SJT31260-1994A500B2K型高真空薄膜镀膜机完好要求和检查评定方法.pdf

'设备完好要求和检查评定方法(下册) 标准分享网www.bzfxw.com免费下载专用设备(续) 中华人民共和.电子行业振准A500B2K型高真空薄膜敏膜机完好要求sd/"r31260-94和检变评定方法，主.内容与适用范围本标准规定了A500B2K型高真空薄膜镀膜机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于A500B2K型高真空薄膜镀膜机。2完好要求2.1主要性能21.1镀膜性能a.膜卷宽度范围:250^-520mm;b.镀层最大宽度:500mm;c.卷膜速度范围:。.8^-8m/s;d，一个计算面积单位镀膜范围:1-5d1,2.1.2真空源a.极限压力:不低于5X10-"Pa;b.抽气速率:5min不低于1X10-"Pa;c.工作极限压力:不低于1X10-"Pa;d.漏气率:镇3X10"Pa1/s;2.1.3镀膜鼓冷却与加热温度范围为一40"C-+25C2.1.4卷绕产品端面平整允差不超过士。.lmm,被层无擦伤。2.2操作系统2.2.1各操作手柄、开关、按钮、旋钮启动灵活，标志齐全。2.2.2制动、限位装置齐全，灵敏可靠。2.3传动系统2.3.1薄膜鼓、卷绕、解轴及传动装置，送铝机构运转平稳，无冲击，无振动。2.3.2变速、张力机构渴节灵敏、可靠。2.3.3镀膜鼓、测量轴、张力轴、舒展轴、导轴、压轴表面平直光滑，传动灵敏，测量轴镀金层无缺陷，碳刷接触可靠。2.4真空系统2.4.1机械真空泵、机械增压泵运转平稳，无冲击，无振动极限压力不低于5X10-"Pa,2.4.2油扩散泵，油增压泵、冷阱内表面清洁，工作正常。中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施一783一 标准分享网www.bzfxw.com免费下载s;/T31260--942.4.3燕发室清洁，密封良好，油封不漏油，油位正常，观察窗清晰。2.4.4真空管路连接紧固可靠、畅通，密封良好。2.4.5真空阀门开闭灵暇、可靠。2.5气动系统2.5.1各气动元件动作灵敏、可靠，无振动，无爬行。2.5..2各气动管路畅通、清洁、无泄漏，排列整齐，滤油器工作正常2.6制冷系统2.6.1制冷压缩机冷剂循环泵运转平稳，无异常振动，无冲击，循环泵压力范围为0.4-0.5MPa;制冷剂量应符合规定要求。2.6.2制冷管路连接紧固、可靠，无泄漏。2.6.3冷凝、蒸发压力适中，各阀门调节灵敏、可靠。2.6.4冷冻机油回油正常。2.7电气系统2.7.1各元、器件齐全，完整、工作可靠，无老化现象2.7.2电气性能灵敏，运行可靠，保护装置齐全，有效。2.7.3线路完整，绝缘层无破裂，无漏电现象。2.7.4电气柜内清洁，线路布置整齐，标志明显，各端子紧固无松动现象。2.7.5计量仪器仪表完好，指示准确，有有效期内检验合格证。2.8其他系统2.8.1冷却a.水管路常通，自动阀门灵敏、可靠、清洁，不漏水。b.水压不低于。.4MPa，出水温度不高于300C,2.8.2空压a.管路畅通、清洁，不漏气，阀门调节灵活，压力范围在。.5-0.6MPa.b.过滤器工作正常，油雾器油位清晰。2.9安全防护2-9.1安全防护装置齐全、可靠。2.9.2接地(零)可靠，标志明显。2.10维护保养按SJ/T31002一94《设备维护保养通则》执行。性交、评定方法3.，检查方法3-1.1标准中真空度检查，用冷阴极电离真空计方法测量。3.1.2标准中速度检查，换算成转速后用转速表方法测量。3..1.3标准中漏气率检查:密闭真空室，用自身真空泵，扩散泵抽至极限真空度后保持30分钟，其漏气率用(1)式确定:。尸XVQx一t’.’...’.‘..‘二’..’..⋯’“’二‘..”.’..’...(‘’式中:Q-漏气率，PaL/s;一784一 sUT31260-94P-压强，Pa=V-真空室容积，L;t—压强升高时间，s,3.2评定方法3.2.1完好要求中.2.1.1-2.1.4,2.4.1,2.7.1,2.7.2,2.9.1,2.9.2为主要项目，其余为次要项目。3.2.2主要项目有一项不符合要求，为不完好设备，次要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。3.2.3完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说明:本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。本标准由国营宏明无线电器材厂组织起草。本标准主要起草人:包于成。785'