈关也和重视其测量结果的不确定度,准确科学、智能化评定面向任务的测量不确定度是坐巧测量技术的发展趋势。3 合肥工业大学巧±研究生学位论文1*3.1相关规范和标准在ISO/TC213/WG10(坐标测量机)国际标准中,对H坐标测量机的精度评定进行了规定,建立了ISO10360和ISO/TS15530两大系列标准。其中IS010360""1*就不同类型测量机制定了坐梳测量机的验收检测和复检检测规范[】,我国标"准GB—/T16857与之相对应ISO/TS15530;是在产品几何技术规范(GPS面向)"[19任务的坐标测量机不确定度评估验收与检测规范主题下的技术规范],推荐了"""""""应用多次测量策略、应用已校准工件或标准件、应用计算机模拟和应"用专家判断四种面向任务的坐标测量机不确定度评定方法,我国标准GB/T24635-心].32009对应于其中的第二种方法,规定了对使用坐标测量机和已校准王件得到的测量结果进行测量不确定度评估的方法,而其它评定方法尚未有与之对应的国家标准,由此可见,国内对于面向任务的坐标测量机不确定度评定方法的研究有待加强。13.2国内外研究现状国外学者和研究机构对面向任务的测量不确定度评定问题非常重视PWS。圧EE仪器与测量协会每年都召开会议,专口研讨测量不确定度估计的发展方向及其进展。德国PTB提出了坐标测量机不确定度评定的专家方案,美国NIST、意大利IMGC等也开展了相应研究美国北卡罗来纳大学和德国PTB合作研究了用于坐标测量系统的具体任务不确定度建模和评定技术心1;德国PTB开发了虚拟坐标测量机VCMM软件包,美国NIST开发了PUNDIT软件包,巧可实现CMM面一定测量任务的测量不确定度评定pq向,且已投入应用;英国布鲁内尔大学-、波兰克拉科夫工业大学和别尔斯克比亚瓦大学也研究开发了虚拟坐标测量机27-29[]A(VCMM)Vald耗.R.CMM;臣西乌贝兰迪亚联邦大学的,等对几何误差的w,W[相关不满定度进行了研究;日本、印度、波兰、比利时、斯洛伐克和埃及分别3^3[]对CMM测量不同对象的不确定度估计方法进行了探讨;俄罗斯建立了标准不确定度输入量的分布模型及其概率密度函数tW;加拿大研究了自由表面测量与重构中不确定度的评定方法wq;法国提出了基于模糊尺度的测量不确定度管理方法4一4[9^意大利通过仿真实验设计了[;种简化的坐标测量机不确定度评定流程波;48]兰还开展了基于GPS规范的坐标测量不确定度评定相关研究[。4^2国内在坐标测量机的精度理论及其应用方面也开展了大量的工作[]。天津大学提出了基于刚体模型的H坐标测量机21项误差源,在误差的建模与补偿方面进行了深入研究WWW国计量科学研究院在校准坐标测量机时讨论了校准方法和;中口1]工业大学在误差溯源与建模重复性引入的不确定度分量、测量不确定度;合肥评定、动态误差分离与补偿、兰坐标测量机的精度检定等方面开展了系统的研究52-58[]一工作、、;华中科技大学桂林电子科技大学郑州大学等,对新代GPS标准4 第一章绪论理论体系进行了系统研究中国计量学院对贝叶斯方法在测量不确定度中的应用进行了研究[^,根据贝叶斯定理推导出合并样本方差公式,提出了校准和检[6^南大学测中微小样本测量不确定度评定方法;东、南京工程学院等在形状误差ewil优化算法方面进行了大量研究t北京航空航天大学对测量不确定度的非统计;n73,74][]?[.北京理工大学对不确定度估计方法进行了研究北评定方法进行了研究;7京工业大学重点研究了齿轮测量的不确定度评定[3侨大学在形状误差评定算;华7^2【法]、采样方案等方面进行了研究;安徽大学和浙江大学研究了小工件平面度83-[]17及其不确定度的在线测量;文献8487]等对测量不确定度的评定方法进行了[,88-92研究等应用蒙特卡罗仿真技术进行测量不确定度评定。;文献[]综合分析国内外研究现状可知,目前,关于CMM面向任务的测量不确定度一的评定研究主要包括W下H个方面:是基于透明箱模型展开测量不确定度评定研究,如测量模型和测量不确定度模型的建模方法、采用传统GUM具体评定时对于测量模型中参数相关性的考察、基于测量模型采用MonteCarlo仿真评定测量不确定度等,研究成果较多。二是基于黑箱理论展开测量不确定度评定研究,文章相对较少,主要集中于应用多次重复测量与应用已校准工件或标准件进行测量不确定度评定技术的研究,但较少给出完整的实施方法。王是对应用虚拟坐标测量机评定测量不确定度的研究,研究成果主要集中在国外,主要对虚拟坐标测量机的组成、原理、评定软件系统的设计和验证等方面进行了研究。总之,,国外对CMM面向任务的研究开展妓早尤其在利用计算机模拟进行坐标测量机测量不确定度评定方面的研究成果较多。国内针对坐标测量机自身的一精度研究较多,针对具体测量任务的不确定度建模和评定做了定研究,取得了一定的理论及应用成果。但对于CMM面向任务的测量不确定度建模及评定方法,国内外尚未进行系统性的研究、,尤其国内对于不确定度分析方法黑箱模型评定、■不确定度评估方法、测量方案对测量精度的影响、虚拟坐标测量机评定W及不确定度评定软件开发等方面的研究,都有待深入。本文将从尺寸测量角度,对CMM面向任务的测量不确定度建模及评定方法展开全面、系统的研究。1.4课题来源与研究任务L4.1课题来源"本课题来源于国家自然科学基金项目基于GPS面向对象的现代不确定度评"定理论及应用研究(5127514巧。旨在W新一GPSGUM为准则代标准规范为依据,W,研究坐标测量机面向尺寸测量任务的测量不满定度评定理论和方法。结合坐标测量机典型尺寸测量任务,进行测量不确定度分析,建立面向任务的测量不确定度数学模型,研究不确定度评定方法;开发坐标测量机面向尺寸测量任务的不确定度评定敕件,方便测5 合肥工业大学博±研究生学位论文量机用户通过在线或离线应用,在完成测量任务时获取符合规范的测量不确定度报告,得到准确完整且更具实用价值的测量结果,提高实际应用中不确定度评定的可靠性、可操作性与智能化水平,最终提升坐标测量机的应用价值。1.4.2研究内容课题主要针对CMM尺寸测量不确定度评定中的关键问题展开研究,研究内容包括;(0面向任务的测量不确定度分析不确定度分析是测量不确定度评定的首要问题,也是不确定度实际应用中的难点。由于坐标测量机测量任务的多样性和误差的复杂性,通常的误差源分析方法显然不适合CMM面向任务的不确定度分析一,需要寻求种更实用、髙效的不。确定度分析方法,方便测量不确定度的应用和推广(2)面向任务的不确定度数学建模根据GPS定义的透明箱和黑箱概念,研究H坐标测量机面向任务的不确定度建模方法,分析透明箱和黑箱评定模型的应用方法和适用性,并对虚拟坐标测量机评定实现方法进行探讨。由于透明箱模型受限于测量模型,重点研究不确定度黑箱模型在CMM面向任务不确定度评定中的应用,为实现不确定度评定提供理论依据。(3)不确定度评估针对主要不确定度来源或贡献因素的特点,研究不满定度分量的评估方法和评定技术,比较灵敏度分析方法(文中简称为GUM方法)、蒙特卡罗方法(MCM)等方法的适用性,为实现不确定度评定提供技术支撑。(4)CMM不同测量方案的不确定度评定研究CMM典型尺寸测量方案的不确定度评定,基于各种测量方案的不确定度评定结果,分析讨论测量方案与测量精度的关系,为提升CMM的应用价值提供可靠的理论依据。(5)尺寸测量不确定度评定软件的设计及编制根据所研究的不确定度理论与评定方法,设计编制尺寸测量不确定度评定软件,对测量不确定度进行自动评定,并给出符合GPS规范的测量结果报告,为实现CMM测量不确定度的智能化评定奠定基础。(6)面向任务的不确定度评定最优方案讨论通过评定实例,对比不同评定方法得到的评定结果,讨论CMM面向任务的测量不确定度评定最优方案,为提升CMM应用价值提供参考。6 第二章CMM面向任务的不确定度分析方法第二章CMM面向任务的不确定度分祈方法不确定度分析是测量不确定度评定的首要问题,也是不确定度实际应用中的难点。CMM作为高精密的仪器设备,其结构复杂,确定所有的不确定度来源非常困难,在实际测量不确定度评定中,也不可能面面俱到,必须抓住主要矛盾。因此,在评定CMM面向任务的测量不确定度时,找出影响测量结果的主要不确定一度来源或贡献因素,将其方便地转换为不确定度分量至关重要。围绕这问题,本章将讨论CMM面向任务的不确定度分析方法,从通常的测量系统误差源分析方法入手,分析不确定度主要来源或贡献因素,讨论进行不确定度分量量化的方一便途径,,最终提出量值特性分析方法为进步的CMM面向任务的不确定度建模提供基本理论和方法。2.1测量系统误差源分析方法一测量系统误差源分析方法是种经典的不确定度分析方法一。般测量过程中引起测量不确定度的P3]10种不同的误差来源及其合成,如图2.1所示。物理常数环境条件被测量的//测量结果\31定义?*测里设备I8的不确定度Ij测量人贾软件和汁算图2.1测量中的不确定度贡献因素Fig2.1Theuncertainlycontributionfactorsin出emeasurement这10种不确定度贡献因素的详细内容如下:(1)环境条件。在大部分惰况下,特别是GPS测量中,环境温度是测量不确7 合肥王业大学博±研究生学位论文定度的主要贡献因素。其他可能的不确定度贡献因素有温度及其时间和空间的变化、振动和噪声、湿度、污染、照明、气压、空气成分、气流、重力、电磁干扰、电源的瞬变、压缩空气、热福射、王件、标尺、仪器的热平衡等。(2)测量设备的参考标准器。可能的不确定度贡献因素有稳定度、刻度的质量、热膨胀系数、物理原理、CCD技术、校准不确定度、主标尺的分辨力、自上次校准W来的漂移、波长误差。(3)测量设备。可能的不确定度贡献因素有解读系统、电子和机械放大、波长误差、零点稳定度、力和力的稳定度、滞后、温度稳定度和温度灵敏度、视差、自上次校准W来的漂移、响应特性、导轨或滑轨、探头系统、表面缺陷、硬度和刚度、读数系统、线膨胀系数、内插系统、内插分辨力、数字化。(4)测量装置。可能的不确定度贡献因素有余弦误差和正弦误差、阿贝原理、温度灵敏度、硬度和刚度、探头半径、探头尖端的形状误差、探头系统的硬度、光学孔径、工件和测量装置的相互作用、预热。(5)软件和计算。主要是对小数点和有效数字的影响。可能的不确定度贡献因素有修约和量化、算法、算法的贯彻、计算中有效数字的位数、取样、滤波、算法的修正和验证、内插和外推、粗差处理。(6)测量人员。可能的不确定度贡献因素有教育程度、经验、培训、体力上的缺陷和能力、知识、诚实度、奉献精神。(7)测量对象。可能的不确定度贡献因素有表面粗賴度、形状误差、弹性模量、巧膨胀系数、传导性、重量、尺寸、形状、磁性、材料的吸湿性、时效、清洁、温度、内部应为、蠕变皆性、装卡引起的王件喷变、方向性。(8)被测量的定义。可能的不确定度贡献因素有基面、参考系统、自由度、给定公差的要素、距离、角度、标准中的定义等。(9)测量程序。可能的不确定度贡献因素有空气调节、测量次数、测量原理选择、准直、参考标准及其数值的选挥、仪器的选择、测量人员的选择、测量人员数目、策略、锁紧、定位、测量点数目、探测原理和策略、探测系统的配置、漂移的验证、反向测量、冗余度、误差分离等。(10)物理常数。主要是对修正用物理常数的认识程度,如材料特性等。可见,在测量过程中可能引起不确定度的误差来源或贡献因素是复杂繁多的,在不同情况下,误差的来源或贡献因素是不相同的,各分量之和也是不相同的。而且,各种不确定度贡献因素可能单独对测量结果产生影响,也可能相互影响而引起附加的不确定度一,情况非常复杂。在任何情况下,在对每个不确定度分量进行评估时,均需要具有相关的理论基础和计量学的实践经验,并非易事。一般测量设备相对于,CMM结构复杂且功能丰富,引起CMM面向任务的不8 第二章CMM面向任务的不确定度分析方法确定度来源非常多、非常复杂,如果采用这种传统的误差源分析方法,分析不确定度来源,将其转化为不确定度分量,其操作实施非常困难。为了方便不确定度分析,在不确定度概算中可W对不确定度贡献因素或不确定度分量进行分类。比如采用因果分析方法。2.2因果分析方法因果分析方法本质上虽然仍是基于误差源进行分析的,但已对繁杂的误差源进行了分类,把原先传统的误差来源和贡献因素进行了归纳和总结,将影响测量结果因素归结为标准(S)、工件(W)、仪器(I)、人员/程序巧)和环境(E)五一。大方面,将每个方面转化为项综合的不确定度分量来考虑影响测量结果因素的因果关系简图如图2.2所示。SI线性国际?、形状清洁敏感\材料专业\弹性\X■"I—IIl—I?培训学历WS系统变差/誦/经验空气f体力mu7JPE22图.影响测量结果因素的巧WIP巧因果关系商图Fi2.2TheWIPEcausalitdiaramof化efacto巧afectinmeasurementres山tg巧)ygg该鱼骨图清晰地表示出了测量过程中标准、工件、仪器、人员/程序和环境五。个方面中具体包括的不确定度来源,可为实际测量的不确定度分析提供指导根据因果分析的思想,对于CMM面向任务的不确定度来源分析,可iU从测量环境、测量设备、测量对象、测量方法和测量人员五大层面确定主要的不确定3度影响因素,如图2.所示。9 合服工业大学博±研究生学位论文-温度测量环境<巧尘^振动%等源、电源等几何误差f探测系织读差测星设备H测虽软件误差I梳趨误差、力巧形误差、传感撇吴誘不确定度来源/\r工件的細状况挪居对象,工件的热膨胀系数工件的柳性I测呈方案选择f测童方巧■1测^?制定测图2.3CMM面向任务的不确定度来源F2-ig.3TheuncertaintsourcesoftaskorientedmeasurementofCMMy2.2.1测量环境在大部分情况下,特别是在GPS测量中,环境温度是测量不确定度的主要贡献因素。对于CMM测量应用来说,温度变化会引起CMM机械结构的热变形,还会引起被测量尺寸本身和CMM的测量标准量发生变化,对于尺寸测量结果的影响尤为明显。虽然目前中高精度的坐标测量系统都配置了温度补偿系统,能够从一定程度上修正由温度变化对测量结果造成的影响,但仍存在由于温度补偿引起的不确定度,所W不能忽略温度变化对CMM尺寸测量的影响。在实际应用中,测量机供应商会给出CMM的工作温度范围要求,计量级的’‘测量化工作湿度范围一TC±rC一般为2(,般精度的测量机为20C±2C,生产级的测量机工作温度范围较宽。除温度影响外,影响测量结果的环境因素还包括湿度、振动、灰尘、气源及电源等方面。因此,在使用中,要注意供应商提出的湿度工作范围,定期清洁测量机的移动部分及相关附件,按照供应商的要求配置气源,采用合适的隔振措施,尽量在符合规范的环境下完成测量工作。10 第二章CMM面向任务的不确定度分析方法2.2.2测量设备H坐标测量机本身的误差是其测量结果不确定度的重要来源。从H坐标测量机的组成结构来看,引起测量不确定度的主要因素是CMM的几何误差和探测系统误差。(1)几何误差由于机械结构在设计、加工、制造中的局限性,CMM必然存在几何误差。对一21.4于般直角坐标结构形式的坐标测量机而言,包括项几何误差,如图2所示49M,[]、,分别是:9项投影到H个理论坐标轴线上的轴向误差9项绕H个理论坐标轴线的回转误差,W及3项投影到H个理论坐标平面上的垂直度误差。此外,由于坐标测量机需要在动态情况下进行测量,因此还包括了各个误差相关的动态误差,这使得坐标测量机的误差分析与补偿变得非常复杂,由于修正的不完全W及修正过程所带来的附加误差,使得H坐标测量机仍然存在固有的系统误差。(2)探测系统误差探测系统不仅与移动轴系配合共同承担了坐标测量过程中测点采集任务,更一是与测量系统精度相关的个重要部分。坐标测量机的测量误差主要来源于探测系统和测量轴线,特别是对于接触式测量方式而言,由于测力、测量方向、测量MI,99速度等多方面影响因素的存在,探测系统的误差不可忽视。其综合误差主要包括预行程误差和测量方向误差。在实际工件中,由于存在着各类几何特征及其组合,而且可能尺寸和方位也。各不相同,因此需要通过探针系统配置W便完成对各种几何特征的测量工作怡。当地进行探针系统配置,可W减小探测误差、、除CMM的几何误差和探测系统误差外,还存在测量软件误差力变形误差标准量误差和传感器误差等,这些误差共同作用于兰坐标测量机,使得H坐标测量机在其测量空间内任意测点的测量结果存在误差,具有分散性,引起测量结果的不确定度。2.23测量对象测量对象本身的特性也会引入测量不确定度。主要表现在;(1)工件的形状偏差、尺寸偏差、波度、表面粗糖度,W及存有污物等,都是重要的不确定度来源;(2)工件材料热膨胀系数的不精确,W及测量过程中热膨胀系数的变化也是测量不确定度的来源;(3)如果被测工件刚性不够,接触式测量受力变形也将引入不可忽略的测量不确定度。11 合肥工业大学博±研究生学位论文^Ko图2.4盤杨测量化的几何误差Fig2.4ThegeometiyerrorsofCMM2.2.4测量方法""一H坐标测量机精度高,并不意味着得到的测量结果定就好。关键问题还_在""于怎么测。测量方法涵盖了所有测量过程的设计和规划,描述了测量人员如何应用坐栋测量机进行检测来得到被测参数的信息。主要包括W下方面:(1)测量方案的选择一一般对于某测量任务,往往有多种不同测量方案可W选择,比如直接测量""""或者间接测量--,比如点面式和面面式都可巧于端面距离测量,比如常规测量、替代测量、补偿测量的选择。不同的测量方案决定了测量过程的流程和复杂程度,决定了不同的测量模型和不确定度模型,对测量结果的影响重大。(2)测量策略的制定一测量策略涵盖测量过程中由测量人员决定的切细节对于一次完整的测,量,检测中的细节包括测量人员的安排(人数确定和人员选择)、工件在兰坐标测12 第二章CMM面向任务的不确定度分析方法量机测量空间内的位置和方向、工件的装夹和定位、探测系统的配置、工件坐标系的建立、采样策略的拟定(包括测点数目及分布)、拟合算法选用、测量顺序、测量次数、参考标准量的选择、测量速度、测量环境温度的监测、测量持续时间等等。细节决定成败:,测量策略的制定非常关键。例如1)工件在H坐标测量机测量空间内的位置和方向由于H坐标测量机测量空间内的各点所受测量机几何误差的影响不同,在测量空间内具有不同的测量不确定度,因此测量人员应尽可能选择测量误差较小的区域进行测量。对于具有方向性的测量参数来说(例如长度测量),要注意测量方向的选择对测量结果及不确定度的影响。2)工件的装夹和定位一工件才能保证检测的装夹和定位工件是每个测量过程的必要环,合理装夹质量。装夹既要注意稳固可靠,方便测量,也要考虑夹持力合适,防止工件在测一一量时发生位移或者受力变形。对同对象的多个参数测量时,应尽量考虑次装。夹就能完成所有测量任务,避免因多次装夹而降低测量结果的可信度3)探测系统的配置探测系统精度的高低决定了坐标测量机的测量重复性,影响着测量机的整体测量精度。因此选择合适的测头、探针,对于减小测量结果的不确定度尤为重要。一在般情况下,针头半径大有利于测量数据的稳定性;在不引起测量干涉的情况下,尽可能缩短探针长度,并选择较粗的探针杆和接长杆,有利于减少测量过程中的变形;探针系统的联接也应考虑联接刚性和可靠性,尽可能减少联接环节。4)工件坐标系的建立根据测量对象特点和测量任务要求,正确且合理地建立工件坐标系对化简测量难度、提髙测量效率,W,W及提高测量精度都有很大帮助。例如测量孔径时圆孔中也轴线作为Z轴,W待测圆孔截面圆的圆也作为新的坐标原点建立工件坐。标系,会给后续的自动测量带来很大方便5)采样策略的拟定由于测量对象千差万别,关于采样点的数量、路径和空间分布,目前并无标准可依,测量人员往往根据经验进行判断。然而由于被测对象的形状误差等因素Pq的影响,采样策略的选择会很大程度上引起测量结果的不确定度。拟定采样策、参,还应略时,需考虑到测量点选取应尽可能反映出被测对象数的真实情况考一虑测量的效率和经济性。。般来说,测量点分布应尽可能地覆盖被测表面或区域6)测量速度等设置13 合肥工业大学博±研究生学位论文当测量速度很小时,H坐标测量机的测量可W视为准静态测量,动态误差很小,但当测量速度很大时,动态误差将成为影响测量结果不确定度的重要因素。、如何合理选择测量速度,包括测量加速度测头逼近距离(速度)等设置,在测量精度与测量效率间取得平衡,是测量人员需要扶择的问题。H坐标测量机需要面对各种不同对象一、各种特征量的检测,由于缺少统的规范一理设,在次完整的测量中,测量方案、测量策略都有很大的选择空间,合计和规划测量过程、制定合理的测量方法对保障测量结果质量意义重大。2.2.5测量人员测量人员的教育程度、具有的测量知识和经验、经历的培训情况、投入工作的态度,W及身体状况将会影响到整个测量过程,体现在测量准备工作、测量方法选择、采样策略制定、实施测量、记录测量结果、处理实验数据的方方面面,是测量不确定度的重要来源。不同测量人员测量相同任务所得的测量结果具有分散性。在保证坐标测量系统满足测量精度要求的前提下,能否得到高质量的测量结果主要取决于测量人员对测量方法的认知程度。根据测量任务,进行探索、分析和测试,优化测量方案,对测量策略做出合理规划,将有效提高测量精度。综上所述,可面向任务的测量不确定度主要,利用因果分析方法""来源分类归结为人、机、斜、法、环这五大层面。但对于具体量化各个不确一。定度分量,依然存在很大困难因此,寻求种新的不确定度来源分析方法,方便不确定度分量的量化,成为提高测量不确定度评定效率的关键问题。总的来说,传统的测量系统误差源分析方法和因果分析方法都是从误差源头,必然误差来源繁多且关系复杂来考察测量不确定度来源,不好量化,如果反过来,直接从测量系统的输出结果来考察测量不确定度来源,采用评价测量结果的性能指标来作为不确定度分量,就能够方便实现不确定度分量的量化,从而提高一评定效率。因此,论文提出种更加适用于CMM面向任务的测量不确定度分析的新方法量值特性分析方法。2.3量值特性分析方法,量值特性指标是在测量系统分析中提出的首先,它反映了测量数据的统计特性,可用于衡量测量系统的质量,是对测量结果的综合评价,不需要关也具体的测量模型和测量方法,因此,采用量值特性指标进行CMM面向任务的不确定度分析是合理可行的,也更加适用于测量任务丰富的CMM的测量不确定度评定。其次,目前虽然也有国际或国家标准体现了对于量值特性指标的应用,但并非针对CMM面向任务的测量不确定度评定-。例如国际标准ISO225147:2012脚14 第二章CMM面向任务的不确定度分析方法9^1[。,,主要是关于过程管理中的统计方法应用目标是进行测量系统性能的评估口》]35-又如国标GB/T246.3(对应ISO155303),给出了应用己校准件或标准件实现CMM确定测量不确定度的技术,但该标准仅直接给出了不确定度概算,完全未提及量值特性指标,也没有对各不确定度分量与量值特性指标的评价关系作出分析,对于用户进行CMM面向任务的测量不确定度来源分析,解决其测量结果的不确定度评定问题,指导不足。因此,为了解决CMM面向任务的测量不确定度评定,论文提出了量值特性分析方法,即完全从被测量测量结果的量值特性来考察CMM面向任务的不确定。度来源或贡献因素,利用对量值特性指标的评价解决不确定度分量的量化问题量值特性指标包括偏倚、线性、稳定性、分辨力、重复性和再现性六项。在CMM面向任务的测量不确定度评定中,可W利用量值特性指标反映坐标测量系统一类的计量学特性,评价某(或多类)测量误差引起的不确定度分量。国际标准ISO-225147:2012脚中给出的测量系统测量不确定度评估技术,可为量值特性指标量化为不确定度分量提供有力的规范支持。各量值特性指栋含义及其转化为不确定度分量的方法说明如下:(1)偏倚。,是指测量结果的观测平均值与基准值的差值真值的取得可采用更高等级的测量设备进行多次测量取平均值,也可W送。样件到计量部口校准获得,但要考虑由于校准引入的不确定度分量由坐标测量机校准引入的不确定度分量^ ̄^^(2.1)CALCAlICAL。,其中,t/为校准证书所提供的校准扩展不确定度为对应包含因子cML(2)线性,指在H坐标测量机正常工作量程内的偏倚变化量,是测量系统的系统误差构成。对于H坐标测量机,研究单个测量点的偏倚与线性没有意义,通常关也的是测量给定长度或给定形状的偏倚与线性,在坐标测量机的检定规范中对这两项特一性进行了定义和规定,般示值误差E和探测误差P来反映,可W利用最大允许误差MPE来量化CMM测量系统本身的不确定度分量,如U三22MPE(.)wEI^一(3)稳定性(或漂移),是指坐标测量系统在某持续时间内测量同基准或一一零件的同特性时获得的测量值总变差。稳定性是整个时间的偏倚变化。般来一。说,,稳定性引起的误差对于电子类测量影响显著在几何量检测中影响很小般在坐标测量中。,很少将稳定性引起的误差作为主要不确定度来源考虑一cro-e课题组针对实验所采用的台海克斯康公司的MiHit3DDCC型H坐标15 合肥工业大学博±研究生学位论文一一测量机进行了稳定性实验分析,在不同时间段内重复测量同工件的同内孔直径,对不同时间下的测量平均值进行考察,结果表明由测量稳定性引起的不确定度分量远远小于坐标测量机的光栅尺分辨率。因此,可W忽略由测量稳定性引入的不确定度分量。(4)分辨力,是指坐标测量系统能有效辨别的最小的示值差。若设乂表示分。辨力,假设服从均匀分布,则由分辨力引入的不确定度分量"=.此去T(2.^通常,商用H坐标测量机的示值误差是其分辨力的10倍W上,分辨力引起的cro-He误差往往可忽略不计。比如课题组实验所采用的Miit3DDCC型H坐标测量机,其技术指标中,光栅尺分辨率《0.1pm,由公式(2.3)可算得由分辨力引入的不确定度分量不到化的um,而其最大允许示值误差则大于3um,因此,可W忽略由分辨力引入的不确定度分量。一一(5)重复性,送里指由同个操作人员用同台H坐标测量机经多次测量同一""一特性时获得的测量值变差)。个零件的同(巧结为四同测量重复性引入的不确定度分量可由在重复性条件下的多次测量结果按贝塞尔(Bessel)公式算得的实验标准差给出。一6一()再现性,这里指由不同操作人员,采用同台H坐标测量机,测量同一"""H同一零件的同特性时测量平均值的变差(归结为异)。需要说明的是再"现性在国际标准和国标中对应的英文单词为Reproducibility,在最新版的国标中,""""""一已将再现性改称为复现性,因此,论文中后续将采用复现性这提法。对于H坐标测量机测量,可W改变的条件包括测量人员、测量方法、测量环一-测量地点和时间等境、。对于这些条件,可改变项、多项或全部。测量复现性引入的不确定度分量可由不同条件下的测量结果按巧塞尔公式算得的实验标准差岡给出。。值得注意的是,测量复现性是完全独立于测量重复性的测量重复性主要反映的是测量中随机效应的影响;而测量复现性主要反映了未定系统误差对测量结果的影响一兰坐。对于同标测量机的测量应用,测量复现性主要是由测量人员的。5变动而引起的,测量人员不同,采用的测量方法自然不同图2.表示了复现性与重复性的区别。一另外,测量过程中的其他不确定度分量主要包括工件的不均性引入的不确定度分量和温度引入的不确定度分量。16 第二章CMM面向任务的不确定度分析方法复現性IIM/图2.5复现性与重复性Fig2.5Reroducibilitandreeatabilitpypy、对于接触式测量,由于工件表面纹理、形状偏差几何偏差,会引入不确定。度分量如果送些因素的影响已经体现在最大测量值中,则可W忽略由于工件的一不均性引入的不确定度。若Aw为形状偏差的期望误差或最大允许误差,假设一服从均匀分布,则由于工件的不均性引入的不确定度分量U二a如(2.4)〇BJ〇u!测量环境温度引入的不确定度是温度差异引起的不确定度和热膨胀系数引起的不确定度两部分分量的合成,假设《表示温度差异引起的不确定度分量,?表^,示热膨胀系数引起的不确定度分量,则Ar,,=a‘Ulu^(2.5;m’其中,AT表示实际测量温度与惊准20C的温度差,a表示被测工件热膨胀系数,/表示被测工件尺寸。(2.6)Ar表’其中,示实际测量湿度与标准2〇c的湿度差,M。表示工件热膨胀系数的标准不确定度,/表示被测工件尺寸。则测量过程中由于温度引入的不确定度分量U.=(2.7)j可见,量值特性分析方法,方便确定主要的不确定度来源W及不确定度分量一的量化,有利于进步的不确定度建模和评定,经济实用,推荐坐标测量机用户采用。2.4本章小结本章系统研究了CMM面向任务的不确定度分析方法。首先回顾了传统的测17 合肥工业大学博±研究生学位论文■量系统误差源分析方法,但由于CMM测量任务的多样性和误差的复杂性,误差源分析方法显然不适用于CMM面向任务的不确定度分析。然后介绍了能够对不、确定度贡献因素进行分类的因果分析方法,从测量环境测量设备、测量对象、测量方法和测量人员五大层面确定主要不确定度影响因素。因果分析方法与误差源分析方法并无本质差别,因而实现不确定度分量量化依然困难。最后,提出了一种基于量值特性指标的不确定度分析方法。该方法将测量系统统计分析与不确一体,且更具有,适定度分析融为,使不确定度分析简单有效可操作性用于各种测量模型、测量方法和测量仪器,对测量不确定度的应用和推广具有重要意义。18 第H章CMM面向任务的不确定度数学建模第三章CMM面向任务的不滿定度数学建模测量不确定度建模是不确定度评定中的关键问题,不确定度模型是否系统、全面地反映了主要的不确定度来源及其相互关系,是否正确合理,将直接影响到测量评定的效果及其可信度。测量不确定度模型不同于测量模型。H坐标测量机本身自带的测量软件已经封装了对应被测特征量的常用算法测量模型,根据测量模型,坐标测量机就可W通过点坐标测量得到被测量的估计值。但如果要得到测量不确定度,得到完整的测量结果表述,就必须建立测量不确定度模型,根据不确定度模型来评定测量结果一。目前的坐标测量机般都不具有自动评定测量不确定度的功能,对于测量机用户来说,不仅测量模型是个黑箱,不确定度建模更是个难题。-m7巧[]国标地/T18.22004中将不确定度评定的方法归结为透明箱和黑箱方法,仅给出了基本概念,提供了不确定度评定的透明箱模型和黑箱模型的最基本形式,指导性不足,无法满足兰坐标测量机用户评定测量不确定度的实际需求,因此本章具体研究CMM面向任务的测量不确定度建模问题。首先,W工件端面距离测量W及孔径测量两个典型尺寸测量任务为例,研究如何建立CMM面向任务的不确定度透明箱评定模型,给出具体的应用方法,包括测量不确定度来源分析、不确定度模型和评定过程,总结透明箱模型评定的特点。然后,为了解决透明箱评定的局限性,重点研究CMM面向任务的不确定度黑箱评定建模,提出应用量值特性分析方法的建模思想一,总结其特点;同时,为了进步提高评定效果,提出在黑箱评定中应用MCM进行数据处理的思想和应用方法,初步提出了CMM面向任务的不确定度评定优化方案。最后,对虚拟坐标测量机(VCMM)测量评定送一热点进行了探讨一,提出种简单实用的虚巧坐标测量机评定方法(SVCMM)o3.1透明箱评定所谓透明箱评定,主要体现在不确定度评定模型为透明箱模型。即在模型中,被测量之值是通过与被测量有函数关系的其他量的测量而得到。本节先简要说明不确定度评定的透明箱模型一般形式,再W典型尺寸测量任务为例,说明如何建立CMM面向任务的不确定度透明箱评定模型,W及应用透明箱评定的具体方法。义一1.1不确定度评定般模型在透明箱不确定度评定模型中,被测量为若干测量值不的函数。不又可W是一个函数(透明箱模型)或黑箱模型:19 合肥工业大学博±研究生学位论文7=义....。,乂,,2,,,心片)PSI测量的合成标准不确定度:2"=+X"c义客瞎‘f)此处,W是强相关的测量不确定度分量之和:f^3Y口乂=,1I式中:—的偏导数函数r相对于义。,dX*‘U—第xz个被测值(函数)的合成标准不确定度,它是被测量r的测量,一部分不确定度评定中透明箱模型的。一一M可能是个黑箱的结果(合成标准不确定度),也可能是另个透明箱。模型的不确定度估计值。=不相关的不确定度分量(/?〇)采用几何相加(方和根法)。不相关的不确定度分量的数目是7。/=9-强相关的不确定度分量(1或1)采用代数相加。强相关的不确定度分量/的数目是r。保守的估计是将所有不知道是否完全不相关的分量都看作为强相关。在评定被测量r的测量不确定度的透明箱模型中,总共有(p+r)个不确定一个分量还可能是若干个测量不确定度分量的合成-度分量,其中每。由合成标准不确定度评定扩展不确定度U:在GPS测量中,扩展不确定度f/可由下式计算:==Uuxkux2^^除非另有规定=2。,在GPS测量中包含因子4下面W典型尺寸测量任务为例,说明CMM面向任务的不确定度透明箱评定建模及应用方法。3丄2工件端面距离测量不确定度透明箱模型评定本节1^1坐杨测量机测量工件端面距离为具体任务,首先全面分析测量过程中影响测量结果不确定度的主要来源,建立测量不确定度透明箱模型,并介绍如何具体应用传统的方和根方法(下面简称为GUM方法)和MCM对工件端面距离测量20 第H章CMM面向任务的不确定度数学建模进行不确定度评定。3丄2.1测量模型H坐标测量机测量王件端面距离一采用般是通过间接测量的方法得到的。从一《点〇=1...》测量策略考虑,可先从测量对象测量方向个测量端面上任取^,,;^要求n>3,且均匀对称分布),利用最小二乘法求得该测量端面对应的拟合平面V,再从与之对应的另一测量端面取一点从而求出A点到拟合平面V的距离Z。最小二乘拟合平面V回归方程表示为z=ax+byc+最小二乘误差:2n怎=-++cj2Eh(啤妙,=11要使&最小(多元函数求极值),则有:,根据拉格朗日乘数法0=■=-化+.-Z+cx(r學如这过[,'妙')](,)—-0==W.Z++C'砂^醬适[,(I)](乂)=?--0=++c.Z妙1,如,,)]()、學适[即:巧nnn=-XZ曰.c+bX+cXiifiYii(Tj石疋Y^sS古占,,,l,'112..z=a.xj+6+c^Z乂,芝,X>^芝义===*/'1i/!!Innn..'==x'+〇cn[+A乂衣,S,文===/i,i/i为了方便计算机编程解算:,可整理得矩阵形式的正规方程组"Z乏>,乏y,乏,/、=?\=!|1iC/f1nnnn2xxa=W'Z,E,乙之i==!==1?/111/!n打nI^f)t2斯z乏乂£知,乏乂,=-=1、1M/IJ\11>21 合肥工业大学博±研究生学位论文由此可推出其最小二乘解为:rX=ArVz(3.1)A()-Z,C「]P叫「.?1X,V,Z,^===其中,Xa,A;Z。...':'''b由公式(3.1)得到的a、6、c,可计算A点到拟合平面V的距离为;(3.2)2+&+1《尽量考虑到减小重复性测量误差对测量结果带来的影响,在测量时取大,且对&点及各巧点重复测量次数m也应尽量取多,采用各点对应的均值坐标及算术标准差代入到掛合平面V及求解I的计算中。在测量过程中,应用H坐标测量机的测头补偿功能和温度补偿功能。3丄2.2不确定度模型在实际测量过程中,存在着多种因素会对测量结果带来影响。下面对测量不确定度的主要来源进行简要分析:(1)测量机示值误差的影响。测量机示值误差反映了测量机本身的21项机构误差、测头系统误差等测量设备本身的系统误差对于测量结果的影响。(2)测量过程的重复性的影响。测量结果重复性反映了在相同测量条件下,一一同被测量的连续多次测量结果之间的致程度。在端面距离测量过程中,测量重复性影响反映在对f点及各巧点进行的重复测量中。t(3)测量过程的复现性的影响。测量结果复现性反映了在测量条件改变时,一一致性同被测量的测量结果之间的。在实际测量中,主要体现为测量人员、测量时间的改变对测量结果带来的影响,能够反映出测量结果的稳定性。对于透明箱评定过程而言,由于是基于测量模型进行测量并计算测量结果,因此需要在不确定度模型中额外考虑实际测量中存在的复现性影响。一工件的表面纹理(4)工件不均性的影响。在接触式测量中,、形状偏差、几何偏差会影响测量结果。其中,工件表面粗糕度影响的量级较形状误差和几何,偏差小,且在接触测量过程中探针针头具有滤波效应,能够减小粗礎度对测量一般对于工件的不均一结果的影响。因此,性,可忽略粗趟度引入的不确定性,主要考虑形状偏差或几何偏差对于测量结果的影响。在端面距离测量过程中,由于是采用固定的巧点拟合最小二乘平面,从而求解点面距离,因此需要考虑拟合平面的平面度影响。6(5)温度变化的影响。实际测量环境温度偏离标准测量温度2〇时,需要对22 第H章CMM面向任务的不确定度数学建模一测量长度结果进行温度补偿,般测量机测量软件具有温度补偿功能,但由于温度变化的不确定性,也会带来温度补偿的不确定性。另外,由于制造工艺及加工过程中各种因素的影响,被测工件和测量机光栅尺的热膨胀系数在测量过程中随。着温度的变化是变动的,具有不确定性(6)测量速度的影响。测量机在不同测量速度下测量,会改变测量力的大小,从而对测量结果产生影响。如测量机在低速情况下、采用自动模式进行测量,则影响较小,可W忽略;否则必须额外考虑。当然,测量方法也会对测量结果产生影响,包括巧合平面采样点数的选取与分布,巧合,情况比较复杂,在此篇论文的研究中暂不去纠结该问题算法的选用等,采样点数和分布依据经验推荐制定,且主要针对测量机默认采用的最小二乘方法一重点讨论测量结果的不确定度评定。按照新代GPS关于不确定度定义的划分,即重点讨论的是执行不确定度的评定。综上分析,可W总结出坐标测量机测量工件端面距离的不确定度模型为:"—!=-L+LC20牛5牛S+S+S(3.3)T(fi}g〇gjw此f其中L—通过最小二乘计算得到的待测端面距离的最隹估计值;C—工件的热膨胀系数V被测;a—测量机光栅尺的热膨胀系数";T—测量过程平均湿度;8—测量机示值误差对测量结果的影响;eS—测量复现性对测量结果的影响防,一S—工件不均ow被测性对测量结果的影响。对点面式端面距离测量任务而言,主要考虑实际测量点&偏离测量面中也点对测量结果的影响;S—测量机测量速度对测量结果的影响。y建立不确定度模型后,既可W采用传统的灵敏度分析方法,也可W采用MCM进行测量不确定度评定。3.I.2.3基于灵敏度分析方法评定测量不确定度传统的灵敏度分析方法依据GUM不确定度传播规律,采用方和根合成得到测量结果的合成标准不确定度,需要确定测量不确定度模型中各输入量的传递系数和标准不确定度分量,需要考虑输入量间的相关性。(1)合成禄准不确定度根据工件端面距离测量的不确定度数学模型(3.3)可见"/=王ry(,,,),90%W上的误差源是互不相关的在实际测量中,但也有少数误差来源,往往巧 合肥工业大学博±研究生学位论文因为受到相同影响因素的制约而具有相关性,对于这种情况,利用数学变量代换的方法,完全可W使原本具有相关性的若干误差源变为不相关。因此,此处可WP]假设输入量Z、oTm、了、《、、、互不相关,根据GUM不确£&5D式W定度传播定律求得各传递系数:=---=-+a.=..-l〇r20;王r20;zr2〇V;^(J()争()争()OLoa^逆=王.(\斬W-ajM^;普=主=立=单=1。dTWedS版dS〇出dSy根据GUM方法合成,测量工件端面距离/的合成标准不确定度为;."."+.+."似心^?=(3.4)。煩叫安)尚鮮|++U+UyIq^jI其中U—最小二乘计算结果的标准不确定度;lu—被测工件热膨胀系数的标准不确定度M;ua—测量机光栅尺热膨胀系数的标准不确定度;(M)U—测量湿度的标准不确定度r;U—由测量机示值误差引起的不确定度分量e;U—由测量过程复现性引起的不确定度分量防;一u—〇w由工件不均性引起的不确定度分量;U—由测量速度引起的不确定度分量y。—二最小乘方法计算结果Z的标准不确定度可根据公式(3.2)同理进行分析。由公式(3.2)可知:王=xz口6c3(.5)g(*,义t,*,,,)-o-_但由于公式(3.2)带有绝对值符号,需要分别对(ZjC妙tc)>0及ti-Zox--C<0两种,GUM不确定度()倩况根据传播定律求得各传递系数,tt妙A综合两种情况的讨论结果可得:。5d1诲11客间g’222司卸*+占+1司Va+&+i2&.--+lxa+化ac3()*妙**各_|’施222。+6+1古+&+1()24 第H章CMM面向任务的不确定度数学建模2。?-afa-+1c+6cdg()兴*崎||2222谢.&。+&+1心。++1()壑1°司^^ya+b+ll在函数关系式(3.5)中,输入量x、兴、z互不相关,a和6、6和cW及fltt一定相关性和C之间虽有,但表现较弱,可忽略它们之间的相关性。根据GUM方法合成,即可得到最小二乘方法计算结果Z的标准不确定度:2."也+."+."約)倍丫〇〇約啦)d5z={yjIj(3.6)?12,2‘"。+?"*+-"C()鮮()筋()f曲其中,《知)、M(Z*)表示对应工件坐标系X、Y、ZH轴方向上的测量点A的单点标准不确定度;U。、M。表示线性参f[a、6、C的标准不确定度,与对应工件坐标系X、Y、Z^轴方向上的测量点的单点标准不确定度1/片)、Mz有关。(<)将公式(3.6)代入公式(3.4)即可得到测量工件端面距离/的合成标准不确定度M。e相关标准不确定度评定如下:1)MX、《y、MZ、MX.、MZ'的确定(*)(*)(*)(,)(,)这几个标准不确定度反映了对应工件坐标系X、Y、ZH轴方向上进行单点测量时,测量机示值误差和测量重复性的综合影响。要确定单点测量的不确定度是比较困难的,,按照传统的规范做法,首先需要对测量空间进行网格划分然后利用标准球板或孔板对网格点进行标定,最后对网格点之外的其他单点的测量不确定度,,采用插值方法获得。整个过程实现起来非常复杂;而且标定需要标准件成本高昂。因此,对于单点测量的不确定度的评定,此处采用简化的实验方法进行估计,在自动。、低速的测量模式下重复采点为了评估在测量面上近似均匀、对称分布取n(?>3)个采样点巧,各重复测量10次,由贝塞尔公式对每个采样点对应的10个X、y、Z坐标值分别求算术平均值及其标准差,为了安全,取10组标准差中最大值作为巧采点时对应工件坐标系X、Y、ZH轴方向上的单点测量标准不确定度的取值。即■=M〇:'《;'=<r'"2=。X〇CZ(3.7);y;(,)(,)m巧〇,)(,)m"(,)(i)隨*i也重复采点、为了评估对,10化W10次测得的X、yZ坐标值分别求算术平均值及其标准差,分别Wx、y、Z坐标的标准差作为A采点时对应方向的单点测量巧准不确定度的取值。即25 合肥工业大学博±研究生学位论文---=〇x?==mx〇mz〇z〇(3.8);;(J(*)(y*)(yJ(J(J2)《6、MC的确定()()^二[]可得根据等精度测量时最小乘估计量的精度估计理论:■■.=..uc=a=订,"〇口=口,ub=o=口U.9)()c:^|^()。:厄()b:^|^■'^A〇?Z其中,如、d、A的对角线元素,为C点在方向上的单点测。知为(j,?〇=.。量标准差,即i/,b)3)、《〇:的确定)(")设工件的热膨胀系数变化在±Aay,服从矩形分布,工件热膨胀系数的标准不确定度为:?〇?=(3,.10)()同理,若光栅尺的热膨胀系数变化在±AaM,服从矩形分布,则坐标测量机光栅尺的热膨胀系数的标准不确定度为:!/"=AaV^(3.11)(")^/4)?的确定^‘若测量时实际环境温度偏离标准温度20C,变化极限为±Ar,服从矩形分布,温度变化的不确定度为:U=ArJ(3.12)r/V5)ac的确定根据CMM的验收复检报告,可W査知CMM在规定操作环境下的最大示值误差其大小与实际测量尺寸有关。为安全起见假设测量机示值误差服从矩形98分布考虑=[1,取包含因子ifcV^,则测量机示值误差引起的不确定度分量:=UMPE來(3.13)eeI6)的确定可根据W往经验或者复现性重新标定来确定。如果己知复现性影响的最大值服从矩形分布,则由测量结果复现性引起的不确定度分量为:■M二〇'(314)rd此I1^.7)1/。^的确定如果已知被测工件的最大形状偏差或几何偏差服从矩形分布,则由工一P7]件不均性引起的不确定度分量:m=a(3.15)〇bj〇gjI对于点面式端面距离测量,fl主要表现为拟合平面的平面度影响,其值可awW通过校准证书或根据经验确定,也可利用坐标测量机进行测量并由测量软件评定获得。8)U的确定,26 第兰章CMM面向任务的不确定度数学建模大多数情况下,则,测量机是在低速下测量工件端面距离由测量速度引起的不一%。确定度分量大小般低于测量机示值误差影响的10,可W忽略(2)计算扩展不确定度根据给定的置信概率P,取包含因子*,可得扩展不确定度=UkxU(3.16)c一5%(般如无特别说明,在GPS测量中,取置信概率为9时所对应的包含因=子A2。)工件端面距离的最终测量结果表示为=l±U(3.17)L,,应用可见,对于复杂的或者非线性的测量模型来说传统的灵敏度分析方法计算传递系数、考查输入量间的相关性非常困难,对评定人员的专业技能要求较。,应用难度大,当髙,不易推广但由于GUM已为业界广泛认同和接受多种方法。的评定结果具有争议时,可W灵敏度分析方法评定出的结果作为评价参考3丄2.4基于MCM评定测量不确定度MCM采用计算机模描技术,只需考察测量不确定度模型中各输入量的特征及,采用代数和法合成,反映到最终分布类型,W随机抽样的方式仿真各误差影响,的测量结果中,根据大样本的测量结果数据和置信概率利用概率统计方法获得测量不确定度结果。无需计算传递系数,不受,无需考察输入量间的相关性自由。度的限制而且,,应用方便,便于计算机编程实现自动评定采用随机抽样的方式模拟实际误差的影响大小更加符合实际,更加合理地反映了误差的特点,是值得推荐的评定方法。《测量不确定度表示指南》简称GUM)补充文件1专口给出(iw[]了用蒙特卡罗数值模拟方法通过分布传播评定测量不确定度的指南。由公式(3.4)和(3.6)可见,工件端面距离/的数学模型及其合成标准不确定度模型都比较复杂。送种情况下,就比较适合利用MCM评定端面距离/的测量岡不确定放。利用MCM评定端面距离测量的具体步骤如下:(1)分析端面距离测量中OV、7\馬、馬〇、《〇&/、命各不确定度的来源,确定其分布类型及分布区间;(2)确定输入X、於、Z、JC、、Z的期望值和标准差,为安全考虑,**jy,,按照均匀分布考虑,根据置信概率,推得各坐标输入量用于计算机仿真的对应分布区间;(3)Wx、於、Z*、x<、八、Z,的均匀分布区间生成随机数组来计算最小*56wq一二 ̄tMM越大越准确1〇,乘r,样本的容量为,,般取为1〇即可满足要求=M100000这里取样本容量,;(4)根据口、oT、了、、、3的分布类型及分布区间,同理^m如〇命&/^27 合肥工业大学博±研究生学位论文通过计算机模拟产生随机数组来模拟A、aw、r、、w、,t如D4如的取值样本的容量为M'(5)根据从上得到的个样本的I、a、r、<5、如J、Aw、we命随/机序列,代入端面距离的数学模型,求得M个的端面距离/的样本值。w6[]()端面距离的测量结果/的最佳估计值为该M个样本的均值I;(7)端面距离/测量的标准不确定度M/为该M个样本的标准差;()(8)将得到的端面距离的个样本值从小到大排序,如果给定包含概率为P,测量结果的包含区间可估计为包含区间对称时,扩展不确定度可确定为'W。(申2=(3^/.18));此时包含因子可确定为k=lfl(Uu3.19)()()工件端面距离的最终测量结果表示为l=±UL(3.20)义1*3孔径測量不确定度透明箱模型评定利用H坐标测量机检测工件孔径,可W方便同时获取相关圆度或圆柱度信息,也属于典型测量任务。本节W工件孔径测量为具体任务,讨论等精度测量模型,分析引起测量不确定度的主要来源,建立测量不确定度透明箱模型,并介绍如何具体应用GUM方法和MCM对工件孔径测量进行不确定度评定。3丄3.1测量模型利用坐惊测量机测量开始前先建立好工件坐标系,保证Z轴方向即为內孔圆柱的轴线,将孔径测量的H维数据处理问题简化为二维数据处理问题。一=m[]设截面圆周测量采样点为乂/12...《《>7二乘,,,,(推荐),最小)圆的圆也为x,则在直角坐标系下:,圆曲线测量方程为(〇,y。)^x-x+-=R{f,〇(y,y〇f一通过变换可得圆曲线测量方程的另个形式:=Ica+by+C(3.21)2222__=其中=2=;。=欠/'文+,£1了62,〇,>〇,而於,,户一,3.21)表达的是《可见公式(个线性参数的测量方程,假设个采样点是相互独立的,则//.../也是相互独立的,可用矩阵形式表示该测量方程为;,,,,,,AAL=AX该线性参数误差方程为:28 第三章CMM面向任务的不确定度数学建模V=L-AX-JCy1niA巧iX2=6===其中,X,A,L,y;:I6U1y"」k」k.由于是等精度测量:,因此线性参数最小二乘法处理的正规方程可表示为^V=A0由此可推出其最小二乘解为:(3.22) ̄'^^x=aaal()由求出的线性参数a、6、C的最小二乘估计值可计算工件孔径为:^^D=bc=2c:a+a+b/4(3.23)g{,,)yli)3丄3.2不确定度模型在实际测量中,测量机示值误差、测量重复性、测量复现性、工件内孔的不一均性、测量环境温度变化,W及测量机测量速度都将影响工件孔径的测量结果,是影响直径测量不确定度的主要因素。其中测量重复性主要影响X、y方向的单点一测量标准不确定度,并在计算过程中影响a、b、C的不确定度。工件内孔的不均性主要体现在形状误差方面,要考虑工件内孔圆柱度对测量结果的影响。因此,工件孔径测量不确定度模型为;'d=?—?—D+DoCT20+J+<5+(3.24),(ff))脚〇w命其中D—二乘计算得到的待测孔径的最佳估计值通过最小;a—测量机光栅尺的热膨胀系数";a—被测工件的热膨胀系数*;T—测量过程平均温度;S—测量机示值误差对测量结果的影响e;S—测量复现性对测量结果的影响版;一S—被测工件不均性对测量结果的影响ou;S—测量机测量速度对测量结果的影响。y3丄3.3基于灵敏度分析方法评定测量不确定度(1)合成标准不确定度由公式(3.24)所示的工件孔径测量不确定度模型可知;"=d?〇a"r_/(,*/,w,)其中29 合肥工业大学博±研究生学位论文公=6〇客仁,,)"其输入量?〇、a、a、7、、如、、,而a、6、C之"y)Aw命互不相关间弱相关,在此可忽略它们之间的相关性,根据GUM不确定度传播定律求得各传递系数::-一---2。=aa.l+r2〇帥時}(MJ()气安盖;煮;-生=见=主=生=单=.aDaUw;(、MVw,)沉dSdSdSdSsw〇wy壑=兰莖=互聖=互。daD;dbD;dcD测量工件孔径d的合成标准不确定度为:22."."a+."a+(w)(-)?=。舒K勒皮)语H。25)|++-UHUIq^yI2;。.26)"."。+W筋()筋刪侣刪)其中"—最小二乘计算结果的标准不确定度D;ua—测量机光栅尺热膨胀系邀[的标准不确定度;(jua—被测工件热膨胀系数的标准不满定度(^;)U—测量温度的标准不确定度r;U—由测量机示值误差引起的不确定度分量e;U—由测量过程复现性引起的不确定度分量版;u—由工件不均一性引起的不确定度分量〇sj;U由测量速度引起的不确定度分量y;a?、w6、Mc线性参数a、6、c的标准不确定度。()()()相关标准不确定度评定如下:1)Ma、1/6、wc的确定()()()99根据等精度测量时最小二乘估计量的精度估计理论[]可得;".?=1口====■/〇>r=,w6c,Mc<T(3.27)()。巧7^()*巧7^()c巧f'、、r其中,社为AA的对角线元素,巧为/的标准差。如如33(j22由于是等精度测量,根据+乂,由gum方法可得30 第H章CMM面向任务的不确定度数学建模=2X(T+2CT(3.巧^)巧,iy(yiyif^l(■其中,〇、反映了采样工件内孔截面圆上第个点时,点坐标测量值受到,,的在X、y方向上的测量机示值误差和测量重复性的综合影响。在评定中可采用简化的实验方法进行考察,即在自动测量模式下,对工件内孔的被测截面上均匀分布取《(推荐《>7)个采样点巧,重复测量10次,由贝塞尔公式对每个采样点测量的x、y坐标值分别求算术平均值及标准差,代入上式,为安全起见,取10个巧,中的最大值作为巧。2)Ma、《a的确定(y)(M)由于制造工艺及加工过程中各种因素的影响,工件的热膨胀系数也会随温度变化发生变化。设工件的热膨胀系数变化在±么〇^,假设服从矩形分布,工件热膨胀系数的标准不确定度为:?斬=(3.29)()同理,若光栅尺的热膨胀系数变化在±AaM,假设服从矩形分布,则坐标测量机光栅尺的热膨胀系数的标准不确定度为:!/?=AUVJ(3.30)(")m/3)K的满定f’若测量时实际环境温度偏离标准温度20C,变化极限为±AT,假设服从矩形:分布,温度变化的不确定度=U.ATS(3.31)j/4)的确定根据CMM的验收复检报告,可W査知CMM在规定操作环境下的最大示值误差其大小与实际测量尺寸有关。为安全起见,假设测量机示值误差服从矩形8■P=J]差引起的不确定度分量分布考虑,取包含因子A^/,则测量机示值误:U^MPE(3.32)eJS5)的确定可根据W往经验或者复现性重新标定来确定。如果已知复现性影响的最大值0W,设服从矩形分布,则由测量结果复现性引起的不确定度分量:U=a(3.33)阳版6)M的确定0W如果已知被测工件的最大形状偏差或几何偏差fl,设服从矩形分布,则由ew工件不均一性引起的不确定度分量P叩=。(3.34)〇&/对于孔径测量,,主要表现为内化的圆柱度其值可W通过校准证书或根。据经验确定,也可利用坐标测量机进行测量并由测量软件评定获得31 合肥工业大学博±研究生学位论文7)的确定大多数情况下,测量机是在低速下进行测量,则由测量速度引起的不确定度一分量大小般低于测量机示值误差影响的10%,可レ义忽略。(2)计算扩展不确定度根据给定的置信概率P,取包含因子*,可得扩展不确定度U=kxu(3.35),一GPS测量中95%时所对应的包(般如无特别说明,在,取置信概率为含因=子A2。)工件孔径测量的最终结果表示为d=±UD(3.36)3丄3.4基于MCM评定测量不确定度由公式(3.23)和(3.24)可见,工件孔径d的数学模型及其传统GUM合成标准不确定度计算都比较复杂,在这种情况下,利用MCM进行不确定度评定会更加简便。具体评定步骤如下:(1)分析工件孔径^的数学模型中〇:^、OV、7\A、命各不w确定度分量的来源,确定其分布类型及分布区间;(2)确定输入:C、、Z的期望值和标准差,,於,'(3)Wx、、Z的期望和标准差生成随机数组来计算最小二乘公,,y样本的,,'一s6 ̄容量为M,即得到M个公值。M越大越准确l〇l〇即可满足要求,般取为=[102]100,000,这里取样本容量M;(4)根据qT、〇V、r、S、,通过m〇a/命的分布类型及分布区间计算机产生随机数组来模掛aTm、QV、7\如&W、的取值,样本的容量为M;I(5)根据W上得到的M个样本的公、aw、斬、7\<^、Aw、命随E机序列,代入工件孔径的数学模型,求得M个直径d的样本值。w]工件孔径测量结果d的最佳估计值为该M个样本的均值公[(6);(7)工件孔径d测量的标准不确定度为该M个样本的标准差;(8)将得到的工件孔径d的M个样本值从小到大排序,如果给定包含概率为户,测量结果的包含区间可估计为叫似]。包含区间对称时,扩展不/2确定度可确定为:=也巡也^t/d(3.37)()气此时包含因子可确定为32 第H章CMM面向任务的不确定度数学建模k=Udlud(3.38){){)工件孔径测量的最终结果表示为d=D±U(3.39)义1.4透明箱评定的局限性通过W上建模评定实例可见,测量不确定度的透明箱模型评定在实际应用中有很大的局限性,具体表现在;一(1)要建立测量不确定度透明箱模型,首先要先建立测量模型,对种被测一一、特征量的某种算法就要建立个具体的测量模型,对于复杂的综合的测量任。务而言,建立测量模型具有很大难度(2)利用测量不确定度透明箱模型进行评定时,如果采用传统的灵敏度分析方法(即简称的GUM方法),需要根据GUM中不确定度传播规律计算不确定度、模型中所有不确定度影响因子的传递系数,考虑它们之间的相关性,对于复杂的非线性的不确定度模型而言一般评定人员都是,计算灵敏度系数和考察相关性对非常困难的,需要专业的不确定度评定知识和丰富的评定经验,实现起来难度大。(3)实际上,测量不确定度透明箱模型中反映出的透明性并不高,由于只有测量模型是透明的,所W由测量模型映射到不确定度模型后,其透明性仅是主要一主要不确定度来源方面反映在测量重复性这,透明度低;而且,从(1)(2)所述的不确定度建模和利用模型评定的过程中存在的困难可W看出,为了透明化测量重复性所付出的代价很大,对重复性透明评价的效果也不及直接对测,效率低量系统专口进行重复性实验效果更好,可谓得不偿失。总的来说,CMM面向任务的不确定度透明箱建模及其应用评定操作比较困。、难,实用性差尤其对于复杂综合的测量任务,不适宜采用透明箱评定方法。因此。,下面将从黑箱评定的角度探讨CMM面向任务的不确定度评定的实用方案3.2黒箱评定所谓黑箱评定,主要体现在不确定度评定模型为黑箱模型。在模型中,由测量所得到的输出量与输入量(激励源)的量值具有相同的单位,而不是通过测量与被测量有函数关系的其他量得到的。它不需要测量模型,也不需要计算灵敏度系数,而是假设各不确定度分量是可直接合成的,影响量已被换算到被测量的单9*且灵敏度系数等于[]1。位,从其评定思想上可见,黑箱评定能够克服透明箱评定的局限性,更加实用。下面将展开讨论如何建立CMM面向任务的不确定度黑箱模型。一本节首先简要说明了不确定度评定的黑箱模型般形式;然后,提出了利用量值特性分析建立CMM面向任务的测量不确定度黑箱模型的方法,直接从实际33 合肥工业大学博±研究生学位论文测量结果出发,W量值特性指标反映坐标测量机测量系统和测量过程中的主要不确定度分量,,给出具体的CMM面向任务的测量不确定度黑箱评定模型为坐标测量机用户提供有益的应用指导。最后,总结了黑箱评定方法的特点,并提出在黒箱评定过程中采用MCM进行数据处理提髙评定效果的思想和具体应用方法。义2一.1不确定度评定般模型:在不确定度评定的黑箱模型中,测量结果是被已知修正值修正后的读数r=jsr+c义是测量仪器的读数,C=是诸如校准证书、温度修正和崎变修正等得到的各修正值之和。SPI测量结果的合成标准不确定度为;-VI/式中,—不相关的不确定度贡献因素个数p;r—强相关的不确定度贡献因素个数;=—-一(-U由下式计算得到强相关的l或1)不确定度贡献因素之和;,prM=r乏X=,1在测量r时,合计共有(p+r)个不确定度贡献因素。不相关不确定度贡献=因素(/?〇)是几何相加的(方和根法);强相关不确定度贡献因素是代数相加的。保守的估计是将所有已知不完全不相关的不确定度贡献因素均看作为强相关。下面根据黑箱模型的基本思想,来研究如何具体建立CMM面向任务的测量不确定度黑箱模型。3.2.2CMM面向尺寸测量任务的不确定度黑箱模型一从不确定度评定黑箱模型的概念和般形式可W看出,黑箱模型只关也测量系统输出随输入的变化,因此是直接从测量结果出发,去分析坐标测量机测量系统和测量过程中影响测量结果的主要不确定度分量组成,从而建立具体的不确定度黑箱模型。而量值特性分析方法正是从测量结果出发,来考察测量系统和测量过程中的主要不确定度来源的,能够为不确定度黑箱建模创造条件。所W,论文基于量值特性分析建立CMM面向任务的测量不确定度黑箱模型。根据量值特性分析,CMM面向任务的测量不确定度分量包括测量设备引起的不确定度分量一、测量过程引起的不确定度分量、测量工件不均性引起的不确定度分量、测量环境温度变化引起的不确定度分量,W及各修正值所引起的不确定34 第H章CMM面向任务的不确定度数学建模P度之合成分量。对各不确定度分量评估如下叩(1)测量设备引起的不确定度分量可根据测量设备的最大示值误差MP怎直接评估;也可W利用测量设备的校准不确定度,重复性、分辨力、偏倚、线性引入的不确定度W及其他不确定度分量进行综合评价。其中,当重复性引入的不确定度大于分辨力引入的不确定度时,分辨力分量已经包含在重复性分量中了,无需重复考虑;否则需要单独考虑分辨力引入的不确定度。重复性、偏倚和线性引入的不确定度需要利用标准件或已校准工件计算,追溯到国家或国际标准。其他不确定度分量可能由数值漂移等因素引起。对于有校准证书提供其扩展不确定度的不确定度分量,可按照服从均匀分布考虑,计算得到对应的标准不确定度分量。(2)测量泣程引起的不确定度分量主要包括测量重复性和测量复现性引起的不确定度。对于测量过程的重复性和复现性引入的不确定度的评估属于A类评定。测量重复性引入的不确定度分量可由在重复性条件下的多次测量结果按贝塞尔(Bessel)公式算得的实验标准差给出。测量复现性引入的不确定度分量可由不同条件下的测量结果按贝塞尔公式算得的实验标准差给出。3一()测量工件不均性引起的不确定度分量其不确定度评估属于B类评定。如果已知形状偏差的最大允许误差,可按照一.4性引入的标准不确定度服从均匀分布考虑,依据公式(2)评估工件的不均,但如果工件的不均一性已经体现在最大测量结果中,则可W忽略此项不确定度分量。(4)测量环境温度变化引起的不确定度分量其不确定度评估属于B类评定。温度引入的不确定度包括温度差异引起的不确定度和热膨胀系数差异引起的不确定度。温度差异引起的不确定度可依据公式(2.5)估计,热膨胀系数差异引起的不确定度可依据公式(2.6)估计,两部分根据方和根法合成。(5)各修正值所引起的不确定度之合成分量如果为了提高测量精度,对测量结果进行了修正,则必须考虑由于修正而引入的不确定度。如采用长度实物标准器对长度测量误差进行修正,就必须考虑长度测量误差。修正的不确定度,它包括长度实物标准器的校准不确定度和对其测量的不确定度对于有校准证书提供其扩展不确定度的不确定度分量,,可按照服从均匀分布考虑升算得到对应的标准不确定度分量。对标准器的测量不确定度的评估则属于A类35 合肥工业大学博±研究生学位论文esse。评定,可根据测量结果按贝塞尔化l)公式计算综上所述,基于量值特性分析方法建立CMM面向测量任务的不确定度评定一般形式如下黑箱模型。测量结果表示为:=±UyY(3.40)测量结果的最佳估计值为:r=J:+C(3.41)测量结果的合成标准不确定度为:"="++"(3.42)CV占CCWK扩展不确定度为:=+U+U+Up14仁〇械。.43)j^^fP其中—最终评定的测量结果。Y—测量结果的最佳估计值。—由CMM测量数据得到的测量均X值。C—各修正值之和=,CC,C为各个修正量,如湿度修正、长度5],,测量误差修正、测头直径误差修正等等,可通过校准证书或者对标准件或已校准工件进行测量获得。此项可有可无,具体情况具体分析。例如,如果对于测量设备引入的不确定度是直接利用Af旬来评估的,就不需要再重复考虑长度测量误差修正和测头直径误差修正;如果采用CMM测量时已经启用了湿度补偿功能,也无需再对测量结果进行温度修正■。U—由测量设备引起的不确定度分量。既可W考虑直接利用来评e估;也可W采用CMM的校准不确定度,重复性、分辨力、偏倚、线性引入的不确定度W及其他不确定度分量进行综合评价。U—-由测量过程引起的不确定度分量p。主要反映测量重复性与复现性对测量结果的影响。一—tv由测量工件不均性引起的不确定度分量。U—由测量环境温度变化引起的不确定度分量贈。U—各修正值所引起的不确定度之合成分量。CORR,k—包含因子,与测量结果的概率分布和置信概率有关。需要注意的是:本节中给出的是黑箱评定的总体应用方法,在具体应用时,36 第H章CMM面向任务的不确定度数学建模要结合实际采用的测量方法,根据具体的不确定度来源对黑箱评定测量不确定度模型式(3.42)做相应调整。关于如何根据实际测量方法调整不确定度模型式(3.42),将在第四章,结合不同的测量方法进行说明。3.23黑箱评定的优势通过W上分析可见,所建立的CMM面向测量任务的不确定度黑箱模型并不关也测量模型,而是直接从测量结果出发,W量值特性指标来考察测量结果的不确定度。与透明箱模型比较而言,黑箱评定虽然不能准确反映测量模型对测量不确定度的影响,但只要科学地制定测量实验方案,并合理评价量值特性指标,就能够有效反映测量方法对不确定度的影响,进而真实客观地评价测量结果的不确-。尤其是.3定度,黑箱评定更便于执化实用性强,易于推广。CB/T24拍52009(ISO-。/TS155303)中给出的合成标准不确定度形式也采用了黑箱模型可见,黑箱模型评定在今后的CMM面向任务的不确定度评定中更具应用前景。在实际应。用中,推荐采用黑箱模型评定方法另外,通过模型式中(3.41)和(3.42)可W看出,测量结果的修正值和测量设备引入不确定度分量的确定方法都将显著影响测量精度,值得深入探讨,因此,在后续第四章中,将从提髙CMM测量精度的角度,对不同测量方法下的不确定度黑箱评定展开讨论。3.2.4MCM应用于黑箱评定的讨论论文3.2中所建立的基于量值特性分析的CMM面向测量任务的不确定度黑.2一箱模型般形式,在具体应用中具有灵活性,易于扩展,能够适用于各种测量对象和测量任务。对于特殊的复杂的测量任务,只需要根据测量结果影响因素的特殊情况,在已建立的CMM面向测量任务的不确定度黑箱模型一般形式方和根合成中添加附加项,即可建立起适用该特殊复杂测量任务的不确定度黑箱模型。在不确定度评定黒箱模型建立的基础上,科学合理地评价反映各不确定度分量的量值特性指标和特殊影响因子,,采用灵敏度分析方法或MCM方法进行不确定度估计就能够获得测量不确定度评定结果。证过3.1中描述的不确定度估计方法可见,将MCM应用于测量不确定度数据处理,而且便于计算,通过计算机仿真误差影响,更加切合实际误差的作用特点。机编程,能够提高测量不确定度评定效率因此,通过W上分析,针对CMM面向任务的测量不确定度评定,可W提出一种实用、高效、可靠的评定方案,即采用量值特性不确定度分析法建立不确定度黑箱模型,并结合MCM随机仿真与统计参数估计,进行CMM面向任务的测量37 合肥工业大学博±研究生学位论文不确定度评定。本节将讨论如何在CMM面向测量任务的不确定度黑箱评定中应用MCM进行数据处理,给出具体思路和方法。根据MCM模拟仿真的思想,结合3.2.2节已建立的CMM面向任务的不确定度黑箱模型,可W推得方便应用MCM仿真的不确定度数学模型,形如;=yF++++U.44)么餐如脚^餐其中y—最终评定的测量结果。Y—测量结果的最佳估计值(如果有修正量,则为修正后的值)。S—测量机示值误差对测量结果的影响e;S—测量过程(测量重复性与测量复现性)对测量结果的影响。p一—被测工件不均性对测量结果的影响如。S—测量环境湿度变化对测量结果的影响丽。S—co邸各修正值对测量结果的影响之和,餐r取值化及《、>、如、&、?的分布类型及分布区间的确定与具体£&EW餐0/采用的测量方法有关。应用MCM的具体步骤如下:(1)根据采用的测量方法,由测量数据的平均值作为r值(如果有修正量,则为修正后的值);(2)根据采用的测量方法,并根据测量数据分析,确定Sy、、如、各不确定度来源的分布类型及分布区间;(3)根据馬、&>、;3、命,通过计算机如胃。W的分布类型及分布区间模拟产生随机数组来模拟、d、、《的取值,样本的容量为^^,^?£p如。。《?一56= ̄M越大越准确,般取为1〇10即可满足要求,这M100000里取样本容量,;'"(4)根据^上得到的}值和如个样本的馬、如、3、胃命〇战随机序列,代入测量不确定度数学模型式(3.44)中,求得M个的测量结果的样本值。y(5)测量结果y的最佳估计值为该M个样本的均值7;(6)测量结果;;的标准不确定度Ky为该M个样本的标准差;()(7)将得到的测量结果的M个样本值从小到大排序,如果给定包含概率为戶,测量结果的包含区间可估计为[>^,^/,,>,)^/,]。包含区间对称时,扩展不确)^定度可确定为38 第H章CMM面向任务的不确定度数学建模=迎也1二化迎牲。45)2此时包含因子可确定为A=u/"(3y.46)(y)()最终测量结果表示为=yY±U(3.47)在具体应用时,要注意结合实际采用的测量方法,根据实际的不确定度来源对仿真不确定度模型式(3.44)做相应调整。关于如何根据实际测量方法调整不确定度模型式(3.44),将在第四章W常规测量方法为例进行说明。"对于提出的采用量值特性不确定度分析法建立不确定度黑箱模型,并结合"MCMCMM面向一随机仿真与统计参数估计,进行任务的测量不确定度评定这评定方案的实际评定效果,则将在第六章,通过常规测量结合MCM评定方法对工件厚度的测量评定结果来进行说明。3.3虚拟坐标测量机评定CMM具有通用性和多功能性,但由于其本身的复杂性,要同时明确给出测量产品的不确定度十分困难。采用计算机基于统计学进行仿真来辅助评定不确定度"231°^1[,气德国联邦物理技术研究院是个实用方法(PTB)最早提出了虚拟坐标"测量机的概念。虚拟坐标测量机是虚拟现实技术与坐标测量技术相结合的必然。产物,是虚拟制造技术发展的需要3*3.1虚拟坐巧測量机的概念及发展现状""自虚拟坐标测量机提出W来,研究学者们对其有着多种理解,比如侧重于虚拟制造、虚掛测量或虚拟坐标实现,从利用虚拟坐标测量机评定测量不确定:度的角度来看,对其比较认同的理解可W归结为虚拟坐惊测量机是根据CMM误差建模一CM计,在已获取的个真实采样点集样本的基础上,通过M算机仿真模拟CMM几何误差和探测误差对采样点的影响,从而获得大样本的点集,对于所有点集样本,分别利用测量模型和不确定度模型计算出测量结果,再通过对其统计分析获得测量不确定度评定结果的一一种数据处理手段,是种开发出来的软件一包,是虚拟仪器的种。从虚拟坐标测量机采用测量模型来看,也属于透明箱评定应用。德国、美国、波兰、英国等研究机构和学者对虚拟坐标测量机展开了深入研一定成果一究并取得了。德国PTB提出了虚拟坐标测量机(VCMM)方法,开发了款商业应用的不确定度评估软件包VCMM,美国国家标准技术研究所(NIST)提39 合肥工业大学博±研究生学位论文一出了约束仿真(SBC)方法,开发了款商业应用的不确定度评估软件包PUNDIT。VCMM和PUNDIT都是MonteCailo仿真类型的软件包,即利用描述估计误差源变量的随机选择一,通过个描述CMM的动态模型传递这些误差源,都可W看作是所谓的虚拟CMM仿真,不同之处主要在于约束CMM参数状态的误差估计。一VCMM一个完全参数化的误差状叔而PUND依赖IT使用简化的性能指标,一。VCMM可在线应用CMM软种称为约束仿真的技术另外,,与件集成在起,一P6]仿真个实际测量的标定数据;而PUNDIT具有独立的接口,属于离线软件。英国布鲁内尔大学YangHu等开发了高级的虚拟坐标测量机AVCMMs,能够提供生动的图形显示和CMM操作的丰富仿真,并具有基于蒙特卡罗方法的不确定度评定功能一。在综合的虚掛环境中,用户可W脱离实际的CMM,实现某给定任2^11务的检测策略,实现虚拟测量,评定测量结果的不确定度。波兰克拉科夫工业ekJ一MCM大学坐标计量实验室的Sad.GasA.提出了^咕种虚拟坐标测量机模型PK,基于蒙持卡罗方法应用虚拟测量机模型来评定坐标测量不确定度,拟在不久的将来应用在工业环境中心1。我国对于虚拟测量机的研究侧重于虚拟制造、虚掛测量的角度,关于利用虚拟坐椅测量机评定测量不确定度的研究成果较少,仍有DW3[11]待加强。总体来看,目前应用虚拟坐标测量机技术评估测量不确定度的主要趋势有两一一种,种是基于VCMM方法,另种是基于泌C方法。VCMM方法需要建立全系统误差模型,需要测试程序来确定机器的全参数误差。对于CMM几何误差建模,先对测量空间进行网格划分,通过标准球板或孔板测量标定所有网格点的几何误差,再采巧插值方法获取非网格点对应的误差信息;对于探测误差,则利用一标准球标定获得,同样先对定分隔角度下的测头进行校验,再利用插值方法获取全角度下的探测误差信息。对实际测得点集,通过全系统误差模型取点仿真,如取样本数为M,则得到M组仿真样本点集,利用CMM测量软件求出被测特征参数,再附加考虑温度变化、工件偏差等影响因素,得到A/个综合测量结果,最后通过概率统计获得测量不确定度。SBC方法与VCMM方法最大的不同在于,认为某些误差因素实际上是限制在一定范围内的一,因此在定范围内应用MCM随一组虚拟机机选辉误差状态,实际上是创建了,较误差全参数集而言,更容易近似和验证;而且需要CMM状态的信息较少,可W离线应用。可见,基于VCMM方法开发虚掛坐标测量机评定测量不确定度需要用到标准件建立全系统误差模型,工作量大,成本高,更适用于计量或标准实验室应用。而对于一CMM测量评定般的而言,应用SBC方法开发虚拟坐标测量机实现测量不确定度评定更加方便、实用。因此,论文面向CMM尺寸测量评定,基于SBC约束仿真思想一,提出了种简单实用的虚拟坐标测量机评定方法SVCMM。40 =第章CMM刚向任务的不确定度数学建模3.3.2简化虚拟坐标测量机(SVCMM)评定3.3.2.1SVCMM评定原理SVCMM评定的原理为:t^SBC方法为指导思想,首先WCMM最大允许探测误差作为CMM探测误差随机仿真的约束条件,利用MCM随机抽样仿真,将探测误差的影响反映到实际测量点上,如取仿真样本数为将得到对实测点集代入探测误差影响的M个样本点集,利用对应测量任务和测量策略的测量模型,计算得到M个被测特征量;然后WCMM最大允许示值误差作为CMM几何误差随机仿真的约束条件,利用MCM随机抽样仿真,反映CMM几何误差对测量结果的影响;其次再附加考虑温度变化、工件形状偏差、由于测量人员不同而造成的测量复现性影响等因素,利用MCM随机仿真其对测量结果的影响最后;根据对应测量任务的测量不确定度模型计算得到M个合成测量结果,利用概率统计方法评估测量不确定度。3.3.2.2评定方法及过程SVCMM的评定程序如图3.1所示。巧/^T1r巧:y:::-V乂Statistics圍测重不确定度模型XrriI'=7+3_I民巧ort駭麵■心=;:;vl±L&圓MCM模拟麗…-…IIMCM模拟*!测重模型C‘i:.。_f^)四13。口’—…、];户1X巨运辞w^.心M组M組I31图.SVCMM评定程序Fi3.1TheevaluationrocedureofSVCMMgp41 合肥工业大学博±研究生学位论文具体评定方法和过程可描述为:(1)选择测量任务,针对具体测量任务,建立测量模型和不确定度模型。CMM面向具体尺寸测量任务的一般测量模型可表达为与采样点坐标有关的函数:=口y2口...口...a(3.48),乂,,,,,,12i")其中Y—通过测量模型计算得到的结果;X、、Zy测量点坐标;—测量模型中的可变参数A。具体测量任务不同,采用的拟合算法不同,所得到的测量模型即不相同。W前面章节中分析的CMM测量工件端面距离和测量孔径为例,坐标测量机测量工件端面距离的最小二乘测量模型为:227。+占+1CMM测量孔径的最小二乘测量模型为:^^b=D=ac2c+a+b/4g(,,)yj()坐标测量机面向尺寸测量的不确定度模型的一般形式可归结为:=S.+SSyY+++S(3.49)jgjfjjggj其中—根据不确定度模型合成得到的测量结果y;Y—通过测量模型计算得到的结果;S—测量过程温度变化对测量结果的影响r;S—测量机示值误差对测量结果的影响e;S—测量复现性对测量结果的影响脚;一S—被测工件不均性对测量结果的影响。主要体现为形状偏差对测〇sj量结果的影响。(2)根据测量模型,确定测量策略(这里主要指采样点数和采点分布),进一一行次完整的测量过程,获得实际的次测量循环的样本点集。(3)直接根据CMM验收或复检报告给出的最大允许探测误差馬,为安全起见,假设测量过程中探测误差影响服从均匀分布,即:8?UMPEiMPE(3.50)〇机rp’p)利用MCM计算机仿真得到M个样本的如fn0=1,2,...,M),模拟M个测量循环中探测误差的影响。42 第H章CMM面向任务的不确定度数学建模一(4)根据&W。和已获取的实际次测量循环样本点集中各采样点的方向余弦,将探测误差对点坐标测量的影响折算到X、J、zH轴方向,模拟M个测量循环加入仿真探测误差影响的新点集。一fxz&设某个实际采样点为,,,(y,)其对应方向余弦为〇,_/,则加入仿真探测)误差影响如后,获得的对应新点为。其中?=.X+X!;如脚[=+■<^。!■V夫£77'Z=.z+Sk。(3.51)DEn需要说明的是,CMM点测量实际上必然会受到由于测量速度、测量力造成的动态测量误差的影响,当采用CMM自动低速测量模式时,可W忽略其动态测量误差影响;否则需要附加考虑CMM动态测量误差的影响。(5)利用M个样本的新点集,根据相应算法,获取测量模型式(3.48)中所需的输入坐标和相关参数,代入计算,得到^1/个样本的测量模型计算结果1^并计算其均值F。(6)CMM几何误差影响的MCM仿真。直接根据CMM验收或复检报告给出的最大允许示值误差馬计算式巧7,算出CMM针对该尺寸测量的最大允许示值误差,为安全起见,假设测量过程中示值误差影响服从均匀分布,即:S?U-MPEMPE(3.52)臣(e,e)=5.lM)MCMa...M利用计算机仿真得到M个样本的<2,&,,,模拟个测量循环中示值误差的影响。(7)测量过程湿度变化影响令的MCM仿真。由于尺寸测量类型不同,温度变化对尺寸测量结果的影响&?的表示式稍有不同。如果测量任务为内尺寸测量,则温度变化对尺寸测量结果的影响表示为:''==--aSrSral^yAT(3.53)j^{如果测量任务为外尺寸测量:,则温度变化对尺寸测量结果的影响表示为'=-《=..■r喊)Ar(3.54)7外(切其中r—工件尺寸;—被测工件的热膨胀系数卸;—测量机光栅尺的热膨胀系数;‘'—AT测量过程实际湿度与标准20C的偏差。假设=rf;43 合肥工业大学巧±研究生学位论文'a ̄a-UAa+Aa,;jy{,y^^)?_a+aUC心^心"ifiwu’u'?Ar-ArAT。(3.55)W’)其中F—M个样本的测量模型计算结果的均值;a—被测工件的热膨胀系数*;—工件的热膨胀系数变化半宽Aa被测;^—a—测量机光栅尺的热膨胀系数";—测量机光栅尺的热膨胀系数变化半宽;‘Ar—20C测量过程湿度较的变化半宽。利用MCM计算机仿真得到M个样本的随奶a、Ar,根据测量尺寸;^=(3.53)3.54),即得到M个馬012...M)M或(,类型代入公式,,,模拟个测量循环中测量过程温度变化影响。(8)测量复现性影响的MCM仿真。根据经验获知测量复现性的最大影响为fl,w,假设服从均匀分布即《'^^rd(3.56)肋^rd)=利用MCM计算机仿真得到M个样本的如al2...M)M,,,,模拟个测量循环中测量复现性的影响。工件不均一一(9)性影响&W的MCM仿真。工件不均性影响主要反映为形状偏差或几何偏差的影响,如根据经验或者校准测量获知相关尺寸测量的最大形状偏差为Om/,假设服从均匀分布,即S?Q口(3.57)〇BJ〇gj,OW)’=利用MCM计算机仿真得到M个样本的(I12M)...,M个测量,,,^拟工件不均一循环中性的影响。(10)将M个样本的、如、馬〇、K,命,代入尺寸测量不确定度模型式(3.49),得到M个样本的乂。(11)由M个样本乂的概率统计分布得到测量不确定度评定结果。测量的标准不确定度为该M个样本的标准差;将M个样本值从小到大排序,如果给定包含概率为f,测量结果的包含区间可估计为U>。包含区间对称时,:]wW,Wum/2扩展不确定度可确定为:y+(i叫P批。=C/y(3.58)()此时包含因子可确定为k=>U/u(3.59)(y)(})44 第三章CMM面向任务的不确定度数学建模最终的测量结果表示为=±U60yY(3.)义33SVCMM评定特点根据W上分析,可W看出SVCMM评定具有W下特点:(1)任何特征量的测量都是源自对其测量点的测量,SVCMM评定技术正,因此适用于所有尺寸测量任务是从实际测量点出发进行仿真评定的;(2)采用MCM对误差量进行随机抽样仿真,切合误差影响的实际表现形式,具有合理性;一(3)对于任台CMM,在验收或复检报告中都会提供最大允许示值误差和最大允许探测误差怎指标,将其作为仿真约束条件,既合理,又方便P。获知,降低了虚拟坐标测量机应用难度,节约了成本,具有实用性(4)采用SVCMM技术开发的虚巧坐标测量机测量不确定度评估软件易于扩。展,可根据实际对测量结果具有影响的其他因素添加附加仿真项根据具体应用中与CMM自身测量软件的结合程度,可W实现在线或离线评定,应用灵活。总的来说,虚拟坐标测量机评定技术是虚掛技术与坐标测量技术相结合的产物,其实际意义在于通过预判测量结果,可有效地进行质量控制,为实际的产品设计、制造和质量控制提供服务,具有较好的应用前景。3.4本章小结依据国标提出的透明箱和黑箱评定概念,研究了CMM面向任务的测量不确定度建模方法,给出了具体的不确定度透明箱模型和黑箱模型,对新兴的虚拟坐一SVCMM。标测量机评定进行了探讨,提出了种实用的虚拟坐标测量机评定方法本章分析了基于测量模型的不确定度透明箱模型的适用性和局限性,重点研究了基于量值特性的不确定度黑箱模型在CMM面向任务不确定度评定中的应用。同时,系统研究了不确定度估计方法,比较GUM、MCM、SVCMMH种方法的适巧巧,提出采用量值特性不确定度分析法、不确定度黑箱模型、MCM随机仿真与统计参数估计的优化组合,进行CMM面向任务的测量不确定度评定,对科学合理评定测量不确定度具有重要作用。对于本章所研究的各种评定方法的应用效果,将在第六章中通过评定实例进行分析。45 合肥王业大学博±研究生学位论文第四章不同测量方法下的CMM尺寸测量不确定度评定ji如前所述,黑箱评定方法,直接从测量结果出发,y量值特性指标来考察测一量结果的不确定度,是种实用的评定方法,具有应用前景。但如何更好地实际。比如,在第H章中已提应用黑箱评定方法,仍有很多细节和技术问题有待讨论出了CMM面向任务的不确定度黑箱模型,在模型中,测量设备引入的不确定度分量如何确定,W及对测量结果如何进行修正,都关系到CMM的测量精度,值得深入探讨。。在实际应用中,如何获得测量结果与测量方法有关比如可W通过多次重复测量取均值作为测量结果,利用随机误差的抵偿性,减小测量过程中随机误差对测量结果的影响,在,用;可W利用代替法相同的测量条件下标准量代替被测量测量,用标准量校准值与测量值的差值来修正测量结果,可消除测得值中存在的固定不变的系统误差;可通过对访准件的测量评定来具体确定CMM本身的尺寸测量误差对测量结果进行修正。一采用同台H坐标测量机,进行相同的测量任务,测量方法不同,测量结果一不同。因此,本章对CMM的H种典型测量方法常规测量、替代测量和补偿一一。测量展开讨论,研究不同测量方法对CMM测量精度的影响最后,尝试将MCM应用于具体测量方法下的黑箱模型评定中,提出常规测量结合MCM评定方法的应用技术。4.1常规测量下的不确定度评定常规测量直接采用坐标测量机测得的数值或者在相同条件下多次重复测量的平均值作为测量结果的估计值。该方法步骤简单,相,无需额外修正较于单次简。单测量而言,可W提高测量精度4.1.1测量原理、方法、条件及程序(1)测量原理将ISO10360国际标准《坐标测量机的验收、检测和复检检测》中给定的坐标测量机检测已校准长度和形状能力的相关技术指标MPEE作为主要不确定度来一源,并对测量过程中影响测量结果的因素做进步的分析和检测,利用统计的方,通过大量反复试验来确定各种额外不确定度因素的影响形式和影响程度法,最后通过标准偏差量化表示列出各项不确定度来源,确定各不确定度分量对测量的影响,应用GUM方法合成和扩展,从而得到测量结果的扩展不确定度。(2)测量方法46 第四章不同测量方法下的CMM尺寸测里不确定度评定在符合坐标测量机规范操作的前提下,应用多次重复测量方法测量工件,多次测量的平均值作为测量结果的估计值。为了确定各种额外不确定度因素的影响一,进行必要的额外的复现性量值特性指标的检测。对于同类测量任务而言,如果短期内H坐标测量机的特征参数没有发生明显变化,也可W不进行测量复现。性的重新检测,而直接利用之前检测的结果(3)测量条件所需要的实验器材包括兰坐标测量机、装夹工具和湿度计。按照H坐标测量机操作规范和使用条件进行测量;1)提前数小4小时(大于时)打开温度调节设备,等待机房温度稳定到规定范围,做好坐标测量机启动/预热循环;2)根据测量任务选用合适的探针系统配置;3)对导轨及工作台面进行清洁,擦拭兰坐标测量机的探针针头和标准球;4)清洁待测工件,并将工件提前放置到测量环境中进行热平衡,5)应用H坐标测量机的温度补偿系统和测头补偿系统(如果可用),并对环。境条件,尤其是温度条件作详尽的记录6)在测量过程中,保障影响测量的环境条件,如温度条件、空气湿度和安装场地的震动等的允许限制符合规定。(4)测量程序1)重复多次测量工件就单次测量而言,具体的测量步骤包括工件的装夹和固紧、测头校准、工件坐标系的建立一、采样策略的拟定W及些坐栋测量化的参数设置等。在相同条件〇J下Il,对工件的待测参数,进行多次重复测量(建议至少1次测量,^便合理应用贝塞尔公式进行统计分析),并W多次测量的平均值作为测量结果的估计值。■2)检测复现性量值特性指标一由《台坐标测量机上完成同一个测量任务个测量者分别在同,每个测量者1对工件被测参量连续重复进行次测量,通过数据处理得到各自的被测参量的平均值。每个测量者均独立完成整个测量过程,包括装夹工件、选择工件的位置方向、测头配置、标定测头、拟定采样策略、建立工件坐标系、设置测量速度等,不同测量者在符合规范的前提下可W选揮不同的测量环境和时间一。但同个测量一者在进行重复性测量时,,,测量条件经确定不得改变并在短时间内连续进行重复测试。每个测量者的操作都必须符合坐标测量机的测量规范。测试数据可用表示=公,/表示不同的测量者,表示测量者进行重复测量的次数4,■/?=(12…巧.)。_/,,,247 合肥工业大学博±研究生学位论文4.1.2测量不确定度分析采用量值特性分析方法,确定测量过程中的主要不确定度来源主要体现在W下四个方面:(〇乐值误差示值误差主要是由H坐标测量机本身的机构误差引起的,也包括了光栅尺的刻划误差、探测系统误差W及测量软件引入的误差,集中反映了测量设备的系统误差。根据ISO10360标准规定,在坐标测量机的验收检验和复检检测时,都会对示值误差的影响进行评估,并W最大允许示值误差胃来量化表示。在常规测量中,C为了简化测量评定过程,不去具体量化长度测量误差补偿W及直径测量误差补偿对尺寸测量的影响,从最保险的角度考虑,直接利用MPE涵盖所有系统误差对于e测量的影响。测量不确定度建模时,用M表示测量机示值误差引起的测量不确定度。s(2)测量重复性测量结果重复性反映了在相同测量条件下一,同被测量的连续多次测量结果一致程度。重复性条件包括、相同的观测者、在相同的之间的:相同的测量程序iWt条件下使用相同的测量仪器、相同地点、在短时间内重复。可见,测量重复性对测量条件1^1及各种可能对测量结果产生影响的因素进行严格控制,重点反映测一量过程中随机效应对测量结果的影响,因此不容忽视,般都将其作为主要的不确定度来源考虑,评价方法相对成熟。。测量不确定度建模时,用表示测量重复巧引起的测量不滿定度(3)测量复现性测量结果复现性反映了在测量条件改变时一一,同被测量的测量结果之间的致性。改变条件可包括:测量原理、测量方法、观察者、测量仪器、参考测量标114[】准、地点、使用条件、时间。测量结果复现性与测量设备、测量方法、测量人员、测量环境都有关,是重要的误差来源,由,,但在W往的不确定度评定中于对其认识不够充分往往忽视了复现性对测量结果的影响,较少将其作为主要不确定度来源考虑。但实际上,测量复现性与测量任务密切相关,,对测量结果的影响非常显著合理评价测量任务的复现性对于坐标测量的不确定度评定至关重要。测量不确定度建模时,用表示测量复现性引起的测量不确定度。(4)温度因素在测量环境诸多误差因素中,主要是温度因素对尺寸测量结果影响较大,因为湿度变化将同时引起工件尺寸和坐标测量机光栅尺尺寸的变化,虽然坐标测量48 第四章不同测里方法下的CMM尺寸测量不确定度评定机通常都会应用湿度补偿技术减小湿度误差的影响,但温度补偿盾的残余误差仍然不可忽略。测量不确定度建模时,用W表示温度补偿引起的测量不确定度。fwp上述未列举的影响因素并非不存在。如果确定还有其它不确定度来源,且对测量结果影响显著,则必须进行额外的分析处理。4.13测量不确定度模型(0不确定度分量的计算1)CMM示值误差引起的不确定度分量Mg根据CMM的验收复检报告,可W査知CMM在规定操作环境下的最大示值误差其大小与实际测量尺寸有关,为安全起见,假设测量机示值误差服从矩P84=1形分布考虑,取包含因子VJ,则可得由于示值误差的影响所引入的不确定度分量:=?£MPe(4.1)JS2)测量重复性引起的不确定度分量测量结果重复性可W用测量结果的分散性定量地表示。’可任取第Z个测量人员的多次重复测量数据考察测量重复性,假设测试数据服从正态分布,由贝塞尔公式,单次测量的标准差为:=主-(4如心乂户.^')之立辜"J其中,乂表示该测量人员次重复测量的算术平均值。如果W作为最终测量结果的最佳估计值,则由测量重复性引入的不确定度y,分量为:-=如張=爲拆万(4.3)3)测量复现性引起的不确定度分量My测量结果复现性可用不同测量条件下所得测量结果的分散性定量地表示。假设所有y服从正态分布,测量复现性引起的不确定度分量用其算术平均值J,的标准差来描述,由贝塞尔公式得:==-(4".4)W娘)'占4)温度补偿引起的不确定度分量Ufgmp测量时应用CMM湿度补偿系统:,根据其补偿原理,建立温度补偿误差模型49 合肥工业大学博±研究生学位论文'--^=..。王720^?(4.5)()(^)其中,Z表示被测工件的尺寸,了表示测量时的实际环境温度,aw表示工件的热膨胀系数,表示坐标测量机光栅尺的热膨胀系数。根据GUM,由此模型一可W进步建立温度补偿引起的测量不确定度模型:=-"+?"+?心+-"誓叫警坤)1(〔縣)〔慾M记为:"=+U4+U(.6)Temp如Lc巧、c巧2其中,《1表示被测工件尺寸不准确引起的不确定度分量,1/^表示测量时环境温度变化引起的不确定度分量,表示被测工件热膨胀系数变化引起的不确定度分量,M表示CMM标尺热膨胀凉数变化引起的不确定度分量。各项不确定度分ew,量分析如下:(a)被测工件尺寸不准确引起的不确定度分量-?=.-uLr20ccuL(47a.)^{)()(^^y{)(b)测量时环境温度变化引起的不确定度分量若测量时实际环境湿度变化极限为±Ar,按矩形分布,^度变化的不确定度:=ATuTyf3{)/则温度变化引起的不确定度分量为:-=uT=L-aa-AT%^{){^J/S(4.8)dT(C)被测工件热膨胀系数变化引起的不确定度分量由于制造工艺及加工过程中各种因素的影响,工件的热膨胀系数也会随温度变化发生变化。设工件的热膨胀系数变化在±么》^,按矩形分布,工件热膨胀系数变化的不确定度;ua=AaVs(fy)^/则工件热膨胀系数变化引起的不确定度为:-"=.w〇=..AaZr20/^(4.9)cm(V)()vA|^(d)CMM标尺热膨胀系数变化引起的不确定度分量同理,若光栅尺的热膨胀系数变化在±Ao:m,按矩形分布,则坐标测量机光栅尺的热膨胀系数变化引起的不确定度分量为:50 第四章不同测里方法下的CMM尺寸测畳不确定度评定=-Uua=L-TlQha(4c^.10),^^{^){\JS-5U一可W忽)可W看出,在四项不确定度分量中,的影响很小(般小于10,£略不计。因此:,最终温度补偿引起的测量不确定度为=+"U靴+UTE(4.11)Temp如TIc2(2)合成标准不确定度和扩展不确定度评定根据上述分析计算,将各不确定度分量汇总,列出常规测量法的不确定度概4.1所示。算表,如表表4.1常规测虽的不确定度概算Tab4.1Thetitbudttilmtunceraneofconvenonaeasuremenyg标准不确定度标准不确定度不确定度分量来源(mm)U示值误差MPE术ee/"巧测量重复性^£55""测量复现性"-ivi台^^"Tem温度补偿+^+^pCTE\CTE21[假设各不确定度分量相互独立,则测量结果的合成标准不确定度为叫2222-="+?+M+M(4"w.12)C^占巧r哪根据给定的置信概率A取包含因子知可得扩展不确定度U=kxu(4.13),那么,最终测量结果应表示为L=±U(4.14)y^4.2替代测量下的不确定度评定替代测量是为修正坐标测量机系统误差而对被测工件和已校准工件都进行测一レ量的种检测手段,利用替代测量可ッ提高测量精度。51 合肥工业大学博±研究生学位论文4.2.1測呈原理、方法、条件及程序(1)测量原理替代测量是在尽量保证测量条件不变的情况下一,用个尺寸及形状与实际工件相似的已校准工件去替代未知被测工件的测量,将坐标测量机的示值与校准值比较,来确定实际被测工件的测量结果应附加的修正量,并W修正后的测量结果PW作为被测参数的估计值,将测量所得结果与已校准工件校准值的差值用于测量不确定度评定。(2)测量方法用对一个或多个已校准工件的测量代替对被测工件的测量,是在与实际测量一相同的条件下用相同方法完成的系列测量.。。其测量过程如图41所示—、己校輸安巧*I巧!I己校准工件的測量XB._風-^^巧巧紅削彼装f巧i娜工件的测畳J图4.1替代测量过程Fig4.1Theprocedureofsubstitutionmeasurement(3)测量条件所需要的实验器材包括兰坐标测量机、已校准的工件、装夹工具和温度计。已校准的工件用于替代测量的标准工件,该工件应与实际被测工件在尺寸、形状等特征上尽量近似。同4丄1所述,按照H坐标测量机操作规范和使用条件进行测量。(4)测量程序1)标准工件的校准选择与实际待测工件相似的工件作为标准工件,将该工件送到计量校准机构或第兰方检测实验室进行检测,生成校准证书。2)替代测量对己校准工件和被测工件进行多次测量循环一。个完整的测量循环包括:已工件的安装、己校准工件的测量、实际工件的安装、实际工件的测量校准,如图4一。.1所示必须保证在同个测量循环中,实际工件和已校准工件的测量条件是完52 第四章不同测量方法下的CMM尺寸测量不确定度评定一致的全,包括装夹、工件的位置与方向、测头系统配置、采样策略、测量速度等,W及测量环境条件。被测工件的位置和方向可W在不确定度评估测量所覆盖的范围内自由选取。在不同条件下(如不同检测细节、不同测量者、不同热条件等),进行多次替代测量循环,记录已校准工件与实际工件测量值之差。为了不确定度评估,需要获得足够数量的样本,即至少完成10次测量循环和对己校准工件进行至少20次测量一。也就是说,如果每个循环只测量次已校准工件,则至少需进行20次测量循环。另外,为了保证测量数据的可靠性,也可对测量循环进行具体设计一工。例如在个测量循环中,分别对已校准件和被测工件进行重复多次测量,也可W设计为在被测工件测量前后分别对已校准工件进行测量,最后根据测量循环中已校准工件和被测工件重复测量的平均值进行测量不确定度评定。W进行20次测量循环为例,将实验数据列入表4.2。表4.2替代测量的实验数据mm()Tab4.2Themeasurementdatainsubstitutionmeasurement(mm)测量循环12...i...20' ̄己校准件;;r关■■■X1’’’‘(单次测量值或多次测量的平均值)被测件.,,,■■■?y??‘(单次测量值或多次测量的平均值)‘=其中,/表示某次测量循环,zl2.X表示每个测量循环中测量己校,,|准工件得到的CMM示值;表示每个测量循环中测量被测工件得到的CMM示值。4.2.2测量不确定度分析采用量值特性分析方法,可知替代测量法主要考虑W下H类不确定度来源:1)已校准工件的标准不确定度此项不确定度来自于校准机构对作为标准的送检工件的测量。根据校准机构提供的校准证书,通过B类评价方法进行评定。测量不确定度建模时,用M表示已校准工件的标准不确定度。m,2)测量过程的祿准不确定度此项不确定度分量考虑了坐标测量过程中的一切随机误差和变化的系统误差,包括坐标测量机的几何误差、测量重复性,探测系统的系统误差和随机误差,由测量策略和操作过程引起的误差,及测量条件引起的误差等。其影响可根据GUM中的A类评价方法进行评定。测量不确定度建模时,用K表示测量过程(重复性)的标准不确定度。p53 合肥工业大学博±研究生学位论文3)实际工件与已校准王件的差异引起的不确定度已校准的工件通常是实际工件的其中一个,它与其他待测实际工件存在的差。异,会影响测量不确定度例如对于批量生产的工件,与选作标准的工件相比,其他工件与其在材料及表面特性上可能存在的差异,将会引起形状误差、热膨胀系数、粗糖度、弹性等参数的变化,这些因素都会影响测量不确定度。测量不确定度建模时,用IV表示彼测工件与已校准工件的差异引起的标准不确定度。4.23测量不确定度模型(1)不确定度分量的计算1)己校准工件的标准不确定度在校准证书中,测量结果由两部分构成:被测参数的估计值,估计值的扩展不确定度,通常表示为y±t/的形式。根据工件校准值的扩展不确定度Um/的对应的置信概率P和包含因子A,可计算工件校准值的标准不确定度K为:m,U=kU(4.1^cal〇J2)测量过程的标准不确定度Kp根据表4.2W及已校准工件校准证书中提供的校准值,可得到已校准工件测量时校准值与坐标测量机的示值之差值A:,么(4.16),如果用y,表示每个测量循环过程所得到的己经修正的被测王件测量结果;表示所有已修正的被测工件测量结果的平均值。则有:*=+A乂乂<=(4.17)^=W=iI11测量过程的标准不确定度M可由乂的实验标准偏差表示,由贝塞尔公式计算p得到:"=万(4.18)P店凉3)被测工件与已校准工件的差异引起的标准不确定度IV一般来说,实际工件与已校准工件的差异主要表现在四个方面:形状误差,热膨胀系数,粗権度,弹性。当这几个不确定度因素对测量结果的不确定度影响显著到无法忽略时,应根据具体情况,采用GUM的A类或B类方法,分别评估54 第四章不同测里方法下的CMM尺寸测里不确定度评定其不确定度贡献。实际测量中,对于测量结果的不确定度最为明显的因素通常是工件热膨胀系数的差异,其评价方法如下:-=-IV王r20M(4.19)()。式中,r表示测量过程中的环境温度;K表示工件热膨胀系数的标准不确定度,。i表示被测工件的尺寸。(2)合成标准不确定度和扩展不确定度评定根据上述分析与计算,将各不确定度分量汇总,可列出不确定度概算表,如表4.3所示。表4.3替代测量的不确定度概算Tab4.3Theuncertaintybudgetofsubstitutionmeasurement不确定度不确定度来源标准不确定度(mm)工件校准值的不,Urr,w作确定度 ̄ ̄测量过程引入的1告"I(^P不确定度:^庐福实际工件与已校-工件的差异引i..IV准r2(TcM()。入的不确定度假设W上各不确定度分量相互独立,那么合成标准不确定度为"=+u(4.20)。^心j/根据给定的置信概率A确定包含因子t,可得扩展不确定度为王i玉U=xk+U+U(4.21)Wp—术被测工件修正后的测量结果估计值为=y<4.22)〇〇rry则最终测量结果应表示为L==±U±U(4.23)y^?y55 合肥工业大学博±研究生学位论文4.3补偿测量下的不确定度评定一般可W分为H种类型:、根据经典误差理论,测量中的误差粗大误差随化,粗大误差主要由测量失误引起误差和系统误差。其中,采取相应措施可M完全!?误差由各类微小的随机效应引起防止和消除;随机,具有抵偿性,它造成的不确定度影响可W通过重复性条件下多次测量的方法来减小:系统误差由不变或规律一、变化的因素引起,具有定的潜伏性,系统误差的发现减小和消除是误差理论w"3[,的重要课题。在大多数情况下,坐标测量中最主要的测量不确定度正是来源于未知的系统误差。送类误差不仅难W被发现,其大小和变化规律也很难掌握。补偿测量的思想是要对未知系统误差进行一定的补偿来提高测量精度。4.3.1测畳原理、方法、条件及程序(1)测量原理一"’’补偿测量是改变测量条件到定捏度,使测量具有足够高的自由度,将测量一部分未知系统误差随机化过程中的,减小和消除这类系统误差的影响,;并且W不同条件下多次测量的平均值作为测得值,对于无法抵消的系统误差,如长度测量的示值误差和测头校准的直径补偿误差,通过对长度标准量和直径标准量的检测得到相关信息,利用该信息对测量结果进行修正,如果无法修正,则将其作一项附加的不确定度为。另外,还需考虑其他无法随机化的误差因素对测量结果的影响,如温度变化等。最后对各不确定度分量应用GUM方法合成和扩展,从而。该原理基于下述假设;对于任何类型的几何特征得到测量结果的扩展不确定度,存在足够多的检测细节因素(主要是工件的方向和采样策略),使得坐标测量机的大部分误差和不确定度影响是相互独立的。相比于单次测量或简单重复测量,本方法能有效减小被测特征量的测量不确定度。(2)测量方法在符合坐标测量机规范操作的前提下"被测,对被测工件进行多次测量,变化"""工件在测量机上的方向及测点分布两个测量条件,所有测得值的平均值作为测量结果的估计值。然后通过对长度实物标准器和直径实物标准器分别进行多次测量,获取长度测量的示值误差和测头校准的直径补偿误差及其相关信息,W便对测量结果进行修正或者作为附加不确定度分量考虑(无法修正时)。(3)测量条件所需要的实验器材除了常规的H坐标测量机、装夹工具和温度计外,还包括长度实物标准器和直径实物标准器。长度实物标准器可选用标准量规、步距规或球杆等,其标称长度值最好与被测工件几何特征的尺寸相仿,或稍大。长度标准器在使用前应经过校准。直径实一个內直径实物标准器一物标准器包括(如标准环规)和个外直径实物标准器(如56 第四章不同测量方法下的Cl做尺寸测量不确定度评定标准球、标准塞规)。直径标准器在使用前应经过校准。同4丄1所述,按照H坐标测量机操作规范和使用条件进行测量。(4)测量程序1)工件的测量=在W个方向上对工件进行测量。对于维尺寸测量,建议至少选取4个方向,,所选择的被测工件放置方向应有利于得到最佳的测量条件。若有需要则选不同探一王件进行次测量针。在每个方向上,所用探针针头均独立进行标定,对,(建议A含5),每次测量的采样点分布各不相同,但总测点数相同,且测点在工件表一XW面的覆盖程度保持致。这样,总共将对被测工件进行至少(A)次测量,并2一工件、且每次测量都应该是相互独立的,都是个完整的测量循环过程,包括装夹标定测头、建立工件坐标系、拟定采样策略、设置测量速度(低速)等过程。从经济角度考虑,,在测量中,对于被测工件的放置方向可选用4个基本方向°一X即个自然放置方向W及绕测量机、Y、ZH个机器坐标轴分别旋转90的方向。520次独立测量在每个方向上,检测种不同测点分布,即共计,将测量数据列成4。表格,如表4.所示表4.4王件的测量数据Tab4.4Themeasurementdataoftheworkpiece====序号方向yi方向72方向y3方向y4?口"13M=循环,!yyyy-22232124循环=,2yyyy3132巧34=.mi3y^^y-值4344循环=4,yyySl巧=5yy一==其中,表示测量方向,i2...n(取/I4);/表示同测量方向上进y,,,_/2,6=12=5);行的测量...表示每次测得的实验数据。,/,,(取;,巧巧>假如测点的数量及位置是己规定的及在测量报告书中明确注明,那么测量时。将不改变测点的分布,而结果仅对此测点分布的测量有效2)长度实物标准器的测量在工件测量相同的测量空间内,从H个大致互相垂直的方向,对长度实物标准器进行测量一,般选取测量方向与X、Y、ZH个机器坐标轴相互平行,测量线57. 合化工业大学博±研究生学位论文应大致通过测量空间的中必。每个方向重复测量的次数不少于3次,每次测量都应是完整的测量过程,包括装夹工件、标定测头、建立工件坐标系、拟定采样策略、设置测量速度(低速)等过程。在每个方向对长度实物标准器测量时,应用H种不同的探针,探针的方向及长度应当和工件测量时所用类似。=9用n表示所得到的相互独立的测量结果个数,则至少n。记录测量数据,,,列成表格.。,如表45所示4表.5长度标准量的测量数据Tab4.5Themeasurementdataofthelenthstandardg序号位置1测量位置2测量位置3测量第1次测量与LL*i第2次测量LiLsL、第3次测量LL,bU需要注意的是,为了使测量值不受探测误差的影响,最好选用步距规、孔棒或球棒作为长度标准器一端成。如果不具备这样的标准器,可W用短量块组合在为一个单向标准长度,W与机器X轴平行方向测量为例,如图4.2所示组合,平一个小量块板是,组合表面取多个测量点,测点对称分布保证所测结果为中屯距离。?-+I<L?图4.2量块与平板的组合Fi4.2Thecombinationofblockaugeandtabletgg另外,只要能够保证H坐标测量机的特征参数没有发生变化,那么在测量新的工件时,不需要再重新对长度实物标准器进行检测。在工件测量结果的计算和不确定度的评定中,可W直接应用之前得到的相关长度标准的测量数据。3)直径实物标准器的测量在工件测量相同的测量空间内一一,至少对个内直径和个外直径的实物惊准器进行测量,建议采用坐标测量机测头校准时推荐的采样策略,即采样点的数量为25个,均匀分布在标准器的被测表面上。58 第四章不同测里方法下的CMM尺寸测量不确定度评定测量时应用H种不同的与工件测量时所用类似的探针。每种测头系统配置下至少测量3次,每次测量相互独立。用表示所得到的相互独立的测量结果个数,=则将至少得到内直径和外直径杨准器测量的各9个测量数据。将测量数据列成表格.6,如表4和表4.7所示。表4.6内直径标准器的测量数据Tab4.6Themeasurementdataoftheinner出ameterstandard序号测头配置1测头配置2测头配置3第1次测量公lint公4int〇7int第2次測置AD凸imsiatSint第3次测量公3DintAimgint表4.7外直径标准器的测量数据Tab4.7Themeasurementdataof化eexternal出ameterstandard序号测头配置1测头配置2测头巧置3第1次测量〇D加*功第2次测量〇5幼第3次测量〇3如D&WDgw同样,只要能够保证兰坐标测量机的特征参数没有发生变化,那么在测量新。的工件时,不需要再重新对直径实物标准器进行检测在工件测量结果的计算和-不确定度的评定中,可W直接应用之前得到的相关直径标准的测量数据。43.2测量不确定度分析对于尺寸测量,补偿测量策略的不确定度评定主要考虑W下5类不确定度分量:(1)测量重复性引起的测量不确定度此项不确定度分量描述了测量过程中随机误差的影响,包括坐标测量机的重复性、采样策略、工件表面的形状和粗糖度、工件表面的污物,W及装夹找正等因素造成的影响。测量不确定度建模时,用K表示测量重复性引起的测量不确定度。w(2)测量复现性引起的测量不确定度此项不确定度分量描述了坐标测量机部分系统误差的影响。除了考虑测量机59 合肥王业大学博±研究生学位论文几何误差在空间的各向异性、测量时测点分布不同、被测工件表面与形状不理想的影响外,还考虑了相对探针位置、测球的方向特性、测球直径不确定度、工件对齐等因素的影响。测量不确定度建模时,用表示测量复现性引起的测量不确定度。(3)长度测量平均误差与长度测量误差补偿引起的测量不确定度由于光栅尺的刻度系数误差,王坐标测量机在不同测量空间内具有不同的尺寸测量误差。补偿测量策略将通过对长度标准器的标定,分离出工件测量所在测量空间内的平均长度测量误差,并加W修正。长度测量误差补偿引起的测量不确定度描述了长度补偿后残余误差的影响。测量不确定度建模时,用旬表示长度测量误差值,用W表示长度测量误差wW补偿引起的测量不确定度。(4)测球直径误差与测球直径误差补偿引起的测量不确定度坐标测量机在应用前,都要进行测头校验,W得到测球的补偿直径。坐标测量机测量软件会在测量工件的内部尺寸时,减去测球直径;而测量工件的外部尺寸时,则加上测球直径。但由于标定王具的磨损、测头校验过程的随机因素,W,测球补偿直径是存在误差的及测杆的力变形等各种因素的影响,而且该项误差并不能通过在多个方向上的多次测量被充分随机化。补偿测量策略将通过对内直径和外直径标准器的检测,标定出工件测量所在测量空间内的平均测球直径误差。当王件的待测参数是纯粹的内部持征或外部特征时,此项误差可直接修正;当工件的待测参数同时包含内部特征和外部特征时,此项误差无法修正一,此时可将该误差的绝对值作为项附加的不确定度贡献量。测球直径误差补偿引起的测量不确定度描述了测球直径误差补偿后残余误差的影响。测量不确定度建模时,用表示测球直径误差,用M表示测球直径误差补偿。引起的测量不确定度。(5)温度补偿引起的测量不确定度温度因素对尺寸测量结果影响较大,虽然坐标测量机通常都会应用温度补偿技术减小湿度误差的影响,但温度补偿后的残余误差仍然不可忽略。此项不确定度同时考虑了对工件测量的温度补偿和对标准器测量的温度补偿。测量不确定度建模时,用K,g表示温度补偿引起的测量不确定度。w对W上五项不确定度分量进行评定,并按照符合GUM原理的方法进行合成和。扩展,可得总的标准测量不确定度和扩展不确定度4.3.3测呈不确定度模型(1)测量不确定度分量的计算60 第四章不同测里方法下的CMM尺寸测里不确定度评定1)测量重复性引起的测量不确定度Kw根据表4.4的测量数据,首先由贝塞尔公式计算各个方向上单次测量的实验标jS为准差;-1=)1W,如(4.24)=丄>扣?1一=其中,12./表示同,y表示测量方向个数y,,测量方向上循环测量/=次数,12...表示每次测得的实验数据示每个方向上多次测量,,,巧;;表的平均值。__:那么,可得各方向上算术平均值的标准差可为综合/I个方向上的测试结果,W算术平均值的标准差可的均方根作为测量重,复性引起的不确定度分量,即"=雨=wff巧'巧J=手i2j2户1VV巧V(4.25)-.其自由度为1。(巧)2)测量复现性引起的测量不确定度1/^根据每个方向上多次测量的平均值可W计算得到(Axn,)次所有测量值的总平均值为:=丄,!>"12>(4.26)W总平均值y的标准差来表述由于测量机几何误差在空间的各向异性、测量时测点分布不同及被测工件表面与形状的不理想等引起的测量不确定度W;gM吉潭品4(.27)《-其自由度为。(2C3)长度测量误差值馬与长度测量误差补偿引起的测量不确定度根据表4.5中对长度标准量的测量结果,可由下式计算相应测量空间内长度测61 合肥工业大学博±研究生学位论文量的平均误差馬为:E=_-l芝(AAatod)巧='13(4.28)=其中,/表12...《示对长度标准器测量结果的序号,/,,,;表示长度实物3标准器的校准值。由贝塞尔公式计算测量平均值的标准差为:(4.29)?-?-1/?台3(3)3Jy査校准证书,可得长度实物标准器的扩展校准不确定度c/,若取包含因子^k=2《,则标准校准不确定度为:^*?/"=U2(4.30)catorfcatorf/则长度测量误差补偿引起的测量不确定度M为;wW—"'^(4.31)coirLmeass^td"-其自由度为1。(3)4)测球直径误差£。与测球直径误差补偿引起的测量不确定度《0根据表4.6和表4.7中对直径实物标准器的测量结果,可计算内直径测量的测球直径平均误差和外直径测量的测球直径平均误差分别为:足=丄-/^(4诚加,|;似?,?)巧=4'1E=-D4iAw(.33)〇e:aAcaJ)^=411式中,Dm/W、分别表示内、外直径标准器的校准值。由贝塞尔公式计算,内、外直径测量结果平均值的标准差和《???/>ex?分别为:'= ̄^''=measD-(4.34)I7imint^A芝化int)f"-]l""==i,V44ll41JV62 第四章不同测量方法下的CMM尺寸測里不确定度评定 ̄ ̄'公4^=^(.35)measDext城iexJ完^(r)/T-""1"=台'4?V4乂4'</査校准证书,可得内、外直径标准器的扩展校准不确定度,k=通常取包含因子2,则内、外直径标准器的标准校准不确定度分别为:"=U2(4.36)ca瓜抽如/ ̄(4^.37)D^caexcaexltlDt根据测量实际,可分W下3种情况确定测球直径误差£与测球直径误差补偿。引起的测量不确定度a(如果被测参数仅为内部测量,那么测球直径误差值为)=£。£邮(4.38)1测球直径误差补偿的引起的测量不确定度为__'+""+"u(4.39)。^measstdcalstdmazsOintL〇int《一统表示直径实物标准器测量重复性标准偏差,式中,用;?^一表示直径实物标准器的标准校准不确定度。(b)如果被测参数仅为外部测量,那么测球直径误差值为=E〇E蜘(4.40)测球直径误差补偿的引起的测量不确定度为="^^="^^(4.41)measscastmeasexcalext^tdld\IDlD若非W上两种情况,即测量参数同时包含内部特征和外部特征,那么将W(句内、外直径误差的绝对值较大值作为测球直径误差,即=max£五(4.42)(〇h,旬t〇?<|I)I|相应地,将W直径误差值较大者的不确定度作为测球直径误差补偿的测量不确定度。对于W上H种情况,测球直径误差补偿引起的测量不确定度M0的自由度均为。-1。(4)5)温度补偿引起的测量不确定度K,gw温度因素同时影响到工件的测量与长度标准器的测量。根据H坐标测量机温63 合肥王业大学博±研究生学位论文;度补偿系统的原理,建立如下误差模型A.工件测量的湿度补偿工件测量湿度补偿误差模型可表示为:—A=?*Z/L,T2〇4.43){(f^jy))式中,2表示工件的长度,而表示王件测量时的环境湿度,a表示工件的^y热膨胀系数,表示坐标测量机光栅尺的热膨胀系数。由上述误差模型,分析影响工件测量温度补偿的主要不确定度分量。(a)温度变化引起不确定度±A7假设测量环境温度变化的极限为,按矩形分布,则;U而=脚肿)那么:,温度变化引起的不确定度分量为-=.c.LCaAT朵(4.44)w[ww)Jb工件热膨胀系数变化引起的不确定度()假设王件的热膨胀系数变化在±么《^,按矩形分布,工件热膨胀系数变化的不确定度:则工件热膨胀系数变化引起的不确定度为;--?r2〇-AorV3(4.45)2(,y)^/似坐标测量机的光栅尺热膨胀系数的不确定度1/3同理,若光栅尺的热膨胀系数变化在±A?m,按矩形分布,则坐标测量机光栅尺的热膨胀系数变化引起的不确定度分量为:=—.20.的(4.46)(而)综上;,工件测量时温度补偿的不确定度为U=+,em?2+?3(4.47)pWB.长度实物标准器测量的温度补偿长度实物标准器测量温度补偿误差模型可表示为;--=王.20."?(4.48)W的)(w)类似地,可计算长度标准器测量时温度补偿的不确定度K。,g,ipW将W上两项不确定度分量进行合成,可得温度补偿引起的测量不确定度U,gw64 第四章不同测量方法下的CMM尺寸测虽不确定度评定为:U=+"(4LLN.49),哪如pwp其自由度为无穷大。(2)合成标准不确定度和扩展不确定度评定根据上述分析与计算.8,将各项不确定度分量汇总,列出不确定度概算如表4所示。表4.8补偿测量法的不确定度概算Tab4.8Theuncertaintybudetofcomensationmeasurementgp有效符号不确定度来源碌准不确定度(mm)h自由度-"s.""1。P基f(,):性古枉p""-1抑反2误誤响点拓吉畜长度测量误差ir^I巧corrL3补偿V-测球直径误差王IW"—1凸?补偿湿度2TMj带femp因素小啤W上各项不确定度分量相互独立为;,所!^合成标准不确定度w。22222=-(4M"+"+M+?+".50)e呼ge〇?>"£。啤/由下式,计算合成标准不确定度?的自由度。="4V//E^A0(.51)/片1f按给定的置信概率P,A,可,査分布表得到包含因子得扩展不确定度2;王2=■+(4Uk+U+u+U.。)"pmw〇,,心心啤那么:,最终测量结果可根据^下不同情况给出!1)当工件的待测参数是纯粹的内部特征或外部特征时,长度测量平均误差和测球直径误差均可被修正,测量结果表示为:22-王=怎±A.++"?+?+"(4.53)b。)"/""/。V心啤65 合肥工业大学博±研究生学位论文2)当工件的待测参数不需要修正测球直径误差时,只修正长度测量平均误差,测量结果表示为:22!王=-±k.(4LEu牛U+"牛u.54)(yl)yj巧巧。""L,,w4.4常规测量结合MCM的不确定度评定为了探索提高CMM测量精度的测量不确定度评定新方法,本节将尝试在常规测量评定中应用MCM。,给出具体应用技术首先根据4.1节.常规测量中的不确定度来源,对第3章3.24节提出的测量不确定度模型(3.44)做相应调整得到常规测量结合MCM的不确定度数学模型:=《dyy++++(4.55)£AjPjEMP其中y—最终评定的测量结果。y—某个测量人员一次测量循环的测量结果平均值。S—测量机示值误差对测量结果的影响。eS—测量重复性对测量结果的影响w。S—测量复现性对测量结果的影响曲。S—测量环境温度变化对测量结果的影响丽。应用MCM的具体步骤如下:一(1)W某个测量人员次测量循环的测量结果平均值作为r值;(2)根据测量数据分析,确定餐、式、S、各不确定度来源的分布^w类型及分布区间;根据在^、Sw、3胃的分布类型及分布区间,通过计算机模拟产生随机数组来模拟Sf、如■、如3胃的取值,样本的容量为M,M越一56= ̄M大越准确,般取为1〇10即可满足要求100000,这里取样本容量,;、各误差影响^^?>、、3的分布类型及分布区间可参考常规测量中的^&Ajd胃分析方法确定。1)示值误差的MCM仿真根据CMM的验收复检报告,可W査知CMM在规定操作环境下的最大允许示值误差,假设S?U-MPEMPE(4.56),e(ee)利用MCM计算机仿真即得到模拟示值误差影响的M个么样本。2)测量重复性误差的MCM仿真根据公式(4.2),假没66 第四章不同测量方法下的CMM尺寸测量不确定度评定?-^^2j(4.57)y((,如如,0)利用MCM计算机仿真即得到模拟测量重复性误差影响的M个样本。3)测量复现性误差的MCM巧真根据公式(4.4),假设?S-2s2J4^/风(.58)胁(例)利用MCM计算机仿真即得到模拟测量重复性误差影响的M个样本。4)温度变化误差的MCM仿真&EW如果测量任务为内尺寸测量,则温度变化对尺寸测量结果的影响表示为:'-S=S=r..AraMa(4.59)r^(;y):如果测量任务为外尺寸测量,则温度变化对尺寸测量结果的影响表示为-???(4.60)(w)其中r—工件尺寸;—如被测工件的实际热膨胀系数;’a—测量化光栅尺的实际热膨胀系数M;’—c的Ar测量过程实际温度与标准2〇偏差。假设r=f;?-么分aC/a+AC占(w,y;供)?aTm+么;)?Ar_ArArc/。(4.6i)(,)其中f—M个样本的测量模型计算结果的均值K;a—被测工件的热膨胀系数w;Aa—被测工件的热膨胀系数变化半宽y;a—"测量机光栅尺的热膨胀系数;Aa—^测量机光栅尺的热膨胀系数变化半宽;‘AT—20C的变化半宽测量过程湿度较。利用MCM计算机仿真得到^个样本的随机Ar,根据测量尺寸类型代入公式(4.巧)或(4.饥),即得到模拟测量过程温度变化误差影响的M个5样本。胃^'(3)根据^上得到的]值和^1/个样本的4£、&JP、&JO、&。^随机序列,代67 合肥工业大学博±研究生学位论文入测量不确定度数学模型公式(4.55)中,求得M个的测量结果y的样本值。(4)测量结果y的最佳估计值为该M个样本的均值7;(5)测量结果y的标准不确定度K为该M个样本的标准差;(y)(6)将得到的测量结果y的M个样本值从小到大排序,如果给定包含概率为P,测量结果的包含区间可估计为山1_,*^。,>^,^。]。包含区间对称时,扩展不确())定度可确定为=迎生气坠也^(4.62)此时包含因子可确定为k=U/u(4(y(y).63))最终测量结果表示为=±UyY(4.64)4.5本章小结本章基于前两章的不确定度理论与方法,研究了CMMH种典型尺寸测量方案的不确定度评定,给出了每种方案的测量原理、测量方法、测量条件及测量程序,进行测量不确定度分析,建立测量不确定度模型,给出具体评定流程。通过评定过程可见各测量方法适用性不同,测量方法与CMM测量精度密切相关,具。最后体将在第六章通过实例分析对其进行验证和总结,给出了采用量值特性不确定度分析法建立不确定度黑箱模型,并结合MCM随机仿真与统计参数估计,进行CMM面向任务的测量不确定度评定的具体流程,评定效果将在第六章中通—过实例进行验证。68 第五章CMM面向尺寸测里任务的不确定度评定软件开发第五章CMM面向尺寸测量任务的不痛定度评定软件开发研究CMM测量不确定度的目的在于方便用户应用坐标测量机测量评定技术,提升坐标测量机的应用价值。但在目前的CMM应用中,通过测量机的测量软件,一般只能得到被测特征量的估计值,无法给出带有不确定度的完整测量结果,因。此,迫切需要开发测量不确定度评定软件国外已经商业化的测量不确定度软件主要有PTB开发的VCMM软件包W及美国NIST开发的PUNDIT软件包,但尚未得到广泛推广,,国外的;而在国内尚无自主开发的商用测量不确定度评定软件。商业软件包也由于成本高而未能得到应用因此,自主开发CMM测量不确定度评定软件具有重要的社会意义和实用价值,有助于填补国内空白,缩短我国与国外CMM测量评定技术应用的差距。本章在前两章对CMM面向尺寸测量的不确定度建模和评定方法研究的基础上。,编制了CMM面向尺寸测量任务的测量不确定度离线评定软件该软件界面,MM友好,功能丰富能够实现对C典型的尺寸测量任务(距离测量和孔径测量)的测量不确定度自动评定,测量机用户可W根据实际需要选用合适的评定方法,轻松实现不确定度评定。5.1软件开发平台简介所开发的CMM尺寸测量任务的不确定度评定软件基于前两章中研究的测量不确定度建模和评定方法,,采用模块化的编程思想借助于LabVIEW图形化设计平台编制实现。L一fiiqabVIEW是美国国家仪器(NI)公司提出的款功能强大的软件开发平台,自19%年1.0版诞生W来,不断地与时俱进,与新技术不断吸收融合,已经发展""了近30年,应用领域广泛,在测试、测量与自动化领域已经处于无处不在的领先地位,,帮助全世界的工程师和科学家们高效地完成各自的应用实现工程创新。LabVIEW具有H个重要特性:图形化设计平台强大,专业工具包丰富,图形化编程便利、FPGA到;计算模型灵活多样,可作为系统级设计平台;具有从PC芯片级的运行平台,开发者,通过LabV圧W各种模块可实现不同硬件的代码部署一可W在产品设计、原型到生产各阶段都使用统的开发平台,保证代码的长期投。LabVIEW,资采用并行编程结构,能够与多核技术完美结合提高程序的运行效率。而且,LabV圧W作为图形化编程平台,其最大优势即形象直观、开发效率高,能够设计出友好的人机交互界面。所W,设计采用LabV圧W作为开发平台,编制测量不确定度评定软件。69 合肥工业大学博±研究生学位论文'5.2不确定度评定软件构架及特色CMM面向尺寸测量任务的测量不确定度评定软件可W实现对CMM典型尺寸一测量任务(距离测量和孔径测量)的测量结果评定,属于款离线评定软件。软件总流程图如图5.1。""如图所示,用户在打开软件进入主界面测量任务/评定方法选择后,需要选择典型测量任务W及选用的评定方法,录入用户信息,包括测量对象名称、测量任务名称、测量设备、被测量标称值及其公差范围、测量时间、测量过程环境温度、测量人员、评定人员和评定时间等信息。确认录入信息后,软件将根据用户选择的测量任务和评定方法自动打开相应的评定模块。具体评定模块包括透明箱端面距离测量评定模块、透明箱孔径测量评定模块、SVCMM端面距离测量评定模块、SVCMM孔径测量评定模块、常规测量评定模块、替代测量评定模块、补偿测量评定模块、常规结合MCM测量评定模块。用户可W在具体的评定模块中根据界面的友好提示进行简单操作轻松完成对测量结果的评定,得到具有不确定度表示的完整测量结果W及评定报告。软件的欢迎界面如图5.2,主界面如图5.3,用户信息录入窗口如图5.4。该软件界面友好:,使用方便,功能完备,具有W下特色(1)该不确定度评定软件综合了CMM典型尺寸测量任务的不同评定方法及测量方法的应用,方便用户根据需要进行选择。一(2)适用面广,并不局限于某台CMM应用。""(3)与测量不确定度评定数据库相关联(数据库中表结构如表5.1所示),使软件应用更加灵活,功能更加丰富。既方便评定结果数据的存储和管理,有利于形成大数据、实现数据共享,W及积累丰富的先验信息,又方便用户此较不同方法的评定效果。具体体现在:""""A一.在初始化表测量不确定度评定数据库中专口为用户设计了张,""用户可W事先定义初始化表,录入测量对象、测量任务、被测量标称值及其公差范围(上、下偏差)及备注信息。软件运行后,当需要用户录入信息时,软""表件将自动读取初始化,为用户信息录入提供下拉选择。这对于长期的评定软件应用来说,为用户提供了便利。B.当用户信息录入后,软件将自动在数据库中创建相应的测量评定记录表,"测"表名为量对象+测量任务+标称值+上偏差+下偏差,完成测量评定后,评定结果将自动录入数据表中,如图5.5中(a)所示。同样,在应用补偿测量时,对于长度标准量和直径标准量的测量评定结果也"长度""将会自动保存在数据库中的实物标准器测量评定和直径实物标准器测"量评定表中,如图5.5中(b)和(C)所示。这些数据信息都将为后续的测量评70 第五韋CMM面向尺寸测量任务的不确定度评定软件开发定提供重要参考。C.在完成测量不确定度评定后,软件可根据用户录入的信息和评定结果自动生成评定报告。(4)细节功能设计,提高评定效率。比如:通过软件可W直接读取文本形式保存的CMM测量数据文档,自动获得所关必得数据信息,而无需手动输入;在对原始数据进行数据处理时,具有剔除粗大误差的功能:在自动实现测量不确定。度评定的同时,还可结合用户输入的被测特征量公差信息自动进行合格判定表5.1测量不确定度评定数据库中的表结构Tab义1Theliststructurein化edatabaseofmeasurementuncertaintyevaluation测貴评定结果记录表"""""初始化(表名为测量对象+长度实物标准器直径实物标准器测量衣准""表测量任务+标称值+上测量评定表评定表"偏差+下偏差)字段1测量对象评价时间评价时间评价时间字段2测量任务测量设备内直径实物标准器名称值-直径实物标准器校准字段3测量人员校准值談皇差-准器校准字段4测量环境校准扩展不确定度?r謗寨SS下偏差-长度标准器的测量内尺寸测量测头直径误子?5微米平均值差的补偿值长度标准器测内尺寸测量挪1头直径误宙字段巧<6义备汝注最县任佳化估A计值值(麵)复性鱗難差补觸I入的不确定度准确器帛字段7气直外直狂实物标准器名称fJ望长度测量误差的补外直径实物标准器校准^胃8自偿值值-空巧0w晋片m姑巧m(/〇)长度挪I#误差补偿外直径实物标准器校准引入的不确定度r展不确定度字段10包含昕k自醜扩展不确定度U外尺寸测量测头直径误smn(mm)差补偿引入的不确定度字空段巧1〇A化勘令测量尺寸类型(内尺寸12合格判定或外尺寸或综合)字段13评定人员测头直庭误差的补偿值测头直径误差补偿引入^4?1师确定度字段15自由度71 合肥王业大学博±研究生学位论文开始0)欢迎界面^^主界面/用户信息输入/?工件端面距离测量评定工件孔径测量评定透明箱黑箱虚拟坐标测量机透明箱黑箱虚拟坐标测量机占'^去古'古IJMuTsVCM御月箱r>sVCMSi55><3i;j5端面<|||M孔径M距离端面测量孔径巧遇距离评定!5测量!tS!t竟芒测里里测里量评定测量模块评定2少f少评定LILI^iiyy11|11|网S常规结S常规结[||[]|测量测量测量合MCM测童测量测量合MCM评定评定评定测量评评定评定评定测量评模块定模块模块定模块III幽III退出()图5.1CMM典型尺寸测量任务测量不确定度评定软件总流程图Fig5.1ThetotalflowdiagramoftheuncertaintyevaluationsoftwarefacingtypicaldimensionmeasurementtasksofCMM72 第五章CMM面向尺寸测量任务的不确定度评定软件开发C顯面向尺寸测量任务的測量不确定度评定IIIIUncertaintyEvaluationof-orITCMMDimensionientedMeasurementTaskjJIjj^j戸f[圉合肥工业大学‘斯、‘一。也斗梦喚He主苗feiUniversityofTechnolo%繁gy这巨noiy扭爲图5.2欢迎界面i'Fig5.2Thewelcomeinterface.I1^'满晋巧务A爭巧方难送巧I^BIg:.KB迅ijv‘'fj图5.3主界面Fig5.3Themaininterface73 合肥工业大学博±研究生学位论文r用户巧庙登入苗細防8巧橡*.L过巧S任务g株-samwf面"、燕縫 ̄再CZZZZZZZZZZI]?运msm-说總巧备t;K杂链III— ̄厂:::::::::[';(,:.:驟旋Afa.誦圓§HB靴±?差^^、fS曼1r■、、.—一…——*.?———■wKm*沪#!。下巧会(齡wmmI^*定巧巧r:HI|「I^|H图5.4用户信息录入窗口Fi5.4Theinputwindowofuserinformationg?i?^'.?*&?**>w^!>1*生;〇?M.rt*,4;?#*sa>114巧〇》?;fearta,市':,《’-',:J二皆*一U咬3‘巧》>^;立-3VI乂._-——_'———_—*—’.—_甜?mfi3义苗?化i^抱>^l^^*进i^养^iSi!辟LT:^^*^.jIpi,……i躲親铅讲^^姑仁短说;.就SS二X'^'^.一?>^-??-?一一v.m^s???CRtotigrmyiawaw?necw??&*?t化?w;?■?占i1<?巧法《{■;!&9anxs?ni供s*了fCjR!巧|wSO-,?srjwu*R化WKbcsKS*PMr於:R口、K*S玉?fiinaxam>s本*打tICR,J-*-?9!■R5arftyt^nr1fivr*4》护一leefrmaiMS?<£??i??s出K*?二5r去i??UR三瑜;96£2it?0??30:srv6**f;TC,公??!T3i??£?0?rSM1ttf9(0*3?TTCR(a)测量评定结果记录表示例(a)Therecordsamleofmeasurementevaluationresul怯p,??1,鄉組丄.—乌*—L与锦丄W巧诚巧f^?Pr>g,才A祀L.林i口*?4,&?fe:^-LWg3ln?y麗,'.…_L"wn*M,mi0WASnmewftwnfc出manmsvsw.wa獲n*--*?!V〇i:171:?st:irmononmmonRKta??;??〇ontf*?胁!?b(ccub_ji^巧*KTiiv^n】?KiAwweofl0am?nnmtnoaemoarmeonct%〇(tDVsaB_I巧:H?.eeoT?????色《mcooqx?〇???son??]6*ftR?iw顯2v>KsT公产?owni^tm?cu??々《?%6?^t〕t<tt:i*!>m>?,>t?i>i?nnarmMniw?wwaahitnort**ow'x?SBK**Mw(b)长度实物标准器测量评定记录衷示例(b)TherecordsampleoflengthstandardsevaluationH’BBMBSBMMfc。。*t*ui*w;tccmbewiuvwwi*审》wnocod?sooniaaact*二■(Nniukou#巧ikeNVfi:feameMMuamv?>%);??o■e内刊.omMttau■n*0i〇_[扣w*ic80h|n*田*MTcoontoniiewet*outui。van?N巧■护SHK?々《?frVi^it??04TCCOM?(OMi)0(Met??(??n<?COQSM?_记1}?泣tvsiI冉■??M0am々.〇??!:eKMUs,4k*?〇〇?oown*6?o〇tobm,ommm]挪??mvAn?,#,u?wone*?maiconsuR?i,K?&?nmoewnotnHSosum…wP々n?aunto?-rr*?巧mwiuanaxa7iR?oi>otmanfiorr■nIfa*>amtmc4l*ranwo?rmm巧Re?mw?|寸iwn>tiamemu田asnM0u?4?a?〇Waovs公ftniHit,f(tft(C)直径实物标准器测量评定记录表示例(C)Therecordsampleofdiamekrstandardsevaluation图5.5测量不确定度评定数据库中记录表示例FTreaasuremenceanig5.5herecodsamlei打thdtabaseofmetunrtityevaluationp(5)软件功能易于扩展,可在总体框架下继续增加测量评定任务。总的来说,软件在设计过程中,充分考虑了用户使用方便、评定过程清楚、一。评定结果存储等问题的解决,是款实用的离线评定软件下面将具体介绍各个评定模块。74 第五章CMM面向尺寸测里任务的不确定度评定软件开发5.3透明箱端面距离測呈评定模块透明箱端面距离测量评定模块流程图如图5.6所示。开始)获取Pk、Pi信息,计算a、b、c,最小二乘端面距离Z;确定单点测虽的标准不确定度I^输入其他参数:MPEe、T、AT、//热膨胀系数、扣、aRD等产^N计算各误差源引入的^准不确定度,确定各II误差的影巧范围I ̄N灵敏度分析方法蒙特卡罗模拟方法^\灵敏度分析评定模块蒙特卡罗模拟评定模块II(简称GUM评定模块)(简称MCM评定模块)+==/得到评定结果;/Z±C/得到评定结果;/ZCII^?合格判定,保存评定结果,根据用户信息I生成评定报告N()图5.6透明箱端面距离测量评定模块流程图F-i5-6The化aramofthetransarentboxevaluationmodulefordistancemeasurementggp75 合肥工业大学巧±研究生学位论文其中,应用传统灵敏度分析方法的评定模块(这里简称为GUM评定模块)的流程如图5.7所示。蒙特卡罗模拟评定模块(送里简称MCM评定模块)的流程如图5.8所示。在各个评定模块中,都具有基本的测量结果合格判定功能。合格判定依据于"GB-/T18779.12002产品几何量技术规范(GPS)工件与测量设备的测量检验第"1部分:按规范检验合格或不合格的判定规则。由图样标注、标准及有关规定等给定的工件的规范限(下规范限LSL与/或上规范限USL)是不变的。测量不确定。度(扩展不确定度U)会受测量过程中各不确定度分量的影响而改变因此,合格区和不合格区的大小也随评定的扩展不确定度U而改变。依据测量不确定度的判定规则如图5.9所示。假设测量结果的完整表述为:=yY±U其中,r表示测量结果。则由图5.9可见;-^^化测量结果在合格区内(1)当15王+6<7<^/化6,检验合格;测量模型单点测量标测量不确定度模型Xl,Xl,...,Xw的"Y=xzabc准不确定度=Xjc...jCw标准不确定度g{,y,,,,)y/化,,,i2)戶 ̄i古r\I^aubuc包含昕{\{\{)rkiIrI"W—2+’"。+’"+W煩()W筋筋j| ̄ ̄I丄丄""2Z22=.’.""+"+".0:+...+I/X。的W(2)(w)、1(為隆作l爹ax[秦dx,j[j[^j丄Ii得到C/,测量结果表示为=7±f/:y图5.7GUM评定模块流程图Fig5.7TheflowdiagramofGUMevaluationmodule76 第五章CMM面向尺寸测里任务的不确定度评定软件开发测量不确定度模型x的概率密度蒙特卡罗抽样产生,|IIIII宜信概率^=y函数JC随机数的个数M各(<) ̄ ̄古I从各JC中抽样,产生M个随机样本(j)XX...,jrAf,佔,,(似)II"了*+'.义+.y".+X**1()^2似w()獻汾獻^^、2NI^对M个随机模拟值义...,得到,72>,,:^进行排序抑,化)i丄的均值7、标准差《,置信区间为:;>_+^(〇|>(W*^/2,:VlftpW/2]A=±进而得到和包含因子,测量结果表示为:yrf/图5.8MCM评定模块流程图巧g5.8TheflowdiagramofMCMevaluationmoduleLSLUSL规范外规范区(规范内)规范外^7/给定规范阶段/\\设计芙测/\/\''、、'?量、、里/\>\''/不\\确/\/\'、、'定'、、TTTTIT,TuU'UU—度_w检验阶段^一W1Wt!>!'(U)?不确定区合格区不确定区>4不合格区不合格区图5.9测量不确定度的判定规则Fig5.9Thedecisionruleofmeasurementuncertainty-<7(2)当r<I5XC7或C;化+t/时,测量结果在不合格区内,检验不合格;--/<r£W王+(3)当1化^<7<王化+[/或L5Zi7f/时,测量结果在不确77 合肥工业大学博±研究生学位论文一,定区内,,按规范检验既不能判定合格也不能判定不合格需要进步根据误判率由供需双方协商决定。这里暂不做深究。透明箱端面距离测量评定模块的应用界面包括五个标签项,分别是测量信息MCM-、GUM评定、评定、报告生成和退出5.1014所示。获取及输入参数,如图""标应用时,用户需要首先在测量信息获取及输入参数签下导入或输入相关数"""""据和参数,之后即可自由选择GUM评定或MCM评定,完成评定后可在报"""告生成标签下生成评定报告,最后通过退出标签返回软件应用主界面。I?件A面巧禹巧&计安OTf*wrtIfMf&WSfiJ ̄。. ̄.广jgn?巧ica毎iW1",出>*??务fcw…一j*,n'lR-n、r?nIt,n?n:iM?,?:t..rA:i!藻度二禁..'.'.iMidl的A东SiftSJREi*XhMO*m巧*?T.a田k?4/IJ.巧??3wg?:,ts材午化???cywrwNk军,,畔>?i!<?巧化L、J...j?一纪…心???*!图5.10透明箱距离测量评定模块中信息输入标签项FT-i5.10helabelofinformationinutinthetransarentboxevaluationmodulefordistancegppmeasurement工件端面&失巧是?■?csvft■入*?Bw知Kir;康化Itmmtajk^mw叫-一哦一.;)(r\?方?;!a法,if巧??iI ̄ ̄?*JC£4l<fMSir4e?M''u【》).*?0〇?I?,-—- ̄?u々)‘l〇一巧■,???‘urtOM?*.?u-1?u.m:(a)?一化一。?,"》???-———二?二,二_二苗?'?—;?<0?)??,;— ̄?u)?:?…aMl—吉J'^一u【.?—?A>?%?热《■>i?13"化>???— ̄l?乂Mu>)?A?£lS巧U??:5巧r??.:IH?巧巧化,:.——t旧E说勺心《化9■-?.MtitKA??M知WwaTrrmTUKSsL0s00.0000iM1±t^.""511图.透明箱距离测量评定模块中GUM评定标签项F-ig5.11ThelabelofGUMevaluationin化etransarentboxevaluationmodulefordistancepmeasurement78 第五章CMM面向尺寸测量任务的不确定度评定软件开发L件&<faAA則t巧定99f?*MAAAKJItAMtamwftK,?KBW.<1 ̄ ̄.?,>:?3r7*rr??R?????.???一A?*?I猶fb*nK:i化4>2<F::i内T化■MaM?No订rVri品?全.——■,:I-rH?ura辑***;?t它????*?.■?》?■?,?巧二???#?:??;?,',呆MR一巧口iKtHr;?'???,t一?j>*??乐《??一*――?.…--,?三《一》?xnr?n?m§tm[三—*不々巧愈??:.■IV■?个?V?舟;—.._7-<?mM?*l?!rue8?'扣?????c.?oem?:-?心IXtf、;*SAW?二放""图5.12透明箱距离测量评矩模块中MCM评定标签项MCM-Fi5.12ThelabelofevaluationinthetransarentboxevaluationmodulefordistancegpmeasurementiffA*J#(?巧MtmMCM?乂M—9tmrv■*>??mm**ft*mamm——,…;;.:..一.i..L;品;aJ?fHD!:一巧W*MMSM.宁^_所.....;.V品…,;U心,一:己,fM一m,W?.m?----\>?■--1一一'-J^卓觀》??-??■)?■????:]—?—-呈£AS?h...MMi????????mtm■?*m""51图.3透明箱距离测量评定模块中报告生成标签项F-i5.13Thelabelofrertenerationin化etransarentboxevaluationmodulefordistancegpogp*measurement—*?*Am"??????<???I—>■???,??Aits""阁5.14透明箱距离测量评定模块中退出标签项F5-.14eabeoferrenmrancemeaurigThllexitin出tansatboxevaluationodulefodistsementp79 合肥工业大学博±研究生学位论文5.其中.15、516,测量点数据导入是通过图所示的两个应用窗口实现的。在应用窗口中,,,选中测量文件保存的路径即将测量文件全部显示出来用户可借助索引的帮助找到文件中所关也的数据位置,根据数据位置轻松获取数据信息,""可心心进行保存,并通过返回操作将数据带回到测量信息获取及输入参数标签项一,方便用户进行下步操作。*::這.f:巧rum?jK8n??t,f#?古?。,:?之unu/cx?t香!-IW?击f1II...—图5.15透明賴距离测量评定模块中获取Pk测量点数据应用窗口F-1Tacanwndowofmrig5.5hepplitioiacuirin呂Pkdatainthetransarentboxevaluationodulefoqpdistancemeasurement从重X測AP>中??〇i巧生》化巧#天巧旺n巧ftJrt——?頻‘?S、...主?t?*?巧-— ̄—_*iMt?■?rtrifjyIfIw;n,ma*iMie*T?i?ees*?yAHif*Re■?Se化.t,unrwkxaes???3n?,,7?wi香?^"—一>II图51P.6透明賴距离测量评定模块中获取i测量点数据应用窗口1-FicaionwinurnPransarerUevauaonmoduerig5.6Theappltdowofaciiidatainthetpboxltilfoqgdistancemeasurement5.4透明箱孔径测量评定模块透明箱孔径测量评定模块流程图如图5.17所示。透明箱孔径测量评定模块的应用界面同样包括五个标签项,分别是测量信息-.1获取及输入参数,5822所示。、GUM评定、MCM评定、报告生成和退出如图80 第五章CMM面向尺寸测量任务的不确定度评定软件开发开始)获取Pi信息,计算a、b、c,最小二乘孔径D;确定单点测量的标准不确定度I/^/输入其他参数:MPEe、T、AT、^热膨胀系数、Bl、aRD等^计算各误差源引入的准不确定度,确定各II误差的影响范围I^?<Cw555>^j灵敏度分析方法蒙特卡罗模拟方法r备4 ̄ ̄灵敏度分析评定模块蒙特卡罗模拟评定模块II(简称GUM评定模块)(简称MCM评定模块)==公±/得到评定结果:公±i/得到评定结果:CII?合格判定,保存评定结果,根据用户信息II生成评定报告 ̄N返^§]()图5.17透明箱孔径测量评定模块流程图-Fig5.17Thediaramof化etransarentboxevaluationmoduleforaerturemeasurementgpp81 合肥王业大学博±研究生学位论文进巧巧义巧mtJKKrSMjMAI?????KAJI、W>巧义,rSMkj.联1hfcw;n?nN,rt,?w,t*■???h,m?,???,h今1,i!皆',-巧《**-#*?A一..?WCMuftXi巧了'????t,tOQ??cS?y-;X*,li?0■?¥巧MWKF?!WtT?AiitrV/T:k?cW*KW*T*玉,巧,"KKXSI:,,化A。,1><y<AJUt文化,《。.K/C?巧W巧j:号:女...;三0K巧一■亢度饰?*&在巧心;1?〇*1■参;I图5.18透明箱孔径测量评巧模块中信息输入标签项-Fi5.18Thelabelofinformationinutin化etransaren;boxvaluationmoduleoraeruregteftpppmeasurement巧巧g孔狂測?ircttiw:KfttitS化ftWjlrf-.-a、*J(W?g*4:A)TA.&击f&gi采j……"……’—……——…*’*&uU.eaww化;血?蝴《?苗1)uw;?2—……—"'""...—J?"??'63.0_?J!0?:;i—:":二.1.1)》户,?<〇,>?*U化?)历??*?.。i.,占u(c)f?u(c)?.C*e*!〇a>.0ofa'itMN*u<tWy}—二I?utfHHlMt.??1tni?—unjtftMF*.?S一j一—…-vMftna化来Z1;於货觀 ̄—?个二知?^UifI?户■..…一……?otHfXsrcftc?■??rinyqfc:V:?it????>?;t0.?000?""图5.19透明箱孔径测量评定模块中GUM评定标签项FT-i5.19helabelofGUMevaluationin化eransarentboxevaluaio打mlfraeruregtptodueopteasuremenmt82 第五章CMM而向尺寸测量任务的不确定度评定软件开发巧巧?表拉W?KMgfTHlTAltBtftM?A4,".*MCVD??rsImsr??)/4Ivtomc—.一’?;1-、-:nu〇:;;:^a;i;"■nr■k,nt*以nntMN,?u*。,i;???<????,!?t????#.?;__,…*?.?I玉??**(*■!翁心批'X*!MW/?已?___I■warw*f.wM掘■?■?■乐Ml■華■一,,?…??■?!■■*????.— ̄".wi.,??li*???一-^Iww?'l二..iTI二?■?*???*f?f?Sl?—-rh*Bai?-?Jp.>*古?ftfcoe-.tooMacmm3nt->■?mutmuhu}nt^vet"""舟9??.>《??《?■?1■mu*W±0*?i?.〇?〇>—|""闯5.20透明箱孔径测量评定模块中MCM评定标签项MCMev-F.20Tliinrrenboxvaluaionmoleoraeureig5helabelofauaton出etanspatetdufprtmeasurement巧拉Oft".'”槪?nax?tn^rr?Ai?amMilit?MIRTS巧???^——,—:.一一一占如..—.'—'……mIaa-"?…—--Ml,,,I,-竹,v,,^"?mamxmms^ks"'''.-"'r'k?-■t!:i占;〇■??tt^rS"—■artut^""?41?t?:S?■??:-?1-m-?<mwa??t>MMHccw*?〇Mc〇swaB————;-—?一一一、?.——""图5.21透明箱孔径测量评定模块中报告生成标签项reraonn-F:rasarenevauao打moduerareig5.21Thelabelofortenetiithetnptboxltilfoertupgpme过surement遣OA巧*ff.MM?a>??乂??MMMrwam■*,?化—,K""图5.22透明箱孔径测量评定模块中退出标签项F-mig5.22Thelabelofexitin出etransarerUboxeva山ationmoduleforaertureeasurementpp83 合月己工业大学博±研究生学位论文5.5常规测量评定模块5。常规测量评定模块流程图如图.23所示开始)吐/^参数设置,输入MPEe、T、AT、/^"/热膨胀系数等信息/i重复性误差获取,确定」4^复现性误差获取,确定测量数据文件导入或者输入剔除测量数据中的粗大误差N^?计算,,M,,,F"Ef"""伽1C用2,哪合成碌准不确定度M,根据置信概率。IIP==95%取包含因子A2,计算扩展不确=定度L^得到评定结果:yr±u|合格判定,保存评定结果,根据用户信息I生成评定报告IN()图5.23常规测量评定模块流程图Fig5.23Thediagramoftheconventionalmeasurementevaluationmodule84 第五章CMM而向尺寸测量任务的不确定度评定软件开发"常规测量评定模块的应用界面如图5.24所示。应用时,用户需要首先在参"数设置区输入相关参数,并获取测量过程中的重复性误差和复现性误差的量值""区通过文件导入或直接手动输入测量数据再大小;然后在测量数据;鼠标点""""击确定评定,即启动自动评定评定结果显示按键,评定结果将逼示在区内;用户可^选择直接对测量数据进行评定,也可1^选择对测量数据进行粗大误差剔""除后再进行评定;最后用户可W定义需要保存的报告名称,鼠标点击保存按键,软件即将自动将评定结果保存入数据库相应数据表中,并生成格式规范的评定报告,将报告保存位置提示在界面上;如果要返回软件应用主界面开始新的""评定任务,只需鼠标点击返回按键。其中,重复性误差获取有应用测量数据获取、应用默认值和重新标定H种渠道;复现性误差获取有应用历史数据获取、应用默认值和重新标定H种渠道。应用测量数据获取重复性误差是指将一组实测数据的标准差作为测量重复性误差引入的不确定度分量大小,应用窗口如图5.25所示;重新标定获取重复性误差是指利用对一组标定数据的考察,将其标准差作为测量重复性误差引入的不确定度分量大小,应用窗口如图5.26所示;应用历史数据获取复现性误差是指利用数据库中保存的、对相同测量任务评定为合格的历史数据,将其标准差作为测量复现性误差引入的不确定度分量大小,应用窗口如图5.27所示;重新标定获取复一现性误差是指利用对组标定数据的考察,将其综合标准差作为测量复现性误差。引入的不确定度分量大小,应用窗口如图5.28所示辛化H左法TMM?人??工〇0ciRtAWSwr。!?i_tfctg<a?nriVw?Mt。*。,9M">LssJ\万巧巧?16?巧?^巧巧巧[巧p:己巧*L??Z.\2厂.WtSM.—’?一入猫iAOtW*麵*?■?G、怎wswa个*中己A■M\ms\胁,-化:Ui—:xS品—-… ̄化-化,:-,,齡就?*f',三二i—.二ITfIRvI—Urai々?化0?Uare?,1,乎——图5.24常规测量评定模块的应用界面Fi5.24Thealicationin化rfaceoftheconventionalmeasurementevaluationmodulegpp85 合肥王业大学博±研究生学位论文口五■■己iMA??—'.州*丈《I'?iMMArT"xltsx?l?rawIM:-?s????衝:?,.IM如-??i';r*t.:安.,I1i、=i麵iiEHiMMMlW-tKUflj。;占Ii真*-?-:?,—P*?!W¥tI■■i:5*.?‘節嫌?游心如??公心作.MM1j玄;义ImxMfrt#?一?巧生■-':?!t-I;W巧?:,?(??々?;-5?W#?)<?K?>W!■n〇,>:々#■■??*々■[’?*?;"?*?,:*>lcm?1?巧;**奪wH.‘-:i‘??■?"i.??Ma.;"jR,.护知約h#f"?■■图5.25应用测量数据评价重复性误差应用窗口F5uamea*.25nwndowevanreilitrrriniemendigThealicatioioflti呂eatabyeoussutatapppg當义化化#每乂wMsaUf-wmmaMxurn^■■■…mw*§资;朵'[;iiii":巧IM?巧W!?Sft任,znm*?*-^wT?7urati?t;■!。s…?9sI把**??+??…-:C*?ULW*,…I&.?〇〇wrIj*#???■!**〇一>凌1III图5.26重复性误差标定应用窗口Fi5.26ThelitiwindcaUbratinreeatabiliterroracaonowofgppgpy86 第五章CMM面向尺寸测量任务的不确定度评定软件开发庇巧巧义化#H中巧A巧化谈於wwmm—,*es?步SftllNSMfl,a?s^oiaWL占eIiI—?8XMt??i/t0.000:?0,.,,EJEl图5.27应用历史数据评价复现性误差应用窗口Fig5.27Theapplicationwindowofevaluatingreproducibiliterrorusinghis化ricaldatay表化化灰##乂Ktr?么r巧'…虽刪IfftlWI**V巧.*-.-8rr..rr!j5<HrtWB:二皆.r■■舊■■i\?:.々t■?s?个<>4s'?酿*1&。《\HM■文*rt…<>—,.广ja*wtcmmes-'MwmmmW〇〇m.;58图.2复现性误差标定应用窗口F.28Tcanwndowrainreoduceig5healitioiofcal化tgribilitrrorpppy87 合肥工业大学博±研究生学位论文5.6替代测量评定模块替代测量评定模块流程图如图5.29所示。开始()N?读入已校准工件的测量数据?读入被测工件的测量数据 ̄ ̄古//输入已校准件的校准值及其扩//展不确定度、温度及热膨胀系^/等信息/?^*计算M,K>"grfpW ̄古合成标准不确定度M。,根据置信概率IIP==95%取包含因子42,计算扩展不确定度t/,得到评定结果,=yI合格判定,保存评定^果,根据用户信息II生成评定报告I返回()图5.29替代测量评定模块流程图Fi5.29The山aramofthesubstitutionmeasurementevaluationmodulegg"替代测量评定模块的应用界面如图5.30所示。应用时,用户需要首先在参"数设置区输入己校准件的校准值及其校准的扩展不确定度、工件的热膨胀系数88 第五章CMM而向尺寸测量任务的不确定度评定软件开发""及测量过程环境温度等相关参数;然后在导入测量数据区通过文件分别导入""已校准件的测量数据和待测工件的测量数据;再鼠标点击确定评定按键,即""启动自动评定,评定结果将显示在评定结果显示区内,数据处理的中间结果""也会显示在导入测量数据区内,;最后用户可W定义需要保存的报告名称鼠""标点击保存按键,软件即将自动将评定结果保存入数据库相应数据表中,并生成格式规范的评定报告,将报告保存位置提示在界面上;如果要返回软件应用""主界面开始新的评定任务,只需鼠标点击返回按键。■<^氏《?法"t林化U,年巧?CBWfBwux?工口*rjoVC.xcuaisAorumi*;〇^…一;?!__>g入m?r?f;WMA■?戶—、———?》K时《<?>>化巧二IWf:1^AM*…ww?化*心巧泰?:LLSL巧I又'0X一;y<9一;:〇¥—藻苗.苗若.一啊0..*?心品與々,妒?.品?知.私為;如W去参;"'〇?,-?.:"?、《?.a>V>.co〇、?ogp。多]j.?.>?>V***??’§0:;..么;〇??t?x々?、4供\、W;〇mr,,f;.yi*hMie芯―,’年?篇,一年?SCSffr*二Ml:化!*?U?l*?*?一J6城f沁*々—;;;?山古r巧±〇?±?〇??j_〇―化^._—.......I^I一…?*…—...^三立*Ra0一c£bIjgflI.J图5.30替代测量评定模块的应用界面F.Talicannrface;suonmeasuremenvaluaionmodleig530hepptioi化ofthesubtittitetu5.7补偿测量评定模块补偿测量评定模块流程图如图5.31所示。评定过程中包括了工件测量评定、长度标准器测量评定、直径标准器测量评定H个主要过程,W及对温度因素引入的不确定度分量的评定,最后根据方和根法合成得到合成标准不确定度,计算其自由度,根据置信概率及自由度取得包含因子,进而得到扩展不确定度,得到完整的测量结果表述。补偿测量评定模块的应用界面包括五个标签项,分别是工件测量、长度测量5-误差补偿、测球直径误差补偿、温度因素和测量不确定度评定.3236,如图所示。应用时,用户只需按照这样的标签顺序进行顺序操作即可。89 合肥工业大学博±研究生学位论文41if开始c)I4[径标准器名称、校准{/I,/|/及其扩庭禾定度录入II11y""I<a55?>?退出?!1^J!N""1iitB?II|导入工件测量数据I231IIj/^左入直径标?i器测畳数IIII"退出?NIII!""一 ̄?退出?IIII ̄ ̄ ̄2汁算总均ir,确定J_IIII计算E,确?IM。D及其自由度I、MS其自由度III。。glIj^""i?Il退出If7长度标准器名称、'I/71I校准值及其扩展不^IIj//评定结果录入数据库确定入1I//I1I<??至胀系数相5?>^iiu?cSi|/II湯萝^I^导入ill标准器NI//j""1/测量/退出?I"计算M/,ew/IjNII",确定计算EM及其taw!I ̄ ̄合成K;1,计算^自由度J。II""=95%和自由A—根据戶;j至退出?度取!=,±I计算{/得到:ri71yy▼ITI定入数据库"-兰■■_I]I退出?i绰—--1合格判定,保存结果,生成报告""一^开始k回()图5.31补偿测量评定模块流程图Fig5.31The出aramofthecomensationmeasurementevaluationmodulegp""""工件测量标签下导入或输入工件测量数据,鼠标点击数据分析在,即可由工件测量数据评定得到测量重复性引起的不确定度分量、CMM几何误差等影90 第五章CMM而向尺寸测量任务的不确定度评定软件开发响引起的不确定度分量,及相关自由度。补住??法I…一"-Ctmti■?不ntynirr![!HMI乂’急■社,.庫..4i中<T:电片;杉n.0;?<■午用AiUrnM>賈**■???jIUP———…-:啤;?护當V口?《\B9A二骗J論7;:.7;;I?,*;,:4>%JB?々>S;'|2‘V>?-4.vT..'ftctMi1々?冉—I了供WtRKWj*—?功InxmtmmemwiIift,A"fl?OR?l|[ti^IMMt.o—??■■?功sB4aEK々*化烹w一M*?nn由>If,0^?出K?I:""图5.32补偿测量评定模块中工件测量标签项Fiii532Thelabelofworkecemeasurementntionmeasuremenvauaiog.pthecompensateltnmodule""在长度测量误差补偿标签下输入长度标准器的名称、校准值及其扩展不""确定度,再导入或输入测量数据,鼠标点击数据分析,即可评定出长度测量的平均"保误差、长度测量误差补偿引起的不确定度分量及其自由度,如果鼠标点击"存结果,长度标准器测量评定结果将自动存入关联数据库的对应数据表中。讲也測?法—王t*Fwf?掛????乂巧存面巧StMA:SCftft汾m',.msAI52IM。*jIW",0y^-ta—ijXh4aK64不niau-**Kia*eTNSxe4> ̄Kft??皮出?不*U.*oJ?m?E?々^)?[n""图5.33补偿测量评定模块中长度测量误差补偿标签项Fi5.33Therrmnirenmglabeloferocopesatonfoltheasurementinthecompensationgmeasurementevaluationmodule91 合肥工业大学博±研究生学位论文""在测球直径误差补偿标签下输入直径标准器的名称、校准值及其扩展不""确定度,,再文件导入或直接输入直径标准器测量数据鼠标点击数据分析,即可评定出测球直径误差、测球直径误差补偿引起的不确定度分量及其自由度,如果""鼠标点击保存结果,直径标准器测量评定结果将自动存入关联数据库的对应数据表中。补佐《?法一WUB&KX件狂-|^圈2US巧《HiftCAirai|》MtAIfAmc奸15令??巧《尸i(r?■棘gnrA巧口■<io一二一-―|>】0■―?■泣ef;i■巧伤?■!??护■泣ffd■巧rm朽?!^^?-*?衣》,‘乂巧入;S巧M巧GBtBBnifUitA广?JJMIAi'-<々’'SI:,:弟&1)??W?*?公》?,;玄本KKl.*W巧><?lIAKXtXMtW*> ̄w)(…?*?&?.GWR1</?1>RKdft?i|々*a;'ke■■i?>巧■泣K巧■n?s早巧fl-M-A■达■巧M卒巧■!>---,I—..-巧■,主WE*车巧外YliJ-"—!巧;t??—T-一IPX历-*■贿眉t"巧?l,I,!.一严巧■从->-rrtK皮*不?*?!山…一东?…—J|I??打正。扣执>?;.;;;■!j0,j1?*■抑;《?<?出?本^一umMM.?Lj一;?Ii""图5.34补偿测量评定模块中测球直径误差补偿标签项Fig5.34Thelabeloferrorcomensationformeasurinheaddiameterin化eomensaictonp呂pmeasurementevaluationmodule""在温度因素标签下输入测量环境温度、热膨胀系数等相关信息,鼠标点""击数据分析,即可评定出由于温度补偿引起的不确定度分量。朴值測壬法工行N9Kents*,#在8Pf?泛SU掉fi之A的*拍巧江;M■入—工化HTU*rn1C!n_??Xrt?IMMLFtr_PT?TStn;?WKil;K)}V&。W1巧舟w喊獻巧(WfJUD.—…〇|?*x::梯■拉t/C*?巧#托3^?10|fcSI.〇;巧》?¥;!|)■l^I’*???了冉?》*'(、?!?*fiE*Ua,’.》?巧_.氏K》'一汾*/C私9t居;x?<JV■fJ1HK换工巧',《4Unf似巧巧了*,《;?£?成:.—.—严女'i,?巧似触,■I?;cn巧‘?巧巧isr三巧*午asir一"?|…<-直&?1&£5^虫史*2^_0—;^:在S巧重本-扣仪化电C,壯做?巧成E*,"v3-;I■}KS*e¥tsjB*?£Sw?!?—""图5.35补偿测量评定模块中組度因素标签项Fmisaonmeauremig5.35Thelabelofteeraturefactorndiecompentisentevaluationmodulep92 第五章CMM而向尺寸测量任务的不确定度评定软件开发""标签"在测量不确定度评定下可W看到之前评定过程的结果,鼠标点击评"定Uc,即可得到合成标准不确定度及其自由度,选择对应的自由度,即可W得到对应置信概率和自由度下的包含因子k,得到扩展不确定度及测量结果的完整表述。""最后用户可W定义需要保存的报告名称保存结果,,鼠标点击按键软件即将自动将评定结果保存入数据库相应数据表中,并生成格式规范的评定报告,将报告保存位置提示在界面上;如果要返回软件应用主界面开始新的评定任务,""只需鼠标点击回主单按键。林住《?法''''-T?w?长氏》束及车AC持Kgfrcgg田?jliffciiiSw;IUEt里lAU曇ySM表ftKI■二一生**的巧货巧(〇mi;或圳tD脚巧重WIR巧无j?r巧巧》ir?R?(〇FF)巧R巧?斯j夺議riMmnmmrm?■?-((!:>[MBim00。0;一wwiw,ti-,-1。。uawBtWKitww/eJWWiMmiwwMS?na比09AMtldlSKtcfr}/SIBeS!i;#Katt.(〇?_.已.—’'’i化?u一去;7二Iam0?g—II化去tII―——巧I押?wwitOh,BarA■辛:一木气| ̄之i姑巧t品]I'|*?#脱1I8巧>I""图5.36补偿测量评定模块中测量不确定度评定标签项F.3Tlabelofinliinhensaimesreenevauaonmoduleig56heuncertatyevauatontecomtonaumtltip93 合肥工业大学博±研究生学位论文5.8SVCMM端面距离测量评定模块SVCMM端面距离测量评定模块流程图如图5.巧所示。开始()?获取一个测量循环中实测的Pt、Pi点信息II占、输入其他参数;MPEeMPEp、样本数M、T、AT、热甲胀系数、aoBj、a呼根据MPEp生成M个随机iJ,将每个模拟的探测误差影II响添加到实测点中,得到M组虚拟测量循环&、Pi点I备根据M组虚拟测量循环P,求出M组k、Pi点和测量模型I!a、b、C及最小二乘端面距离确定其他误差影响范围■、,仿真生成M组A成K、,?=根据测量不确定度模型r+++,/AwII得M组/,并对其按照升序进行排序I求1求出/的均值I及标准差,根据置信概率P推得其II置信区间[/—/]"f2,1+P2柏/(W/得到评定结果=±^;/II^?合格判定,保存评定结果,根据用户信息生成评定报告[I返回()图5.37SVCMM端面距离测量评定模块流程图Fig5.37Thediaramof化eSVCMMevaluationmodulefordistancemeasurementg94 第五章CMM面向尺寸测量任务的不确定度评定软件开发SVCMM端面距离测量评定模块的应用界面包括四个标签项,分别是测量信-息获取及输入参数、分析评定、报告生成和退出,如图5.3841所示。""一应用时,用户需首先在测量信息获取及输入参数标签下导入次测量循"环中所测得的Pk和Pi测量点信息,并输入其他相关参数,鼠标点击输入参数确"""认按键,使这些数据信息被自动带入后台运算。在分析评定标签下鼠标点"""""退出"击显示评定结果,即可看到评定结果。报告生成和标签使用方法同前。VCMM冷々巧评义-巧员SS友iGSIT々,化usatamgJ〇*—gf:?16?^*度《L.flLJ■'-— 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̄.?Z]!I碱始I命牌趣釀^?<?!?—._iKw■rUij!iI^''vmAmi—j-- ̄??.,■..;::jj?一A44*巧;J...—…—j""图5.40SVCMM距离测量评定模块中报告生成标签项F.Treoreneraonn化eSVCMMevauaonmodueorsneeig540helabelofptgtiiltilfdi化me过sur色m色ntVCMMA面巧g巧史巧义——AM知r姑fj?WB巧;':.j'iiM--I;!…:ij""51图.4SVCMM距离测量评定模块中退出标签项F.1Theabelofexi化eevalforiseasuremenig54ltinSVCMMuationmod山edtancemt在""一测量信息获取及输入参数标签下,导入次测量循环中所测得的Pk和P、543所口分别。,测量点信息是通过图5.42.示两个窗实现的在应用窗口中,选择测量文件保存的路径,即将测量文件全部显示出来,用户可借助索引的帮助找到文件中所关必的数据位置,根据数据位置轻松获取数据信息,可W进行保存,""并通过返回操作将数据带回到测量信息获取及输入参数标签项,方便用户进一行下步操作。96 第五章CMM面向尺寸测量任务的不确定度评定软件开发从《奮义>中次坏中化々?化A仿It舞!?*niFxiNM?HWrttr?fc4I?wfm;应 ̄;TSM■抵nit9*9?stftf巧,空-i?*'?;**,■!!1图5.42SVCMM距离测量评定模块中获取P口k点测量信息窗Fig5.42TheapplicationwindowofacquiringPkdatain出eSVCMMevaluationmodulefordistancemeasurement一>乂件中A成朱WAW坏中1,A化Ajnwvt?mn"?iwsj巧""''Vxm*jr\奚留"i!,5.i;I?苗it,iii'*I8t9rIiI?拥苗;■_;— ̄ ̄?m1Ui1i'.I?CV???較咎*;j;—■——■…j5.43SVCMM距离P口園测量评定模块中获取i点测量倍息窗Fig5.43TheapplicationwindowofacquiringPidatain化eSVCMMevaluationmodulefordistancemeasurement97 合肥工业大学博±研究生学位论文5.9SVCMM孔径测量评定模块SVCMM孔径测量评定模块流程图如图5.44所示。开始)?获取一个测量循环中实测的Pi点信息II输入其他参数:MPEe、MPEp、样本数//M、T、AT、热胀系数、3〇助、a巧^N^,,根据MPEp生成M个随机数,将每个模拟的探测误差影II响添加到实测点中,得到M组虚拟测量循环Pi点I古根据M组虚拟测量循环P点和测量模型,求出M组a、iIIb、C及最小二乘孔径确定其他误差影响范围,仿、真生成M组A、Af?n'=根据测量不确定度模型d■,L++++D&么II求得M组/,并对其按照升序进行排序1求出d的均值公及标准差M知,根据置信概率P推得)II其置信区间[如-fW/2,如+PW/2]古-计算得到扩展不确定度t/G/)及包含因子A;I=得到评定结果;c/±t7IIp?合格判定,保存评定结果I根据用户信息生成评定报告II(返回)图5.44SVCMM孔径测量评定模块流程图Fig5.44ThediaramoftheSVCMMevaluationmoduleforaerturemeasurementgp98 第五章CMM而向尺寸测量任务的不确定度评定软件开发SVCMM孔径测量评定模块的应用界面同样包括四个标签项,分别是测量信-、报告生成和退出.4548所示。应用方法息获取及输入参数、分析评定,如图5及测量数据信息导入方法同前节。VCMM化巧—■一?gBWamj]?巧》一,‘*,mo??---?9<r9iIiktmrJCM0itr乐K??潰t入on?ri^巧巧乐/Iuwnt:MUh>?IW%U?押taoroo—.^々*ntmiP巧Mtu■巧t早EAOiJL…与"‘A1—"〇化秋?RTX工巧S;x?*/r工?1xi?4/Cc—K^?-trAwsi一lUWlUl.....—入参IBj图5.45SVCMM孔径测量评定模块中信息输入标签项Fi5.45Thelabelofinformationmutin1;heSVCMMevaluationmoduleforaerturegppmeasurementVCMM孔巧測?--HttfcBftSIBA**AftiT?HfctltX出t术)---"?。?V-*C..*??1。-62/4rf。(〇w?r20*价.幻^()J^)()AAmAu示巧定巧采jj-?^?rjwtiWi}*它巧一一.工巧、?巧工VXi〇V>:—.二二*Ct〇^/r?1JS.’0—TMJaMoj?公M!達f.sl義j一_?奇^>?大值〇■1IWT仿巧■?<■牛■?了W下树:_._?*0—0—?■*??■*???.?*fi參-.-’——'I"e?auMSt-w?t?讯)i?i兴!.?、/;-〇?.ooM?〇〇〇〇〇〇Deeoo。。。;iAA林t批9o.owea*?w口《i?口《i??swnnWttf!±?j^""图5.46SVCMM孔径测量评定模块中分析评定标签项Fi5.46Thelabelofanalysisandevaluationin化eSVCMMevaluationmoduleforaperturegmeasurement99 合肥工业大学博±研究生学位论文".M?a〇?9?乂??MHTKS垣巧fttlj.汹1JMM才口''::;:;:r;:六。;:7^^I妨1二…—?'■…―一…―—一""广1 ̄iwiiiii????.^*?*祐苗接若*—….?严]WW1;;I.i?*3M?v.;d'择马_U麵…-,".*I'?""图5.47SVCMM孔径测量评定模块中报告生成标签项Fig5.47Thelabelofreportgenerationin化eSVCMMevaluationmoduleforaperturemeasurementVCMM孔巧巧餐——WftBMftltSftStAMiUtVSt?化AIjIi,-;I■*>ilflIAl出1I""图5.48SVCMM孔径测量评定模块中退出标签项FSVCMMevauaonmodurig5.48Thelabelofexitintheltilefoaerturemeasurementp100 第五章CMM面向尺寸测虽任务的不确定度评定软件开发5.10常规测量结合MCM评定模块常规测量结合MCM评定模块流程图如图5.49所示。开始) ̄ ̄参数设置,输入MPEe、T、AT、"/热膨胀系数等信息i ̄重复性误差获取「复现性误差获取I测量数据文件导入或者输入剔除测量数据中的粗大误差II=^333^^^?计算r,;确定其他误k影响范围仿真生成M组、3、、5了册=根据测虽不确定度模型yr++&?++在W,&WII求得M组V,并对其按照升序进行排序I_T求出y的均值F及标准差《,根据置信概率P推得(>〇其置信区间[/2,y(l+P)M/2】得到评定结果=:yI ̄合格判定,保存评定结果,根据用户信息生成评定报告|I-N(返回)5?图.49常规测量结合MCM评定模块流程图Fig5.49ThediaramoftheevaluationmoduleofconventionalmeasurementcombinedwithgMCM101 合祀工业大学博±研究生学位论文,重复性误差获取有应用测量数据获取同样、应用默认值和重新标定兰种渠道;复现性误差获取有应用历史数据获取、应用默认值和重新标定兰种渠道。常规测量结合MCM评定模块的应用界面如图5.50所示。应用测量数据获取重复性误差、重新标定获取重复性误差、应用历史数据获取复现性误差W及重新标定获取复现性误差的应用窗口同前常规测量中所述。常规测量结合MCM评定模块的应用方法类同常规测量评定模块。■化啤3Hf巧々MCM、rwM?心分n?■senpR*,5K*.y'Tm?COBIW?折XUH?巧化&??*W?巧aiJ??a?雪巧《**?4巧671它工巧,j早[xj&t/C.辛"巧:。?回冲..??????回毎二>?—jF巧巧巧n阿BFw*巧■??*?_□狂财ty,1.2"芭压?己SPt[■-?IMrC?MrT■■*KW—,円化文巧>\面.nil/lMIA?■KWjnQtKnTHRaHMMUMtOt.!.iWi,.<?、":、'v"vw;..少.、M.^?'r;4)?><??.s?.w._玉[im■妨??yY±〇11>强二]-£?….773r:H?:佈"> ̄化《*?*.…—一""???fo,jiij-献ms^咖,3。说&..;刊.-..、:.'V.:-::*yf.;;.:.去巧杳齐;;>片:;':O0.、^oa.0006^OMft!00;{图5.50常规测量结合MCM评定模块的应用界面Fi5.50Thealglicationinkrfacef化eevauaionmoduleofcremenppotonventionalmeasutcombinedwithMCM5.11本章小结本章在前两章对CMM面向尺寸测量的不确定度建模和评定方法研究的基础上,编制了CMM面向尺寸测量任务的测量不确定度离线评定软件。结合典型尺寸测量任务划分评定模块,给出了软件的总体构架和每个评定模块的编制流程及人机界面设计,说明了应用方法。该软件界面友好,功能丰富,能够对测量不确定度进行自动评定,并给出符合GPS规范的测量结果报告。测量机用户可W根据实际需要选用合适的评定方法,。,轻松实现不确定度评定同时,软件关联数据库能够自动保存评定结果,融合大数据,为后续的专家评定研究提供参考。该软件的开发为实现CMM测量不确定度的智能化评定奠定了基础。1的 第六章典型cm尺寸测量任务的不确定度评定实例第六章典型CMM尺寸测量不确定度评定实例本章应用自主开发的CMM面向尺寸测量任务的测量不确定度评定软件,对典型的尺寸测量任务—距离测量和孔径测量一一实现了测量不确定度的自动评定。对比了不同评定方法、不同测量方法对于测量评定结果的影响;在评定实例一的基础上进行深入分析,,讨论了不同评定方法的致性和差异性对比了不同标准不确定度合成方法对测量评定结果的影响,总结了不同评定方法的适用性,提出了测量不确定度评定方案的最优化问题。61.测量对象及测量任务1论文选用汽车空调压缩机中缸体作为测量对象,其实物图如图6.所示。测量一任务为固定主轴的中也孔径测量l及工件总厚度测量。下面简要介绍下测量对ti象W及测量任务的选取。pi胃图6.1汽车空调压缩机缸体实物图Fig6.1Thehysicalfigureofclinderblockofau化mobileairconditioncompressorpy(1)测量对象简介我国的汽车产业发展迅速,但与国外进口汽车的竞争激。国产品汽车有一待于进步从设计、制造加工、检测、质量管理各方面提升自身水平。其中,汽车部件的检测关系到整车的质量,具有重要的实际意义。因此,论文从常见汽车零部件着手选择测量对象。汽车空调压缩机用于压缩和输送制汽,可谓是汽车空调制系统的也、,是比较常见的关键的汽车部件。压缩机缸体可分为前缸体、后缸体、中缸体,,压缩机的运作全靠中缸体与活塞的运转来达到制效果。因此确定^^汽车空调板式压缩机的中缸体作为测量对象。103 合肥工业大学巧±研究生学位论文(2)测量任务选取所测汽车空调压缩机中缸体的图样示意图如图6.2所示,图中尺寸标注繁多,为了更好地说明之前介绍的不确定度评定方法和技术,拟选取具有代表性的端面距离测量和孔径测量任务。如前所述,压缩机中缸体用于固定主轴的中也孔是关键,而且为了实现压缩机的小型化和轻量化,控制部件的厚度也很重要。因此,确定将中必孔径测量W及工件厚度(端面距离)测量分别作为测量任务。纖疊’一Ho丽r/T\w化。.1幽幽I證---'歷…,拠L匹墅」闻6.2汽车空调压缩机缸体图样示意Fig6.2Thedrawinsofcylinderblockofautomobileairconditioncomressorgp图样中,基准标注明确。具体测量时,可将A基准面合坐标测量机测量平台,自然放置装夹工件,同时结合视图中的中也基准,建立工件坐标系。如图所示,待测工件的中也孔径为23:n^imm,待测工件的厚度尺寸为50±0.02mm;表面粗糖度均小于1邸m,可忽略其影响。为了压缩机具备好的密封性和磨性,中-6><应体选用ACD14或上合金材料,热膨胀系数〇^为別.210/1:,其随温度变化°x-6的半宽Aaw为l.〇l〇/C。工件测量设备采用海克斯康公司的M-出把icro3DDCC型H坐标测量机,行程xx.+4范围440500410mm/3.0.0L/100(m,最大允许示值误差M带为V,最大允许&‘探测误差M戶旬为3.5^111。坐标测量机光栅尺的热膨胀系数为10.51(T7C,i‘其随温度变化的半宽为1.0l〇/C。6.2不同评定方法下的工件厚度测量评定实例下面将通过工件厚度测量评定实例,考察应用不同不确定度模型的评定效果。测量过程符合H坐标测量机操作规范和使用条件。工件W自然状态放置于测104 第六章典型.CMM尺寸測量任务的不确定度评定实例量平台上,选择测头探针配置4BY30,方向角度T1A0B0,标定测头,根据图样基准建立工件坐标系。在低速状态下,选用坐标测量机自动测量模式。6.2.1透明箱方法评定为了方便测量,从测量基准面(图样中的A基准面)上对称取4个点巧(即?=10沉=邑均被重复测量了10次再4),重复个测量循环(即10),P每个巧点;工件上端面取一10。点A,重复测量次记录测量过程中的温度从;保存测量文件0+rC。另外变化为2,利用坐标测量机测量软件对A基准面平面度的检测,可W获知其最大平面度为.0.001mm;根据W往常规测量经验可知复现性最大误差为0.0023mm。""打开自主开发的离线评定软件,具体应用透明箱端面距离测量评定模块,实现测量结果的自动评定。实验测得数据及数据处理分析结果汇总整理如下表6.1、表6.2;表Pi点重复测量坐标数据Tab6.1ThecoordinatedataofPiointsinreeatedmeasurementppxPPl:zP2xP2:P2z重复测量Pl:l;y;y;---173...074712835110.0018119.41458691250.00282-73--.0761128.35290.0018119.4140旅.91巧0.00283-73--.0767128.3巧80.0018119.413286.91480.0027--4-73.0769128.35470,0019119.413386.91450.0028---573.0767128.35520.0020119.413286.91460.0028-6-73-.0768128.35610.0020119.413286,91440.00287-73--.07仍128.3%10.0021119.413286.91460.0028-873--.0769128.35610.0021119.4132郎.91460.0026-1--973.1119413286.914700027.07662835610.002..---1073.0767128.35610.0020119.413286.91460.0026-73--均值.0765128.35480.0020119.413486.91430.0027标准差0.000680.001730.000130.000450.000700.00008均值标准差0.000210.000550.000040.000140.000220.00003P4-重复测量P3P3y.P3..P4:x:zXP4y:z---2--176.5564112.1500.000978.022178.83220.0017---21--0776.55巧112.2400.000878.022678,8316.001--376---.55501121巧00.000778.024678.83120.0017.----4762-.555011.12200.000178.024778,83100.0017105 合肥工业大学博±研究生学位论文-576----.5544112.12100.000378.027078.83040.0015-676----.5550112.12200.000578.027878.8巧30.0001-----776.8301000.5544112.12200.000778.028278.11-----876.5542112.120.000878.030678.82970.001310-----976.5巧3112.12100.000878.026378.83070.0017---2--1076.巧3511.12100.000778,026178.83050.0017--76---均值.5547112.12200.000578.026078.83070.0014标准差0.000940.001390,000490.002600.000870.00051均值标准差0,.000300.000440.000160.000820.00028000016表6.2Pic点重复测量坐标数据Tab6itdtititt.2ThecoordnaeaaofPkonsnreeaedmbasuremenpp重复测虽Pk:XKc:Pk:zy-130.549746.463950.0106230-.548246.462850.0105330-.547446.462750.010643064-4646255006,54..01530.5451^6.4化250.0106630-.544346.461950.0106730-.544346.462250.0106830-464607.5436.1850.019305442-46.4617500107,.2*1030.54446.461350.0107《46均值30.46235006.54巧.01标准差0.002080.000730.00006均值标准差0.000660.000230.000026.2.1.1基于GUM方法评定测量不确定度(1)测量结果的最佳估计值最小二乘拟合平面V方程表示为—-=0-乏.000002JC0.000007y0.0015%即:=-=--a0.00000260.000007c=0.001595。,,由公式(3.2)得到&点到拟合平面V的距离(测量结果的最佳估计值i)为:L=500120mm.其中带入计算的x、於、Z坐标值为户点10次重复测量的均值。即:tit==-z=。X30.5457,乂4^4623,50.0106*^*106 第六章典型CMM尺寸测量任务的不确定度评定实例(2)合成标准不确定度在公式(3.2)中,输入量:C、、Z互不相关,并忽略a、6、C之间的弱tJVtt相关性。根据GUM方法合成,即可得到最小二乘方法计算结果Z的标准不确定度222."X+."+."2皆(*)以*)(*)1f封隆1?"+?"H苗;闻叫苗采用简化的实验方法估计"(y、Mz、"y、uZ。*)(*)(j)(j)巧采点时对应工件坐标系X、Y、ZH轴方向上的单点测量标准不确定度取值为:?=。=0.00260;仁,)仁,)剛"==01〇.0073如;,)(y.Lx=Mz'=£7z'0(.00051。,)(,)m。A采点时对应X、Y、ZH轴方向的单点测量标准不确定度取值为;Mjc=crx=0.00208;(*)(*)"==0.00073;(y*))Mz=<Tz=0.00006。(*)(*)二求得的最小乘计算结果I的各不确定度分量如表6.3所示;表6.3最小二乘计算结果I的各不确定度分量Tab6.3TheuncertaintycomonentsofleastsuarescalculationresultLpq对应各分量的对应各分量的符号不确定度来源标准不确定度传递系数绝对值"X0.002080.000002‘A点测量X坐标Uy‘A点测量坐标0.000730.000007M:点测量Z坐标0.000061tAU。拟合平面参数a0.00000330.545663"b拟合平面参数60.00000246.462634"C拟合平面参数C0.0002巧1107 合肥王业大学博±研巧生学位论文求得最小二乘方法计算结果Z的标准不确定度M:l=0.00030mm由坐标测量机测量工件端面距离的不确定度模型:-?/=王+Z片20+《+<5+<5+))£做〇a/假设输入量a、、、5^、、■t、<aV、r如<Aw命互不相关,根据化M方w/80法合成:,测量工件端面距离/的合成标准不确定度."."瓜+.+)响)"=。簡K勒睹)语HI+W+U+U+UIIggQq^jy实验中,测量机在低速下测量工件端面距离,由测量速度引起的不确定度分量IV大小低于测量机示值误差影响的10%,可W忽略。求得的测量结果/的各不确定度分量如表6.4所示;表6.4测量结果/的各不确定度分置Tab6.4Theuncertainlycomonentsofmeasurementresult/p对应各分量的々公A化对的符号不确定度来源标准不确定度传递系数(mm)U最小二乘计算I0.000301.000013lUj温度变化0.577350.000635U.。,工件热膨胀系数0.00000150.011951u光栅尺热膨胀系数C0-。"m.00000150.011951"测量机示值误差0.001851EW测量复现撞0.001331rdu工件均一05〇性0.0081Bj求得合成标准不确定度:="0.00240mmC(3)计算扩展不确定度>=根据佛S/95%时对应包含因子;t=2取置信概率,,得扩展不确定度108 第六章典型CMM尺寸测量任务的不确定度评定实例U=kxu=0.0048mm^(4)测量结果表示工件厚度的最终测量结果表示为:/=王±{/=50.0120±0.004mm1=2。(巧;6.2.1.2基于MCM评定测量不确定度(1)各不确定度来源QV、U、7\馬、&W的分布类型及分布区间m如表6.5所示:表6.5MCM不确定度模型中输入参数特征Tab6.5ThecharacteristicsofinputparametersintheuncertaintymodelofMCM输入量含义分布类型分布区间工件热膨胀系数均匀0.0000220.000024[,]a"光街尺热膨胀系数均匀[0.000009,0.OOOOH]T测量过程温度均匀19,21][8-000320测量机示值误差影响量均匀[.0的.e,38版测量复现性影响量均匀k〇.0023,0.0023]一S工-0件均性影响量均匀[.00100.0010〇Bj,](2)X、3;、Z、JC、K、Z的期望值和标准差如表6.6所示,为安全考虑,t1a,J,,按照均匀分布考虑,根据%%置信概率,推得各坐标输入量用于计算机仿真的对应分布区间,如表6.7所示。表6.6MCM不确定度模型中测量点输入量特征Tab6乂ThecharacteristicsofmeasurementointinutsintheuncertaintmodelofMCMppy输入量含义期望值标准差点测量X30.54570.0021坐标XA*坐标*46於A点测量y.46230.0007ZA点测量Z坐标50.01060.0001k-73拟合平面测X坐标.07650.0007JC,巧点1的 合肥工业大学博±研究生学位论文拟合平面测巧点;坐标1站.35480.0017y;,-〇Z拟合平面测巧点Z坐标.〇〇2〇0.0001,X拟合平面测A点X坐标119.41340.0005玉86.91430.0007拟合平面测&点;;坐标-0玄拟合平面测戶点Z坐标.00270.00011,拟合平面测巧点JC坐标76.55470.0009-拟合平面测巧点;坐标112.1220.0014於;Z坐标-0Z拟合平面测巧点.00050.0005j-78X拟合平面测A点X坐标.0260.0026*-78y拟合平面测A点y坐标.拍070.0009,-0乙拟合平面测戶点Z坐标.00140.000544表6.7MCM不确定度模型中测量点仿真区间Tab6.7ThesimulationintervalsofmeasurementpointsintheuncertaintymodelofMCM输入量含义分布类型分布区间XA点测量X坐标均匀[30.5416,30.5499]k-?46.463846点测虽.46〇坐标均匀[,WAyy*Z&点测量r坐标均匀[50.0105,50.0107]k-73-X坐标均匀.077873.0751X拟合平面测[,],巧点1巧.35M!28.3583;拟合平面测巧点y坐标均匀[,]J,-0-Z坐标均匀[.00220.0017Z拟合平面测巧点,],119.412511X拟合平面测户点X坐标均匀[,9.4143]!2拟合平面测A点y坐标均匀[86.9129,86.9157]^2-0-.00290.0026Z拟合平面测A点Z坐标均匀[,],拟合平面测X坐标均匀76.巧2876.5566XA点[,]j110 第六章典型CMM尺寸测量任务的不确定度评定实例25〇-21拟合平面测巧点y坐标均匀户112.1,11.194]-0Z坐标均匀.00150.00〇5,Z.巧合平面测巧点[]!78-点X坐标均匀仁.旧1278.0208X拟合平面测戶,]*4-78-.扣2478.拉故於拟合平面测A点y坐标均匀[,]-0-.00240.0004Z拟合平面测A点Z坐标均匀[,],=(3)取M100000.样本容量,,根据表67所示的的分布类型及分布区间生成、、、IX、ZJC、Z随机数组来计算最小二乘Z/,得至jl00000*於*f九,,个样本的计算结果。(4)根据ar、qT、r、S、A、,同理通过?mgjo&W的分布类型及分布区间计算机模拟产生随机数组来模拟7\S、&W的取值,样本的容e=M100000。量为,(5)根据W上得到的1〇〇,〇〇〇个样本的心、斬、"M、r、、為〇、随机序列/的数学模型,求得100,000个/的样本值。,代入端面距离(6)测量结果/的最佳估计值I为该100,000个样本的均值:=Z.mm500120(7)测量结果/的标准不确定度K的为该100000:,个样本的掠准差w/=.000^7mm()=%%时(8)将得到的100,000个/的样本值从小到大排序,当置信概率户,50.01:测量结果的包含区间估计为[.00505087,扩展不确定度为,]=C//0.00447mm()此时包含因子;t=i1.89最终测量结果表示为:===/.1.mmA.。I±50020±0004;189(巧软件显示评定结果如图6.3所示,可根据用户要求自动生成并保存成Word评定报告。111 合肥工业大学博±研究生学位论文工件4南巧g巧?评去\——cwjrjr.kHM?S4J?Mi:■-I ̄巧?^ft工nagww》1:巧^.....—?一一■w*-?**?-?■巧?,二争^^'乂-一."^一.".*工,?巧VI,;—.J.岭f|二^*.…—?'...,表KCZ??SJIsiMHHl?isC,BiiP白I?■,?,■入,??>*?’—*?篇价為巧:'.Z—ILI—J;r;;?!化*.,?";巧乂拭?献》?:弟去a-———:.twW一>向??1?:狀-AOW..iWWBoCQK〇<?e—?artssowfliw6.?a?u。"化ow??坤2s鸣,?;:巧....’?"、一占>;_?-知二二C底二1這二/js肿技这,,.^"*?…^*■,w^—2^,X?au??竹<5?说》?0M3jr带,?一^/^:二■尸\巧/、/\■:??MR??MMI??M???Ma?气^w一生成》巧,?4?〇■??〇?M-tion??!?〇〇woesoeo■说就"化;■■8**??■"-V?30一<占.>—*A*?£j1一*一一1;—______———————图6.3工件厚度透明箱评定结果Fig6.3Theassessmentresultofworkpiecethicknessusingtransarentboxp6.2.2黑箱常规测量评定由至少3个测量人员分别自行安排完成测量,每个测量人员重复做多组测量,每组都是相互独立的测量循环,包括工件放、装夹固定、测头校验、建立工件坐标系、测点分布等都是完全独立的,每个测量循环重复测量10次;保存测量文件。测量工件时的环境温度为2〇±rc。打""开自主开发的离线评定软件,具体应用常规测量评定模块,实现测量结果的自动评定。实验测得数据及数据处理分析结果汇总整理如表6.8、表6.9。表6.8H个测量人员的多组测量结果(mm)Tab6.8Themultlemeasuremenesulsofhreemeasurersmmiptrtt()重复测量人员A人员A人员A人员B人员B150.010650.007750.008350.009950.0092250.010550.00%50.008250.009950.0093*350.007.150.0..0106506500080995000920810450.010650.007750.05.009950.009355011098.0092.00650.007750.0085.00506501..0091.010650.00%50.00850009850750.01065000775000825000982...50.009850.010750.007750.008150.009750.0092950.010750.007650.0082.00975050.00921050.010750.007750.008150.009750.0093均值50.010650.007750.008250.009850.0092112 第六章典型CMM尺寸测童任务的不确定度评定实例标准差0.000060.000050.000070.00009化00006均值标准差0.000020.000020.000020.000030.00002重复测量人员B人员B人员C人员C人员C150.011150.011850.010650.010750.0106250.011950.012750.010650.0107如.0106350.011450.012250.010650.010850.0106450.011450.011950.010650.010750.0106550011250.011850.010650.010750.0106.650.011150.011550.010850.010750.0106750.011150.011450.010850.010750.0106850.011250.011450.010850.010750.0106950.011150.011350.010850.010750.010611115001135001085001050.0...0750.0106均值50.011350.011750.010750.010750.0106标准差0.000260.000450.000100.000030均值标准差0.000080.000140.000030.000010一表6一.9任取某测量人员的组测量结果(mm)Tab6.9Asetofmeasurementresultsofonemeasurermm()序号12345测得值50.011850.012750.0122如.011950.0118序号678910测得值50.011550.011450.011450.011350.0113表6.9所示测量人员的测量结果均值为;'王=50.0117mm6.10数据处理得温度补偿引起的测量不确定度概算如表所示,测量结果的不_确定度概算如表6.11所示。表6.10温度补偿引起的测量不确定度概算Tab6.10Thebudetofmeasurementuncertaincausedbtemeraturecomensationg^ypp标准不确定度标准不确定度不确定度分量来源(mm)M测量温度变化0.000%7r被测工件热膨胀。。。。。。。?0.000029c畑系数变化CMM光栅尺热膨。。。。。。。U国0.0029胀系数变化113 合肥工业大学博±研究生学位论文表6.11王件厚度常规测量下的不确定度概算Tab6.11Theuncertaintbudetinconventionalmeasurementofworkiecethicknessygp标准不确定度标准不确定度不确定度分量来源(mm)U示值误差0.00化48e01U测量重复性.00043。01测量复现性.00327U温度补偿0.000369Temp假设各不确定度分量相互独立:,测量结果的合成标准不确定度为=0231.00mm==95%A2:根据给定的置信概率P,取包含因子,得扩展不确定度==Ukxu0.0046mm^最终测量结果表示为:王=±^/=1=5〇.〇17±0.004111111A2。乂(巧;软件显示评定结果如图6.4所示,可根据用户要求自动生成并保存成Word评定报告。辛化測在法??〇?!?,;iA?tmMnni罕月ita?VX?巧■1:。??口,?V&〇?1、fttionTC化3BSSXK&ES3E^IESBB9BBSBBI^EE3Q一—*'**w*ac—*-■??叩,1?Tr二■.因□去Ir:玄取??i"?-乂-mLu)i1A.己■*?玄丈::一二Aj.I*????w.—巧一UMl)JCKlMftAiMmiAtil)??'??A!fS、mSUUCW一…:I’ ̄i^l''?I'■.t*!:??■*T1三Kf巧IS系,’—.;??、?wwr品-■-化-?若式扉蛋—〇-?wia?—i;Aou化D-*MtA**yYi诉t*g? ̄ ̄?Ut>-??化辛啤'X"、?:?fMr右I工f**化Wf?)么化wn&禱rr??ucm?化《巧出,w文々?从br::占;、^??w??化々.?脚?!**?1货IUi?*L。啤■.9m-■i:?>?1?IJ5___#,图6.4工件厚度黑箱常规测量评定结果-Fi6.4Thea巧essmentresureceiinliremgltofwokithcknessusbackboxconventonalmeasuentpg6.2.3常规测量结合MCM评定直接利用之前常规测量获得的测量数据,打开自主开发的离线评定软件,具114 第六章典型CMM尺寸测里任务的不确定度评定实例""体应用常规测量结合MCM评定模块,实现测量结果的自动评定。测量人员的测量结果均值为:r=50.0117mmT、r、61各不确定度来源om馬、的分布类型及分布区间如表.2所示:表6.12常规测虽结合MCM的不确定度模型中输入参数特征Tab6.12ThecharacteristicsofinputparametersintheuncertainlymodelofconventionalmeasurementcombinedwithMCM输入量含义分布类型分布区间U工件热膨胀系数均匀[0.000022,0.000024yf]OTm光栅尺热膨胀系数均匀[0.000009,0.000011]T测量过程温度巧匀[1921,]S测量机示值误差影响量均匀-[0.00320.0的2e,]5-0测呈重复性影响量均匀[.0002480.000248胖,J8-0测量复现性影响皇均匀[.0022980.002298版,]=取仿真样本数Miooooor、S、,,根据的分布类型e、ot、、<、及分布区间,通过计算机模拟〇v7\S5的取值得到的rmgw;将与1〇〇〇〇〇个样本的《、r、如>、入常规测量结合1^£的评定方,^&?>代000/值法中测量不确定度的数学模型,得到100。y,个样本的测量结果;测量结果y的最佳估计值F为该100,000个样本的均值:7=1150.07mm测量结果y的标准不确定度《从为该100,000个样本的标准差:?;=0mm〇.00231)000个测量结果样本值从小到大排序=将得到的100,当置信概率P%%时,,:V测量结果的包含区间估计为[50.00巧50.017糾,扩展不确定度为:f/=mm0.00436(y)此时包含因子4=1.89工件厚度的最终测量结果表示为:===7±50.0117±0.0044mmA1.89。y(;)511 合肥工业大学巧±研究生学位论文软件思示评定结果如图6.5所示,可根据用户要求自动生成并保存成Word评定报告。■1E冉t巧合M仁M\*mrM?*u-?MlA分nSMCUPEt*i|WMW1"?ra,■o?sc?is巧"0!/0:?MEk*A。,:,iirsyftjnSR?SEIi^4JUKAT1CIUBMMmMo,?'xifr*/CIWWaiKWSWtA。?%??4iTj*—"■???*〇?"?L?J???…■:哉ir;*rtr?r£*.'空幼巧C卽巧巧Wl?’心V*t*csr,山A,A4.lf;■机iVJ??.*nctwwa1.2?r:巧mta?也■?.,?:>:I^a,...:i乂..3''r:,,Ki巧逆?:二么里-—1>1^>IStr..n屋?S9Cran^aonRsuttui00营'<c^MUBitVC塵《*八?K^ntA拓■nmt■;aMxarw,;gr'—r<*?.i*t*nf|■-.5f''-?■?‘yi■-:;:;..:>S.;IVt!fC3I.!,.,、',.’■?,..-..VO:;<.'j*,acHMsI*、,??■?,;?■;'.?*?,??IM*-一?.':....*!:??*?'-、?.?.?;:*,‘?a.'布MU?S.I*;-..?化onyw'ii,;?>?>>I点巡'j''-*"K。"阶I'.■W王防化,"?,ilT??M-’?frA巧州*?rMmmMlN<Ufrma}skamo!o>〇9SMmy.|m|.fv;??,?P,,r?*Kifi*6巧Wfi一、1占.;■去i:成C?咕…—巧1"’-、Lji。;筑滅战顆溫盟巧品;?;???i;?古!…...???■—Mt,j>.^■*3I■.、>k■^I.??■IyI?.■一?w>■—图6.5工件厚度常规测量结合MCM评定结果Fi6.5ThementltithiinconventionalentcombinedassessresuofworkececknessusmeasuremgpgwMCMi化6.2.4SVCMM评定为了方便测量一,在个完整的测量循环中,从测量基准面(图样中的A基准一《=工件上端面取面)上对称取4个点C(即4),再从点&,保存测量文件。记录测量过程中的温度变化为2〇±rc。另外,利用坐标测量机测量软件对A基准面平面度的检测,可W获知其最大平面度为0.001mm;根据W往常规测量经验=0023mm。取仿真样木数M100000,假设置信概率可知复现性最大误差为化,尸=95%。""打开自主开发的离线评定软件,具体应用SVCMM端面距离测量评定模块,实现测量结果的自动评定。实验测得点坐标数据及其方向余弦如表6.13、表6.14所示。表6.13测得Pi点坐标数据及其方向余弦Tab6.13ThecoordinatedataanddirectioncosineofmeasuredointsPpiX--z-采样点实测y实测实测ikj--PI.0747128.351.1巧10008001-P2119.4145郎.91250.0028001116 第六章典型CMM尺寸測量任务的不确定度评定实例巧76--.5564112.12500.0009001-P478--.022178.83220.0017001表6.14測得Pk点坐标数据及其方向余弦Tab6.14ThecoordinatedataanddirectioncosineofmeasuredpointPk-实测-实测z-实测Xyijk30-.549746.463950.0106001确定各不确定度的来源a、a、r、&、^^UJ餐w分布类型及分布区间如表6.15所示:表6.15SVCMM不确定度模型中输入参数特征Tab6,15Thecharacteristicsofinputparamete巧in化euncertaintymodelofSVCMM输入量含义分布类型分布区间工件热膨胀系数均匀[0.000022,0.000024]cCm光栅尺热膨胀系数均匀阳.000009,0.000011]T测量过程温度均匀[19,21]8测量机示值误差影响量均匀-00的200032[..e,]S-0测量复现性影响量均匀[.00100.0010旭,]-一S-0工件均性影响量均匀[.00230.0023〇Bj,]=取仿真样本数M100000、,,利用计算机仿真向实测的A巧点加入探测误000二乘王'差的影响,得到100,000组仿真测量点集,计算得到100;,个样本的最小^=同样取仿真样本数100000《、、3、3、,,根据7\|^?6?〇&^的分布类型,通过计算机模拟、了、、、取值:将得到的100000及分布区间如J&W的,'个样本的1、qT、r、<^、^5、&SVCMM端面距离测量评定方法m£^w代入中测量不确定度/的数学模型,得到100000个样本的测量结果/值。,测量结果/的最佳估计值I为该100000个样本的均值:,L=500122mm.测量结果/的标准不确定度M/为该100000个样本的标准差;(),?/=0mm.002巧()117 合肥工业大学巧±研究生学位论文100000个测量结果=将得到的,/样本值从小到大排序,当置信概率P95%时,50.005550测量结果的包含区间估计为[.0190],扩展不确定度为;,=t/…0.00449mm此时包含因子;A=1.89工件厚度的最终测量结果表示为:==/=王±50.0122.。±00045mmA1.89();软件显示评定结果如图6.6所示,可根据用户要求自动生成并保存成Word评定报告。vcmmAa距AWfif去i——::JHlirtBfllI」,巧*i:安jIiii:::■化i|?…U"Ilill.U■麵麵_二jp?"w.u舟々*w*?,.j!'二?’……■一占■■:!^i,w.i4Aw,*<"rv—V—aJ-■,?Amj:?.1.-?-'’??書.A;7Jk…|??^^?W1mjjtit年.…二二二:.irzn三之立]Inu?B—一I沁i&?■巧II……財Wft*■你巧;…证饼子啤…、*甲:.?■*'ic8"王H#r?一—-->;、-**!单兮*?々*-".^巧戸|、子巧巧巧田不?田15?玉》^.*巧巧巧■;M、.*ce—————-\truV.■广1?t?、,I:*tw?fc■f办!**<5IOBC^,》1??.V?,..j*化K。;a’,?L??..???.???Is二;;;y;I?,y—-L—'??->、——i1!;4;j.{VMvms这?占a*■;Itii口i田冉u—"—-.iw.9心T.lf"?!面,t、6.?〇?-'……rA*">〇.:生成*?i?;r品:.1?W11-."…一?.,麵.…?!>?■、■?!*?一、、A-U'a4。>一一SI;口fi■1*/?Ia雲?■?I??图6.6工件厚度SVCMM评定结果F.Tece:siig66hea化essmentresultofworkithicknesusnSVCMMpg软件自动保存到数据库的工件厚度评定数据记录表如图6.7所示。M<'T)(、口).*.?巧〇)tK8)0K>f?<?巧M-n?.?■LiV1M&?&???,:巳:v6—;;二.?_给..:—.^斗.4.今_.主^.:.......j}..L名..….也.±._fiL.品.身己I刊g—^一:爪iwSTT*偷占^击I去口;巧b早這切巧好Pi百三江%;1'st/jT-vWKBHHBBBBBIcr?ar*击一,r,sflKT??Rf???iBAcAmiRi&??Teg?i.c玉t?*r!?C5?i:巧ic*?nc7-£??!?!?ecia?iwe(次?t?i;?|_id^^-:??B;■nc巧6MAsen它?田?立巧&wciw;K.y&£:t巧■tcmi?seawntxnM。嗦。化."一iKgsfg*i生t?"、:emf??rmfiKcvmtme??t_^S£*>,&R;??UK巧?% ̄KTf三s?nIts文jv<9ccS:*?K?巧TCgni\UKItktc*w拍rrx9bum?nimT!定>图6.7工件厚度评定数据记录表Fig6.7Theassessmentdatarecordofworkpiece化ickness6.3不同测量方法下的工件孔径测量评定实例下面将通过工件中必孔径测量评定实例,考察不同测量方法对CMM测量精度的影响。测量过程符合H坐标测量机操作规范和使用条件。根据工件中必孔径情况选118 第六章典型CMM尺寸測虽任务的不确定度评定实例择测头探针配置4BY30。在低速状态下,选用坐标测量机自动测量模式。631.常规測量评定工件iU自然状态放置于测量平台上,测头方向角度T1A0B0。在测量时,测量点数均取为25个,测点均匀地分布在相同的圆孔深度。通过3位测量人员的10一次独立测量结果考察测量复现性指标(表6.16),任取某个测量人员的10次重复测量考察测量重复性(表6.17)。对于不同的测量人员,其测量过程独立,包括工件放置位置、装夹固定、测头校验、工件坐标系建立、测点分布等完全独立。对于单个测量人员而言,10次重复测量的条件尽量保持不变,测量在短时间内完成。测量工件时的环境温度为2i±rc。""打开自主开发的离线评定软件,具体应用常规测量评定模块,实现测量结果的自动评定。表6.16各测量人员的测呈结果(mm)'*Tab6l.16Allmeasure巧measurementiesutsmm()人员。=二==三/1i2/3f4i5次数=122.983422.9的322.9拍622.9拍922.98087=22.981422.9扮322.984222.983822.9835J2=22.983022.983622.983722.982422.9836J3=422.9巧422.983522.985922.983422.98347=2522.985522,984422.98402.983722.9836j=622.982522.983122.983922.983922.9824J=722.983322,983022.983922.981022.9834j=22.983222.983422.983622.983822.9839y8=22.981722.982922.984222,983922.9836y9=22-983122,983322.983922.983822.9866yl〇人员=6===9=1117/8f/0次数=122.983822.982622.982622.983822.9833;=222.983922.983822.983622.986922.9840j=22.984322.9的722.983922.983822.9840y3=282222422.9822.984322.9836.9837.98巧J=22.984122,983422.982822.983822.9840j5911 合肥工业大学博±研究生学位论文=y622.984022.983822.983622.984022,9843=l22,984022.983522.983722.983622.9840j=282.981422.984022.984022.984322.9840y=22.983722.983522.984122.982222.9808y9=71022,984122.982722,984622,983222.9835表6.17某个测量人员的测量数据(mm)Tab'617onemeasurersmeasurementdatamm,()序号12345测量值22.980822.983522.983622.983422.9836序号678910测量值22.9沿422.983422.98巧22為拍622.9866得到不确定度预算如表6.18;表6.18工件孔径常规测量下的不确定度预算Tab6.18Theuncertaintybudgetinconventionalmeasurementofworkpieceaperture标准不确定度标准不确定度不确定度来源敏感系数分量如m)U示值误差10.00178eU测量重复性10.00045。U测量重现性10.00的0"M温度补偿10.00017&w假定各不确定度分量之间此独立,则孔径测量的合成标准不确定度为:=?0.00187mmc=9=按置信概率P5%,取包含因子A2,得孔径测量的扩展不确定度为;£/=0.00巧mm根据表5测量数据的平均值,最终测量结果应表示为:Z=mm=22.9835±0.0037A2。;()软件显示评定结果如图6.8所示,可根据用户要求自动生成并保存成Word评定报告。120 第六章典型CMM尺寸测量任务的不确定度巧定实例■5T化巧走法cMM?ftXAawai>〇〇?iMm?l/jaT:〇??*巧CarP??S*n巧A8X|■审二]扭W'.’Inr在yro?j》它?avfcc巧SItA山!?/>:,?xmazef■laatnn广;n!■?trail;丘*巧tRR:???臣DTJW[wtMNK一?M?3?,???????.:一?*?v^???A?umn巧JK*ri.i【:狂BWi*:.‘-w。"’时?附古‘'a?VK?(:?i—,:AiLij,Al.ma■,一—-t-,,g'i了m■■■■■■■■■■■■■■■■■■■SW入>、S?M、!<M*iin?BSMn?W>■■■■■■■■M■?w02RAIV)^A(r)SAKHL^ewaUTMeDMWA*WM|jXtTHWr""…|■..;*?.>:"",占Vi...;';;,xIM]、...'.?.、:一》ri、...-?N;‘.>X,;.W*■%?>、J.?,*vMir.';,■?..?x义.??、???■?.:王<;—***?*?■化*化?;t?=*化ti蜡?:?篇i?诚15妄!r,!*1肋《??化-化—内坤古1!?却:六化一—-■??化.*?*,"wwt?,防W…。a.一脱肺州WTn?i广病:冷;;式|山酿*Ucm,;"众wr*?谭皆车?<。?作w..V*rt:AMD"?化也托?2賊巧Ct巧:IM8{化、??????..?**-*、,'A’?口古J》?gjItTi图6.8工件孔径常规测量评定结果Fig6.8Theassessmentresultofworkieceaertureusinconventionalmeasurementppg6.3.2替代测量评定一个形状选择、尺寸与待测工件近似的工件,送至计量部口进行检测作为己校准工件,得到的校准值为22.9825mm,校准的扩展不确定度为0.0020mm。,每次测量循环过程独立进行20次测量循环,包括工件放置位置、装夹固定、测头校验、工件坐标系建立、测点分布等完全独立。工件W自然状态放置于测量平台上,测头方向角度T1A0B0。在每个测量循环中,分别对已校准工件和待测工件进行测量。在测量时,测量点数均取为25个,测点均匀地分布在相同的圆孔深度。测量工件时的环境温度为21±rC。20次测量循环的测量结果如表6.19所示。""打开自主开发的离线评定软件,具体应用替代测量评定模块,实现测量结■果的自动评定。巧6.19工件孔径替代测量的实验数据mm()Tab6.19Themeasurementdatainsubstitutio打1116赴11化1116111:ofworkpieceaperturemm()测量循环1234522983821983222.9837229835229838已校准件...被测件22.982622.982722.983422.983122名838测量循环6789102222222224已校准件.9837.9826.98362.98;?6.981211 合肥工业大学博±研究生学位论文被测件22.9的322.982922.9扣122.984022.9拍0测量循环H12131415已校准件22.984122.9扮722.982722.983222.9828被测件22.984322.9的422.982922.9838巧.9841测量循环1617181920已校准件22.983722.9拍322.983922.984622.9拍4被测件22.984222.983422.984022.985022.9840根据测呈数据表6.巧可得测量结果估计值为;=二歹22.9。5匪不确定度预算如表6.20:表6.20工件孔径替代测量下的不确定度预算Tab6budtiti.20Theuncertaintetinsubsutonmeasurementofworkieceaertureygpp标准不确定度不确定度分量不确定度来源mm()U細工件校准值的不确定度0.00100Up测量过程引入的不确定度0.00060实际工件与已校准王件的差。^^。。。"W异’引入的不确定度W上各不确定度分量相互独立,合成标准不确定度为:M=0.00117mmeA=按置信概率,确定包含因子2,可得孔径测量的扩展不确定度:=t/.00023mm最终测量结果可表示为:==L22.9825±.nunA。00023:2;()软件显示评定结果如图6.9所示,可根据用户要求自动生成并保存成Word评定报告。122 第六章典型CMM尺寸测量任务的不确定度评定实例公化測?法-U用i?l,鼠?阵车苗化Ci?4?8MM?CMS.m工>|5?化*?〇?■口辛.9.'.MK巧?SS??AtMT1Ci?cI^睡?入《1?雪*s<???{Rt麵株》"?,一sMMt?研化作巧>?巧?、*cs??"巧IKCIltat?齡>1>,謹*11?。巧MXWMMwSB?—?r.M一?巧aT*??,? ̄'zrww*??。。.《?a.nnTibmi&giazxstts-wass.BBas&?**?.??}r.".??■/?■a?身J^f[,.■,i;][j!,_…"—''* ̄—-—.?:?參。i*mt?s4V?.i?n占i^品Wm^lii]立SijiJ运iwoiiao社》?|j|||J[^j.WtKtn*7fliTAnf巴巧,IM"?度W*#MM巧讓——— ̄——————…-033.9*1)7z.ms>扭—》f扛—a[a.w?Jawnf&iNi]aM?fa?iM:任一:;三己-t,…*?r¥?3-\!."?、,??'*,.■?,"■?;化,化''.-■成击……-’,心品u:■:i■1u一-- ̄"—USHU,*7叫±知《|2?么〇〇錄[|巧?来.巧S?.导...,;辛_一_;■——"u?l0006Mm工?,.&???|為|■.‘?."A'ws,wfti■■-*》、,交.如71&*1#?!*??1)?〇?I:说"??,MMbA?nM?MJ;Lj...,*..■-■,?.-?■,*;?.?"■图6.9工件孔径替代测量评定结果Fi6.9Theassessmentresultofworkieceaertureusinsubstitutionmeasurementgppg6.3.3补偿测量评定测量过程包括工件测量、长度实物标准器的测量、直径实物标准器的测量呈个部分。(1)工件测量一H个绕机器坐标轴旋转°选取4个方向(个自然放置方向加90的方向)对工(件进行独立测量,每个方向测量5次,选择配的测头配置方向)。实验照片如。图6.10所示在实保测量时,测量点数均取为25个,测点均匀地分布在相同的圆孔深度,±rc.-但选择不同的测量点分布。20次独立完整的测。测量工件时的环境温度为20"-.21。打开自主开发的离线评定软件量结果列成表6,具体应用补偿测量评定模"块,实现测量结果的自动评定。123 合肥工业大学博±研究生学位论文幽r^BBm图6.10工件测量实验照片F.10eexeenarsorrig6Thprimtlho化gaphfwokpiecemeasuementp表6.21王件孔径的测量数据mm()Tab6.21Themeasurementdataofworkpieceaperturemm()====序号方向jl方向j2方向j3方向j422.98422222.9812227.9855.984122.985122.985222.984122.98722-2285822228322.98523.9.9M6.9122.984422.985222.984622.9862422.9847228462252.W522.9.9850.21所有数据的平均值为表6:=y22.9848mm(2)长度实物标准器的测量mm标准|^已校准的19.9973量块作为长度的实物标准器,其校验的扩展不确定度为化0003mm(由级千分表校验)。在测量工件时所在的测量空间内对量块进行测量。在H个与机器坐标轴相互垂直的放置方向上分别测量。在每个方向上,采用3种不同的测头系统配置,且采用的测头系统与测量工件时采用的测头系统配置类似。得到9次测量结果列成表6.22。测量时的环境温度为2肚rC。124 第六章典型CMM巧寸測貴任务的不确定度评定实例表6.22标准量块的测量数据(mm)Tab6.22Themeasurementdataofstandardgaugeblock(mm)序号位置1测量位畳2测量位置3测量20.000819.999120.0002120.000919.998720.0000220.001219.999020.00033由表6.22得长度测量的平均误差:=0272mmE.00l(3)直径实物标准器的测量W校准值为56.9990imn的标准环规作为内直径的实物标准器,其校验的扩展""JJG-不确定度为0.0006mm(根据8941995标准环规检定规程査得3等环规直径变动量范围)。采用H种探针进行测量,每种探针测量3次,每次测量相互独立,共得到9次测量结果列成表6.23。测量时的环境温度为2化rc。表6.23标准环规的测量数据mm()Tab6.23Themeasurementdataofstandardringgauge(mm)序号测头配置1测头配置2测头配置356.998557.000656.99831W.998256.999456.99922W.W8457.0009%.99巧3由表6.23得测球直径误差;£=0.000。nun〇不确定度预算如表6.24;表6.24工件孔径补偿测量下的不确定度预算Tab6.24Theuncertmntybudetincomensationmeasurementofworkieceaerturegppp标准不确定度符号不确定度来源有效自由度(mm)Ure测量重复性0-0004216pUeo测量重现性0.000473gUcorrL长度测量误差补偿0.00的48u〇测球直径误差补偿0.000458125 合肥工业大学博±研究生学位论文Utem温度因素0.0001700p对标准不确定度进行合成,可得合成标准不确定度=0.00086mm其自由度为:=2V2.03:矿=%=按置信概率P95,査f分布表,可得包含因子A2.09,则扩展不确定度=.=t/AU^〇〇18mmc应用长度测量的平均误差和测球直径误差£对测量值进行修正,可得修正。后的测量结果的估计值为:-E-E==229820mm.ycorry,^^最终测量结果应表示为:Z=22.9820±0mm4=2.0018.09。;()软件显示评定结果如图6.11所示,可根据用户要求自动生成并保存成Word评定报告。补色*J?法脚lOftMS及RWC;?4*说》*6i;掛巧n?#ni7nMmm??甲三',::Slm三.|不?*liwwKx???QQB338fiS88SBEBDB9BBHHHKSB3;?)??w(ifarMvlk>cr*>Mtw一—》l**?tx*'JLUL-ili£J_A_a:<:?MXXt化,化dU:_g乂:三J_^O.OOMT1¥4j*鱼A■!U?;?-:b.iTK*a*?>au(c?iiati?,j.化‘円巧巧訊MT)巧脯jju,,!重*f?**.i?二?n.r?》)U?DMa?n打**cI.-试w?r-jR+*aji.H寬-'-■度》?N>?9?》.Eyag々*?.;,.玉..?:ri,sh?;放玄|^寺'巧8??巧?、YMky±!r占《j,a001,?II'度r,A巧*aww、巧M:*i.1.1?,;riI*;f?*>a——" ̄ ̄J ̄A,■f",一—?a图6.U工件孔径补偿测量评定结果Fi6.11Theassessmentresultofworkieceaertureusincomensationmeasurementgppgp6.3.4常规测量结合MCM评定直接采用之前常规测量中获得的测量数据,打开自主开发的离线评定软件,""。具体应用常规测量结合MCM评定模块,实现测量结果的自动评定测量人员的测量结果均值为:35r=22.98nun.、r、、.各不确定度来源a^么&>、的分布类型及分布区间如表625?612 第六章典型CMM尺寸测量任务的不确定度巧定实例所示:表6.25常规测量结合MCM不确定度模型中输入参数特征Tab6.25ThecharacteristicsofinputparametersintheuncertaintymodelofconventionalmeasurementcombinedwithMCM输入虽含义分布类型分布区间.0000220.000024飾王件热膨胀系数均匀阳,]cCm光巧尺热膨胀系数均匀[0.000009,0.000011]T测量过程温度均匀[20,22]8-测量机示值误差影响量均匀.[0003090.0030丘,刘S测量重复性影巧量均匀-[0.000780.00078脚,]S-0测量复现性影响量均匀[.000520.00052防,]=取仿真样本数Mioooooa、r、、、,,根据、>如斬w么如^的分布类型及分布区间,通过计算机模拟C、C、7\(J、/5、如;将得到的rVmfw>的取值与!00000个样本的a、a、r、、S、入常规测量结合MCM评定方,ww馬w如)代法中测量不确定度y的数学模型,得到100,000个样本的测量结果y值。测量结果的最佳估计值r为该1〇〇〇〇〇个样本的均值:y,7=m22.9838m测量结果y的标准不确定度为该1〇〇,〇〇〇个样本的标准差;=将得到的100000,当置信概率P95%时,,个测量结果y样本值从小到大排序:测量结果的包含区间估计为[22.979322.9882,扩展不确定度为;,]f/=mmy0.00326()此时包含因子:1=1.75工件中也孔径的最终测量结果表示为;=22.9838±0.003mm*=1.75。y(^;软件显示评定结果如图6.12所示,可根据用户要求自动生成并保存成Word评定报告。127 合肥工业大学博±研究生学位论文T化?里巧々MCM???sCMMlA細玉?出IHPBc*,。》田f*WaI乂》<??R〇-巧A〇1xw巧W巧H餐巧化aC?RWNIWt^c?f5MAI??JB51ti'‘Ml*T巧巧化&?W■巧m*5K<-T?T■,x?*■ixi〇^/T;fi*,/.,?.?,*?■?"MM■"ll.*lUWtM■■因!因>...—!!I始说拟側—,心山山JlU:’…’…,》1巧》C?巧巧对MB芭己扣15?三l巧■?i巧i;:ty???v^.*■t三a;.JIi巧*w).JipwriJB?^^一…a.inn*w……;,:—.nrtBO田WS*#A>itCIUkisnKUit?u.ut9〇;:tWtWlAJn?WtAUJgJDMfifiM个It0KVTAS1|"1?賴。"J"?'A>::iT...>*:二巧VSItetWTf)i]'/?'、、:b?-、,A.;x<<.;:;**<。、、;w.、"-.:..、?w;;*?w-??i;巧化irg***w'.**■.一々..v.、?>’>?.,?■;‘‘t:'.;.w"..bWM;■...、,W;、?H'1^*t^:?S..—?iMMlV*乂W;'。化….….—s1tlAAJM&II)—^斗马學王!^以::1山1巧.__"V主巧女??..户推种的啤如,?;;—;品1主放M!?ZZ.9BS9-―1<;-W(ItfTV;i?咖柳— ̄——■个咖《**?<!,,.-?WM??>,?。:??mS.■rtR如脚?:、太&jrf4?一_…twwI!t—^ ̄ ̄5:::,;、—■——,1——;■?H8???t?。巧為,I■IfI■m!t.I*?*t??ft■i—图6.12工件孔径常规测量结合MCM评定结果Fig6.12Theassessmentresultofworkpieceaertureusingconventionalmeasurementcombinedpwi化MCM软件自动保存到数据库的工件孔径评定数据记录表如图6.13所示。,si;r;巧巧咖?,.si-..-?*?)WBW?*々)工>3化巧化hwq':'f.-;?J'*<W:人?:?AAiu々、_53v?J|..::..六."' ̄ ̄ ̄1‘,,:口。?■冉占,一;"V-■'-'*;巧神;'*??’\?cKct二Ittu?伊二<:乙m(;:**?;(?>,《r*.主i--TCM;TC,<*?r**xe.^前:本?rai#iT?rVft;te?<omumieooercr--■"CS?’—7nvn?7?{?"irwDnorriT!?;*:■■??■;tam^7atu:??iamno ̄]jS己xf>*■77ntV口i---sn;仍*?:,?〇l?sflrw?BKxtiii?,;i主c古wi(化?exr!i,?巧生氏巧9UA图613工件孔径评定数据记录表.F.hemendarecrdirureig613Tassessttaoofworkeceapetp6.4CMM尺寸测量不确定度评定最优方案探讨■一个测量任务从上的工件厚度测量和孔径测量评定实例可看出,对于某,可W选择不同的评定方法,,得到评定结果但评定结果都有所差异。如何评价这些评定方法的评定效果,如何根据测量任务的要求选择最佳的评定方法,应该是广大CMM用户最关必的问题一。本节将在评定实例结果对比的基础上就这问题展开讨论一,力图为广大的测量机用户提供些有价值的应用指导,推荐最佳的测量不确定度评定方案。一6.4.1不同评定方法致性为了方便分析,现将工件厚度测量评定实例中由不同评定方法得到评定结果汇总如表6.26。128 第六章典型CMM尺寸测量任务的不确定度评定实例表6.26不同评定方法得到的工件厚度测量结渠比较Tab6.26Theresul化comarisonoftheworkiecethicknessobtai打edb出fere打tevaluationppymethods不确定度.=、滿足p%%的评定方法/(mm)M/mmkC/(mm)()()95巧尸模型类型置信区间透明箱GUM50.01200.0024020.0048口0.0072,50.0168]透明箱MCM50.01200.002371.890.0045[50.0050,50.0187]透明箱SVCMM5001220.002371.890.004550.0055500190..[,]黑箱常规测量如.01170.0023120.0046[50.0071,50.0163]常规测量黑箱50.01170.002311.890.0044[50.0057,50.0178]结合MCM假设W上测量结果服从f分布,分别生成不同测量方法下评定结果的100,000X,.14。个随机取值,用概率密度西数/(表示结果比对如图6所示)由图可见,五条概率密度函数曲线覆盖的绝大部分面积是重的,评定结果一GUM评定(即传统的具有较高的致性,且测量结果均判定合恪,如果W公认的灵敏度分析方法)的结果为评判依据,可W看出这五种评定方法都是可行的,评定结果都是有效的,也验证了论文所提出的SVCMM评定方法和常规测量结合MCM评定方法的实用性。:同时,可W发现不同评定方法的评定效果存在差异(1)国中的五条曲线,按照峰值由高到低出现的顺序对应的概率密度函数曲线分别是属于常规测量结合MCM评定、MCM评定和SVCMM评定、常规测量评定。、GUM评定(即灵敏度分析评定)峰值越高,说明测量结果取得测量结果最佳估计值的概率越高,测量结果越精密。分析可知,前兰种评定方法中都应用了蒙特卡罗模拟,通过计算机随机仿一一,真生成大样本数据,方面随机仿真更符合误差源影响随机性的特点另方面大数据更有代表性。常规测量用于分析的测量数据显然少于前H者,但由于直接从测量结果出发考察测量不确定度的影响,所W测量数据的代表性仍优越于GUM评定方法。129 合肥工业大学博±研究生学位论文00-11巧值由高到化分别对应9Q_1.常规測量结合M〇a平定^2lJi.MCi悅囚70户飞a\■3V.SVCMMifSI|I60-\4i.mSSiJSifSnjI甜_勇5.GUM评定/\1^I:2。-//V\__:i_y_49.9900如.0000如.01孤如.脏00朗.0300朗.04孤巧计值/?!?罔6.14工件厚度测量结采的概率密度分布F6.14Thers:asuremenresuofworkececknesigobabilitydenitydis1ritmtionof化emetl化pithisp(2)从图中还可W发规,GUM评定、MCM评定和SVCMM评定对化的概率密度函数曲线的中必值基本相同,常规测量评定和常规测量结合MCM评定对一应的概率密度巧数曲线的中必值相同、,这两个中屯定偏差值存在。通过第H章的研究可知,这五种评定方法中所考虑的不确定度来源相同,所使用的不确定度模型巧同。细分析不确定度分量的评价方法,如表6.27所示,由于工件不均一性的影响较小,可W看出这个偏差主要反映了测量重复性考察的差异巧。前者的测量巫复性反映在对测量点的测量上,而后者是直接利用测量结果考察测量重复性,理论上由测量结果反映测量重复性的影响会更加综合全面,巧此黑箱模型评定方法优于透明箱评定方法。巧6.27不同评定方法对不确化度來源的考虑*Tab6.27Theconsiderationaboutuncertaintysourcesindifeienteva山ationmethods常规测量结评定方法GUMMCMSVCMM常规测量合MCM单独考虑,中独考虑,单独考虑,单独考虑,单独考虑,示值误差影响取定值计算机化真计算机化真取定值计算机仿真,体现在点坐体现巧点坐体现在点坐单独考虑,单独考虑130 第六章典型CMM尺寸测量任务的不确定度评定实例标测里中标测量中标测量中取定值计算机仿真单独考虑,单独考虑,单独考虑,单独考虑.单独考虑,测量复现性影响取定值计算机仿真计算机仿真取定值计算机仿真单独考虑,单独考虑,单独考虑,单独考虑,单独考虑,温度变化影响取定值计算机仿真计算机仿真取定值计算机仿真单独考虑,单独考虑,单独考虑,体现在测量体现在测量工件不均一性影响取定值计算机仿真计算机仿真结果中结果中一总的来说,从应用层面看,无论透明箱还是黑箱模型评定方法,是具有致性的。,都是有效可行的评定方法6.4.2方和根法与代数和法之比较一继续观察不同评定方法得到的工件厚度测量结果比较表6.26,还可^发现个有的问题。从测量模型类别来说,GUM评定、MCM评定、SVCMM评定同属于透明箱模型评定方法,但MCM评定、SVCMM评定得到的扩展不确定度要小于GUM评定的结果。同样,常规测量评定、常规测量结合MCM评定都属于黑箱模型评定方法,但常规测量结合MCM评定得到的扩展不确定度要小于常规测量评定的结果。从第王章的研究分析可知,对相同的测量任务,透明箱测量模型是确定的,不确定度来源是相同的,不确定度模型是相同的。对于GUM评定、MCM评定、SVCMM巧定这H种评定方法来说,最主要的区别就在于获取合成标准不确定度的方法上,GUM评定(即传统的灵敏度分析方法)是通过对不确定度分量进行方和根来得到合成标准不确定度的;而MCM评定和SVCMM评定方法中,是基于测量不确定度模型,通过代数和法得到测量结果样本,对仿真大样本进行概率统计来得到合成标准不确定度,。可见方和根合成法和代数和合成法在这里发挥了主要作用。对于黑箱模型的两种评定方法,可W发现是如此,主要体现在合成禄准不确定度合成方法的区别上。通过评定实例可见,无论是透明箱还是黑箱模型评定结果,都呈现出代数和合成法的评定效果要优于方和根合成法的效果。因此,在实际测量评定中,可W鼓励多使用蒙特卡罗模拟等采用代数和方法获取合成标准不确定度的评定方法。6.43不确定度评定最优方案CMM的测量应用无处不在,CMM应用的价值主要在于它是万能的高精密测131 合肥工业大学博±研究生学位论文量设备,因而通过CMM测得的数据也相应具有了较高的说服力,随着科技的不断进步,生产的不断扩大,用户对提升CMM测量精度有更多的要求,解决法一方面是提高CMM本身的精度一,另外方面就需要根据测量任务选择最佳的测一方面量方案和测量结果评定方法。论文研究的最终目的是望在后,给用户提供有价值的参考建议。通过工件厚度测量的评定实例,己经可W看出透明箱和黑箱评定方法的评定一效果差异,下面再通过工件孔径测量评定实例来对比观察下,常规测量(包括常规测量结合MCM)、替代测量、补偿测量不同测量方法下的评定效果,看看不同测量方法对CMM测量精度的影响。现将不同测量方法下评定得到的结果汇总如表6.28。表6.站不同测量方法下得到的工件中也孔径测量评定结果比较Tab6heltifthekittib出ffl.28Tresuscomparsonoworpeceaperureobanedyerentevauationmethods评定方法D(mm)Wc(mm)k置信区间常规测量22.9拍50.0018720.0的7[22.9798,22.9872]常规测量结22.9拍80.001871.750.003322.9793^2.9882[]自MCM替代测量22.98250.0011720.0023[22.9802,22.9848]补偿测量22.98200.000862.090.001822.980222.9扮[,巧100假设W上测量结果服从f分布,分别生成不同测量方法下评定结果的000,个随机取值.15,用概率密度函数/X表示,结果比对如图6所示。().28.15可见由表6和图6,H种测量方法下评定所获测量结果的分布区间大部分是相互重合的,且结果取值中也相符,测量结果均判定合格,说明这三种测量评定方法都是行之有效的。同时补偿测量法与替代测量法所得测量结果均已得到一。修正,测量精度明显提高,补偿测量精度更高可见采用同台H坐标测量机,进行相同的测量任务,只是测量方法不同,测量结果精度差异至很大。这充分说明了测量评定方法的合理规划,将有效降低测量不确定度,对于提升坐标测量机的应用价值具有实际意义。132 第六章典型CMM尺寸测量任务的不滿定度评定实例 ̄—--2401I220-巧值由奋到化分别对随A1-/\2001.补僖測查I平定1^I-180/A2.音代测畳评定I-1扣3.常规測量结合M巧定回/\I"-04.//\\常规賺评定囚UIIiIII22...22.970022.97凯9800班祗如22.990022.9950230000巧计谊mm/61巧.5工件孔控测量结果的概率密度分布remenrrkiFi61Tbabilidenitditrib山ionof化emeasutes山tsofwoeceaertureg.5herotssppyyp一综上所述,下面将论文所研究的CMMX寸测量不确定度评定方法做个汇,提升CMM应用价值提总概括,望能对CMM应用用户顺利完成测量评定任务供有价值的指导。,,适用于所有测量巧务,首先,透明箱模型评定方法是从测点出发进行评定需要测量模型。GUM评定、MCM评定、SVCMM评定H种方法都属于透明箱模型评定方法:,各有特点(1)GUM评定是最传统的方法,已被广泛认同,该方法需嬰建立测量横型,,考虑相关性并计算传递系数,对于复杂的、非线性的测量模型来说,应用幽难,实用性不强,不好推广。(2)MCM评定采用随化抽巧反映误差源的影响更加合实陈,而且从大数况,,反映数据的杂性和相关关系据的角度,更能反映全体数据的情而且便于,对于复杂测量任务而言利用计算机编程实现,:不足在于也需要已知测量模型。数学建模具有难度,对评定人员的能力水平要求较高一(3)SVCMM评定方法是论文提出的个新的应用方法,可直接利用CMM验收复检检测证书所提供的最大允许误差,应用MCM模拟仿真,评定测量不确一,定度,台CMM应用,比较方便实用同时还具,而且适用范围广不仅限于某,对于复杂测量任务而言,有MCM评定的优势;不足仍是需要建立测量模型数学建模具有难度,对评定人员的能力水平要求较高。SVCMM评定方法可W作为透明箱评定中的首选评定方法。133 合肥工业大学博±研究生学位论文然后,黑箱模型评定方法,直接从测得值出发进行评定,不需要测量模型,应用方便,最具有实用性,具有较好的应用前景。常规测量、替代测量和补偿测量都属于黑箱模型评定方法,在实际应用中各有利和适用场合,总结如下;(1)常规测量的操作简单,不确定度评定过程规范,成本低,易于应用,但测量精度取决于坐标测量机机构的固有精度和测量条件,适用于对测量精度要求不高的一、单或者批量工件尺寸的测量评定。(2)替代测量的操作过程比较方便,相对于常规测量,提高了测量精度,但由于需要额外提供已校准件或标准件,成本较高,适用于精度要求较高的大批量类似工件尺寸的测量评定。(3)相较常规测量而言,补偿测量也能够提高测量精度,但测量过程复杂,为了在测量过程中使未定系统误差充分随机化,要求对待测工件从不同方向位置进行装夹测量,对于复杂工件来说,其放置装夹具有难度。而且,进行补偿测量要求提供长度测量实物标准器和直径测量实物标准器,测量评定成本髙。因而更一的且结构对称的工件尺寸的测量评定适用于精度要求较高的、单。此外,补倦测量还可为替代测量服务一,即可从待测的批量类似工件中任取其,进行补偿测量评定,将其用作替代测量所需的已校准件。最后,通过工件厚度测量和孔径测量评定结果可W看出,常规测量与MCM相结合的评定效果优于常规测量评定效果,初步验证了采用量值特性不确定度分析法、不确定度黑箱模型、MCM随机仿真与统计参数估计的优化组合,进行CMM面向任务的测量不确定度评定,具有明显优势,测量精度更高。可!M试想,将其他黑箱模型评定方法与MCM结合用于评定,发挥黑箱模型评定与MCM数据处理的优势,也可得到更好的评定效果。综上所述,各种评定方法都有优势和势,用户可W根据自身条件和实际需求,参考论文所提供的应用方法和评定技术,选择合适的测量评定方法实现测量结果的不确定度评定。值得关注的是,采用量值特性不确定度分析法、不确定度黑箱模型、MCM随机仿真与统计参数估计的优化组合,,进行CMM面向任务的测量不确定度评定对科学合理评定测量不确定度能够发挥重要作用。送种评定方法,既不需要用户关也测量模型,可直接从测量结果出发,采用量值特性分析不确定度来源,从而建立不确定度模型,进行综合评定,方便实用,更合实际需求;又能利用MCM计算化仿真更加合实际误差影响的优势,从大数据的角度,反映全体数据的情。况,反映数据的杂性和相关关系,更便于利用计算机编租实现智能化评定本文研究认为,采用量值特性分析建立不确定度黑箱评定模型,并在评定中结合MCM应用,是解决现代CMM面向任务的测量不确定度评定的最佳方案,具有广413 第六章典型CMM尺寸测量任务的不确定度评定实例阔应用前景。6.5本章小结本章通过评定实例分析,总结了所研究的各种评定方法的特点及适用性,验证了不同测量方法对CMM测量精度的影响,验证了采用量值特性分析建立不确定度黑箱评定模型,并结合MCM应用,进行测量不确定度评定的效果,探讨了CMM尺寸测量不确定度评定的最优方案。讨论分析结果如下:一致性(1)论文所研究的各种评定方法具有,均有效可行。(2)在实际评定中,应用MCM随机仿真,且采用代数和方法合成栋准不确定度,可取得更好的评定效果。一(3)即使同台王坐标测量机,只,,进行相同的测量任务是测量方法不同测量结果精度差异也会很大,合理规划测量评定方案对于提升CMM应用价值意义重大。(4)采用量值特性不确定度分析法、不确定度黑箱模型、MCM随机仿真与统计参数估计的优化组合,进行CMM面向任务的测量不确定度评定,是解决现代CMM面向任务的测量不确定度评定的最佳方案,对科学爸理评定测量不确定度能够发挥重要作用。135 合肥工业大学博±研究生学位论文第毛章总结与展望7.1论文工作总结本文WCMM尺寸测量为对象,针对CMM面向任务的不碗定度分析、不确定度模型、不确定度估计方法等问题进行了较为系统深入的研究。主要完成工作如下:(1)系统研巧了CMM面向任务的不确定度分析方法。分析了传统的测量系统误差源分析方法的局限性一种适用于CMM面向任务的不确定度分析,提出了一一量值特性分析方法方法。该方法将测量系统统计分析与不确定度分析融为体,使不确定度分析简单有效,更具可操作性,适用于各种测量模型、测量方法。和测量仪器,对测量不确定度的应用和推广具有重要意义(2)建立了CMM面向任务的不确定度模型。W端面距离测量和孔径测量为例,,给出了CMM面向任务的测量不确定度透明箱建模方法分析了基于测量模型的不确定度透明箱模型的适用性和局限性;重点研究了基于量值特性的不确定度黑箱模型在CMM面向任务不确定度评定中的应用。对虚拟坐标测量机评定进一VCMM。行了探讨,提出了种实用的虚拟坐标测量机评定方法S(3)针对主要不确定度来源或贡献因素的特点,系统研究不确定度估计方法,比较了GUM、MCM及SVCMMH种方法的适用性,提出了采用量值特性不确定度分析法MCM,进行、不确定度黑箱模型、随化仿真与统计参数估计的优化组合CMM面向任务的测量不确定度评定,对科学合理评定测量不确定度发揮重要作用。4理论与方法CMMH种典型尺寸测量方案?-()基于上述不确定度,研究了一—常规测量、替代测量和补偿测量的不确定度评定,给出了每种方案的测量,原理、测量方法、测量条件及测量程序,进行测量不确定度分析建立测量不确。定度模型,给出具体评定流程根据各种测量方案的不确定度评定结果,分析讨论了测量方案与测量精度的关系,为提升CMM的应用价值提供可靠的理论依据。(5)编制了CMM面向尺寸测量任务的测量不确定度离线评定软件,能够实现对CMM典型的尺寸测量任务(距离测量和孔径测量)的测量不确定度的自动i平定,并给出符合GPS规范的巧定报告。详细介绍了软件的总体构架、每个评定。、模块的编制流程和人机界面,说明了应用方法软件界面友好功能丰富、易于CMM测量不确定度的智能化评定奠定了基础。扩展,为实现(6)应用自主开发的CMM面向尺寸测量任务的测量不确定度评定软件,实现了端面距离测量和孔径测量不确定度的自动评定。通过评定实例分析,总结了136 第屯章总结与展望所研究的各种评定方法的特点及适用性;验证了不同测量方法对CMM测量精度的影响;验证了采用量值特性分析建立不确定度黑箱评定模型,并结合MCM应用,进行测量不确定度评定,是解决CMM面向任务的测量不确定度评定的最优方案。7.2论文工作创新点论文工作创新点总结如下:一(1)提出了种量值特性不确定度分析方法,使不确定度分析简单有效,更具可操作性。,对测量不确定度的应用和推广具有重要意义(2)建立了基于量值特性分析的CMM面向任务的不确定度黑箱模型,为更有效地解决CMM面向任务的测量不确定度评定提供了建模依据和应用方法。(3)提出了采用量值特性不确定度分析法、不确定度黑箱模型、MCM随机仿真与统计参数估计的优化组合,进行CMM面向任务的测量不确定度评定,对科学合理评定测量不确定度发挥重要作用。f7.3工作展望本文基本解决了CMM面向典型尺寸测量任务的测量不确定度评定问题,提供了具体的评定方法和应用技术,给出了梟优化评定方案的建议。但不容忽视,坐标测量机的测量任务丰富,坐标测量新技术发展迅速,关于CMM面向任务的测量不确定度评定研究仍有待深入,大致可从W下H个方面开展研究:、、入研究(1)结合坐标测量机丰富的测量任务,关注新技术新热点,深,形一成套完整的CMM面向任务的测量不确定度评定理论体系、评定方法和应用技术,有力地指导实际测量评定。)在W上研究基础上,、CMM面向口,结合国际接口标准开发方便实用的任务的不确定度智能化评定软件,,与现有的CMM测量软件完美结合实现测量不确定度的智能化评定。(3)将CMM面向任务的测量不确定度评定理论体系、评定方法和应用技术展应用于数控机床、加工中也等其他设备的测量评定,更好地服务于工业生产。137 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20,254-11:301308.()[91]ZhongWH,MaXS,UYD,巧al.U打certaintyEvaluationStudyofCMMDynamicMeasurementBasedonQuasiMonteCarloMethod[C].AppliedMechanicsandMaterials,202366-1,103:371.糾凌明祥,李会敏,黎启胜,等.含相关性的测量不确定度拟蒙特卡罗评定方法化仪器[-204351:31仪表学报,1,(5:85393.()93全国产品几何技术规范标准化技术委页会,中国标准出版社编.产品几何技术规范[]GPS一()标准汇编检测与器具[M].北京:中国标准出版社,2014.94李明,.几何坐标测量技术及应用[M],北京;中国标准出版社,2012.[]费丽娜95-,王晋.坐.中国计量杂志,20042;1011.[]诸锡荆标测头技术及应用[J],96杨桥.CMM测量策略分析与不确定度评定网.合祀:合肥工业大学,2014.[]—-巧0-72251472012Statisticalmethodsinroce巧maeme打tCailitfo巧],pnagpabyanderrmancep-Part7:Capabilityofmeasurementrocesses.p巧]—98GB/r18779.22004,产品几何量技术规范(GPS)工件与测量设备的测量检验第2[]部分;SS测量设备校准和产品检验中GP测豊的不确定度评定指南[.].M:工业出版社99费业泰误差理论与数据处理(第6版.北京,2010.[])[]机械—"-100JCGM1012008Evaluationofmeasurementdatasuleme打t1the化the,化ide[]ppgu■,,-expi的sio打ofuncertaintyinmeasureme打tPropagatio打of出stributionsusingaMonteCarlomethod.口]连慧芳,?基于蒙特卡罗方法的圆度测量不确定度评定化工具技术1(H陈晓杯,2010,644:[]()-8284.1-.用MC仿真计算不确定度化中国计量学院学报犯刘智敏,2005,161:17.[]()03CwdeV-[1rorS,Moer民D.AtwostageMonteCarloaroach化theexressionofuncertait]ypppny-eaeasuremenewi化nonlinrmtquationandsmallsamlesizeJ.Metroloia200643:p[]g^,。)34-41.1.(MTraetEWaldeleFThevirtualCMMcoceti[,nJ.Sereso打AdvancesinMathematicsfor]pp[]ed-AliSciences19%40:238247.pp,,105PhillisSDBorchardtB氏SawerD巧al.ThecalculatioCMM[]p,y,nofmeasurementuncertaintviathemethodofsimulationbconstraints.12thAnnualMeetinofyy[C]gthe-----AmericanSocietforPrecisionE打ineerin199716:443446.ygg,,[106]AbbeM,NaraM,TakamasuK.UncertaintyEvaluationofCMMbyModelingwithSatialpConstraintC.Proc.ofthe9thIntemationalSmosiumonMeasureme打tandlitCtrl[]ypQuayono-巧化ISMQC),IITMadras2007:121125.,107黄庆成,车仁生,史艳霞.虚拟坐标测量机构成和实现方法J.光学精密工程,1999,[][]144 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攻读博±学位期间的学术活动及成果情况1)参加的学术交流活动及科硏项目(1)基于GPS面向对象的现代不确定度评定理论及应用研究(编号:51275148),国家自然科学基金面上项目-,20132016。(2)ISMTII2011,The10thInternationalSymposiumonMeasurementTechnologyandIntellientgInstminensKAISTDeoHKorea2-Jul2nd2011taeJune9thto。,,jj^y,(3)ISMTU2013The11化InternationalSmosium0打Measureme打tTechnoloandIntellient,ypgygnmenArll-IstrutsRWTHachenGemanJuistJul5化2013〇,,,y,yy,(4)2013全国博±生学术论坛(光学与精密测量博±生学术论坛),2013年全国博:t生学术论坛组委会,哈尔滨工业大学,2013年口月26日至2013年12月28日。(5)ISPMM2015第七届国际精密机械测量会化中国福建厦n,2015年8月7日至2015年8月12日。2)发表的学术论文(1)UHongli,ChenXiaohuai,WangHongtao,CaoXuemei.UncertaintyEvaluationinGeometric*LengthMeasurementbyCMMbasedonMonteCarloMethodC.The10International[]umen-SymposiumofMeasretTechnoliandIntellitInstruments2011:14.gygen,(2)李紅莉,陈晓怀,王宏涛.坐标测量机测量端面距离的不确定度评定m.中国机械工程,20-12,23(20):24012404.(3LiH1^ChenXHWanHTertaintEvaluatio凸irementbyCMM.UncnDistanceMeasu),,gyBasedavancedae201342-onMonteCrloMethodC.AdMtrials民的earch,684:9433.(BI[],收录)(4)陈晓怀,李红莉,杨桥,王没斌,程银宝.坐标测量机面向任务的测量不确定度评定J.计[]201536-:583量学报,,(6)579.(5)李红莉,陈晓怀,杨桥,王宏涛,程银宝,王汉斌.CMM面向任务的多测量策略测量不确定度评定m.电子测量与仪器学报.口015年6月已录用)(6)LiHongli,ChenXiaohuai,WangHongtao,YangQiao,WangHanbin,ChengYinbao.Gompariso打ofCMMMeasurementStrategieso口UncertaintyEvaluationC.ISPMM2015.[](已录用)3)获得的学术奖励ISPMM2015第屯届国际精密机械测量会议最佳口头报告奖146'