静电对策实施手册3

'操作部5.人体的除电对策、静电鞋和导电地板材的测定方法在使用半导体设备的工程，必须要实施穿好静电鞋和对导电地板材进行施工的人体除电对策。与戴静电一样，只有戴正确和进行日常的维持管理才能发挥它木来的作用。在坐着的状态，由于人体的载重不足，接触电阯就会增大，就不能得到所定的绝缘电阻。坐着作业时，要同时使用静电手环来进行除电对策。静电鞋、导电地板的除电对策在步行时、站着作业时，都不要忘记发挥它所有的作用。5.1静电鞋的构造中层高电阻导电纤维（1X1O8Q以下）高电阯导电胶（1X1O6Q以下）鞋底鞋底或中间层变脏、穿着厚袜子的时候，电阻值会增加。相反，鞋子里夹有金属物时，电阻值会下降，万一发生危险的漏电等事故时，人体会很危险，很难保护人体。5.2穿静电鞋来除电a）静电鞋的例子例-1.制造公司名称.型号例-2.制造公司•名称•型号安全工U人只夕一7kN0210010147年株式会社静电鞋ICM-2100（男）ICL-2101（女）b）穿静电鞋的状态和穿时的检查（作业前的确认）和穿普通的鞋一样，要穿好注意点穿袜的人发汗使得袜子有静电通过，所以不要穿过厚的袜子、连穿好几双，另外由于它的材质也会发生变化，所以使用吋要注意。（袜子以纯毛制一尼龙制一纯棉制的顺序，电阻逐渐降低）静电鞋的静电点检器的例制造公司/、"＞〕夕.名称防静电鞋的万用点检器型号MODEL441操作方法请参照本体的仕样书 5.3作业现场穿好静电鞋时的检查在实际作业现场确认导通状态（系统合成电阻/静电鞋、地板）使用测定器系统分析器EN-425设定电阻值设定为100MQ使用方法请参照木体的仕样书检杳方法站在导电处理的地板面◊检查手顺（导电胶皮垫子、导电涂装）上①戴着静电手环吋，先把静电手环取下②将系统分析器的地线接到地线干线上。③开始测定按系统分析器的按纽④确认测定结果系统合成电阻比1MQ低的场合，红色的LED（CAUTION）灯会亮由于异常所以不能作业如果在测定范围内的话（1〜100MQ），绿色的LED（SAFE）灯会亮。Ft!于异常所以不能作业红色、黄色的LED灯同时亮时，表示LowBattery即使换电池⑤记录检查结果⑥在开始检查前在戴着静电手环的场合，清再次戴好关于系统合成电阻/静电鞋、地板静电鞋的着用和导电地板面的合成电阻值R1：静电鞋的电阻值（保护电阻）包括鞋底、地板而脏引起的电阻、地板而的电阻R2：静电鞋、袜子和作业员的接触电阻R3：作业员的人体电阻R4：分析器按纽和手指的接触电阻R5：分析器和地线间的电阻R6：接触电阻（约1KQ）（500KQ以上）（成为低电阻）（成为低电阻） 连接部无污垢、锈、异物、松动 b）点检器的动作确认（系统分析器）不光是点检器，只要是器械发生故障，都要进行效果确认来防止事故的发生O确认方法使人体处于非接地的状态，确认进行检查的判定是“CAUTION”或“ALERT”的器械，能判明器械在进行基本的动作使人体处于非接地的方法使用防电性的（ixio9〜ixionQ）b）光穿着静电鞋坐着5.4器械动作的确认频度注意点、错误使川例a）在静电鞋的下面有气眼由于有防静电的气眼而处于绝缘状态不能除去人体所带的电由于坐肴导致到静电鞋的载重不足，电阻位增大，造成不能除电称呼和性质5.4.1◊电阻伉性质的称呼—般品的丙两酸材（丨X1OI2Q〜）绝缘性（完全没有电流通过）防静电性气眼（丨X109Q~10nQ）防静电性（完全没有电流通过）静电鞋（1X1O5Q-1O8Q）冇导电性，能冇效地除电（电流流通）上记的电阻值的区分惯以一直以来的間言的称呼法］来表示因为它是根据基准变化而來的，所以就使用了以前沿袭下來的说法I即使基准、称呼改变了，也不会改变对策目的1观察现实即使我们把以“静电胶皮热”、“静电鞋”的说法來解释的称呼改为“静电r散性胶皮热”，也不能改变它的本质。而.ft，即使换一种说法品质也不会发生改变，只要在不产生错误理解的条件下，可以继续使用该种说法。暂定对策本来按照新基准的IEC61340,是需要改变叫法的，但是目前继续使用我们从前一直使用的5.4.1项的说法，如果频繁发生错误时。要即使变史。O防止混乱与興他公司的人说话吋，要说基准、表达出称呼。要尽量说明确外的电附值，避免产生误解和解释错误。'