洁净室施工及验收规范jgj71

'洁净室施工及验收规范JGJ71—90第二节　竣工验收　　第5.2.1条竣工验收应在对各分部工程做外观检查、单机试运转、系统联合试运转，空态或静态条件下的洁净室性能检测和调整以及对有关的施工检查记录审查合格后进行。　　第5.2.2条洁净室各分部工程的外观检查应符合下列要求：　　一、各种管道、自动灭火装置及净化空调设备（空调器、风机、净化空调机组、高效空气过滤器和空气吹淋室等）的安装应正确、牢固、严密，其偏差应符合有关规定；　　二、高、中效空气过滤器与风管连接及风管与设备的连接处应有可靠密封；　　三、各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便；　　四、净化空调器、静压箱、风管系统及送、回风口无灰尘；　　五、洁净室的内墙面、吊顶表面和地面，应光滑、平整、色泽均匀，不起灰尘；地板无静电现象；　　六、送、回风口及各类末端装置、各类管道、照明及动力线配管以及工艺设备等穿越洁净室时，穿越处的密封处理应可靠严密；　　七、洁净室内各类配电盘、柜和进入洁净室的电气管线管口应可靠密封；　　八、各种刷涂保温工程应符合有关规定。第5.2.3条净化空调器或空调器，排风系统，局部净化设备（各类洁净工作台、静电自净器、洁净干燥箱等），空气吹淋室，余压阀，真空吸尘清扫设备，烟感、温感火灾自动报警装置，自动灭火装置，净化空调自动调节装置和其他有试运转要求的设备的单机试运转应符合设备技术文件的有关规定，属于机械设备的共性要求，还应符合现行国家标准《建筑安装工程质量检验评定标准》TJ305（通用机械设备安装工程）的规定和机械设备施工安装方面有关行业标准的规定。　　第5.2.4条单机试运转合格后，必须进行带冷（热）源的系统正常联合试运转，并不少于8h。系统中各项设备部件联动运转必须协调，动作正确，无异常现象。　　第5.2.5条竣工验收的检测结果应全部符合设计要求，其检测项目应符合下列规定：　　一、通风机的风量及转数的检测；　　二、风量的测定和平衡；　　三、室内静压的检测调整； 　　四、自动调节系统联动运转；　　五、高效过滤器的检漏；　　六、室内洁净度级别。　　第5.2.6条洁净室竣工验收时，施工（安装）单位应提出下列文件：　　一、设计文件或设计变更的证明文件及有关协议和竣工图；　　二、主要材料、设备和调节仪表的出厂合格证书或检验文件；　　三、单位工程、分部分项工程质量自检检验评定表；　　四、开工、竣工报告，土建隐蔽工程系统和管线隐蔽工程系统封闭记录，设备开箱检查记录，管道压力试验记录，管道系统吹洗（脱脂）记录，风管漏风检查记录，中间验收单和竣工验收单；　　五、各单机试运转、系统联合试运转和第5.2.5条所列项目的调整检测记录。　　第5.2.7条竣工验收终了应作结论。　　第三节　综合性能全面评定　　第5.3.1条综合性能全面评定的性能检测应由有检测经验的单位承担，必须用符合要求的、经过计量检定合格并在有效期内的仪表，按本规范的方法检测，最后提交的检测报告应符合本规范的有关规定。　　第5.3.2条综合性能全面评定检测项目应按表5.3.2中排定的内容顺序确定，检测工作在系统调整好至少运行24h之后再进行。　　第5.3.3条综合性能全面评定检测进行之前，必须对洁净室和净化空调系统再次全面彻底清扫，但严禁使用一般吸尘机吸尘。清扫后由身着洁净工作服的人员擦拭表面，清洗剂可根据场合选用纯水、有机溶剂、中性洗涤剂和自来水，有防静电要求的，最后宜用沾有防静电液的抹布擦一遍。　　第5.3.4条综合性能检测时，建设、设计、施工单位均须在场配合、协调。序号项目单向流（层流）乱流洁净室法净度高于100级100级洁净度100级及低于1000级1室内送风量，系统总新风量（必要时系统总送风量），有排风时的室内排风量检测2静压差检测3截面平均风速检测不测4截面风速不均匀度检测必要时测不测5洁净度级别检测 6浮游菌和沉降菌必要时测7室内温度和相对湿度检测8室温（或相对湿度）波动范围和区域温差必要时测9室内噪声级检测10室内倍频程声压级必要时测11室内照度和照度均匀度检测12室内微振必要时测13表面导静电性能必要时测14室内气流流型不测必要时测15流线平行性检测必要时测不测16自净时间不测必要时测必要时测　　注：1～3项必须按表中顺序，其它各项顺序可以稍作变动，14～16项宜放在最后。　　第四节　评定标准　　第5.4.1条检漏按附录六、一的方法步骤进行，由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成的透过率，对于高效过滤器，应不大于过滤器出厂合格透过率的2倍，对于超高效过滤器，应不大于出厂合格透过率的3倍。　　第5.4.2条风量和风速的检测应符合下列规定：　　一、乱流洁净室按附录六、二检测，结果应符合以下规定：　　1系统的实测风量应大于各自的设计风量，但不应超过20%；　　2总实测新风量和设计新风量之差，不应超过设计新风量的±10%；　　3室内各风口的风量与各自设计风量之差均不应超过设计风量的±15%。　　二、单向流（层流）洁净室按附录六、二检测，结果应符合以下规定：　　1实测室内平均风速应大于设计风速，但不应超过20%；　　2总实测新风量和设计新风量之差，不应超过设计新风量的±10%。　　第5.4.3条风速不均匀度按附录六、四检测，并按下式计算，结果应不大于0.25。　　　　v式中β　　v——风速不均匀度；　　vi——任一点实测风速； 　　V——平均风速；　　n——测点数。第5.4.4条静压差按附录六、三检测，其结果应符合下列规定：　　一、相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa；　　二、洁净室与室外静压差应大于10Pa；　　三、洁净度高于100级的单向流（层流）洁净室在开门状态下，在出入口的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。　　第5.4.5条室内洁净度按附录六、五检测，然后按下列公式计算室平均含尘浓度N和各测点平均含尘浓度的标准误差σN；　　　　式中n——测点数；　　Ci——每个采样点上的平均含尘浓度；　　t——置信度上限为95%时，单侧t分布的系数，其值见表5.4.5。　　系数T　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　表　5.4.5点数2345～67～910～1617～29＞29t6.32.92.42.11.91.81.71.65　　第5.4.6条室内浮游菌和沉降菌按附录六、六检测，应符合设计要求。　　第5.4.7条室内空气温度、相对温度按附录六、七检测应符合下列规定：　　一、无恒温要求的场所，温度和相对湿度符合设计要求；　　二、有恒温恒湿要求的场所：室温波动范围按各测点的各次温度中偏离控制点温度的最大值，占测点总数的百分比整理成累积统计曲线，90%以上测点达到的偏差值为室温波动范围，应符合设计要求。区域温差以各测点中最低的一次温度为基准,各测点平均温度与其偏差值的点数，占测点总数的百分比整理成累积统计曲线，90%以上测点所达到的偏差值为区域温差,应符合设计要求。相对湿度波动范围可按室温波动范围的原则确定。　　第5.4.8条室内噪声级按附录六、八检测，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GBJ73的规定。　　第5.4.9 条室内照度和照度均匀度按附录六、九检测，照度值和照度均匀度（即工作面上最低照度值与平均照度值之比）应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GBJ73的规定。　　第5.4.10条室内微振按附录六、十检测，三个方向的振幅均应符合设计要求。　　第5.4.11条表面导静电性能按附录六、十一检测，当工艺无要求时，表面电阻值应为，泄漏电阻应为。　　第5.4.12条室内气流流型按附录六、十二检测，应绘出流型图和给出分析意见。　　第5.4.13条流线平行性按附录六、十三检测，在工作区内气流流向偏离规定方向的角度不大于15°。　　第5.4.14条自净时间按附录六、十四检测，实测自净时间不应大于由附图6.3查出的计算自净时间的1.2倍。　附录一名词解释序号名词解释1单向流沿着平行流线，以一定流速向单一方向流动的气流，习惯称层流2洁净度1级对0.5μｍ微粒的计数浓度是现行100级的1燉100的一个洁净度级别3洁净度10级对0.5μｍ微粒的计数浓度是现行100级的1燉10的一个洁净度级别4高效过滤器按现行国家标准《高效空气过滤器性能试验方法》GB9165的方法测定，效率不低于99.9%即透过率不高于0.1%的空气过滤器5超高效过滤器对0.1μｍ微粒的计数效率不低于99.999%即透过率不高于0.001%的空气过滤器附录五施工检查记录表土建隐蔽工程记录附表5.1　　工程名称及编号：分部分项工程名称及编号：隐蔽工程内容清扫情况附图和说明分部分项名称单　位数　量方　法日　期检查意见工长或技术负责人　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　施工员：建设单位：（公章）年月日代表（签章）：施工单位：（公章）年月日代表（签章）：管线隐蔽工程系统封闭记录附表5.2　　工程名称及编号：　　分部分项工程名称及编号：年月日　　　　管线号___________________管径_____________材质__________工作介质________________________　　隐蔽封闭前的检查意见 工长或技术负责人　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　施工员：建设单位：（公章）年月日代表（签章）：施工单位：（公章）年月日　代表（签章）：设备开箱检查记录附表5.3　　工程名称及编号：　　分部分项工程名称及编号：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　年　月　日工程编号设备名称工程名称施工图号规格型号工长或技术负责人：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　施工员：　　　　建设单位：（公章）　　年　月　日　　代表（签章）：施工单位：（公章）年　月　日代表（签章）：　　管道压力试验记录附表5.4　　工程名称及编号：　　分部工程名称及编号：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　年　月　日分部工程名称规格单位数量试验压力（Pa）试验方法持续时间（min）压降（Pa）结论附注工长或技术负责人：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　施工员：建设单位：　　　　　（公章）年　月　日代表（签章）：施工单位：　　　　（公章）年　月　日代表（签章）：　　管道系统吹洗（脱脂）记录附表5.5　　工程名称及编号：　　分部分项工程名称及编号：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　年　月　日管线号材质工作介质吹洗脱脂 介质压力流速吹洗次数鉴定介质鉴定检查意见工长或技术负责人：施工员：建设单位：（公章）年月日代表（签章）：施工单位：（公章）年月日代表（签章）：风管漏风检查记录附表5.6　　工程名称及编号：分部分项工程名称及编号：　　系统名称：风管名称：　　检查方法：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　年　月　日洁净度级别风管部位风管断面长×宽（mm）漏风点编号漏风管位置附图和说明检查意见工长或技术负责人：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　施工员：建设单位：　　　（公章）年月日代表（签章）：施工单位：　　　（公章）年月日代表（签章）：注：风管名称指送风管或回风管；风管部位指干管、支干管或支管。　　设备单机试运转记录附表5.7　　工程名称及编号：　　分部分项工程名称及编号：　　设备名称及编号：　　试运转日期：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　年　月　日试运转内容试运转结果评定意见建设单位：　　　（公章）年月日代表（签章）：施工单位：　　　　（公章）年月日代表（签章）　　 系统联合试运转记录附表5.8　　工程名称及编号：　　分部分项工程名称及编号：　　系统名称及编号：　　试运转日期：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　年　月　日试运转内容试运转结果评定意见建设单位：　　　（公章）年月日代表（签章）：施工单位：　　　　（公章）年月日代表（签章）竣工验收检测调整记录附表5.9　　工程名称及编号：　　分部分项工程名称及编号：　　系统名称及编号：　　房（车）间名称：日期检测调整项目名称设计要求检测调整具体位置及编号检测仪表情况调整前测定结果调整后测定结果调整措施工长或技术负责人：施工员：建设单位：（公章）年月日代表（签章）：施工单位：（公章）年月日代表（签章）：　　中间验收单附表5.10　　工程名称及编号：　　分部分项工程名称及编号：　　中间验收日期：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　年　月　日工程内容 中间验收结果遗留问题评定意见附件工长或技术负责人：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　施工员：建设单位：　　　（公章）年　月　日代表（签章）：施工单位：　　　（公章）年　月　日代表（签章）：　　竣工验收单附表5.11工程名称及编号工程地点开工日期竣工日期验收日期工程内容验收结果评定意见附件建设单位：　　　　（公章）年月日代表（签章）：施工单位：　　　（公章）年月日代表（签章）：附录六洁净室综合性能检测方法　　一、过滤器检漏　　对于安装于送、排风末端的高效过滤器，应用扫描法进行过滤器安装边框和全断面检漏。扫描法有检漏仪法（光度计法）和采样量最小为1l/min的粒子计数器法两种。对于超高效过滤器，扫描法有凝结核计数器法和激光粒子计数器法两种。　　2检漏仪法检漏　　（1）被检漏过滤器必须已测过风量，在设计风速的80%～120%之间运行。　　（2）在同一送风面上安有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。　　（3）当几台或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时，为了对所有过滤器造成均匀混合,宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引入检漏用气溶胶，立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。　　（4）对于高效过滤器，当检漏仪表为对数刻度时，上风侧气溶胶浓度应超过仪表最小刻度的104倍；当检漏仪表为线性刻度时，上风侧气溶胶浓度需达到80～100μｇ/L。检漏仪表应具有0.001～100μｇ/L的测量范围。3粒子计数器法检漏　　（1）被检过滤器必须已测过风量，在设计风速的80%～120%之间运行。　　（2）在被检高效过滤器上风侧测定大气尘的微粒数，以大于或等于0.5μｍ微粒为准，其浓度必须大于或等于若检测超高效过滤器，则以大于或等于0.1μ ｍ微粒为准，其浓度必须大于或等于　　（3）若上风侧浓度不符合上项规定，则应引入不经过滤的空气，如果还达不到规定，则不宜用粒子计数器法和凝结核计数器法检漏。　　4检漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2～3cm处，以5～20mm燉ｓ的速度移动，对被检过滤器整个断面、封头胶和安装框架处进行扫描。　　二、风量和风速的检测　　1风量风速检测必须首先进行，净化空调各项效果必须是在设计的风量风速条件下获得。　　2风量检测前必须检查风机运行是否正常，系统中各部件安装是否正确,有无障碍（如过滤器有无被堵、挡），所有阀门应固定在一定的开启位置上，并且必须实际测量被测风口、风管尺寸。　　3对于单向流（层流）洁净室，采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量,其中垂直单向流（层流）洁净室的测定截面取距地面0.8m的水平截面；水平单向流（层流）洁净室取距送风面0.5m的垂直截面。截面上测点间距不应大于2m，测点数应不少于10个,均匀布置。仪器用热球风速仪。　　4对于乱流洁净室，采用风口法或风管法确定送风量，做法分别见第6项、第7项和第8项。　　5对于不安装过滤器的风口，可按现行国家标准《通风与空调工程施工及验收规范》GBJ243附录一的方法执行。　　6对于安有过滤器的风口，根据风口形式可选用辅助风管，即用硬质板材做成与风口内截面相同、长度等于2倍风口边长的直管段，连接于过滤器风口外部，在辅助风管出口平面上，按最少测点数不少于6点均匀布置测点，用热球风速仪测定各点风速。以风口截面平均风速乘以风口净截面积确定风量。　　7对于安有同类扩散板的风口,可以根据扩散板的风量阻力曲线（出厂风量阻力曲线或现场实测风量阻力曲线）和实测扩散板阻力（孔板内静压与室内压力之差），查出风量。测定时用微压计和细毕托管，或用细橡胶管代替毕托管,但都必须使测孔平面与气流方向平行。　　　此外，也可以采用经专业检测部门认可的其他方法。　　8对于风口上风侧有较长的支管段且已经或可以打孔时,可以用风管法确定风量。测定断面距局部阻力部件距离，在局部阻力部件前者不少于3倍管径或3倍大边长度，在局部阻力部件后者不少于5管径或5倍大边长度。　　9对于矩形风管，将测定截面分成若干个相等的小截面，每个小截面尽可能接近正方形，边长最好不大于200mm,测点设于小截面中心，但整个截面上的测点数不宜少于3个。　　对于圆形风管，应按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数。　在风管外壁上开孔，以便插入热球风速仪测杆或毕托管。用毕托管时先测定动压，然后由下式确定风量：　　　　三、静压差的检测　　1静压差的测定应在所有的门关闭时进行，并应从平面上最里面的房间依次向外测定。　　2对于洁净度高于100级的单向流（层流）洁净室，还应测定在门开启状态下，离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数，在出入口的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。　　四、单向流（层流）洁净室截面平均风速、速度不均匀度的检测　　1测定截面、测点数和测定仪器应符合本附录二、3项的规定。　　2测定风速宜用测定架固定风速仪 以避免人体干扰，不得不手持风速仪测定时，手臂应伸直至最长位置，使人体远离测头。　　五、室内洁净度的检测　　1测定洁净度的最低限度采样点数按附表6.1的规定确定。每点采样次数不少于3次，各点采样次数可以不同。面积（m2）洁净度注：表中面积的含义是：对于单向流（层流）洁净室，是指送风面面积，对于乱流洁净室，是指房间面积。2测定洁净度的最小采样量按附表6.2的规定确定。　　每次采样的最小采样量（L）附表6.2粒径（μm）0.10.20.30.5511010010001000010000172.83858.52.8319819.82.856656.65.62.82.82.8858.58.5　　　　3对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向，对于乱流洁净室，采样口宜向上。采样速度均应尽可能接近室内气流速度。　　4洁净度测点布置原则是：　　（1）多于5点时可分层布置，但每层不少于5点；　　（2）5点或5点以下时可布置在离地0.8m高平面的对角线上（附图6.1），或该平面上的两个过滤器之间的地点，也可以在认为需要布点的其他地方。　　　　　　注：室内洁净度的检测也可根据建设单位或设计的要求，按现行国家标准《洁净厂房设计规范》GBJ73附录二的规定执行。六、室内浮游菌和沉降菌的检测　　1室内浮游菌测点和洁净度测点可相同；采样必须按所用仪器说明书说明的步骤进行，特别要注意检测之前对仪器消毒灭菌。　　2沉降菌测定时，培养皿应布置在有代表性的地点和气流扰动极小的地点，培养皿数可与按附表6.1确定的采样点数相同，但培养皿最少数量应满足附表6.3的规定。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　表　6.3最少培养皿数附　　　洁净度级别所需90培养皿数（以沉降0.5h计）高于100级100级1000级10000级100000级4414522　　七、室内空气温度和相对湿度的检测　　1室内空气温度和相对湿度测定之前，净化空调系统应已连续运行至少24h。对有恒温要求的场所，根据对温度和相对湿度波动范围的要求，测定宜连续进行8～48h，每次制定间隔不大25于30min。　　2根据温度和相对湿度波动范围，应选择相应的具有足够精度的仪表进行测定。　　3室内测点一般布置在以下各处：　　（1）送、回风口处；　　（2）恒温工作区内具有代表性的地点（如沿着工艺设备周围布置或等距离布置）；　　（3）室中心（没有恒温要求的系统，温、湿度只测此一点）；　　（4）敏感元件处。　　所有测点宜在同一高度，离地面0.8m。也可以根据恒温区的大小，分别布置在离地不同高度的几个平面上。测点距外墙表面应大于0.5m。　　4测点数按附表6.4确定。　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　6.4温、湿度测点数附表波动范围室面积≤50m2每增加20～50m2±0.5～±2℃±5～±10%RH5增加3～5≤0.5℃≤5%RH点间距不应大于2m，点数不应少于5个八、室内噪声的检测　　1测噪声仪器为带倍频程分析仪的声级计。一般只测A声级的数值，必要时测倍频程声压级。　　2测点位置：宜按附图6.1的5点设置，面积在15m2以下者，可用室中心1点；测点高度距地面1.1m。　　九、照度的检测　　1室内照度可用便携式照度计测定。　　2室内照度必须在室温已趋稳定、光源光输出趋于稳定（新安的日光灯必须已有100h、白炽灯已有10h的使用期；旧日光灯必须已点燃15min，旧白炽灯已点燃5min）后进行。　　3洁净室照度只测定除特殊局部照明之外的一般照明。　　4测点平面离地面0.8m，按1～2m间距布置，测点距离墙面1m（小面积房间为0.5m）。十、室内微振的检测　　1用能满足检测精度要求的振动分析计测定。　　2测点选在室中心地面和认为有必要测定振动的位置的地面上，以及各壁板（装配式洁净室则为每一独立壁板）表面的中心处。　　3应分别测出室内全部净化空调设备正常运转和停止运转两种情况下X、Y、Z即长轴、横轴和垂直轴三个方向的振幅值，特别注意测定同转动设备的转速相对应的频率下的振幅。　　十一、表面导静电性能的检测　　1地面、墙面和工作台面等表面导静电性能应用符合精度要求的高阻计检测。　　2在表面上选定的代表区域的两点间检测，可选用附图6.2的测试装置。　　　　十二、室内气流流型的检测　　1测点布置：　　垂直单向流（层流）洁净室选择纵、横剖面各一个，以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各一个；水平单向流（层流）洁净室选择纵剖面和工作区高度水平面各一个，以及距送、回风墙面0.5m和房间中心处等3个横剖面，所有面上的测点间距均为0.2～1m。乱流洁净室选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各1个，剖面上测点间距为0.2m～0.5m，水平面上测点间距为0.5～1m。两个风口之间的中线上应有测点。　　2测定方法：用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向，并在有测点布置的剖面图上标出流向。　　十三、流线平行性的检测　　1用单丝线观察送风平面的气流流向，一般每台过滤器对应一个观察点。　　2用量角器测定气流流向偏离规定方向的角度，注意避免人的干扰。　　十四、自净时间的检测　　1 本项测定必须在洁净室停止运行相当时间，室内含尘浓度已接近大气尘浓度时进行。如果要求很快测定，则可当时发烟。　　2如果以大气尘浓度为基准，则先测出洁净室内浓度，立即开机运行，定时读数直到浓度达到最低限度为止,这一段时间即为自净时间如果以人工（如发巴兰香烟）为基准，则将发烟器放在离地面1.8m以上的室中心点发烟1～2min即停止，待1min后，在工作区平面的中心点测定含尘浓度，然后开机，方法同上。　　　　　3由测得的开机前原始浓度或发烟停止后1min的污染浓度（NO），室内达到稳定时的浓度（N），和实际换气次数（n）查附图6.3，得到　　　计算自净时间，再和实测自净时间进行对比。'