现场管理——降低内层报废率项目报告.docx

'现场管理一一降低内层报废率项目报告 项目报告书■期初口期中口期末项目名称降低内层报废率_项目编号G00031024管制状况发行日期管制类别口机密禁止拷贝■列管口一般发行单位项目改善小组 索引项目编号：（此一编号由总经理室填写）日期：2003年10月24日起至2003年12月31日止内容页次一、本项目简介及大略描述3二、项目目的（重点说明进行项目的原因）5三、项目预期效益（摘要概述项目预期效益并可作为期中执行5控制及期末检讨之依据）四、项目组织（画出项目组织图及职掌，并说明各成员之任务）6五、项目时程表（Schedule）及说明（摘要概述项目所要进行的7各项工作计划，请择重点说明）六、项目预算估计（说明项目预定使用之预算，经总经核准后8即可作为预算追加的依据） 本项目简介及大略描述：项目主题：降低内层报废率1.项目背景1.1内印目前品质状况：a.四层板平均报废率为0.48%；b.六层板平均报废率为3.87%；c.八层板内印平均报废率为5.88%；d.十层板内印平均报废率为6.98%；e.十二层板内印平均报废率为7.50%；f.报废率较高，增加生产成本；1.2内印制程目前基本概况a.所有制程参数均为之前经验或者供货商所给，无合理技Tft验证；b.本制程之品质状况无统一的项目进行改善；c.因制程参数不稳定及未有项目管理是导致品质异常之主要原因；2.项目目标2.1通过DO序口田口方法对公司钻孔制程各参数进行重新求证，求出最佳参数，降低内层报废率（具体明细如下）a.四层板平均报废率为0.24%；b.六层板平均报废率为2.0%；c.八层板内印平均报废率为3.0%;d.十层板内印平均报废率为4.5%；e.十二层板内印平均报废率为4.5%； 56.69元/FT2;100.37元/FT2;2.2相关指针：a.四层板报废单价为54.92元/FT2;b.六层板报废单价为c.八层板报废单价为85.97元/FT2;d.十层板报废单价为e.十二层板报废单价为107.57元/FT2;2.3项目完成时间：2003年12月31日；相关资料意见 项目目的:1.降低内印课报废率，缩短制造周期，以提高生产效率；2.降低生产制造成本，提高企业在同行业的竞争；3.提高公司在客户中的信誉。项目预期效益：1.因四层板报废率降低预计年节省金额为：50万FT2X12个月X54.92元/FT2X0.24%=790,848元2.因六层板报废率降低预计年节省金额为：2.0万FT2X12个月X56.69元/FT2X1.87%=254,424元3.因八层板报废率降低预计年节省金额为：3000FT2X12个月X85.97元/FT2X2.88%=89,134元4.因十层板报废率降低预计年节省金额为：2000FT2X12个月X100.37元/FT2X2.48%=59,739元5.因十二层板报废率降低预计年节省金额为：2000万FT2X12个月X107.57元/FT2X3.0%=77,449元预计每年共可为公司节省人民币1,271,594元 项目组织1.组织图2.组织成员职掌及任务项目职掌部门姓名任务执行长经营决策总监厂长生产技儿：总监财务处处长财务处绩效评估总监生产部、工程部经理工程部、生产部生产执行总监QA部副经理QA部兼职绿带生产部副经理生产部兼职绿带工程部副经理工程部兼职绿带内印课课长生乃B兼职绿带内印课工程师工程部兼职绿带黑带兼职绿带 项目预算估计页次:阶段项目完成期限负责人界定阶段项目定义10月24日团队组成10月24日目标设定10月25日量测阶段现状分析10月25日分析阶段要因分析10月27日改进阶段DOE实验10月30日~11月18日控制阶段效果确认10月30日~12月30日标准化12月28日 项目预算估计页次:项目工作项目预算科目（金额）说明制程的参数试验求证1.电费(3*60+9*110)*0.84=982.8元2.水费(30*3/12+9*15/12)*2.14=40.13元3.试验报废费用100FT2*10.55元/FT2=1055元4.工时费用15000FT2*18h/22h*(1.8-1.36)*2=10800元1.因内印前处理及去墨用新机进行求证，故耗用电费以及水费，前处理60KW/小时，去墨机110kw/小时。2.内印前处理用水量为30吨/12H,剥锡段用水量为15吨/12H,本次试验共占用前处理3H,剥锡段9H.2,一，3.预计试验报废100FT且内印制造成本为10.55元/FT2每条显影蚀刻线产能15000FT2,分两条线试验，内层外包价格为‘1.8元/FT2,内部制造成本1.36元2/FT预算：预算合计982.8+40.13+105510800=12877.93元1.2.3.4.预算：1.2.3.4.预算：2.3.4.预算：2.3.4.预算：1.2.3.4.预算：注：1.每一工作项目应除了记载项目名称外，也要注明预算总额，细分预算科目,并填上每一科目之预算，以利管制。1.篇幅不够请自行影印。 提案改善项目报告书口期初■期中口期末项目名称降低内层报废率项目编号G000307003管制状况发行日期2003年10月24日管制类别口机密禁止拷贝■列管口一般发行单位提案人审查者审查者审查者核准者索引项目编号：（此一编号由总经理室填写）日期：2003年10月24日起至2003年12月31日止内容页次-9- 七、本项目测量阶段介绍1--6八、项目控制阶段介绍7--18九、实验结论19-9- 测量口皆段内印改善前幸艮屡率数it日期9月24日9月25日9月26日9月27日9月28日9月29日9月30日10月3日10月4日10月5日10月6日10月7日庄里240992801120358206082302220785198822556323903201682805026050幸艮屡11211310854145125779203173158209240幸艮座率0.46%0.40%0.53%0.26%0.63%0.60%3.92%0.79%0.72%0.78%0.75%0.92%日期10月9日10月10日10月11日10月12日10月13日10月14日10月15日10月16日10月17日10月18日10月19日10月20日庄里174392596818795261802410325070251232005322078226632256821224幸艮屡12628327720826082168303114117142108幸艮座率0.72%1.09%1.47%0.79%1.08%0.33%0.67%1.51%0.52%0.52%0.63%0.51%日期10月22日10月23日10月24日平均庄里1468910522966610501幸艮屡8882865161幸艮座率5.99%0.90%0.37%0.85%-13- 分析卜皆段特性要因图封位IIdesI其它-13- ^料磨刷涂布时间:2003/10/27地黑占:黑带辨公室-13- 序号过程功能要求潜在失效潜在失效后果严重度S级别潜在失效原因机理频度O现行过程控制预防现行过程控制探测探测度DRPN建议措施责任及目标完成日期措施结果采取的措施SODRPN1.依客户要求准备相应尺寸板材开料烘烤方式不当造成内偏或板材胀缩报废7烘烤方■式不合理，机板堆栈过高10烘烤时每层20PNL,共40层IPQC现场稽核2140烘烤时每层10PNL，共20层赵刚蔡北平11/25同建议措施73242烘烤条件不当，无法达到烘烤效果9烘烤温度155±2度,薄板烘烤5HR,厚板烘烤3HR目视检查IPQC现场稽核2126烘烤温度改为180±2度,时何/、父赵刚蔡北平11/25同建议措施72228内蚀后导致残铜造成内短或者7因烘烤温度过高，7开料后烘烤,再移入内目视检查3126薄板开料后先过内蔡北平同建议措74384修刮不良报废PP粉尘粘于板圜前处理不干净印制程印前处理机清洗后再烘烤12/06施失效模式分析(FMEA)-#- 失效模式分析（FMEA）严频度O探RPN责任及目标完成日期措施结果序号过程功能要求潜在失效潜在失效后果重度S级别潜在失效原因机理现行过程控制预防现行过程控制探测测度D建议措施采取的措施SODRPN3.完成内层图像转移人为漏检报废7人为目视检验时造成遗漏检验,6层以上板时造成过多报废7对于6层以上机板，只针对线路面进行扫描人工检验5245针对6层以上机板两间均米用AOI进行扫描方伟11/10同建议措施73363AOI设备漏检报废7AOI设备检验时，因设备本身参数设置/、当或者检修人员漏失导致漏检报废7按CAMTEK工程师所给参数进行作业机器设定3147要求CAMTEK工程师及时调整设备，并对所有AOI作人员进行系统培训方伟11/20同建议措施763126-#- 失效模式分析（FMEA）序号过程功能要求潜在失效潜在失效后果严重度S级别潜在失效原因机理频现行过程控制预防现行过程控制探测探测度DR建议措施责任及措施结果度OPN目标完成日期采取的措施SODRPN4.完成内层图像转移补线方式不当报废7人为修补断线或缺口板时因条件或者方法原因导致在后述作业中造成短断路报废7采用机补、板线补、补铜线补三种补线方式进行补线作业，补线完后棕第并烘烤切片分析6294停止使用板线补的方式,尽量采用机补，补线完成先进行检查后再过棕化方伟11/12同建议措施736126无尘室落尘量较大断线或者缺口6开料PP粉尘带入无尘室及本身环境清洁不够彻底7作业时按正常清洁频率进行清洁目视检查或AOI扫描4168重新求证开料刀之使用寿命,除正常清洁频率外对无尘室进行不定期清洁方伟11/10同建议措施654120-#- 改iSF皆段(Improve)1)改迤陷段共分卷如下三部分：一.DOE参数求tiE部分；二.^料后烘烤僚件碓部分；三.制程改善部分；2)每部分完成以下事项：一.相信噩式瞬幸艮告；-19- 二.相^檄准化;三.效益得平估；改i!P皆段(Improve)完善制程参数之DOET瞬求部分1.部分;-19- 1.檄准化部分-19- jtM部分（ExperimentSection）（一）内印参数DOE试验求证实验名称：内印DOE实验实验目的：利用「田口方法望小特性」，验证内印制程最佳参数实验时间：11/03—11/18测试者：A.原制程参数操作标准-j■水型水准一水准二油墨厚度（卜）A1A2蜗能量（格）B1B2显影速度（m/min）C1C2比重D1D2HCL含量(g/l)E1E2蚀刻速度（m/min）F1F2蚀刻温度（C）G1G2-21- C.排列实验直交表实验编号重复次数ABCDEFGYi油墨厚度曝光能量显影速度比重HCL含量蚀刻速度蚀刻温度11A1B1C1D1E1F1G110.5921A1B1C1D2E2F2G2031A1B2C2D1E1F2G20.8441A1B2C2D2E2F1G1051A2B1C2D1E2F1G29.2461A2B1C2D2E1F2G11.7771A2B2C1D1E2F2G15.5381A2B2C1D2E1F1G20D.实验结果实验序号总检数不良数不良率备注11701810.59%2309103.24%323720.84%411643.25%5119119.24%611321.77%7199115.53%811932.52%-21- E.查看S/N、一览表、图形及工程推定■]□1x|S/N比一望表|Raw〔平均敦〕一箕表|S（原度〕一箕表|u代虢|因于名耦|水津敦Max-min|水型一水型二|水型三上］^klSHHi油墨厚度2|1.8012-9,987n-11,7889Fb曝光能量25.7143-13.7454-6,0311Q_c影速度2匚5.0151J3.397&J-B.37S7]_D比重2匚4.7992-13.2879「84%了^_1匚EHCL含量25,7911-7.9927-13,7838匚F做刻速度27.521S・14.6469-7.12761G颤刻温度2[3.757612.7671P-9.0095|LLJ国列印/自矍IB退出-21- F.验证实验、确认最佳组合制程条件漏十油墨厚度曝光能量显影速度比重HCL蚀刻速度蚀刻温度备注原设计值A1B1C1D1E1F1G1新设计值（最佳组合）A1B2C2D2E1F2G2连路油墨注：此实当结果依DOE软件计算出最佳组合条件还需进行实验确认。-23- G.DOE试验结果分析由S/N一览表、Raw（平均数）一览表中可以得出以下以下参数对整个制程良率影响最大,前四位影响程度较大之参数依次为蚀刻速度、比重、曝光能量、HCL含量。故在进行确认试验时需确保其准确无误，不可偏差太大。且如果确认试验之结果与理想值偏差较大，则重要对此四因素进行DOE试验求证。H.确认实验实际参数漏十＜^油墨厚度曝光能量显影速度比重HCL蚀刻速度蚀刻温度备注原设计值A1B1C1D1E1F1G1新设计值（最适组合）A1B2C2D2E1F2G2连路油墨备注：所有实际参数值均需填写范围值（如为定值则不需），确认试验料号为Q105-6054V3.1,数量为300PNL,层数为L4,L5层,油墨厚度测量时每PNL上面各测九点,两面均需测,以5PNL板之厚度值做为是否调整之依据，做试验板前测量曝光能量并调整至要求值，试验前需预先调整比重和HCL含量、蚀刻温度，以不至于影响生产进度。其余参数可于试验时实时调整。-23- 言瞬部分（ExperimentSection）（二）内印参数DOE最佳参数之确认试验确认试验目的：确认依DOE试验设计方法所求出之最佳参数所得出的品质结果是否趋于预计或者理想值。试验方法：选取Q105-6054V3.1料号L4,L5层共300PNL进行试验,至内蚀完成品处进行两面AOI扫描，观测品质良率，排除因非参数原因所导致的不良缺陷，求出在最佳参数水准下之品质水准。试验人员：试验日期：12/10/03~12/12/03试验参数:漏十油墨厚度曝光能量显影速度比重HCL蚀刻速度蚀刻温度备注原设计值A1B1C1D1E1F1G1新设计值（最适组合）A1B2C2D2E1F2G2连路油墨备注：在实际实验时，诸如比重、HCL、蚀刻温度等参数无法固定于某一具体值，故实际参数为一范围值。-27- 试验流程:开料“涂布（新涂布线）“曝光fDES”两面AOI扫描试验结果：1）所有不良项目分析:不良项目不良数不良率不良项目不良数不良率短路20.67%显影不净31%断线20.67%残胶41.33%残铜62%氧化10.33%缺口206.67%板材10.33%总不良率13%2）所有不良项目明细分析:不良项目不良原因明细及数量不良项目不良原因明细短路2咬蚀不净2显影不净3均为板角处赶气/、足断线2脏点2残胶4不明粘状物残铜6位置于孔内,显影不净所致氧化1未戴手套接触板面缺口20脏点17,油墨不均1,撞伤1,板材不良1板材1板材不良试验结果分析：在所有不良项中，因参数原因导致之不良项目及数量为短路2pcs,残铜6pcs,油墨不均导致缺口1pcs,不良率为3%,改善前短路、残铜平均总不良率为5.64%。确认试验结论：从试验结果中，得出导致内层不良项主要是缺口、残铜，前者主要与现场清洁及来料板边PP粉尘有关，后者与涂布均匀性、蚀刻均匀性有关，下一步将继续采用DOE试验设计的方法验证涂布段之均匀性及蚀刻均匀性。上述参数可导入使用。-27- It瞬部分（Experiment内印制程旧涂趣嬲三DOE试验求证实验名称：内印DOE实验之涂布均匀性实验目的：利用「田口方法望目特性」，验证内印制程涂布均匀性最佳参数实验时间：03/12/05—03/12/06实验料号：Q102-4011V1.0测试者：赵刚A.原制程参数操作标准水准一水准二水准三油墨粘度(sec)A1A2A3涂布轮转速B1B2B3B.规划实验因子表C.排列实验直交表及实验结果实验编号重复次数粘度转速Y1Y2Y3Y4Y5Y6Y7Y8Y911112.43.21.8452.63.41.82.6121141.62.61.64.843.442.913114.52.942.63.43.742.62.914114.24.55.93.73.72.65.34.21.815114.24.845.35.92.43.253.72112554.24.24.25.354.54.822124.845.95.66.15.95.33.74.223125.35.34.55.95.34.53.43.73.224125.64.573.25.94.23.72.95-27- 25124.25.65.654.22.64.544.231132.143.43.22.93.43.25.6532134.53.244.85.65.33.62.94.2331346.44.54.85.65.64.555.634133.25.94.2543.75.34.84.535135.34.84.55.35.93.25.356.141213.22.92.94.51.82.14.84.54.842212.62.94.52.14.53.45.91.84.843212.63.45.62.95.63.74.53.73.744212.94.84.5553.74.53.4445215.92.64.85.63.25.95.645.3512243.43.44.54.844.542.452222.14.22.62.143.74.54.2453224.83.74.53.444.24.23.45.354223.73.73.45.63.24.53.45555225.3455.64.852.65.63.761231.82.41.83.22.93.74.51.64.56223452.92.43.745.33.75.663232.64.54.84.55.655.65.95.964233.73.74.86.1446.73.44.865234.54.84553.274.84.271314.256.15.35.34.25.35.33.472315.95.65.94.544.85.656.4733143.75.35.36.15.97.245.674314.26.44.85.34.84.86.755.675315.6554.85.96.174.57.281325.65.63.42.94.85.36.45.3582325.95.64.25.65.66.45.355.3833256.42.95.956.775.65.684326.16.46.74.85.36.46.77.25.985325.95.37.87.27.56.475.9491335.97.555.776.77.25.37.592335.64.54.52.42.93.22.94.85933355.95.35.3555.355.394337.856.46.15.96.74.855.695337.88.16.77.27.25.35.35.66.1-35- D.查看S/N、一览表、图形及工程推定S/N比一党表|Rslw〔平均数）一党表S（感度）-SE表|injjsj-35- 凶匪希®鞭就①JfflX0格式◎TfiQ）瓷科⑪捏宦的曳明度alflj刈j。*。起事负步甚密吗®|r*…|.X-L|&＞厢▼5J网S1C五笔7词-35--35-E.验证实验、确认最佳组合制程条件漏十值油墨粘度涂布轮转速原设计值A2B2新设at值（最佳组合）A3B2-35- 注：此实验结果依DOE软件计算出最佳组合条件确认实验已完成。具体数据如下表所示项次123456789极差均值14.56.15.95.94.86.44.85.05.91.95.477825.96.15.04.54.256.75.64.02.75.222235.65.37.04.56.16.75.66.16.72.55.955646.46.45.06.15.65.35.64.55.61.95.611157.07.05.67.86.45.35.95.05.92.86.211165.96.46.77.27.27.85.97.26.11.96.711177.06.45.67.27.55.97.56.16.11.96.588986.45.95.67.06.75.35.65.96.41.76.088995.07.06.47.27.07.86.16.46.12.86.5556107.07.55.36.76.75.66.47.06.72.26.5444总极差和均值3.86.0967依上表可知，总体极差为3.8um，总体均值为6.0967um,结果理想,能满足实际生产要求。F.确认依此最佳组合至内蚀完成品AOI扫描结果实验料号为Q126-4008V1.0,共100PNL(200pcs),涂布段按最佳组合参数,其余条件同生产线参数，经扫描后,共3pcs孔内残铜,良率98.5%。G.结论旧涂布线涂布轮转速、粘度最佳条件为：转速：A3粘度：B2宣瞬部分（ExperimentSection)(四)内印制程新涂布线参薮DDOE试验求证-35- 实验名称：内印DOE实验之涂布均匀性实验目的：利用「田口方法望目特性」，验证内印制程涂布均匀性最佳参数实验时间：03/12/22—03/12/24实验料号：Q155-4001V1.0测试者:A.原制程参数操作标准水准一水准二水准三油墨粘度(cps)A1A2A3下刮刀压力(bar)B1B2B3涂布速度C1C2C3B.规划实验因子表C.排列实验直交表及实验结果实验编号重复次数油墨粘度下刮刀压力涂布速度Y1Y2Y3Y4Y5Y6Y7Y8Y91111110.18.710.499.37.48.27.96.9121119.3910.19.66.87.47.47.4913111119910.19.610.18.799.31411110.110.49.910.497.67.97.67.4151119.999.610.19.66.88.26.87.6211228.78.57.69.68.697.67.97.1221229.37.698.78.77.47.66.59231229.37.49.37.99.87.469.68.22412298.29.69.68.76.87.97.97.12512299.39.399.668.57.69.9311336.87.48.78.77.48.28.27.97.9321337.97.17.18.57.16.87.98.57.2-35- 331337.97.17.68.27.66.87.97.98.7341337.98.28.27.17.97.98.28.18.4351337.17.48.58.27.47.98.28.18.4412126.67.17.787.78.59.19.68.8422127.26.38.58.38.59.18.39.19.14321287.36.17.46.698.89.68.8442126.67.76.17.36.69.19.48.58452127.77.77.47.76.989.19.69.1512235.86.67.16.96.19.49.188.8522237.76.37.27.47.79.68.89.18.8532236.36.67.46.67.78.57.48.39.1542236.96.36.96.36.9889.18.5552237.27.26.96.96.39.59.19.18.36123188.888.88.37.27.77.78.36223188.58.58.58.588.58.38632317.77.76.96.98.36.66.67.46.96423188.388.37.7887.27.2652317.288.587.77.77.78.37.77131387.78.57.77.27.77.76.96.3723138.87.47.788.38.37.47.47.47331387.27.78.38.37.27.77.77.27431387.77.77.787.27.27.76.9753138.88.87.48.58.57.78.86.96.9813218.38.58.39.18.57.46.97.27.4823219.48.88.59.49.188.37.27.7833218.58.88.88.38.87.47.47.27.4843219.68.89.68.58.38.87.77.47.4853217.78.37.18.38.87.47.48.37.7913329.48.59.48.88.87.26.97.27.2923329.48.58.89.19.17.46.96.96.9933329.68.37.29.98.887.77.27.7943328.39.18.39.49.17.288.38953328.58.88.88.88.86.97.77.27.7D.查看S/N、一览表、图形及工程推定-35- -1□1x|S/N比箕表］Riw（平均数）霓表|S（感度）T表|」代虢|因子名稿水津敦|水型一水津二水型三上堡四二油墨黏度31,592019.615619,294320,8863一BC下副刀屋力33.120419316018,679921,S00i涂布速度32.296520.4S1018,534420,8309411J皤列印,18霓|囱退出」|画一^表S/N比一霓表Raw（平均数〕一霓表|W（感度〕一霓表|Jo]x|Iff斐J因子名相油墨黏度IKax-niin口，47858.3407水型二［水举三I水率三7,6622B-04O7下刮刀腰力0.2326诠布速度0.54448.20228.29198,07193.20447.96967.7474邕列印/1H霓JOIxl1代嬲1因子名楣水型敦|Mix-min水型一|水型二"jiiriririririBi"1]通油墨黏度30,5041IS.412217,908118,1019B下刮刀屋力30,237718,263718,132510260」C诠市速度30,5800⑶361918.278517,7819昌列印/18霓口退出S/N比一^表|R④w（平均数）一^表S（感度）一霓表-35- E.验证实验、确认最佳组合制程条件漏十值油墨木^度CPS下刮刀压力bar涂布速度原设计值A2B2C2新设计值（最佳组合）A3B3C3最适组合A2B3C3注：由参数之S/N比效应值大小可以看出，下刮刀压力及涂布速度影响较大，此实验结果-35- 依DOE软件计算出最佳组合条件确认实验已完成。具体数据如下表所示:123456789极差均值16.96.87.76.16.97.788.882.77.43333327.77.47.46.96.17.27.76.981.97.25555637.288.37.47.27.46.988.31.47.63333347.26.98.37.77.487.47.78.31.47.65555657.28.37.77.26.67.27.27.781.77.45555667.46.98.57.76.48.38.58.58.52.17.85555676.96.67.46.66.67.47.48.38.31.77.27777886.96.96.67.46.66.6888.31.77.25555697.26.686.96.67.76.99.19.12.57.566667106.65.57.27.76.37.77.27.48.32.87.1总极差和均值3.67.448889依上表可知，总体极差为3.6um，总体均值为7.44889um,结果理想,能满足实际生产要求。F.确认依此最佳组合至内蚀完成品AOI扫描结果实验料号为Q155-4001V1.0,共849PNL(1698pcs),涂布段按最佳组合参数,其余条件同生产线参数,经扫描后,共32pcs孔内残铜,良率98.12%。G.结论新涂布线油墨粘度、下刮刀压力、涂布速度最佳条件为：油墨粘度：A2下刮刀压力：B3涂布速度：C3以上将作为现有作业文件修改之依据。-35- 襟准化部分（StandardizationI►控制依摞项次参数项目改香前参数改善后分数1曝光能量B1±bB2±b2显影速度（新线）C1±cC2±c3比重D1±dD2±d4HCL含量E1±eE2±e5蚀刻速度F1±f1F2±f26蚀刻温度G1±g不义7旧涂布线油墨粘度A2±a1A3±a28旧涂布线涂布轮转速B2±b不义9新涂布线油墨粘度A2±a不义10新涂布线下刮刀压力B2±b板厚＞nT:B3±b板厚三nT:B2±b11新涂布线涂布速度C2±c1C3±c2备注：1.物料替换时（如油墨、药水），须重新求证上述参数；2.以上参数已更改相应作业文件；-37- 言瞬部分(ExperimentSection)())内唇板烘烤畤冏温度测^表HU项次tw位置每10分温速率123456趣差123456111:05537.628.937.426.628.928.21118.5625612.6255.87513.31256.8125211:211667.338.557.63650.239.131.3136.3333310.33335.333339.666676.66667311:24371.240.460.737.653.141.133.67.363648.818189.181827.4545510.27278.72727411:351179.350.170.845.864.450.733.56.757.656.656.257.37.35511:552092.865.484.158.37965.434.51.779224.272733.805194.155843.714294.25974613:1177106.598.3113.490.3107.698.223.11.666672.833332.3333352.54.16667713:176107.5100114.893.3109.1100.721.52.6251.751.8751.50.6250.875813:258109.6101.4116.394.5109.6101.421.81.294121.705881.941182.176471.705882913:4217111.8104.3119.698.2112.5104.821.411.846151.923081.615381.307691.769231013:5513113.1106.7122.1100.3114.2107.121.81.166670.751.333331.916671.251.51114:0712114.5107.6123.7102.6115.7108.921.113.666672.333331.33333-0.333337.666671214:103114.8108.7124.4103115.6111.221.42.315791.736842.315791.789472.105261.105261314:2919119.2112128.8106.4119.6113.322.42.066671.62.333331.933332.466671.666671414:4415122.3114.4132.3109.3123.3115.8231.11.41.71.21.51.61514:5410123.4115.8134110.5124.8117.423.51.45455-0.045451.954551.318181.409090.727271615:1622126.6115.7138.3113.4127.911924.90.928571.107141.392861.251.142861.464291715:4428129.2118.8142.2116.9131.1123.125.31.384620.923081.230771.846150.769230.692311815:5713131120143.8119.3132.112424.500.21.211.20.61916:025131120.1144.4119.8132.7124.324.60.82.81.20.81.21.22016:075131.4121.5145120.2133.3124.924.843-1.3333300.6666714.33332116:103132.6122.4144.6120.2133.5129.224.4倩注：11项之前定温度155度，自12项起^定温度改170度。板厚1.2T.:榻正兵-37- 升温速率超势圈（二）罩位:度/10mi-41-升温速率超势圈（二）罩位:度/10mi1#位置2#位置-41- 升温速率超势圈（二）罩位:度/10mi罩位：度/10min6#■-41- 升温速率超势圈（二）罩位:度/10mi3#位置*数列114#位置-41- 烤箱测温示意圃以上叠板20pnl/屑，共10屑。-43- 宣瞬部分（Experiment内帽板烘烤H寺冏温度^^表ii/i0项次畤言十日寺位置每10分^升温速率123456趣差123456114:0429.129.534.828.629.628.96.210.91439.9142911.77147.2571410.27.85714214:393567.364.2765465.356.422118.272739.545458.90909109.81818314:501179.473.386.563.876.367.222.79.272737.636367.909097.545458.454558.63636415:011189.681.795.272.185.676.723.18.333336.222226.555567.333338.222228.77778515:10997.187.3101.178.79384.622.46.533335.533335.866675.66.466677615:2515106.995.6109.987.1102.795.122.85.857145.928574.857145.285716.071436.64286715:3914115.1103.9116.794.5111.2104.422.24.68756.81253.31254.254.93755.5625815:5516122.6114.8122101.3119.1113.321.33.753.2532.937544.5916:1116128.6120126.8106125.5120.522.63.133332.5333332.933333.43.81016:2615133.3123.8131.3110.4130.6126.222.92.62.133331.933332.733332.733333.066671116:4115137.2127134.2114.5134.7130.822.72.428572.428572.071431.571432.57143-0.642861216:5514140.6130.4137.1116.7138.3129.923.91.751.31251.252.18751.8750.51317:1116143.4132.5139.1120.2141.3130.723.2借注：烤箱避:定温度改卷170度，共烘烤畤3HR,板厚卷1.2T。测feJS!明-43- 升温速率趣势圈（三）罩位：度/10mi升温速率超势圈（一）罩位：度/10min1#位置2#位置-45- 升温速率趣势圈（三）罩位：度/10mi5#位置6#位置-45- 升温速率趣势圈（三）罩位：度/10mi升温速率趣势圈（二二）罩位：度/10min3#印।4#位置-45- 烤箱测温示意IB以上叠板20pnl/f,共10)1-49- 部分(ExperimentSection)(三)内唇板烘烤畤冏温度^^表11/14项次tw位置每10分温速率123456趣差123456114:1055866.568.17489.188.431.110.266711.866713.06671511.866717.8667214:251573.484.387.796.5106.9115.241.89.785719.428578.7857110.92867.3571410314:391487.197.5100111.8117.2129.242.17.67.1333356.066674.666676.2414:541598.5108.2107.5120.9124.2138.5406.44.866676.24.666673.466673.6515:0915108.1115.5116.8127.9129.4143.935.84.68753.6255.8752.43752.43752.3125615:2516115.6121.3126.2131.8133.3147.6323.8752.56253.3752.56251.81251.75715:4116121.8125.4131.6135.9136.2150.428.62.857142.571431.714290.928571.51.42857815:5514125.8129134137.2138.3152.426.62.50.857142.071431.714291.428570.92857916:0914129.3130.2136.9139.6140.3153.724.421.18752.750.562510.68751016:2516132.5132.1141.3140.5141.9154.822.71.636361.181820.272730.727270.818180.636361116:3611134.3133.4141.6141.3142.8155.522.11.333330.51.50.888890.888890.611111216:5418136.7134.3144.3142.9144.4156.622.31.3750.9375-0.31250.31250.56250.6251317:1016138.9135.8143.8143.4145.3157.621.80.777780.111110.555560.333330.277780.166671417:2818140.3136144.8144145.8157.921.90.636361.3636420.272731.090910.545451517:3911141137.5147144.3147158.5210.93750.25-1.437500.625-0.18751617:4516142.5137.9144.7144.3148158.220.3#REF!#REF!#REF!#REF!#REF!#REF!倩注：温度彳^件卷170度，共烘烤215min,最低温度卷2虢位置137.9度，最高温度卷6虢位置158.2度。就瞬料虢卷Q105-6054,内JW板厚卷0.1T.:榻正兵-49- （一）1210♦敦列丁|10111213141516罩位:度/10mi-49--49-1#印数列12#位詈-49- 升温速率趣势圈（三）罩位：度/10mi升温速率超势圈（二）军位：度3#位置—数列114#位置-51- 升温速率趣势圈（三）罩位：度/10mi-51-升温速率趣势圈（三）罩位：度/10mi5#位置6#位置-51- 升温速率趣势圈（三）罩位：度/10mi-51-升温速率趣势圈（三）罩位：度/10miIt瞬部分（Experiment-51-升温速率趣势圈（三）罩位：度/10mi-51-升温速率趣势圈（三）罩位：度/10mi以上叠板20pnl/JW,共7叠。-51- 烤箱测温位置Bl-53- 宣瞬部分(ExperimentSection)(五)内层板烘烤试验报告（一）一、试验目的：确认公司现行内层烘烤作业方式是否符合制程要求，并求出最佳作业方式；三、试验方法：3.1内层板烘烤方式：3.1.1内层板板厚：0.2T;3.1.2叠板方式：按下图所示；3.2内层板烘烤条件：3.2.1烤箱设定温度：180土2C,时间：5H;3.2.2内层板烘烤数量：20层/叠，10PNL/1，共6叠；四、试验时间：2003年11月19日PM13:30-19:30-53- 五、试验过程：5.1将需烘烤之板平放在垫板上按「3.1内层板烘烤方式：」进行作业；5.1定时对烤箱所烤之内层板温度进行测量，并留下相关记录；（具体明细「内层板烘烤时间温度测试表」）5.2针对感温线所检测到的温度制定升温速率趋势图（具体明细见「附页」）；六、试验结论：综上所述，按以上方法对薄板（板厚三0.8mm）®行烘烤，能达到板材的TG点，符合公司制程要求；-55- 内层板不烘烤试验报告（二）一、试验目的：确认内层板（内层板板厚＞0.8mm讨料后不烘烤的可行性；二、试验方法：2.1针对不同排版之料号进行内层板不烘烤试验，确认其板材涨缩状况；2.2针对开料后内层板不烘烤（三次试验求证），按公司正常制程条件生产至后制程，查看内层板不烘烤所造成之报废情况；三、试验日期：2003年10月07日一2003年11月24日四、试验人员：赵刚五、试验内容：5.1内层板原作业流程：5.2试验数据如下:料号内层板板厚内层单边Pad排版数测试数量PCS找点数量PCS内短数量PCS备注Q79-4120-V1.01.2T12mil4PCS/PNL8001383该内短报废不属于板材材涨缩所致Q100-4041-V1.01.2T12mil3PCS/PNL522931630Q100-4053-V1.01.2T12mil4PCS/PNL31238862合计915241875-57- 5.3综合以上试验数据，可修改内层板作业流程：K料磨刷~~彳涂布~.封位~.曝光~~，食虫亥I六、试验结论：综上所述，经过三次试验求证，公司内层板（内层板板厚＞0.8mm许烘烤，生产至后制程未发现有板材涨缩所造成之报废现象，故建议公司可取消内层板（内层板板厚＞0.8mm心烘烤制程。-57- 内层板烘烤暂行规定针对内层板板材涨缩之不良，严重影响公司内层板良率，经多次试验求证特针对内层开料板烘烤条件作以下更改：1.内层板厚三0.8mm烘烤条件：180C±2C烘烤时间：5H,烘烤时，每个垫板仅限放板20层，每层10PNL2.内层板厚＞0.8mm烘烤条件：180C±2C烘烤时间：3H；以上规定从即日起执行，请相关单位严格按其执行，望配合!-#- 取消烘烤试验（三）内层板放大0.1mil/inch后不烘烤试验报告一、试验目的：经过三次不同排版数之主机板取消开料后烘烤试验，得出厚板取消烘烤后并未对品质造成影响，现确认内层板（内层板板厚＞0.8mm）经放大0.1mil/inch后，开料之后不烘烤的可行性，以进一步肯定取消其烘烤后即对品质无不良影响，且可缩短制程之目的。二、试验方法：选取Q79-4117V1.0料号（12inchxi8inch），内层棕片放大0.1mil/inch,以棕片中心（两对角线之交点）为基准点向四周按比例放大，开料后内层板不烘烤，其余按公司正常制程条件生产，至半测、成测处查看内层板不烘烤所造成之报废情况；三、试验日期：2003年11月28日一2003年12月08日四、试验人员：-61- 5.2试验数据如下:日期找点总数量内短/内偏找点报废数内短/内偏找点/、良数实际报废数备注12/07272000找点时所确认之内短/内偏报废数已修复正常，且非为板材涨缩所至12/0547740012/04558300合计13077005.3综合以上试验数据，可修改内层板作业流程:K料11磨刷~涂布一封位一曝光一食虫刻六、试验结论：综上所述，经过引次试验求证，公司内层板（内层板板厚＞0.8mm辫放大0.1mil/inch后，开料后取消烘烤，生产至后制程未发现有板材涨缩所造成之报废现象，故建议公司取消内层板（内层板板厚＞0.8mm）之烘烤制程，并按0.1mil/inch放大内层棕片，以降低因取消烘烤而造成的板材涨缩程度。-61- 内层厚板不烘烤试验报告（四）一、试验目的：再次确认内层板（内层板板厚＞0.8mm讨料后不烘烤的可行性；二、试验方法：2.1针对不同排版之料号进行内层板不烘烤试验，确认其板材涨缩状况；2.2针对开料后内层板不烘烤（五次试验求证），按公司正常制程条件生产至后制程，查看内层板不烘烤所造成之报废情况；三、试验日期：2003年12月07日一2003年12月25日四、试验人员：赵刚五、试验内容：5.1内层板原作业流程:5.2试验数据如下:料号内层板板厚内层单边Pad排版数测试数量PCS找点数量PCS内偏数量PCS内短数量PCS备注Q100-4013-V2.11.2T12mil4PCS/PNL140026600该批试验板有内S不良板，Q102-4011-V3.01.2T12mil2PCS/PNL6000414700Q65-4048-V1.01.0T12mil3PCS/PNL922057500但多为孔边残铜，不属于此Q100-4041-V1.01.2T12mil3PCS/PNL5000207300Q100-4013-V1.31.2T12mil4PCS/PNL8000372400类因素所致，故未统计合计2962014972005.3综合以上试验数据，可修改内层板作业流程：-61- K料f磨刷—*涂布一^位—＞曝光一*食虫亥ij六、试验结论：综上所述，经过五次试验求证，公司内层板（内层板板厚＞0.8mm许烘烤，生产至后制程未发现有板材涨缩所造成之报废现象，故建议公司可取消内层板（内层板板厚＞0.8mm心烘烤制程。七、附件附第一次求证试验报告报告人：12/26/03-61- -65-襟准化部分(Standardization控制依at-65-Section)板厚(mm)改善前烘烤条件改善后烘烤条件改善前烘烤方■式改善后烘烤方■式T二1.0温度：155c±2c时间：3HR取消烘烤每垫板限放40每层20PNL无0.8